CN220206267U - 一种硅片生产用烘干装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种硅片生产用烘干装置，涉及硅片生产技术领域。本申请包括：链式输送机，其上设置有烘干箱与多个间隔分布的承载板，所述承载板上对称设置有两个围栏，所述围栏的自由端构造有托耳部，所述承载板与两个围栏之间形成用于硅片侧立放置的放置腔，所述托耳部围合在硅片的侧边，所述烘干箱的内顶部设置有主管，所述主管上连通有多个间隔分布的主喷头。本申请在使用时，将表面印刷完导电浆的硅片侧立放置在承载板与两个围栏之间形成的放置腔内，托耳部围合在硅片的侧边，通过链式输送机将硅片输送至依次经过烘干箱，与此同时，通过热风件将外界自然风进行加热并送入进气管，热风由多个主喷头向下吹出，从而对经过烘干箱的硅片进行烘干。

Description

一种硅片生产用烘干装置

技术领域

本申请涉及硅片生产技术领域，具体涉及一种硅片生产用烘干装置。

背景技术

硅片一般是指由单晶硅切割成的薄片，主要用来生产集成电路。硅片在生产过程中，需要在表面印刷完导电浆后进行烘干，在现有技术中，通常采用输送带将硅片平躺输送经过烘干机构进行烘干，但由于硅片处于平躺状态，其下侧面与输送带的接触部分不易烘干，从而导致烘干效率较低，烘干效果较差，因此提出一种硅片生产用烘干装置。

实用新型内容

本申请的目的在于：为解决由于硅片处于平躺状态，其下侧面与输送带的接触部分不易烘干，从而导致烘干效率较低，烘干效果较差的技术问题，本申请提供了一种硅片生产用烘干装置。

本申请为了实现上述目的具体采用以下技术方案：

一种硅片生产用烘干装置，包括：

链式输送机，其上设置有烘干箱与多个间隔分布的承载板，所述承载板上对称设置有两个围栏，所述围栏的自由端构造有托耳部，所述承载板与两个围栏之间形成用于硅片侧立放置的放置腔，所述托耳部围合在硅片的侧边，所述烘干箱的内顶部设置有主管，所述主管上连通有多个间隔分布的主喷头，所述烘干箱上设置有连通的进气管与热风件，所述进气管的自由端与主管连通，所述热风件用于将外界自然风进行加热并送入进气管内。

进一步地，所述承载板上开设有多个间隔分布的通孔。

进一步地，所述承载板上设置有两个对称分布的垫高杆。

进一步地，所述烘干箱内设置有两个对称分布的副管，所述副管上连通有支管与多个间隔分布的副喷头，所述支管的自由端与进气管连通。

进一步地，所述主管与副管均构造呈栅格状。

进一步地，所述热风件包括均设置在烘干箱上的加热筒与进风机，所述加热筒的两端分别与进气管以及进风机的出风端连通，所述加热筒内设置有电热丝，所述进风机的进风端连通有进风管。

进一步地，所述电热丝构造呈螺旋状且其之上设置有多个间隔分布的金属翅片。

进一步地，所述进风管的自由端构造呈锥形且设置有过滤网。

本申请的有益效果如下：本申请在使用时，将表面印刷完导电浆的硅片侧立放置在承载板与两个围栏之间形成的放置腔内，托耳部围合在硅片的侧边，通过链式输送机将硅片输送至依次经过烘干箱，与此同时，通过热风件将外界自然风进行加热并送入进气管内，热风进入主管并由多个主喷头向下吹出，从而对经过烘干箱的硅片进行烘干，由于硅片呈侧立放置，易于烘干，从而提高烘干效率与烘干效果，因此更具有实用性。

附图说明

图1是本申请结构立体图；

图2是本申请部分结构立体图；

图3是本申请另一部分结构立体图；

图4是本申请图3的立体剖视图；

图5是本申请图4中A处的放大图；

图6是本申请图4中B处的放大图；

图7是本申请图4中C处的放大图。

附图标记：1、链式输送机；2、烘干箱；3、承载板；4、围栏；5、托耳部；6、主管；7、主喷头；8、进气管；9、热风件；901、加热筒；902、进风机；903、电热丝；904、进风管；905、金属翅片；906、过滤网；10、通孔；11、垫高杆；12、副管；13、支管；14、副喷头。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

如图1-图7所示，本申请一个实施例提出的一种硅片生产用烘干装置，包括：链式输送机1，其上设置有烘干箱2与多个间隔分布的承载板3，链式输送机1主要包括机架、两个传动轴、驱动部以及两个链条组件，两个传动轴均水平方向转动设置在机架上且对称分布，驱动部由皮带轮组件与设置在机架上的驱动电机组成，皮带轮组件用于将其中一个传动轴与驱动电机的输出轴连接，两个链条组件对称分布，链条组件由两个链轮与一个连接链条组成，两个链轮分别套设在两个传动轴上，连接链条用于连接两个链轮，烘干箱2固设在机架上，多个承载板3均设置在两个连接链条上且间隔分布，链式输送机1在使用时，打开驱动电机，驱动电机工作，输出轴转动，通过皮带轮组件带动其中一个传动轴转动，带动套设在其之上的两个链轮一同转动，两个连接链条一同运动，多个承载板3随着连接链条一同移动至依次经过烘干箱2，另外两个链轮一同转动并带动另外一个传动轴一同转动，承载板3上对称设置有两个围栏4，两个围栏4均固设在承载板3上且均与其垂直，围栏4的自由端构造有托耳部5，承载板3与两个围栏4之间形成用于硅片侧立放置的放置腔，托耳部5围合在硅片的侧边，烘干箱2的内顶部设置有主管6，主管6呈水平方向且固设在烘干箱2的内顶部，主管6上连通有多个间隔分布的主喷头7，主喷头7呈竖直方向，烘干箱2上设置有连通的进气管8与热风件9，进气管8固设在烘干箱2上，进气管8的自由端与主管6连通，热风件9用于将外界自然风进行加热并送入进气管8内，在使用时，将表面印刷完导电浆的硅片侧立放置在承载板3与两个围栏4之间形成的放置腔内，托耳部5围合在硅片的侧边，通过链式输送机1将硅片输送至依次经过烘干箱2，与此同时，通过热风件9将外界自然风进行加热并送入进气管8内，热风进入主管6并由多个主喷头7向下吹出，从而对经过烘干箱2的硅片进行烘干，由于硅片呈侧立放置，易于烘干，从而提高烘干效率与烘干效果，因此更具有实用性。

如图2所示，在一些实施例中，承载板3上开设有多个间隔分布的通孔10，参照上文，在对硅片进行烘干时，通过通孔10的设计，便于上下通风，从而在一定程度上提升烘干效率与烘干效果。

如图2所示，在一些实施例中，承载板3上设置有两个对称分布的垫高杆11，两个垫高杆11均固设在承载板3上且均位于两个围栏4的相对侧之间，参照上文，在将表面印刷完导电浆的硅片侧立放置在承载板3与两个围栏4之间形成的放置腔内时，硅片的底部与两个垫高杆11接触，通过两个垫高杆11将硅片垫起一定高度，使硅片与承载板3之间具有一定间隔，从而有利于上下通风，进一步提升烘干效果与烘干效率。

如图3-图5所示，在一些实施例中,烘干箱2内设置有两个对称分布的副管12，两个副管12分别固设在烘干箱2的相对侧内壁，副管12上连通有支管13与多个间隔分布的副喷头14，副喷头14呈水平方向，支管13的自由端与进气管8连通，参照上文，通过热风件9将外界自然风进行加热并送入进气管8内，热风会在进气管8内分成三股，其中两股热风分别进入两个支管13，其余一股热风进入主管6内，支管13内的热风进入副管12并从多个副喷头14向侧面吹出，以实现热风以三个不同的方向吹向硅片，从而进一步提升烘干效果与烘干效率。

如图5所示，在一些实施例中,主管6与副管12均构造呈栅格状，参照上文，通过栅格状的设计，可以增大热风的覆盖面积，提高硅片与热风的接触面积与接触时间，从而进一步提升烘干效果与烘干效率。

如图6-图7所示，在一些实施例中,热风件9包括均设置在烘干箱2上的加热筒901与进风机902，加热筒901与进风机902均固设在烘干箱2的顶部，加热筒901呈水平方向，加热筒901的两端分别与进气管8以及进风机902的出风端连通，加热筒901内设置有电热丝903，电热丝903固设在加热筒901内，进风机902的进风端连通有进风管904，参照上文，在使用时，打开进风机902，进风机902工作，外界自然风由进风管904进入加热筒901，在此过程中，通过电热丝903对外界自然风进行加热，之后热风由加热筒901进入进气管8内。

如图6所示，在一些实施例中,电热丝903构造呈螺旋状且其之上设置有多个间隔分布的金属翅片905，螺旋状的设计可以增大外界自然风与电热丝903的接触面积，多个金属翅片905的设计可以提升电热丝903的热传递效果，在本实施例中，金属翅片905为导热性能好的红铜材质，通过螺旋状与金属翅片905的设计，进一步提升烘干效果与烘干效率。

如图7所示，在一些实施例中,进风管904的自由端构造呈锥形且设置有过滤网906,参照上文，当外界自然风进入进风管904时，会在进风管904的管口处形成湍流，而锥形的设计可以提升进气量，在一定程度上提升烘干效果与烘干效率，而通过过滤网906的设计，可以避免外界自然风中的灰尘进入到进风管904内，进而导致对硅片造成污染。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本申请。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本申请的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本申请将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (8)

1.一种硅片生产用烘干装置，其特征在于，包括：

链式输送机(1)，其上设置有烘干箱(2)与多个间隔分布的承载板(3)，所述承载板(3)上对称设置有两个围栏(4)，所述围栏(4)的自由端构造有托耳部(5)，所述承载板(3)与两个围栏(4)之间形成用于硅片侧立放置的放置腔，所述托耳部(5)围合在硅片的侧边，所述烘干箱(2)的内顶部设置有主管(6)，所述主管(6)上连通有多个间隔分布的主喷头(7)，所述烘干箱(2)上设置有连通的进气管(8)与热风件(9)，所述进气管(8)的自由端与主管(6)连通，所述热风件(9)用于将外界自然风进行加热并送入进气管(8)内。

2.根据权利要求1所述的一种硅片生产用烘干装置，其特征在于，所述承载板(3)上开设有多个间隔分布的通孔(10)。

3.根据权利要求1所述的一种硅片生产用烘干装置，其特征在于，所述承载板(3)上设置有两个对称分布的垫高杆(11)。

4.根据权利要求1所述的一种硅片生产用烘干装置，其特征在于，所述烘干箱(2)内设置有两个对称分布的副管(12)，所述副管(12)上连通有支管(13)与多个间隔分布的副喷头(14)，所述支管(13)的自由端与进气管(8)连通。

5.根据权利要求4所述的一种硅片生产用烘干装置，其特征在于，所述主管(6)与副管(12)均构造呈栅格状。

6.根据权利要求1所述的一种硅片生产用烘干装置，其特征在于，所述热风件(9)包括均设置在烘干箱(2)上的加热筒(901)与进风机(902)，所述加热筒(901)的两端分别与进气管(8)以及进风机(902)的出风端连通，所述加热筒(901)内设置有电热丝(903)，所述进风机(902)的进风端连通有进风管(904)。

7.根据权利要求6所述的一种硅片生产用烘干装置，其特征在于，所述电热丝(903)构造呈螺旋状且其之上设置有多个间隔分布的金属翅片(905)。

8.根据权利要求6所述的一种硅片生产用烘干装置，其特征在于，所述进风管(904)的自由端构造呈锥形且设置有过滤网(906)。