CN220104049U - 一种晶圆检测仪器 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆检测仪器，包括晶圆厚度测量仪、底座、平台、显示端、检测器和晶圆，所述晶圆厚度测量仪由底座、平台、显示端和检测器组成。该实用新型，通过晶圆厚度测量仪、底座、平台、显示端、检测器、晶圆和连接板等结构部件，通过卡紧组件在空腔内部的使用，卡紧块能够移动至连接板的内部，从而使固定块与连接板固定，实现平台与底座的组装，通过移动组件与卡紧组件的配合使用，使卡紧块能够从连接板的内部移出，从而可以使底座与平台分离，具备对晶圆厚度测量仪进行快速拆装，省时省力的优点，该一种晶圆检测仪器，解决了现有晶圆厚度测量仪的平台与底座需要通过专用工具拧动多个螺栓实现拆装，不够快速，过于费时费力的问题。

Description

一种晶圆检测仪器

技术领域

本实用新型属于晶圆检测技术领域，尤其涉及一种晶圆检测仪器。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，在制造晶圆后，需要对晶圆进行检测，对晶圆的检测设备有多种，晶圆厚度测量仪是其中一种，能够测量直径在50毫米和300毫米范围之内的晶片的厚度和整个的厚度变化，因晶圆厚度测量仪是一个电子仪器，经过长时间的使用，为了延长使用寿命和保证晶圆厚度测量仪的精准，需要对晶圆厚度测量仪定期检修，而晶圆厚度测量仪的平台与底座需要通过专用工具拧动多个螺栓进行拆装，不够快速，通过专用工具的使用会过于耗费时间，现有技术存在的问题是：晶圆厚度测量仪的平台与底座需要通过专用工具拧动多个螺栓实现拆装，不够快速，过于费时费力，因此提出一种晶圆检测仪器用以解决上述问题。

实用新型内容

针对现有技术存在的问题，本实用新型提供了一种晶圆检测仪器，具备对晶圆厚度测量仪进行快速拆装，省时省力的优点，解决了现有晶圆厚度测量仪的平台与底座需要通过专用工具拧动多个螺栓实现拆装，不够快速，过于费时费力的问题。

本实用新型是这样实现的，一种晶圆检测仪器，包括晶圆厚度测量仪、底座、平台、显示端、检测器和晶圆，所述晶圆厚度测量仪由底座、平台、显示端和检测器组成，所述底座的顶部与平台的底部紧密接触，所述显示端的底部与平台的顶部固定连接，所述检测器的后侧与显示端前侧的底部固定连接，所述晶圆的底部与平台的顶部紧密接触，所述晶圆的位于检测器的底部，所述底座的左右两侧均固定连接有连接板，所述平台内部的左右两侧均固定连接有固定块，左侧所述固定块的内部开设有空腔，所述空腔的内部分别设置有卡紧组件和移动组件。

作为本实用新型优选的，所述卡紧组件包括卡紧块和滑块，所述卡紧块和滑块的表面均与空腔的内部活动连接，所述卡紧块的右侧与滑块的左侧固定连接，所述滑块前侧的左侧固定连接有拉簧，所述拉簧的左侧与空腔内壁的左侧固定连接，所述滑块的内部活动连接有转杆且紧密接触，所述转杆底部的前侧转动连接有支撑块，所述支撑块的前侧与空腔内壁的前侧固定连接，通过设置卡紧组件，卡紧块能够通过空腔移动至连接板的内部，拉簧的使用能够使卡紧块、滑块和转杆移动后自动回弹至原位。

作为本实用新型优选的，所述移动组件包括移动杆，所述移动杆的表面与空腔的内部活动连接，所述移动杆的后侧固定连接有复位弹簧，所述复位弹簧的后侧与空腔内壁的后侧固定连接，所述移动杆的前侧固定连接有配合块，所述配合块的顶部活动连接有短杆，所述短杆的左侧与转杆的顶部活动连接，通过设置移动组件，能够使卡紧块从连接板的内部移出，复位弹簧的使用能够使移动杆、短杆和配合块移动后自动回弹至原位。

作为本实用新型优选的，所述卡紧块的内部滑动连接有控制块，所述控制块的底部与空腔内壁的底部固定连接，通过设置控制块，使卡紧块通过控制块在空腔的内部，只能向左或向右方向移动。

作为本实用新型优选的，所述移动杆的内部滑动连接有U形块，所述U形块的右侧与空腔内壁的右侧固定连接，通过设置U形块，使移动杆通过U形块在空腔的内部，只能向前或向后方向移动。

作为本实用新型优选的，所述卡紧块的左侧通过空腔依次贯穿固定块和连接板且延伸至连接板的内部，通过设置卡紧块，从空腔的内部移动至连接板的内部，从而使固定块与连接板固定，实现平台与底座的固定。

作为本实用新型优选的，所述平台内部的四角均插接连接有凸块，四个凸块的底部均与底座的顶部固定连接，通过设置四个凸块，平台与底座插接连接后，使固定效果更好，避免底座与平台的连接处出现松动。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过设置晶圆厚度测量仪、底座、平台、显示端、检测器、晶圆和连接板等结构部件，通过卡紧组件在空腔内部的使用，卡紧块能够移动至连接板的内部，从而使固定块与连接板固定，实现平台与底座的组装，通过移动组件与卡紧组件的配合使用，使卡紧块能够从连接板的内部移出，从而可以使底座与平台分离，具备对晶圆厚度测量仪进行快速拆装，省时省力的优点。

2、本实用新型通过设置晶圆厚度测量仪、底座、平台、显示端、检测器、晶圆和连接板等结构部件，在需要拆除平台，对底座的内部进行检修时，通过人力推动移动杆向前移动并使配合块向前移动，配合块在移动的过程中会使短杆向前移动，短杆的移动会使转杆旋转，使转杆的后侧通过支撑块向右方向移动，转杆的移动会使滑块向右移动并使卡紧块向右移动，使卡紧块从连接板的内部移出，从而可以使平台向上移动并与底座脱离接触，并使平台与四个凸块分离，移动杆在移动的过程中会使复位弹簧产生一个形变的力，松开移动杆后，复位弹簧会给予移动杆一个相同的力，使移动杆带动配合块、短杆和转杆回弹至原位，滑块向右移动的过程中会使拉簧产生一个形变的力，松开移动杆的同时，拉簧会给予滑块一个相同的力，使滑块带动卡紧块回弹至连接板的内部，从而可以使固定块与连接板固定，实现平台与底座的组装固定。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供平台与底座分离的立体结构图；

图3是本实用新型实施例提供固定块的俯视剖视图；

图4是本实用新型实施例提供局部结构的细化图。

图中：1、晶圆厚度测量仪；101、底座；102、平台；103、显示端；104、检测器；2、晶圆；3、连接板；4、固定块；5、空腔；6、卡紧组件；601、卡紧块；602、滑块；603、拉簧；604、转杆；605、支撑块；7、移动组件；701、移动杆；702、复位弹簧；703、配合块；704、短杆；8、控制块；9、U形块；10、凸块。

具体实施方式

为能进一步了解本实用新型的发明内容、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下。

下面结合附图对本实用新型的结构作详细的描述。

如图1至图4所示，本实用新型实施例提供的一种晶圆检测仪器，包括晶圆厚度测量仪1、底座101、平台102、显示端103、检测器104、晶圆2、连接板3、固定块4、空腔5、卡紧组件6、卡紧块601、滑块602、拉簧603、转杆604、支撑块605、移动组件7、移动杆701、复位弹簧702、配合块703、短杆704、控制块8、U形块9和凸块10，晶圆厚度测量仪1由底座101、平台102、显示端103和检测器104组成，底座101的顶部与平台102的底部紧密接触，显示端103的底部与平台102的顶部固定连接，检测器104的后侧与显示端103前侧的底部固定连接，晶圆2的底部与平台102的顶部紧密接触，晶圆2的位于检测器104的底部，底座101的左右两侧均固定连接有连接板3，平台102内部的左右两侧均固定连接有固定块4，左侧固定块4的内部开设有空腔5，空腔5的内部分别设置有卡紧组件6和移动组件7。

参考图3，卡紧组件6包括卡紧块601和滑块602，卡紧块601和滑块602的表面均与空腔5的内部活动连接，卡紧块601的右侧与滑块602的左侧固定连接，滑块602前侧的左侧固定连接有拉簧603，拉簧603的左侧与空腔5内壁的左侧固定连接，滑块602的内部活动连接有转杆604且紧密接触，转杆604底部的前侧转动连接有支撑块605，支撑块605的前侧与空腔5内壁的前侧固定连接。

采用上述方案：通过设置卡紧组件6，卡紧块601能够通过空腔5移动至连接板3的内部，拉簧603的使用能够使卡紧块601、滑块602和转杆604移动后自动回弹至原位。

参考图3，移动组件7包括移动杆701，移动杆701的表面与空腔5的内部活动连接，移动杆701的后侧固定连接有复位弹簧702，复位弹簧702的后侧与空腔5内壁的后侧固定连接，移动杆701的前侧固定连接有配合块703，配合块703的顶部活动连接有短杆704，短杆704的左侧与转杆604的顶部活动连接。

采用上述方案：通过设置移动组件7，能够使卡紧块601从连接板3的内部移出，复位弹簧702的使用能够使移动杆701、短杆704和配合块703移动后自动回弹至原位。

参考图3和图4，卡紧块601的内部滑动连接有控制块8，控制块8的底部与空腔5内壁的底部固定连接。

采用上述方案：通过设置控制块8，使卡紧块601通过控制块8在空腔5的内部，只能向左或向右方向移动。

参考图3和图4，移动杆701的内部滑动连接有U形块9，U形块9的右侧与空腔5内壁的右侧固定连接。

采用上述方案：通过设置U形块9，使移动杆701通过U形块9在空腔5的内部，只能向前或向后方向移动。

参考图1，卡紧块601的左侧通过空腔5依次贯穿固定块4和连接板3且延伸至连接板3的内部。

采用上述方案：通过设置卡紧块601，从空腔5的内部移动至连接板3的内部，从而使固定块4与连接板3固定，实现平台102与底座101的固定。

参考图1和图2，平台102内部的四角均插接连接有凸块10，四个凸块10的底部均与底座101的顶部固定连接。

采用上述方案：通过设置四个凸块10，平台102与底座101插接连接后，使固定效果更好，避免底座101与平台102的连接处出现松动。

本实用新型的工作原理：

在使用时，在需要拆除平台102，对底座101的内部进行检修时，通过人力推动移动杆701向前移动并使配合块703向前移动，配合块703在移动的过程中会使短杆704向前移动，短杆704的移动会使转杆604旋转，使转杆604的后侧通过支撑块605向右方向移动，转杆604的移动会使滑块602向右移动并使卡紧块601向右移动，使卡紧块601从连接板3的内部移出，从而可以使平台102向上移动并与底座101脱离接触，并使平台102与四个凸块10分离，移动杆701在移动的过程中会使复位弹簧702产生一个形变的力，松开移动杆701后，复位弹簧702会给予移动杆701一个相同的力，使移动杆701带动配合块703、短杆704和转杆604回弹至原位，滑块602向右移动的过程中会使拉簧603产生一个形变的力，松开移动杆701的同时，拉簧603会给予滑块602一个相同的力，使滑块602带动卡紧块601回弹至连接板3的内部，从而可以使固定块4与连接板3固定，实现平台102与底座101的组装固定。

综上所述：该一种晶圆检测仪器，通过设置晶圆厚度测量仪1、底座101、平台102、显示端103、检测器104、晶圆2、连接板3、固定块4、空腔5、卡紧组件6、卡紧块601、滑块602、拉簧603、转杆604、支撑块605、移动组件7、移动杆701、复位弹簧702、配合块703、短杆704、控制块8、U形块9和凸块10的配合使用，解决了现有不能够对晶圆厚度测量仪进行快速拆装，通过专用工具的使用，过于费时费力的问题。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种晶圆检测仪器，包括晶圆厚度测量仪(1)、底座(101)、平台(102)、显示端(103)、检测器(104)和晶圆(2)，所述晶圆厚度测量仪(1)由底座(101)、平台(102)、显示端(103)和检测器(104)组成，所述底座(101)的顶部与平台(102)的底部紧密接触，所述显示端(103)的底部与平台(102)的顶部固定连接，所述检测器(104)的后侧与显示端(103)前侧的底部固定连接，所述晶圆(2)的底部与平台(102)的顶部紧密接触，所述晶圆(2)的位于检测器(104)的底部，其特征在于：所述底座(101)的左右两侧均固定连接有连接板(3)，所述平台(102)内部的左右两侧均固定连接有固定块(4)，左侧所述固定块(4)的内部开设有空腔(5)，所述空腔(5)的内部分别设置有卡紧组件(6)和移动组件(7)。

2.如权利要求1所述的一种晶圆检测仪器，其特征在于：所述卡紧组件(6)包括卡紧块(601)和滑块(602)，所述卡紧块(601)和滑块(602)的表面均与空腔(5)的内部活动连接，所述卡紧块(601)的右侧与滑块(602)的左侧固定连接，所述滑块(602)前侧的左侧固定连接有拉簧(603)，所述拉簧(603)的左侧与空腔(5)内壁的左侧固定连接，所述滑块(602)的内部活动连接有转杆(604)且紧密接触，所述转杆(604)底部的前侧转动连接有支撑块(605)，所述支撑块(605)的前侧与空腔(5)内壁的前侧固定连接。

3.如权利要求2所述的一种晶圆检测仪器，其特征在于：所述移动组件(7)包括移动杆(701)，所述移动杆(701)的表面与空腔(5)的内部活动连接，所述移动杆(701)的后侧固定连接有复位弹簧(702)，所述复位弹簧(702)的后侧与空腔(5)内壁的后侧固定连接，所述移动杆(701)的前侧固定连接有配合块(703)，所述配合块(703)的顶部活动连接有短杆(704)，所述短杆(704)的左侧与转杆(604)的顶部活动连接。

4.如权利要求2所述的一种晶圆检测仪器，其特征在于：所述卡紧块(601)的内部滑动连接有控制块(8)，所述控制块(8)的底部与空腔(5)内壁的底部固定连接。

5.如权利要求3所述的一种晶圆检测仪器，其特征在于：所述移动杆(701)的内部滑动连接有U形块(9)，所述U形块(9)的右侧与空腔(5)内壁的右侧固定连接。

6.如权利要求2所述的一种晶圆检测仪器，其特征在于：所述卡紧块(601)的左侧通过空腔(5)依次贯穿固定块(4)和连接板(3)且延伸至连接板(3)的内部。

7.如权利要求1所述的一种晶圆检测仪器，其特征在于：所述平台(102)内部的四角均插接连接有凸块(10)，四个凸块(10)的底部均与底座(101)的顶部固定连接。