CN220040561U - 探针测试装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种探针测试装置，包括：针卡、调节机构和驱动机构，针卡上排布有多个探针；调节机构包括有连接板、第一调节组件和第二调节组件，第一调节组件包括有第一转接板和第一调节件，第一调节件连接第一转接板和连接板，并用于调节第一转接板和连接板在第一方向上的相对距离，第二调节组件包括有第二调节件，第二调节件连接针卡和第一转接板，并用于调节针卡和第一转接板在第二方向上的相对距离，第一方向和第二方向均沿水平方向且相互垂直，针卡滑动连接于第一转接板，第一转接板滑动连接于连接板；驱动机构的输出端连接连接板，并用于驱动连接板升降。本申请的探针测试装置能够调节针卡在水平方向上的坐标位置，节省调试时间。

Description

探针测试装置

技术领域

本申请涉及探针检测领域，特别涉及一种探针测试装置。

背景技术

相关技术中，通过连接有测试装置的探针对准产品的引脚或者PAD(压焊点)以进行加电测试。当产品上的待测点较多的情况下，会选用带探针的针卡的形式。探针在针卡上的排布方式与产品中测试单元上的待测点的排布方式相同。在探针下方设置有用于承载待测产品的承载台，承载台能够按照设定好的程序改变产品在水平方向上的坐标，从而方便探针依次对产品上的多个测试单元进行整排、整列的测试。承载台上产品的测试起始位置与针卡在高度方向上基本对应，但是在测试前还需要对承载台的程序数据进行进一步的调试，以使得测试单元的待测点与多个探针能够达到精准对准，但因此会使得调试过程较为繁琐。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本申请提出一种探针测试装置，能够调节针卡在水平方向上的坐标位置，节省调试时间。

根据本实用新型实施例的探针测试装置，包括：针卡、调节机构和驱动机构，所述针卡上排布有多个探针；调节机构包括有连接板、第一调节组件和第二调节组件，所述第一调节组件包括有第一转接板和第一调节件，所述第一转接板沿第一方向滑动连接于所述连接板，所述针卡沿所述第二方向滑动连接于所述第一转接板，所述第一调节件连接所述第一转接板和所述连接板，并用于调节所述第一转接板和所述连接板在第一方向上的相对位置，所述第二调节组件包括有第二调节件，所述第二调节件连接所述针卡和所述第一转接板，并用于调节所述针卡和所述第一转接板在所述第二方向上的相对位置，所述第一方向和所述第二方向均沿水平方向且相互垂直；所述驱动机构的输出端连接所述连接板，并用于驱动所述连接板升降，以使所述探针接触或远离待测点。

根据本实用新型实施例的探针测试装置，至少具有如下有益效果：这种探针测试装置包括有针卡、调节机构和驱动机构，当需要调节针卡在水平方向上的坐标时，可以通过调节第一调节件，从而调节第一转接板和连接板在第一方向上的相对距离，由于针卡连接第一转接板，因此也就调节了针卡和连接板在第一方向上的距离，再通过调节第二调节件，从而调节针卡和第一转接板在第二方向上的距离，由于第一转接板连接连接板，因此也就调节了针卡和连接板在第二方向上的距离，又因为第一方向和第二方向水平且相互垂直，因此相当于调节了针卡在水平方向上的坐标，也就能够将针卡上的探针一一对准产品测试单元上的待测点；另外，连接板连接在驱动机构的输出端，因此连接板能够在驱动机构的驱动下升降，从而也能够带动针卡进行升降，以便对测试单元一一进行测试；因此，本申请的探针测试装置能够避免对承载台的程序数据进行调试，通过调节针卡在水平方向上的坐标，即可实现探针与待测点的对准，节省了测试前的调试时间，从而提高了测试效率。

根据本实用新型的一些实施例，所述针卡的中部开设有通孔，所述探针倾斜设置且所述探针的测试端位于所述通孔下方。

根据本实用新型的一些实施例，所述第一调节组件还包括有第一弹性件，所述第一弹性件连接所述第一转接板和所述连接板，所述第一弹性件用于提供所述第一转接板相对所述连接板在所述第一方向上移动的第一弹性力，且所述第一调节件所提供的限制所述第一转接板相对所述连接板移动的阻力方向与所述第一弹性力相反，所述第二调节组件还包括有第二弹性件，所述第二弹性件连接所述第一转接板和所述针卡，所述第二弹性件用于提供所述针卡相对所述第一转接板在所述第二方向上移动的第二弹性力，且所述第二调节件所提供的限制所述针卡相对所述第一转接板移动的阻力方向与所述第二弹性力相反。

根据本实用新型的一些实施例，所述第二调节组件还包括有第二转接板，所述针卡通过所述第二转接板滑动连接于所述第一转接板，所述第一调节件沿所述第一方向螺纹连接于所述第一转接板，且所述第一调节件的一端抵接于所述连接板，所述第二调节件沿所述第二方向螺纹连接于所述第一转接板，且所述第二调节件的一端抵接于所述第二转接板。

根据本实用新型的一些实施例，还包括有第一锁紧件和第二锁紧件，所述第一锁紧件连接所述第一转接板和所述连接板，并用于锁紧所述第一转接板和所述连接板，所述第二锁紧件连接所述第一转接板和所述第二转接板，并用于锁紧所述第一转接板和所述第二转接板。

根据本实用新型的一些实施例，所述探针测试装置还包括有夹持组件，所述针卡通过所述夹持组件设于所述第二转接板，所述夹持组件包括有针盘和第三锁紧件，所述第三锁紧件用于将所述针卡锁紧于所述针盘。

根据本实用新型的一些实施例，所述驱动机构包括分别设于所述连接板两侧的第一驱动组件和第二驱动组件，所述第一驱动组件和第二驱动组件中至少有一个设有驱动件，所述驱动件用于驱动所述连接板升降，所述第一驱动组件包括有第三导向结构，所述第二驱动组件包括有第四导向结构，所述第三导向结构和所述第四导向结构分别连接所述连接板的两侧，以使所述连接板的两侧均能够沿竖直方向升降。

根据本实用新型的一些实施例，所述驱动机构还包括有第一丝杠组件，所述第一丝杠组件所设数量与所述驱动件一致，且包括有第一丝杠和螺纹连接于所述第一丝杠的第一螺母，所述第一螺母与所述连接板固定，所述第一丝杠连接所述驱动件的输出端，并能够在所述驱动件的驱动下带动所述第一螺母升降。

根据本实用新型的一些实施例，所述驱动机构还包括有第一同步带组件，所述第一同步带组件所设数量与所述驱动件一致，所述第一同步带组件连接所述驱动件的输出端和所述第一丝杠。

根据本实用新型的一些实施例，还包括有第二同步带组件，所述第一驱动组件包括有第二丝杠组件，所述第二驱动组件包括有第三丝杠组件，所述第一驱动组件和第二驱动组件中的其中一个设置驱动件，所述第二丝杠组件包括有第二丝杠和螺纹连接于所述第二丝杠的第二螺母，所述第三丝杠组件包括有第三丝杠和螺纹连接于所述第三丝杠的第三螺母，所述第二丝杠和所述第三丝杠通过所述第二同步带组件传动连接，所述第二螺母和所述第三螺母分别与所述连接板的两侧固接，所述驱动件的输出端连接所述第二丝杠或第三丝杠，并能够在所述驱动件的驱动下带动所述第二螺母和所述第三螺母升降。

本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明，其中：

图1为本实用新型其中一实施例的探针测试装置的整体结构示意图；

图2为图1中所示的探针测试装置去除工作台和驱动机构后的结构示意图；

图3为图1中所示的探针测试装置去除工作台、驱动机构和连接板后的结构示意图；

图4为图1中所示的探针测试装置的侧视图；

图5为图4中所示的探针测试装置的剖视图A-A；

图6为图1中所示的探针测试装置中的夹持组件的结构示意图；

图7为本实用新型另一实施例的探针测试装置的整体结构示意图；

图8为图7中所示的探针测试装置的侧视图；

图9为图8中所示的探针测试装置的剖视图B-B。

附图标记：

针卡100；探针110；通孔120；调节机构200；驱动机构300；连接板400；第一调节件510；第一转接板520；第一弹性件530；第一导向结构540；第一锁紧件550；第二调节件610；第二转接板620；第二弹性件630；第二导向结构640；第二锁紧件650；夹持组件700；针盘710；托沿711；第三锁紧件720；直角压板730；第一驱动组件800；第三导向结构810；驱动件820；第一丝杠组件830；第一丝杠831；第一螺母832；第二丝杠组件840；第二丝杠841；第二螺母842；第二驱动组件900；第四导向结构910；第三丝杠组件920；第三丝杠921；第三螺母922；第一同步带组件1000；第一同步轮1001；第二同步轮1002；第一同步带1003；第二同步带组件1100；第一带轮1110；第二带轮1120；第二同步带1130；工作台1200；导向轮1210。

具体实施方式

下面详细描述本申请的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能理解为对本申请的限制。

在本申请的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

在本申请的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本申请的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本申请中的具体含义。

本申请的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

下面参考图1至图9描述本实用新型实施例的探针测试装置。

如图1至图3所示，根据本实用新型实施例的探针测试装置，包括：针卡100、调节机构200和驱动机构300，针卡100上排布有多个探针110；调节机构200包括有连接板400、第一调节组件和第二调节组件，针卡100沿第二方向滑动连接于第一转接板520，第一转接板520沿第一方向滑动连接于连接板400；第一调节组件包括有第一转接板520和第一调节件510，第一调节件510连接第一转接板520和连接板400，并用于调节第一转接板520和连接板400在第一方向上的相对位置，第二调节组件包括有第二调节件610，第二调节件610连接针卡100和第一转接板520，并用于调节针卡100和第一转接板520在第二方向上的相对位置，第一方向和第二方向均沿水平方向且相互垂直，驱动机构300的输出端连接连接板400，并用于驱动连接板400升降，以使探针110接触或远离待测点。

可以理解的是，这种探针测试装置包括有针卡100、调节机构200和驱动机构300，当需要调节针卡100在水平方向上的坐标时，可以通过调节第一调节件510，从而调节第一转接板520和连接板400在第一方向上的相对距离，由于针卡100连接第一转接板520，因此也就调节了针卡100和连接板400在第一方向上的距离，再通过调节第二调节件610，从而调节针卡100和第一转接板520在第二方向上的距离，由于第一转接板520连接连接板400，因此也就调节了针卡100和连接板400在第二方向上的距离，又因为第一方向和第二方向水平且相互垂直，因此相当于调节了针卡100在水平方向上的坐标，也就能够将针卡100上的探针110一一对准产品测试单元上的待测点；另外，连接板400连接在驱动机构300的输出端，因此连接板400能够在驱动机构300的驱动下升降，从而也能够带动针卡100进行升降，以便对测试单元一一进行测试；因此，本申请的探针测试装置能够避免对承载台的程序数据进行调试，通过调节针卡100在水平方向上的坐标，即可实现探针110与待测点的对准，节省了测试前的调试时间，从而提高了测试效率。

可以理解的是，针卡100的中部开设有通孔120，探针110倾斜设置且探针110的测试端位于通孔120下方。例如，如图2所示，在本实施例中，在探针110的中部开设通孔120，并且探针110的测试端在竖直方向上均对应于通孔120，因此，在调节探针110和测试点在水平方向上对准的过程中，方便从上方判断对准情况并进行相应调节。

应当理解的是，可以在针卡100正上方设置CCD相机，从而方便判断探针110和测试点的对准情况。

可以理解的是，第一调节组件还包括有第一弹性件530，第一弹性件530连接第一转接板520和连接板400，第一弹性件530用于提供第一转接板520相对连接板400在第一方向上移动的第一弹性力，且第一调节件510所提供的限制第一转接板520相对连接板400移动的阻力方向与第一弹性力相反，第二调节组件还包括有第二弹性件630，第二弹性件630连接第一转接板520和针卡100，第二弹性件630用于提供针卡100相对第一转接板520在第二方向上移动的第二弹性力，且第二调节件610所提供的限制针卡100相对第一转接板520移动的阻力方向与第二弹性力相反。例如，如图2至图3所示，在本实施例中，第一调节组件还包括有第一弹性件530，第一弹性件530用于提供第一转接板520和连接板400在第一方向上相对移动的第一弹性力，而第一调节件510能够提供限制第一转接板520和连接板400在第一方向上相对移动的阻力，并且第一调节件510所提供的的阻力方向与第一弹性力相反，因此调节第一调节件510调节第一转接板520和连接板400在第一方向上的相对位置后，第一连接板400能够在第一调节件510所提供的的阻力与第一弹性力的作用下相对连接板400保持平衡；第二调节组件还包括有第二弹性件630，第二弹性件630用于提供针卡100和第一转接板520在第二方向上相对移动的第二弹性力，第二调节件610用于提供限制针卡100和第一转接板520在第二方向上相对移动的阻力，并且第二调节件610所提供的的阻力方向与第二弹性力的方向相反，因此针卡100能够在第二调节件610提供的阻力和第二弹性力的共同作用下，相对第一转接板520保持平衡。

应当理解的是，除了上述实施例中的第一调节件510和第一弹性件530相互配合的形式实现连接板400和第一转接板520在第一方向上相对的位置的调节外，还可以通过在第一转接板520的两侧均设置第一调节件510的形式，从而实现第一转接板520和连接板400在第一方向上相对位置的调节。同样的，第一转接板520和针卡100之间也可以设置两个第二调节件610的形式，实现第一转接板520和针卡100在第二方向上相对位置的调节。

可以理解的是，第二调节组件还包括有第二转接板620，针卡100通过第二转接板620滑动连接于第一转接板520，第一调节件510沿第一方向螺纹连接于第一转接板520，且第一调节件510的一端抵接于连接板400，第二调节件610沿第二方向螺纹连接于第一转接板520，且第二调节件610的一端抵接于第二转接板620。例如，如图2至图3所示，在本实施例中，第一调节件510沿第一方向螺纹连接于第一转接板520，并且第一调节件510的一端抵接于连接板400，从而通过第一调节件510旋入第一转接板520的长度，从而调节第一转接板520和连接板400在第一方向上的相对位置；第二调节件610沿第二方向螺纹连接于第一转接板520，并且第二调节件610的一端抵接于第二转接板620，从而通过调节第二调节件610旋入第一转接板520的长度，从而调节第一转接板520和第二转接板620在第二方向上的相对位置，以及调节第一转接板520和针卡100在第二方向上的相对位置。

应当理解的是，第一调节件510螺纹连接于第一转接板520的第一连接部，第一调节件510的一端抵接于连接板400的第二连接部，第一弹性件530为拉簧，也设于第一连接部和第二连接部之间，从而第一连接部在拉簧的作用下具有向第二连接部靠近的趋势，但是由于第一调节件510的一端抵接于第二连接部，从而实现了第一转接板520和连接板400之间在第一方向上的定位。

应当理解的是，第二调节件610螺纹连接于第一转接板520的第三连接部，第二调节件610的一端抵接于第二转接板620的第四连接部，第二弹性件630为拉簧，也设于第三连接部和第四连接部之间，从而第四连接部在拉簧的作用下具有向第三连接部靠近的趋势，但是由于第二调节件610的一端抵接于第四连接部，从而实现了第一转接板520和第二转接板620之间在第二方向上的定位。

应当理解的是，在本实施例中，探针测试装置还包括有第一导向结构540和第二导向结构640，第一导向结构540设于第一转接板520和连接板400之间，从而能够实现第一转接板520相对连接板400在第一方向移动时能够沿直线移动，第二导向结构640设于第二转接板620和第一转接板520之间，从而能够实现第二转接板620相对第一转接板520在第二方向上移动时也能沿直线移动。

可以理解的是，还包括有第一锁紧件550和第二锁紧件650，第一锁紧件550连接第一转接板520和连接板400，并用于锁紧第一转接板520和连接板400，第二锁紧件650连接第一转接板520和第二转接板620，并用于锁紧第一转接板520和第二转接板620。例如，如图2至图3所示，在本实施例中，第一锁紧件550用于在第一调节组件调节完成后锁紧连接板400和第一转接板520，以进一步限制第一转接板520和连接板400在第一方向上的相对移动；第二锁紧件650用于在第二调节组件调节完成后锁紧第二连接板400和第一连接板400，从而进一步限制第二连接板400和第一连接板400在第二方向上的相对移动。

具体地，连接板400上固设有第一连接耳，第一连接耳设有沿第一方向设置的第一腰型孔，第一锁紧件550穿过第一腰型孔，并螺纹连接于第一转接板520，从而在调节第一转接板520和连接板400在第一方向上的相对位置后，能够通过第一锁紧件550实现第一转接板520和连接板400之间的锁紧固定。

具体地，连接板400上固设有第二连接耳，第二连接耳设有沿第二方向设置的第二腰型孔，第一转接板520设有过孔，第二锁紧件650依次穿过第二腰型孔和过孔后，螺纹连接于第二转接板620，从而实现第二转接板620和连接板400之间的锁紧固定。

可以理解的是，探针测试装置还包括有夹持组件700，针卡100通过夹持组件700设于第二转接板620，夹持组件700包括有针盘710和第三锁紧件720，第三锁紧件720用于将针卡100锁紧于针盘710。例如，如图1、图6所示，在本实施例中，通过第三锁紧件720将针卡100锁紧于针盘710，从而限制了针卡100相对针盘710的移动，又因为针卡100通过夹持组件700设于第二转接板620，从而实现针卡100固定连接于第二转接板620。

应当理解的是，夹持组件700还包括有直角板，针盘710的中部下沉并设有用于承托针卡100的托沿711，直角板的第一板用于抵接于针卡100上端面，直角板的第二板覆盖于针盘710上端面，第三锁紧件720穿过直角板的第二板，并与针盘710螺纹连接，从而将针卡100夹紧在直角板第二板和针盘710之间的托沿711之间。

应当理解的是，连接板400、第一转接板520、第二转接板620以及针盘710均为中空的框状，针卡100夹紧悬空在针盘710中空的部位，从而一方面便于从中部确认探针110与监测点的对准情况，另一方便也能够提高驱动连接板400升降的平衡度。

可以理解的是，驱动机构300包括分别设于连接板400两侧的第一驱动组件800和第二驱动组件900，第一驱动组件800和第二驱动组件900中至少有一个设有驱动件820，驱动件820用于驱动连接板400升降，第一驱动组件800包括有第三导向结构810，第二驱动组件900包括有第四导向结构910，第三导向结构810和第四导向结构910分别连接连接板400的两侧，以使连接板400的两侧均能够沿竖直方向升降。例如，如图1、图4至图5所示，在本实施例中，连接板400的两侧分别设置有第一驱动组件800和第二驱动组件900，第一驱动组件800和第二驱动组件900中至少有一个设有驱动件820，通过驱动件820能够驱动连接板400的升降，并且第一驱动组件800设有第三导向结构810，第二驱动组件900设有第四导向结构910，从而使得驱动件820驱动连接板400升降时，能够沿竖直方向。

可以理解的是，所述驱动机构300还包括有第一丝杠组件830，所述第一丝杠组件830所设数量与所述驱动件820一致，且包括有第一丝杠831和螺纹连接于所述第一丝杠831的第一螺母832，所述第一螺母832与所述连接板400固定，所述第一丝杠831连接所述驱动件820的输出端，并能够在所述驱动件820的驱动下带动所述第一螺母832升降。例如，如图4至图5所示，在本实施例中，第一丝杠组件830设置数量和驱动件820一致，从而驱动件820和第一丝杠组件830的形式有如下两种情况，第一种是在第一驱动组件800或第二驱动组件900中的其中一个设置驱动件820，第一丝杠组件830也仅设置一组，驱动件820通过第一丝杠组件830驱动连接板400的升降；第二种是在第一驱动组件800和第二驱动组件900中均设置驱动件820，第一丝杠组件830也对应设置两组，从而两个驱动件820分别通过第一丝杠组件830同时驱动连接板400的两侧升降。

可以理解的是，所述驱动机构300还包括有第一同步带组件1000，所述第一同步带组件1000所设数量与所述驱动件820一致，所述第一同步带组件1000连接所述驱动件820的输出端和所述第一丝杠831。例如，如图4至图5所示，在本实施例中，探针测试装置还包括有第一同步带组件1000，第一同步带组件1000设置的数量和驱动件820一致，驱动件820的输出端通过第一同步带组件1000连接第一丝杠831，并能够驱动第一丝杠831旋转，第一螺母832与连接板400固定，从而在驱动件820的驱动下能够驱动第一丝杠831带动螺母升降，从而实现探针110下降与检测点接触，或者探针110抬起，与检测点分离的过程。

应当理解的是，设置第一同步带组件1000的形式也会分为如下两种情况，一种是当第一驱动组件800和第二驱动组件900中的其中一个设置驱动件820时，第一同步带组件1000也设置一个，并且第一同步带组件1000连接在驱动件820和第一丝杠组件830之间；另一种情况是第一驱动组件800和第二驱动组件900各设有一个驱动件820，第一同步带组件1000设有两个，从而分别实现对连接板400两端的驱动。

具体地，第一同步带组件1000包括有相互传动连接的第一同步轮1001、第二同步轮1002和第一同步带1003，第一同步轮1001连接于驱动件820的输出端，第二同步轮1002与第一丝杠831固定，从而在驱动件820驱动第一同步轮1001转动时，第二同步轮1002能够带动第一丝杠831转动，从而使得第一螺母832能够带动连接板400升降。

可以理解的是，还包括有第二同步带组件1100，第一驱动组件800包括有第二丝杠组件840，第二驱动组件900包括有第三丝杠组件920，第一驱动组件800和第二驱动组件900中的其中一个设置驱动件820，第二丝杠组件840包括有第二丝杠841和螺纹连接于第二丝杠841的第二螺母842，第三丝杠组件920包括有第三丝杠921和螺纹连接于第三丝杠921的第三螺母922，第二丝杠841和第三丝杠921通过第二同步带组件1100传动连接，第二螺母842和第三螺母922分别与连接板400的两侧固接，驱动件820的输出端连接第二丝杠841或第三丝杠921，并能够在驱动件820的驱动下带动第二螺母842和第三螺母922升降。例如，如图7至图9所示，在本实施例中，这种探针测试装置还包括有第二同步带组件1100，驱动件820设于第一驱动组件800和第二驱动组件900中的其中一个，第二丝杠841和第三丝杠921通过第二同步带组件1100传动连接，第二螺母842和第三螺母922分别连接连接板400的两侧，从而在驱动件820的驱动下，第二丝杠841和第三丝杠921转动，并能够使得第二螺母842和第三螺母922带动连接板400升降。

具体地，第二同步带组件1100包括有相互传动连接的第一带轮1110、第二带轮1120和第二同步带1130，第一带轮1110和第二丝杠841固定，第二带轮1120和第三丝杠921固定，因此无论驱动件820连接第二丝杠841还是第三丝杠921，均能够通过第二同步带组件1100带动另一丝杠转动。

应当理解的是，设置第二同步带组件1100的形式也包括如下两种情况，一种是驱动件820的输出端直接连接第二丝杠841或第三丝杠921的形式，另一种是驱动件820的输出端通过第三同步带组件连接第二丝杠841或第三丝杠921的形式。

应当理解的是，驱动件820固定在工作台1200上，工作台1200中部设有避让孔，以供连接板400、第一调节组件、第二调节组件以及针卡100穿过。工作台1200上还设有两个导向轮1210，两个导向轮1210设于第二同步带1130，以避免第二同步带1130与连接板400、第一调节组件、第二调节组件的干涉。

上面结合附图对本申请实施例作了详细说明，但是本申请不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本申请宗旨的前提下作出各种变化。此外，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

Claims (10)

1.探针测试装置，其特征在于，包括：

针卡(100)，所述针卡(100)上排布有多个探针(110)；

调节机构(200)，包括有连接板(400)、第一调节组件和第二调节组件，所述第一调节组件包括有第一转接板和第一调节件(510)，所述第一转接板(520)沿第一方向滑动连接于所述连接板(400)，所述针卡(100)沿第二方向滑动连接于所述第一转接板(520)，所述第一调节件(510)连接所述第一转接板(520)和所述连接板(400)，并用于调节所述第一转接板(520)和所述连接板(400)在第一方向上的相对位置，所述第二调节组件包括有第二调节件(610)，所述第二调节件(610)连接所述针卡(100)和所述第一转接板(520)，并用于调节所述针卡(100)和所述第一转接板(520)在所述第二方向上的相对位置，所述第一方向和所述第二方向均沿水平方向且相互垂直；

驱动机构(300)，所述驱动机构(300)的输出端连接所述连接板(400)，并用于驱动所述连接板(400)升降，以使所述探针(110)接触或远离待测点。

2.根据权利要求1所述的探针测试装置，其特征在于，所述针卡(100)的中部开设有通孔(120)，所述探针(110)倾斜设置且所述探针(110)的测试端位于所述通孔(120)下方。

3.根据权利要求1所述的探针测试装置，其特征在于，所述第一调节组件还包括有第一弹性件(530)，所述第一弹性件(530)连接所述第一转接板(520)和所述连接板(400)，所述第一弹性件(530)用于提供所述第一转接板(520)相对所述连接板(400)在所述第一方向上移动的第一弹性力，且所述第一调节件(510)所提供的限制所述第一转接板(520)相对所述连接板(400)移动的阻力方向与所述第一弹性力相反，所述第二调节组件还包括有第二弹性件(630)，所述第二弹性件(630)连接所述第一转接板(520)和所述针卡(100)，所述第二弹性件(630)用于提供所述针卡(100)相对所述第一转接板(520)在所述第二方向上移动的第二弹性力，且所述第二调节件(610)所提供的限制所述针卡(100)相对所述第一转接板(520)移动的阻力方向与所述第二弹性力相反。

4.根据权利要求3所述的探针测试装置，其特征在于，所述第二调节组件还包括有第二转接板(620)，所述针卡(100)通过所述第二转接板(620)滑动连接于所述第一转接板(520)，所述第一调节件(510)沿所述第一方向螺纹连接于所述第一转接板(520)，且所述第一调节件(510)的一端抵接于所述连接板(400)，所述第二调节件(610)沿所述第二方向螺纹连接于所述第一转接板(520)，且所述第二调节件(610)的一端抵接于所述第二转接板(620)。

5.根据权利要求4所述的探针测试装置，其特征在于，还包括有第一锁紧件(550)和第二锁紧件(650)，所述第一锁紧件(550)连接所述第一转接板(520)和所述连接板(400)，并用于锁紧所述第一转接板(520)和所述连接板(400)，所述第二锁紧件(650)连接所述第一转接板(520)和所述第二转接板(620)，并用于锁紧所述第一转接板(520)和所述第二转接板(620)。

6.根据权利要求4所述的探针测试装置，其特征在于，所述探针测试装置还包括有夹持组件(700)，所述针卡(100)通过所述夹持组件(700)设于所述第二转接板(620)，所述夹持组件(700)包括有针盘(710)和第三锁紧件(720)，所述第三锁紧件(720)用于将所述针卡(100)锁紧于所述针盘(710)。

7.根据权利要求1所述的探针测试装置，其特征在于，所述驱动机构(300)包括分别设于所述连接板(400)两侧的第一驱动组件(800)和第二驱动组件(900)，所述第一驱动组件(800)和第二驱动组件(900)中至少有一个设有驱动件(820)，所述驱动件(820)用于驱动所述连接板(400)升降，所述第一驱动组件(800)包括有第三导向结构(810)，所述第二驱动组件(900)包括有第四导向结构(910)，所述第三导向结构(810)和所述第四导向结构(910)分别连接所述连接板(400)的两侧，以使所述连接板(400)的两侧均能够沿竖直方向升降。

8.根据权利要求7所述的探针测试装置，其特征在于，所述驱动机构(300)还包括有第一丝杠组件(830)，所述第一丝杠组件(830)所设数量与所述驱动件(820)一致，且包括有第一丝杠(831)和螺纹连接于所述第一丝杠(831)的第一螺母(832)，所述第一螺母(832)与所述连接板(400)固定，所述第一丝杠(831)连接所述驱动件(820)的输出端，并能够在所述驱动件(820)的驱动下带动所述第一螺母(832)升降。

9.根据权利要求8所述的探针测试装置，其特征在于，所述驱动机构(300)还包括有第一同步带组件(1000)，所述第一同步带组件(1000)所设数量与所述驱动件(820)一致，所述第一同步带组件(1000)连接所述驱动件(820)的输出端和所述第一丝杠(831)。

10.根据权利要求7所述的探针测试装置，其特征在于，还包括有第二同步带组件(1100)，所述第一驱动组件(800)包括有第二丝杠组件(840)，所述第二驱动组件(900)包括有第三丝杠组件(920)，所述第一驱动组件(800)和第二驱动组件(900)中的其中一个设置驱动件(820)，所述第二丝杠组件(840)包括有第二丝杠(841)和螺纹连接于所述第二丝杠(841)的第二螺母(842)，所述第三丝杠组件(920)包括有第三丝杠(921)和螺纹连接于所述第三丝杠(921)的第三螺母(922)，所述第二丝杠(841)和所述第三丝杠(921)通过所述第二同步带组件(1100)传动连接，所述第二螺母(842)和所述第三螺母(922)分别与所述连接板(400)的两侧固接，所述驱动件(820)的输出端连接所述第二丝杠(841)或第三丝杠(921)，并能够在所述驱动件(820)的驱动下带动所述第二螺母(842)和所述第三螺母(922)升降。