CN220126948U - 一种单晶硅片水洗脱胶装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了硅片水洗技术领域的一种单晶硅片水洗脱胶装置，包括，固定箱，所述固定箱从下到上依次开设有水洗槽和放置槽；所述放置槽内设置有水箱，所述水箱与泵机的进水口连通，所述泵机的排水口与U型管连通，所述U型管上连通有两组结构相同的喷头，且两组喷头均位于水洗槽内；所述水洗槽上设置有多孔网板、夹具和排水管；所述水洗槽上设置有搓刷组件；通过电动导轨二能够带动搓刷对硅片进行左右方向搓刷，通过电机驱动转轴转动，使得搓刷可以旋转，进而通过电动导轨一带动电动导轨二在前后方向移动时，即可通过搓刷对硅片进行前后方向搓刷，从而通过多方向对硅片表面进行刷洗，大大减少了硅片表面脱胶不彻底的情况。

Description

一种单晶硅片水洗脱胶装置

技术领域

本实用新型涉及硅片水洗技术领域，具体为一种单晶硅片水洗脱胶装置。

背景技术

在单晶硅片的生产过程中须经严格清洗，微量污染也会导致器件失效，清洗目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面，会导致各种缺陷。

为了避免清洗后硅片表面还存在脱胶不彻底的现象，需要对硅片表面通过搓刷进行刷洗，为此，我们提出一种单晶硅片水洗脱胶装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶硅片水洗脱胶装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶硅片水洗脱胶装置，包括，固定箱，所述固定箱从下到上依次开设有水洗槽和放置槽；

所述放置槽内设置有水箱，所述水箱与泵机的进水口连通，所述泵机的排水口与U型管连通，所述U型管上连通有两组结构相同的喷头，且两组喷头均位于水洗槽内；

所述水洗槽上设置有多孔网板、夹具和排水管；

所述水洗槽上设置有搓刷组件；

所述搓刷组件包括两组结构相同的电动导轨一，两组电动导轨一分别设置在水洗槽的两侧内壁上，两组电动导轨一的输出端均与电动导轨二连接，所述电动导轨二的输出端连接有滑板，所述滑板的底部设置有电机，且电机的输出轴连接有转轴，所述转轴的底端设置有连接板，所述连接板的前后两侧均设置有支撑组件，两组支撑组件的底部均与搓刷连接。

作为本实用新型所述一种单晶硅片水洗脱胶装置的一种优选方案，其中：所述水洗槽的前侧设置有透明门。

作为本实用新型所述一种单晶硅片水洗脱胶装置的一种优选方案，其中：所述U型管的两侧内壁连接在固定箱的两侧上，所述U型管的后侧内壁连接在固定箱的后侧上。

作为本实用新型所述一种单晶硅片水洗脱胶装置的一种优选方案，其中：所述滑板的底部设置有轴承架，且轴承架与转轴转动连接。

作为本实用新型所述一种单晶硅片水洗脱胶装置的一种优选方案，其中：所述支撑组件包括设置在连接板的底部的外杆，所述外杆上滑动连接有内杆，所述内杆上设置有与外杆连接的弹簧。

作为本实用新型所述一种单晶硅片水洗脱胶装置的一种优选方案，其中：所述内杆的底部通过螺丝与搓刷固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、通过电动导轨二能够带动搓刷对硅片进行左右方向搓刷，通过电机驱动转轴转动，使得搓刷可以旋转，进而通过电动导轨一带动电动导轨二在前后方向移动时，即可通过搓刷对硅片进行前后方向搓刷，从而通过多方向对硅片表面进行刷洗，大大减少了硅片表面脱胶不彻底的情况；

2、通过设置支撑组件，使得搓刷可以紧密接触硅片，从而在搓刷时，刷洗效果更好。

附图说明

图1为本实用新型一种单晶硅片水洗脱胶装置的整体结构示意图；

图2为本实用新型一种单晶硅片水洗脱胶装置所述的水洗槽结构示意图；

图3为本实用新型一种单晶硅片水洗脱胶装置所述的搓刷组件结构示意图；

图4为本实用新型一种单晶硅片水洗脱胶装置所述的转轴、连接板和支撑组件结构示意图。

图中：1、固定箱；2、水洗槽；3、放置槽；4、水箱；5、泵机；6、U型管；7、喷头；8、多孔网板；9、夹具；10、排水管；11、电动导轨一；12、电动导轨二；13、滑板；14、电机；15、转轴；16、连接板；17、搓刷；18、轴承架；19、外杆；20、内杆；21、弹簧；22、透明门。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1

参照图1至图4，一种单晶硅片水洗脱胶装置，包括，固定箱1，固定箱1从下到上依次开设有水洗槽2和放置槽3；

在放置槽3内设置有水箱4，水箱4与泵机5的进水口连通，泵机5的排水口与U型管6连通，U型管6上连通有两组结构相同的喷头7，且两组喷头7均位于水洗槽2内，通过泵机5工作，使得水箱4内的清洗水能够进入到U型管6内，进而从两侧的喷头7喷出；

在水洗槽2上设置有多孔网板8、夹具9和排水管10，多孔网板8用于放置单晶硅片，且不影响刷洗水和杂质的排出，夹具9用于夹紧单晶硅片，排水管10用于排出刷洗水和杂质；

水洗槽2上设置有搓刷组件；

搓刷组件包括两组结构相同的电动导轨一11，两组电动导轨一11分别设置在水洗槽2的两侧内壁上，两组电动导轨一11的输出端均与电动导轨二12连接，使得电动导轨一11能够带动电动导轨二12沿前后方向移动，电动导轨二12的输出端连接有滑板13，使得电动导轨二12能够带动滑板13沿左右方向移动，滑板13的底部设置有电机14，且电机14的输出轴连接有转轴15，转轴15的底端设置有连接板16，连接板16的前后两侧均设置有支撑组件，两组支撑组件的底部均与搓刷17连接，通过电机14驱动转轴15转动，使得连接板16可以通过支撑组件带动搓刷17转动。

在水洗槽2的前侧设置有透明门22，便于观察硅片水洗情况。

为了方便固定住U型管6，将U型管6的两侧内壁连接在固定箱1的两侧上，U型管6的后侧内壁连接在固定箱1的后侧上。

为了提高转轴15转动时的稳定性，在滑板13的底部设置有轴承架18，且轴承架18与转轴15转动连接。

文中的电器元件均通过现有技术供电，且能够通过固定箱1上的控制面板进行控制。

实施例2

参照图2至图4，支撑组件包括设置在连接板16的底部的外杆19，外杆19上滑动连接有内杆20，内杆20上设置有与外杆19连接的弹簧21，内杆20的底部通过螺丝与搓刷17固定连接，通过弹簧21的弹力，使得内杆20可以带动搓刷17抵紧在硅片上，提高搓刷时的搓刷力度。

其余结构均与实施例1相同。

工作原理：先向上移动搓刷17，使得单晶硅片能够放在多孔网板8上，并通过夹具9固定好单晶硅片，固定好后松开搓刷17，此时搓刷17通过弹簧21的弹力抵紧在单晶硅片上，接着通过喷头7对单晶硅片进行喷水，同时通过电动导轨二12带动滑板13进行左右方向移动，即可通过搓刷17对单晶硅片进行左右方向搓刷，左右方向搓刷完毕后，通过电机14驱动转轴15转动，使得搓刷17可以旋转，进而通过电动导轨一11带动电动导轨二12在前后方向移动，即可通过搓刷17对单晶硅片进行前后方向搓刷。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种单晶硅片水洗脱胶装置，其特征在于：包括，

固定箱(1)，所述固定箱(1)从下到上依次开设有水洗槽(2)和放置槽(3)；

所述放置槽(3)内设置有水箱(4)，所述水箱(4)与泵机(5)的进水口连通，所述泵机(5)的排水口与U型管(6)连通，所述U型管(6)上连通有两组结构相同的喷头(7)，且两组喷头(7)均位于水洗槽(2)内；

所述水洗槽(2)上设置有多孔网板(8)、夹具(9)和排水管(10)；

所述水洗槽(2)上设置有搓刷组件；

所述搓刷组件包括两组结构相同的电动导轨一(11)，两组电动导轨一(11)分别设置在水洗槽(2)的两侧内壁上，两组电动导轨一(11)的输出端均与电动导轨二(12)连接，所述电动导轨二(12)的输出端连接有滑板(13)，所述滑板(13)的底部设置有电机(14)，且电机(14)的输出轴连接有转轴(15)，所述转轴(15)的底端设置有连接板(16)，所述连接板(16)的前后两侧均设置有支撑组件，两组支撑组件的底部均与搓刷(17)连接。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片水洗脱胶装置，其特征在于：所述水洗槽(2)的前侧设置有透明门(22)。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片水洗脱胶装置，其特征在于：所述U型管(6)的两侧内壁连接在固定箱(1)的两侧上，所述U型管(6)的后侧内壁连接在固定箱(1)的后侧上。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片水洗脱胶装置，其特征在于：所述滑板(13)的底部设置有轴承架(18)，且轴承架(18)与转轴(15)转动连接。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅片水洗脱胶装置，其特征在于：所述支撑组件包括设置在连接板(16)的底部的外杆(19)，所述外杆(19)上滑动连接有内杆(20)，所述内杆(20)上设置有与外杆(19)连接的弹簧(21)。

6.根据权利要求5所述的一种单晶硅片水洗脱胶装置，其特征在于：所述内杆(20)的底部通过螺丝与搓刷(17)固定连接。