CN219969125U - 一种直线机构及真空贴合设备 - Google Patents

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CN219969125U CN202321155116.3U CN202321155116U CN219969125U CN 219969125 U CN219969125 U CN 219969125U CN 202321155116 U CN202321155116 U CN 202321155116U CN 219969125 U CN219969125 U CN 219969125U
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王志红
杨任明
杨泽宁
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Shenzhen Jingdao Technology Co ltd
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Shenzhen Jingdao Technology Co ltd
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Abstract

本申请提供了一种直线机构及真空贴合设备,真空贴合设备包括真空腔体及直线机构;真空腔体中设有安装座,直线机构设于真空腔体之外;直线机构包括驱动结构、传动件、连接组件及保持组件;驱动结构能够输出直线运动,传动件安装于驱动结构的输出端,连接组件用于伸入真空腔体中以与安装座连接;传动件与连接组件弹性抵接,保持组件连接于驱动结构与连接组件之间以使传动件与连接组件保持弹性抵接。本申请的直线机构,由于传动件与连接组件之间保持弹性抵接,使得即使安装座有位置偏移或偏转,也不会改变连接组件与安装座的连接位置,从而使得连接组件与安装座之间可以为固定连接,连接简单且可靠。

Description

一种直线机构及真空贴合设备
技术领域
本申请属于贴合技术领域,更具体地说,是涉及一种直线机构及真空贴合设备。
背景技术
在生产制造中,经常需要将两个待贴合件贴合在一起,例如将两块玻璃相互贴合,或者是将玻璃和保护膜相互贴合。同时,为了保证贴合后两者之间没有气泡,可以采用在真空腔体中进行贴合。此外,为了保证两个待贴合件能够上下对准,一般还会需要设置调节装置,通过调节装置调节至少一个待贴合件的位置以使两个待贴合件精准贴合。待贴合件一般安装于安装座上,调节装置一般会包括直线机构,通过直线机构调节安装座的位移,但是由于安装座会发生偏移或偏转,则会导致直接机构与安装座的连接位置发生改变,最终导致直线机构与安装座连接难道大。
实用新型内容
本申请实施例的目的在于提供一种直线机构及真空贴合设备,以解决现有技术中存在的直线机构与安装座连接的难道较大的技术问题。
为实现上述目的,本申请采用的技术方案是:提供一种直线机构,包括驱动结构、传动件、连接组件及保持组件;所述驱动结构能够输出直线运动,所述传动件安装于所述驱动结构的输出端,所述连接组件用于与被驱动件连接;所述传动件与所述连接组件弹性抵接,所述保持组件连接于所述驱动结构与所述连接组件之间以使所述传动件与所述连接组件保持弹性抵接。
在一种可能的设计中,所述传动件的用于与所述连接组件相抵接的面为圆柱面,所述连接组件的用于与所述传动件相抵接的面为平面;
或者,所述传动件的用于与所述连接组件相抵接的面为平面,所述连接组件的用于与所述传动件相抵接的面为圆柱面。
在一种可能的设计中,所述传动件为圆柱体,所述传动件通过转轴转动设于所述驱动结构的输出端。
在一种可能的设计中,所述连接组件包括接触件及连接件,所述接触件可拆卸地安装于所述连接件上,所述接触件与所述传动件弹性抵接,所述保持组件连接于所述驱动结构与连接件之间。
在一种可能的设计中,所述保持组件包括拉杆、限位板及弹性件;所述限位板安装于所述驱动结构的输出端并与所述连接组件相对间隔设置,所述拉杆的一端与所述连接组件连接,所述限位板上形成有穿孔,所述拉杆的另一端轴向贯穿所述穿孔设置,所述弹性件的一端固定于所述拉杆上,所述弹性件的另一端抵接于所述限位板背离所述连接组件的一侧。
在一种可能的设计中,所述拉杆包括第一拉杆部和第二拉杆部,所述第一拉杆部的一端安装于所述连接组件上,所述第一拉杆部的另一端设有球体;所述第二拉杆部的一端贯穿所述穿孔设置,所述第二拉杆部的另一端形成有球形槽,所述球体与所述球形槽形成球副连接。
在一种可能的设计中,所述驱动结构为滚柱丝杆结构、直线电机或螺杆螺母结构。
本申请提供的直线机构的有益效果在于:本申请实施例提供的直线机构,由于传动件与连接组件在保持组件的作用下保持弹性抵接,使得连接组件能够跟随传动件进行直线运动,从而可以带动与连接组件相连接的被驱动件做直线移动。同时,由于传动件与连接组件之间为弹性抵接,则当被驱动件发生位置偏移或偏转时,连接组件能够跟随被驱动件做相应的偏移或偏转,且连接组件还能够保持与传动件弹性抵接,使得连接组件与被驱动件之间的连接位置不会改变,从而可以将连接组件直接与被驱动件进行固定连接,进而使得连接组件与被驱动件之间的连接简单且可靠。
另一方面,本申请还提供了一种真空贴合设备,包括真空腔体及上述直线机构;所述真空腔体中设有安装座,所述直线机构设于所述真空腔体之外,所述直线机构的所述连接组件伸入所述真空腔体中以与所述安装座连接。
在一种可能的设计中,所述真空腔体上开设有安装孔,所述连接组件包括连接件及接触件,所述接触件可拆卸地安装于所述连接件上,所述接触件与所述传动件弹性抵接;所述连接件贯穿所述安装孔设置,所述安装孔的内径大于所述连接件对应所述安装孔位置的外径;所述真空贴合设备还包括密封结构,所述密封结构套设于所述连接件之外并使得所述连接件与所述真空腔体之间形成密封连接。
在一种可能的设计中,所述连接件包括安装板及连接轴,所述连接轴的一端与所述安装板固定连接,所述连接轴的另一端贯穿所述安装孔并与所述安装座连接,所述安装孔的内径大于所述连接轴的外径;所述密封结构套设于所述连接轴之外并与所述连接轴沿径向间隔设置,所述密封结构的一端与所述安装板密封连接,所述密封结构的另一端与所述真空腔体的外侧壁密封连接。
本申请提供的真空贴合设备的有益效果在于:本申请实施例提供的真空贴合设备,通过上述直线机构的设置,使得可以在真空腔体之外对安装座的位置进行微调,节约了真空腔体的体积,节约了真空泵的耗能。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本申请实施例提供真空贴合设备的直线机构与真空腔体的俯视示意图;
图2为本申请实施例提供的直线机构的立体示意图;
图3为图2中直线机构的侧面示意图;
图4为图2中直线机构的平行于拉杆轴线的纵向剖视示意图;
图5为图1中直线机构与真空腔体的纵向示意图;
图6为图5中A局部的放大示意图;
图7为本申请实施例提供的真空贴合设备的立体示意图。
其中,图中各附图标记:
1、直线机构;11、驱动结构;111、电机;112、螺杆;113、螺母;114、基板;115、安装块;12、传动件;13、连接组件;131、接触件;132、连接件;1321、安装板;1322、连接轴;14、保持组件;141、拉杆;1411、第一连接部;1412、第二连接部;1413、球体;1414、球形槽;142、限位板;1421、穿孔;143、弹性件;15、转轴;2、真空腔体;21、上腔体;22、下腔体;25、安装孔;3、上安装座;4、下安装座;5、密封结构;51、套管;511、第一边沿;512、第二边沿;52、第一压盖;53、第二压盖;54、第一密封圈;55、第二密封圈。
具体实施方式
为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本申请进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请,并不用于限定本申请。
需要说明的是,当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
需要理解的是,术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。
此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
请参阅图1及图2,现对本申请实施例提供的直线机构1进行说明。该直线机构1与安装座连接,并用于驱动安装座直线移动。可以理解地,在本申请的其他实施例中,该直线机构1也可以与其他结构连接,例如用于与某个需要微调位移和偏转的平台连接,此处不做唯一限定。
请参阅图2及图3,直线机构1包括驱动结构11、传动件12、连接组件13及保持组件14;驱动结构11能够输出直线运动,传动件12安装于驱动结构11的输出端,连接组件13用于与被驱动件连接;传动件12与连接组件13弹性抵接,保持组件14连接于驱动结构11与连接组件13之间使得传动件12与连接组件13保持弹性抵接。
其中,由于传动件12安装于驱动结构11的输出端,因此传动件12能够被驱动结构11带动做直线运动。同时,由于传动件12与连接组件13在保持组件14的作用下保持弹性抵接,使得连接组件13能够跟随传动件12进行直线运动,从而可以带动与连接组件13相连接的被驱动件(例如本申请中的安装座)做直线移动。同时,由于传动件12与连接组件13之间为弹性抵接,则当被驱动件发生位置偏移或偏转时,连接组件13能够跟随被驱动件做相应的偏移或偏转,且连接组件13还能够保持与传动件12弹性抵接,使得连接组件13与被驱动件之间的连接位置不会改变,从而可以将连接组件13直接与被驱动件进行固定连接,进而使得连接组件13与被驱动件之间的连接简单且可靠。
在一个实施例中,请参阅图3及图4,传动件12的用于与连接组件13相抵接的面为圆柱面,连接组件13的用于与传动件12相抵接的面为平面,也即是传动件12与连接组件13是通过圆柱面与平面相抵接,则无论连接组件13是产生平移还是偏转,传动件12与连接组件13之间均匀线连接,接触面积保持不变,传动力保持不变。可以理解地,在本申请的其他实施例中,也可以将传动件12的用于与连接组件13相抵接的面为平面,连接组件13的用于与传动件12相抵接的面为圆柱面,此处不做唯一限定。
在一个实施例中,请参阅图3至图5,传动件12为圆柱体,传动件12通过转轴15转动设于驱动结构11的输出端,则当连接组件13跟随被驱动件偏移或偏转时,传动件12会跟随传动件12进行转动,从而避免连接组件13相对传动件12产生摩擦,减低磨损。
具体的,在本实施例中,由于安装座将会发生水平移动或偏转,因此转轴15应该竖直设置,将转轴15的轴线与连接组件13的偏移方向相垂直,从而使得当连接组件13发生偏移时能够带动传动件12跟随连接组件13旋转。
请参阅图5,驱动结构11的输出端设有安装块115,转轴15的相对两端分别安装于安装块115上,传动件12转动套设于转轴15上。
在本实施例中,由于传动件12与连接组件13之间会产生摩擦,为了保证传动件12的耐磨损能力,可以将传动件12的直径设计为相对大些,并将传动件12采用耐磨损的材料制成。
在一个实施例中,请参阅图3至图5,连接组件13包括接触件131及连接件132,接触件131可拆卸地安装于连接件132上,接触件131与传动件12弹性抵接,保持组件14连接于传动件12与连接件132之间。
本实施例中,通过将接触件131可拆卸地安装于连接件132上,则当接触件131由于与传动件12长期摩擦产生磨损时,可以将接触件131从连接件132上拆卸下来进行更换,如此可保证连接组件13的使用寿命,进而保证整个直线机构1的使用寿命。
在本实施例中,由于被驱动件的偏移和偏转均是微调,因此传动件12与接触件131之间的相对位移也比较小,因此可以将接触件131的尺寸设计的相对连接件132小,节约成本。
在一个实施例中,请参阅图2至图4,保持组件14包括拉杆141、限位板142及弹性件143;限位板142安装于驱动结构11的输出端并与连接组件13相对间隔设置,拉杆141的一端与连接组件13连接,限位板142上形成有穿孔1421,拉杆141的另一端轴向贯穿穿孔1421设置,弹性件143的一端固定于拉杆141上,弹性件143的另一端抵接于限位板142背离连接组件13的一侧。
其中,穿孔1421的内径大于拉杆141的外径,从而使得当拉杆141跟随连接组件13发生偏移或偏转时,拉杆141能够在穿孔1421处进行偏移或偏转。
当连接组件13具有远离限位板142的偏移,则拉杆141带动弹性件143的一端向限位板142方向移动,弹性件143的相对两端之间的间距减小,弹性件143压缩,从而对拉杆141具有向限位板142方向的拉动力,从而使得连接组件13与驱动结构11的输出端的传动件12保持弹性抵接,进而保证传动件12与连接组件13之间的运动传递;当连接组件13具有靠近限位板142的偏移,则拉杆141带动弹性件143的一端向远离限位板142方向移动,弹性件143的相对两端之间的间距增大,弹性件143压缩,从而对拉杆141具有向远离限位板142方向的推动力,进而使得连接组件13能够跟随限位板142一起运动。
在一个实施例中,请参阅图4,拉杆141包括第一连接部1411和第二连接部1412,第一连接部1411的一端安装于连接组件13上,第一连接部1411的另一端设有球体1413;第二连接部1412的一端贯穿穿孔1421设置,第二连接部1412的另一端形成有球形槽1414,球体1413与球形槽1414形成球副连接。
当连接组件13发生偏转时,球体1413会在球形槽1414中转动,从而使得连接组件13与驱动结构11的输出端的传动件12始终保持抵接。
在一个实施例中,请参阅图5,驱动结构11为螺杆螺母结构,具体的,驱动结构11包括电机111、螺杆112、螺母113、基板114及安装块115,电机111用于输出旋转运动,螺杆112安装于电机111的输出端并被电机111带动旋转,螺母113螺纹安装于螺杆112上并被螺杆112带动在螺杆112上移动,基板114安装于螺母113上并跟随螺母113移动,安装块115安装于基板114上,传动件12通过转轴15转动设于安装块115上,传动件12、安装块115及基板114均跟随螺母113移动。此外,为了保证基板114的直线度,还可以设置导向结构来导向基板114。可以理解地,在本申请的其他实施例中,上述驱动结构11也可以为滚柱丝杆机构、直线电机或直线气缸等,此处不做唯一限定。
请参阅图4,限位板142和连接组件13分别设于安装块115的相对两侧,限位板142与安装块115形成固定连接。
请参阅图4,弹性件143为圆柱弹簧,弹性件143套设于拉杆141上,弹性件143的一端通过螺母113固定于拉杆141的另一端上,弹性件143的另一端固定于限位板142背离连接组件13的一侧上。
请参阅图1及图7,本申请还提供了一种真空贴合设备,包括真空腔体2及上述直线机构1;真空腔体2中设有安装座,直线机构1设于真空腔体2之外,直线机构1的连接组件13伸入真空腔体2中以与安装座连接。
在实际应用中,真空腔体2中会设有两个安装座,分别为上安装座3和下安装座4,上安装座3和下安装座4上下间隔设置,上安装座3和下安装座4上分别安装一个待贴合件,通过将上安装座3和下安装座4相互靠近以使得两个带贴合件贴合在一起。而在贴合之前,一般会通过图像获取装置(例如相机)来获取待贴合件的位置信息,当发现待贴合件的位置发生偏移,则需要通过调节装置对待贴合件的位置进行调整,以使得两个待贴合件贴合精度高。本申请中的调节装置包括上述直线机构1,本申请中的上述安装座可以是位于上方的上安装座3,也可以是位于下方的下安装座4,也即是可以通过本申请的调节装置来调节上安装座3的位置,也可以通过上述调节装置来调节下安装座4的位置,甚至可以设计两套调节装置,来分别调节上安装座3及下安装座4的位置,此处不做唯一限定。
其中,直线机构1的数量可以为一个或多个,当只需对待贴合件进行一个方向的位移调节时,直线机构1的数量为一个;当需要对待贴合件进行位移调节和旋转调节时,直线机构1的数量可以为多个,例如两个、三个、四个或四个以上。
此外,真空腔体2包括上腔体21和下腔体22,上安装座3设于上腔体21中,下安装座4设于下腔体22中。
在一个实施例中,请参阅图5及图6,连接组件13包括连接件132和接触件131,接触件131可拆卸地安装于连接件132上,接触件131与传动件12弹性抵接;真空腔体2上开设有安装孔25,连接件132贯穿安装孔25设置,安装孔25的内径大于连接件132对应安装孔25位置的外径;真空贴合设备还包括密封结构5,密封结构5套设于连接件132之外并使得连接件132与真空腔体2之间形成密封连接。
在本申请中,由于直线机构1的连接件132与安装座连接,而安装座在调节的过程中可能会产生偏转,则直线机构1的连接件132只能跟随安装座一起旋转,也即是连接件132与真空腔体2连接的位置会变动,连接件132可能会在安装孔25处发生偏转,为了避免连接件132与真空腔体2产生结构干涉,安装孔25的内径需要设计为大于连接件132对应安装孔25位置的外径。同时,由于连接件132会产生偏转,导致连接件132与安装孔25处密封不牢靠,最终导致真空腔体2的真空无法形成,而本申请中的密封结构5能够套在连接件132之外并使得连接件132与真空腔体2之间形成密封连接,从而保证了真空腔体2的密封性。
在一个实施例中,请参阅图4,连接件132包括安装板1321及连接轴1322,连接轴1322的一端与安装板1321固定连接,连接轴1322的另一端贯穿安装孔25并与安装座连接,安装孔25的内径大于连接轴1322的外径;密封结构5套设于连接轴1322之外并与连接轴1322沿径向间隔设置,密封结构5的一端与安装板1321密封连接,密封结构5的另一端与真空腔体2的外侧壁密封连接。
具体的,请参阅图4,初始状态下,安装板1321与真空腔体2的外侧壁相互平行设置,连接轴1322与安装板1321垂直连接。当将密封结构5套设于连接轴1322外,且密封结构5与连接轴1322沿径向间隔设置,使得从安装板1321到真空腔体2的外侧壁之间形成了活动空间,该活动空间通过安装孔25与真空腔体2的内部连通,在安装座偏转调节时,连接轴1322跟随安装座偏转,则活动空间为连接轴1322的偏转提供了足够的空间,避免产生结构干涉。同时,将密封结构5的相对两端分别与安装板1321及真空腔体2的外侧壁密封连接,从而使得活动空间、安装孔25及真空腔体2的内部全部处于密封状态,进而保证了真空腔体2的真空状态。可以理解地,在本申请的其他实施例中,也可以将密封结构5的一端与连接轴1322的外侧壁密封连接,此处不做唯一限定。
在一个实施例中,密封结构5的相对两端之间的部分为柔性结构可伸缩,则当连接轴1322及安装板1321均相对真空腔体2发生位移时,可以通过柔性部分进行伸缩来调节安装板1321与真空腔体2之间的间距,以保证安装板1321与真空腔体2之间的密封连接。
在一个实施例中,请参阅图4,密封结构5包括套管51、第一压盖52、第二压盖53、第一密封圈54及第二密封圈55;套管51套设于连接轴1322之外,套管51至少部分为可伸缩波纹管;第一密封圈54抵接于安装板1321与套管51的一端之间,第一压盖52固定于安装板1321上并将套管51的一端抵压于第一密封圈54上;第二密封圈55抵接于真空腔体2的外侧壁与套管51的另一端之间,第二压盖53固定于真空腔体2上并将套管51的另一端抵压于第二密封圈55上。
在本申请中,通过第一压盖52将套管51的一端抵压于第一密封圈54上,使得第一密封圈54抵接于安装板1321与套管51之间,从而实现安装板1321与套管51之间的密封连接;同时通过第二压盖53将套管51的另一端抵压于第二密封圈55上,使得第二密封圈55抵接于套管51与真空腔体2的外侧壁之间,从而实现套管51与真空腔体2之间的密封连接。此外,套管51的内径大于连接轴1322的外径,套管51至少部分为可伸缩波纹管,使得套管51在受力后可伸缩。
具体的,套管51的一端向外径向延伸有第一边沿511,第一密封圈54抵接于第一边沿511与安装板1321之间。第一压盖52包覆于第一边沿511外,第一压盖52通过紧固件锁紧于安装板1321上,从而使得第一压盖52对第一边沿511具有压紧力,以将第一边沿511压紧于第一密封圈54上实现密封。
同样的,套管51的另一端向外径向延伸有第二边沿512,第二密封圈55抵接于第二边沿512与真空腔体2的外侧壁之间。第二压盖53包覆于第二边沿512外,第二压盖53通过紧固件锁紧于真空腔体2上,从而使得第二压盖53对第二边沿512具有压紧力,以将第二边沿512压紧于第二密封圈55上实现密封。
可以理解地,在本申请的其他实施例中,也可以不将套管51设置为波纹管,而是将套管51的相对两端分别活动设于第一压盖52和第二压盖53中,同样能够通过套管51的适应性活动来调节安装板1321与真空腔体2之间的间隔,此处不做唯一限定。
以上所述仅为本申请的较佳实施例而已,并不用以限制本申请,凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种直线机构,其特征在于,包括驱动结构、传动件、连接组件及保持组件;所述驱动结构能够输出直线运动,所述传动件安装于所述驱动结构的输出端,所述连接组件用于与被驱动件连接;所述传动件与所述连接组件弹性抵接,所述保持组件连接于所述驱动结构与所述连接组件之间以使所述传动件与所述连接组件保持弹性抵接。
2.如权利要求1所述的直线机构,其特征在于,所述传动件的用于与所述连接组件相抵接的面为圆柱面,所述连接组件的用于与所述传动件相抵接的面为平面;
或者,所述传动件的用于与所述连接组件相抵接的面为平面,所述连接组件的用于与所述传动件相抵接的面为圆柱面。
3.如权利要求1所述的直线机构,其特征在于,所述传动件为圆柱体,所述传动件通过转轴转动设于所述驱动结构的输出端。
4.如权利要求1所述的直线机构,其特征在于,所述连接组件包括接触件及连接件,所述接触件可拆卸地安装于所述连接件上,所述接触件与所述传动件弹性抵接,所述保持组件连接于所述驱动结构与连接件之间。
5.如权利要求1至4任一项所述的直线机构,其特征在于,所述保持组件包括拉杆、限位板及弹性件;所述限位板安装于所述驱动结构的输出端并与所述连接组件相对间隔设置,所述拉杆的一端与所述连接组件连接,所述限位板上形成有穿孔,所述拉杆的另一端轴向贯穿所述穿孔设置,所述弹性件的一端固定于所述拉杆上,所述弹性件的另一端抵接于所述限位板背离所述连接组件的一侧。
6.如权利要求5所述的直线机构,其特征在于,所述拉杆包括第一拉杆部和第二拉杆部,所述第一拉杆部的一端安装于所述连接组件上,所述第一拉杆部的另一端设有球体;所述第二拉杆部的一端贯穿所述穿孔设置,所述第二拉杆部的另一端形成有球形槽,所述球体与所述球形槽形成球副连接。
7.如权利要求1至4任一项所述的直线机构,其特征在于,所述驱动结构为滚柱丝杆结构、直线电机或螺杆螺母结构。
8.一种真空贴合设备,其特征在于,包括真空腔体及如权利要求1至7任一项所述的直线机构;所述真空腔体中设有安装座,所述直线机构设于所述真空腔体之外,所述直线机构的所述连接组件伸入所述真空腔体中以与所述安装座连接。
9.如权利要求8所述的真空贴合设备,其特征在于,所述真空腔体上开设有安装孔,所述连接组件包括连接件及接触件,所述接触件可拆卸地安装于所述连接件上,所述接触件与所述传动件弹性抵接;所述连接件贯穿所述安装孔设置,所述安装孔的内径大于所述连接件对应所述安装孔位置的外径;所述真空贴合设备还包括密封结构,所述密封结构套设于所述连接件之外并使得所述连接件与所述真空腔体之间形成密封连接。
10.如权利要求9所述的真空贴合设备,其特征在于,所述连接件包括安装板及连接轴,所述连接轴的一端与所述安装板固定连接,所述连接轴的另一端贯穿所述安装孔并与所述安装座连接,所述安装孔的内径大于所述连接轴的外径;所述密封结构套设于所述连接轴之外并与所述连接轴沿径向间隔设置,所述密封结构的一端与所述安装板密封连接,所述密封结构的另一端与所述真空腔体的外侧壁密封连接。
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