CN219902764U - 一种金刚石减薄垫加工的开槽机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种金刚石减薄垫加工的开槽机，涉及机械加工技术领域。本实用新型包括加工锯片、保护架和防滑传送皮带，防滑传送皮带上侧设置有保护架，保护架上侧一端贯穿卡接有除尘箱，保护架内侧设置有多个加工锯片，加工锯片一侧设置有多个第一电磁铁，加工锯片下侧设置有多个吸附滑板，吸附滑板两侧滑动卡接有连接架，连接架一侧滑动卡接有移动气缸。本实用新型通过加工锯片、保护架和防滑传送皮带，解决了开槽机在对金刚石减薄垫开槽时，飞溅的碎屑可能会对工作人员造成伤害，且污染环境，调整金刚石减薄垫位置费时费力，且调整后的金刚石减薄垫可能存在角度的倾斜的问题。

Description

一种金刚石减薄垫加工的开槽机

技术领域

本实用新型属于机械加工技术领域，特别是涉及一种金刚石减薄垫加工的开槽机。

背景技术

减薄垫，又称抛光垫，是化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料，其能够将抛光液有效均匀地输送到减薄垫的不同区域，维持减薄垫表面的抛光液薄膜,以便化学反应充分进行，保持抛光过程的平稳、表面不变形,以便获得较好的晶片表面形貌，金刚石减薄垫具有研磨质量好、稳定性高、使用寿命长等优点，而在金刚石减薄垫生产加工的过程中，通常需要对金刚石减薄垫表面进行切槽，通过开槽机能够辅助工作人员快速对金刚石减薄垫表面切出多个槽，大大提高了金刚石减薄垫的加工效率，但它在实际使用中仍存在以下弊端：

1、公开号为CN217552549U实用新型公开了一种抛光垫开槽机的开槽机构，所述开槽机构位于保护罩内；所述开槽机构包括水平转动安装在保护罩内的转动筒、同轴转动安装在转动筒内的凸轮柱、套设在转动筒上的若干间隔布置的开槽件以及一一对应设置在若干开槽件与凸轮柱之间的若干连接件，所述电机的动力输出轴穿入保护罩内与转动筒同轴固定相连，凸轮柱包括两相向布置的凸缘，每一所述连接件均滑动穿设在转动筒的内外侧之间且用于与对应开槽件可拆卸相连，每一连接件均与凸轮柱的侧壁滑动相抵且与转动筒内壁弹性相连，所述凸轮柱与转动筒之间设有锁止件，所述锁止件用于固定凸轮柱的位置，开槽机构在能够同时开出多个槽位，提高开槽效率的同时，便于对锯片进行更换，降低工作人员的劳动强度，但开槽机构通常不具有保护结构，在使用开槽机构对减薄垫开槽的过程中，通常需要工作人员对减薄垫辅助定位，开槽产生飞溅的碎屑可能会对工作人员造成伤害，且会对环境造成污染；

2、金刚石减薄垫加工的开槽机虽然能一次性对金刚石减薄垫开多个槽，但由于金刚石减薄垫的尺寸存在差异，难以一次完成一个金刚石减薄垫所有所需位置的开槽处理，在进行多次开槽时，一般通过对金刚石减薄垫位置的调整进行开槽位置的调整，费时费力，且可能会导致金刚石抛光垫倾斜一定的角度，导致成品质量下降。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种金刚石减薄垫加工的开槽机，通过加工锯片、保护架和防滑传送皮带，解决了开槽机在对金刚石减薄垫开槽时，飞溅的碎屑可能会对工作人员造成伤害，且污染环境，调整金刚石减薄垫位置费时费力，且调整后的金刚石减薄垫可能存在角度的倾斜的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型为一种金刚石减薄垫加工的开槽机，包括加工锯片、保护架和防滑传送皮带，所述防滑传送皮带上侧设置有保护架，所述保护架上侧一端贯穿卡接有除尘箱，在进行开槽时，保护架防止了碎屑的飞溅，且碎屑通过空气的流动能够进入除尘箱内进行收集，避免对环境造成污染，且便于对碎屑进行回收利用，所述保护架内侧设置有多个加工锯片，所述加工锯片一侧设置有多个第一电磁铁，所述加工锯片下侧设置有多个吸附滑板，在进行加工锯片的安装时，根据需要将多个加工锯片卡接于多个第一电磁铁上下两侧，再通过对第一电磁铁通电能够使其对加工锯片吸附固定，在进行拆卸时只需对第一电磁铁断电便能够快速取下加工锯片，操作简单方便，所述吸附滑板两侧滑动卡接有连接架，在加工锯片的安装时，吸附滑板能够根据加工锯片安装的位置进行滑动，避免影响加工锯片的安装，使加工锯片能够安装的位置增加，且吸附滑板能够在金刚石减薄垫开槽时，对金刚石减薄垫进行挤压定位，保证加工时的稳定性，所述连接架一侧滑动卡接有移动气缸，在金刚石减薄垫一次开槽后，工作人员不需对金刚石减薄垫的位置进行调整，只需通过移动气缸调整连接架的位置，进一步调整加工锯片的位置，便能够对金刚石减薄垫表面的不同位置进行开槽，且通过移动气缸带动加工锯片的移动，能够准确将一个加工锯片移动至开好的两个相邻槽之间，进一步增加能够开槽的位置，提高使用的灵活性。

进一步地，所述加工锯片一侧卡接固定有吸附连接板，所述吸附连接板一侧开设有吸附槽，所述吸附槽位于吸附连接板相对于加工锯片另一侧，所述吸附槽一侧开设有定位孔，所述第一电磁铁上下两侧卡接固定有定位块，多个所述第一电磁铁中央卡接固定有伸缩管，所述伸缩管一端滑动卡接有转动杆，所述转动杆另一端卡接有旋转电机，一个所述第一电磁铁吸附固定于两个加工锯片的吸附槽之间，一个所述第一电磁铁的定位块卡接于两个加工锯片的定位孔内侧，所述转动杆贯穿插接于保护架一端，所述旋转电机卡接于保护架外侧一端；

在进行安装时，根据需要将多个加工锯片的吸附连接板卡接于第一电磁铁上下两侧，并对第一电磁铁通电，使第一电磁铁对吸附连接板吸附固定，在进行加工锯片的更换时，对第一电磁铁断电，便于工作人员快速取下加工锯片，操作简单方便，降低工作人员的劳动强度。

进一步地，所述伸缩管相对于转动杆另一端转动卡接于连接架一端上侧，所述连接架两侧下端皆卡接固定有第二电磁铁，所述第二电磁铁贴合于吸附滑板一侧，所述吸附滑板底端卡接固定有防滑垫，所述移动气缸位于连接架相对于吸附滑板另一侧，所述移动气缸贯穿卡接于保护架相对于旋转电机另一端外侧；

在加工锯片进行安装时，能够根据加工锯片的安装位置，对吸附滑板进行滑动，使一个或多个吸附滑板移动至两个相邻加工锯片之间，并通过对第二电磁铁通电对吸附滑板的位置进行固定，进一步提高了加工锯片安装位置的灵活性，在进行开槽时，通过防滑垫能够对减薄垫进行挤压定位，提高加工过程中的稳定性，且一次开槽后，移动气缸能够带动连接架和伸缩管进行移动，进一步带动加工锯片和吸附滑板进行移动，不需要对减薄垫的位置进行调整，避免对位置调整时产生一定的倾斜，且一个加工锯片能够移动至加工好的两个相邻槽之间，进一步增加能够开槽的位置，提高使用的灵活性。

进一步地，所述保护架上侧转动卡接有顶盖，所述保护架两端底侧皆滑动卡接有升降气缸，所述除尘箱一端滑动卡接有集尘盒，所述集尘盒一侧卡接有空气滤芯，所述空气滤芯位于集尘盒相对于保护架另一侧，所述集尘盒内侧和保护架内侧贯穿连通，所述除尘箱一侧贯穿卡接有鼓风机，所述鼓风机位于除尘箱相对于保护架另一侧，所述鼓风机位于集尘盒一侧；

在开槽加工时，加工锯片对减薄垫开槽产生的碎屑通过保护架进行限位，防止碎屑的飞溅，保证工作人员的安全，且通过鼓风机带动空气的流动，能够将碎屑吸入集尘盒内收集，便于集中处理和回收利用，且避免了环境造成污染，同时流动的空气能够对加工锯片进行降温，延长加工锯片的使用寿命。

进一步地，所述防滑传送皮带一侧贯穿卡接有支撑架，所述支撑架一侧贯穿卡接有转动电机，所述转动电机和防滑传送皮带传动连接，两个所述升降气缸分别卡接于支撑架上侧两端，所述支撑架两端皆卡接有定位气缸，所述定位气缸一端滑动卡接有定位板，一个所述定位板贯穿插接于支撑架一侧，所述定位板贴合于防滑传送皮带上侧，所述定位板位于保护架下侧；

通过转动电机能够带动防滑传送皮带进行转动，进一步带动减薄垫进行移动，将减薄垫移动至保护架下侧进行开槽，通过定位气缸带动定位板的移动，能够对减薄垫进行定位，保证开槽位置的准确，在一次开槽完成后，通过转动电机带动防滑传送皮带的反向转动，使减薄垫能够在相同位置再次进行开槽，保证开槽位置的准确。

本实用新型具有以下有益效果：

1、本实用新型通过设置保护架，解决了开槽机构在能够同时开出多个槽位，提高开槽效率的同时，便于对锯片进行更换，降低工作人员的劳动强度，但开槽机构通常不具有保护结构，在使用开槽机构对减薄垫开槽的过程中，通常需要工作人员对减薄垫辅助定位，开槽产生飞溅的碎屑可能会对工作人员造成伤害，且会对环境造成污染的问题，在加工锯片对金刚石减薄垫开槽时，飞溅的碎屑通过保护架进行限位，避免对工作人员造成伤害，且通过鼓风机带动空气的流动能够将碎屑吸附除尘箱内侧进行收集，便于回收利用，且避免对环境造成污染。

2、本实用新型通过设置加工锯片和防滑传送皮带，解决了金刚石减薄垫加工的开槽机虽然能一次性对金刚石减薄垫开多个槽，但由于金刚石减薄垫的尺寸存在差异，难以一次完成一个金刚石减薄垫所有所需位置的开槽处理，在进行多次开槽时，一般通过对金刚石减薄垫位置的调整进行开槽位置的调整，费时费力，且可能会导致金刚石抛光垫倾斜一定的角度，导致成品质量下降的问题，在金刚石减薄垫一次开槽处理后，防滑传送皮带将金刚石减薄垫移动出保护架下侧，通过移动气缸带动加工锯片的移动，能够对开槽位置进行调整，并通过防滑传送皮带的反向转动，使金刚石减薄垫能够在相同位置移动至保护架下侧，避免了对金刚石减薄垫的位置进行调整，保证开槽位置的准确，且一个加工锯片能够准确移动至加工好的两个相邻槽之间的设定位置，进一步增加能够开槽的位置，提高使用的灵活性。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的结构效果图；

图3为本实用新型加工锯片的侧视图；

图4为本实用新型加工锯片的结构图；

图5为本实用新型吸附滑板的结构图；

图6为本实用新型保护架的结构图；

图7为本实用新型防滑传送皮带的结构图。

附图标记：

1、加工锯片；101、旋转电机；102、移动气缸；103、连接架；104、吸附滑板；105、吸附连接板；106、吸附槽；107、定位孔；108、伸缩管；109、转动杆；110、第一电磁铁；111、定位块；112、第二电磁铁；113、防滑垫；2、保护架；201、除尘箱；202、顶盖；203、升降气缸；204、集尘盒；205、空气滤芯；206、鼓风机；3、防滑传送皮带；301、支撑架；302、转动电机；303、定位气缸；304、定位板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

请参阅图1-7所示，本实用新型为一种金刚石减薄垫加工的开槽机，包括加工锯片1、保护架2和防滑传送皮带3，防滑传送皮带3上侧设置有保护架2，保护架2上侧一端贯穿卡接有除尘箱201，在进行开槽时，保护架2防止了碎屑的飞溅，碎屑通过空气的流动进入除尘箱201内进行收集，保护架2内侧设置有多个加工锯片1，加工锯片1一侧设置有多个第一电磁铁110，加工锯片1下侧设置有多个吸附滑板104，在进行加工锯片1的安装时，根据需要将多个加工锯片1卡接于多个第一电磁铁110上下两侧，再通过对第一电磁铁110通电使其对加工锯片1吸附固定，在进行拆卸时对第一电磁铁110断电并快速取下多个加工锯片1，吸附滑板104两侧滑动卡接有连接架103，在加工锯片1的安装时，滑动一个或多个吸附滑板104使其移动至相邻两个加工锯片1之间，在金刚石减薄垫开槽时，吸附滑板104对金刚石减薄垫进行挤压定位，连接架103一侧滑动卡接有移动气缸102，在金刚石减薄垫一次开槽后，控制移动气缸102调整连接架103的位置，进一步调整加工锯片1的位置，并通过防滑传送皮带3带动金刚石减薄垫的反向移动，对金刚石减薄垫表面的不同位置进行开槽，且能准确将一个加工锯片1移动至开好的两个相邻槽之间，使第二次开槽的位置在开好的两个相邻槽之间。

其中如图2-5所示，加工锯片1一侧卡接固定有吸附连接板105，吸附连接板105一侧开设有吸附槽106，吸附槽106位于吸附连接板105相对于加工锯片1另一侧，吸附槽106一侧开设有定位孔107，第一电磁铁110上下两侧卡接固定有定位块111，多个第一电磁铁110中央卡接固定有伸缩管108，伸缩管108一端滑动卡接有转动杆109，转动杆109另一端卡接有旋转电机101，一个第一电磁铁110吸附固定于两个加工锯片1的吸附槽106之间，一个第一电磁铁110的定位块111卡接于两个加工锯片1的定位孔107内侧，转动杆109贯穿插接于保护架2一端，旋转电机101卡接于保护架2外侧一端；

伸缩管108相对于转动杆109另一端转动卡接于连接架103一端上侧，连接架103两侧下端皆卡接固定有第二电磁铁112，第二电磁铁112贴合于吸附滑板104一侧，吸附滑板104底端卡接固定有防滑垫113，移动气缸102位于连接架103相对于吸附滑板104另一侧，移动气缸102贯穿卡接于保护架2相对于旋转电机101另一端外侧；

在进行安装时，根据需要将多个加工锯片1的吸附连接板105卡接于第一电磁铁110上下两侧，对第一电磁铁110通电使其对吸附连接板105吸附固定，根据加工锯片1的安装位置，对吸附滑板104进行滑动，使一个或多个吸附滑板104移动至两个相邻加工锯片1之间，并通过对第二电磁铁112通电对吸附滑板104的位置进行固定，在进行开槽时，金刚石减薄垫移动至防滑垫113下侧，通过防滑垫113、防滑传送皮带3和支撑架301对减薄垫进行挤压定位，旋转电机101带动转动杆109和伸缩管108快速转动，进一步带动加工锯片1的快速转动对金刚石减薄垫进行开槽，在一次开槽后，移动气缸102带动连接架103和伸缩管108进行移动，进一步带动加工锯片1和吸附滑板104进行移动调整开槽位置，在进行加工锯片1的更换时，对第一电磁铁110断电，便于工作人员快速取下加工锯片1。

其中如图1、2、6所示，保护架2上侧转动卡接有顶盖202，保护架2两端底侧皆滑动卡接有升降气缸203，除尘箱201一端滑动卡接有集尘盒204，集尘盒204一侧卡接有空气滤芯205，空气滤芯205位于集尘盒204相对于保护架2另一侧，集尘盒204内侧和保护架2内侧贯穿连通，除尘箱201一侧贯穿卡接有鼓风机206，鼓风机206位于除尘箱201相对于保护架2另一侧，鼓风机206位于集尘盒204一侧；

在开槽加工前，通过升降气缸203带动保护架2上下移动，使不同厚度的金刚石减薄垫能够通过防滑垫113和防滑传送皮带3之间，在加工时加工锯片1对减薄垫开槽产生的碎屑通过保护架2进行限位，防止碎屑的飞溅，鼓风机206带动空气的流动，将碎屑吸入集尘盒204内，并通过空气滤芯205滞留于集尘盒204内，流动的空气能够对加工锯片1进行降温，在加工完成后，工作人员抽出集尘盒204对碎屑集中处理。

其中如图1、2、7所示，防滑传送皮带3一侧贯穿卡接有支撑架301，支撑架301一侧贯穿卡接有转动电机302，转动电机302和防滑传送皮带3传动连接，两个升降气缸203分别卡接于支撑架301上侧两端，支撑架301两端皆卡接有定位气缸303，定位气缸303一端滑动卡接有定位板304，一个定位板304贯穿插接于支撑架301一侧，定位板304贴合于防滑传送皮带3上侧，定位板304位于保护架2下侧；

在加工前，根据金刚石减薄垫的尺寸，控制定位气缸303带动定位板304进行移动，使金刚石减薄垫刚好能通过两个定位板304之间，通过转动电机302带动防滑传送皮带3进行转动，进一步带动金刚石减薄垫进行移动，将减薄垫移动至保护架2下侧进行开槽，在一次开槽完成后，通过转动电机302带动防滑传送皮带3的反向转动，使减薄垫在相同位置再次移动至保护架2下侧。

本实施例的工作原理为：在进行安装时，根据需要将多个加工锯片1的吸附连接板105卡接于第一电磁铁110上下两侧，对第一电磁铁110通电使其对吸附连接板105吸附固定，根据加工锯片1的安装位置，对吸附滑板104进行滑动，使一个或多个吸附滑板104移动至两个相邻加工锯片1之间，并通过对第二电磁铁112通电对吸附滑板104的位置进行固定，根据金刚石减薄垫的尺寸，通过升降气缸203带动保护架2上下移动，使不同厚度的金刚石减薄垫能够通过防滑垫113和防滑传送皮带3之间，控制定位气缸303带动定位板304进行移动，使金刚石减薄垫刚好能通过两个定位板304之间，将金刚石减薄垫放置于防滑传送皮带3上侧，过转动电机302带动防滑传送皮带3进行转动，进一步带动金刚石减薄垫进行移动，将减薄垫移动至保护架2下侧，通过防滑垫113、防滑传送皮带3和支撑架301对减薄垫进行挤压定位，旋转电机101带动转动杆109和伸缩管108快速转动，进一步带动加工锯片1的快速转动对金刚石减薄垫进行开槽，开槽产生的碎屑通过保护架2进行限位，防止碎屑的飞溅，鼓风机206带动空气的流动，将碎屑吸入集尘盒204内，并通过空气滤芯205滞留于集尘盒204内，流动的空气能够对加工锯片1进行降温，在一次开槽后，当金刚减薄垫离开保护架2下侧后，移动气缸102带动连接架103和伸缩管108进行移动，进一步带动加工锯片1和吸附滑板104进行移动调整开槽位置，转动电机302带动防滑传送皮带3的反向转动，使减薄垫在相同位置再次移动至保护架2下侧进行再次开槽，在加工完成后，工作人员抽出集尘盒204对碎屑集中处理，在进行加工锯片1的更换时，转动打开顶盖202并对第一电磁铁110断电，便于快速取下需要更换的加工锯片1。

以上仅为本实用新型的优选实施例，并不限制本实用新型，任何对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，对其中部分技术特征进行等同替换，所作的任何修改、等同替换、改进，均属于在本实用新型的保护范围。

Claims (5)

1.一种金刚石减薄垫加工的开槽机，包括加工锯片(1)、保护架(2)和防滑传送皮带(3)，其特征在于：所述防滑传送皮带(3)上侧设置有保护架(2)，所述保护架(2)上侧一端贯穿卡接有除尘箱(201)，所述保护架(2)内侧设置有多个加工锯片(1)，所述加工锯片(1)一侧设置有多个第一电磁铁(110)，所述加工锯片(1)下侧设置有多个吸附滑板(104)，所述吸附滑板(104)两侧滑动卡接有连接架(103)，所述连接架(103)一侧滑动卡接有移动气缸(102)。

2.根据权利要求1所述的一种金刚石减薄垫加工的开槽机，其特征在于：所述加工锯片(1)一侧卡接固定有吸附连接板(105)，所述吸附连接板(105)一侧开设有吸附槽(106)，所述吸附槽(106)位于吸附连接板(105)相对于加工锯片(1)另一侧，所述吸附槽(106)一侧开设有定位孔(107)，所述第一电磁铁(110)上下两侧卡接固定有定位块(111)，多个所述第一电磁铁(110)中央卡接固定有伸缩管(108)，所述伸缩管(108)一端滑动卡接有转动杆(109)，所述转动杆(109)另一端卡接有旋转电机(101)，一个所述第一电磁铁(110)吸附固定于两个加工锯片(1)的吸附槽(106)之间，一个所述第一电磁铁(110)的定位块(111)卡接于两个加工锯片(1)的定位孔(107)内侧，所述转动杆(109)贯穿插接于保护架(2)一端，所述旋转电机(101)卡接于保护架(2)外侧一端。

3.根据权利要求2所述的一种金刚石减薄垫加工的开槽机，其特征在于：所述伸缩管(108)相对于转动杆(109)另一端转动卡接于连接架(103)一端上侧，所述连接架(103)两侧下端皆卡接固定有第二电磁铁(112)，所述第二电磁铁(112)贴合于吸附滑板(104)一侧，所述吸附滑板(104)底端卡接固定有防滑垫(113)，所述移动气缸(102)位于连接架(103)相对于吸附滑板(104)另一侧，所述移动气缸(102)贯穿卡接于保护架(2)相对于旋转电机(101)另一端外侧。

4.根据权利要求1所述的一种金刚石减薄垫加工的开槽机，其特征在于：所述保护架(2)上侧转动卡接有顶盖(202)，所述保护架(2)两端底侧皆滑动卡接有升降气缸(203)，所述除尘箱(201)一端滑动卡接有集尘盒(204)，所述集尘盒(204)一侧卡接有空气滤芯(205)，所述空气滤芯(205)位于集尘盒(204)相对于保护架(2)另一侧，所述集尘盒(204)内侧和保护架(2)内侧贯穿连通，所述除尘箱(201)一侧贯穿卡接有鼓风机(206)，所述鼓风机(206)位于除尘箱(201)相对于保护架(2)另一侧，所述鼓风机(206)位于集尘盒(204)一侧。

5.根据权利要求4所述的一种金刚石减薄垫加工的开槽机，其特征在于：所述防滑传送皮带(3)一侧贯穿卡接有支撑架(301)，所述支撑架(301)一侧贯穿卡接有转动电机(302)，所述转动电机(302)和防滑传送皮带(3)传动连接，两个所述升降气缸(203)分别卡接于支撑架(301)上侧两端，所述支撑架(301)两端皆卡接有定位气缸(303)，所述定位气缸(303)一端滑动卡接有定位板(304)，一个所述定位板(304)贯穿插接于支撑架(301)一侧，所述定位板(304)贴合于防滑传送皮带(3)上侧，所述定位板(304)位于保护架(2)下侧。