CN219811467U - 一种防外溢承漏杯结构及晶圆清洗设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种防外溢承漏杯结构及晶圆清洗设备，包括杯体，为中空结构，杯体与用于排液的排液管路连通承漏装置，可拆卸的设于杯体的内部并用于存放可伸出承漏装置的喷淋装置，承漏装置的下端部与排液管路连通，以使喷淋装置预喷的化学药液由承漏装置流入排液管路。本申请提供的一种防外溢承漏杯结构及晶圆清洗设备，通过将喷淋装置设置于承漏装置中，使得喷淋装置预喷的化学药液通过排液管路排出，能够避免化学药液溢流到清洗腔的内壁，保证了清洗腔内的洁净。

Description

一种防外溢承漏杯结构及晶圆清洗设备

技术领域

本实用新型涉及半导体工艺设备技术领域，更具体地说，防外溢承漏杯结构。此外，本实用新型还涉及一种包括上述承漏杯结构的晶圆清洗设备。

背景技术

在单晶圆清洗过程中，通常化学药液通过集成配置的喷淋装置喷洒到中心旋转的晶圆表面进行清洗动作，一般情况下喷淋装置在清洗晶圆前需将喷淋装置的管路内残留化学药液排出，避免在设备重启或上一制程中管路内残留的化学药液使用在当前晶圆清洗中，一般来说，喷淋装置的预喷化学液由清洗腔收集起来并排放掉，承漏杯与清洗腔公用一个排液管路，在承漏杯或者清洗腔进行排液时，容易造成承漏杯的排除的液体溢流到清洗腔中，污染清洗腔环境，或者清洗腔在进行晶圆清洗时，排出的液体回流到承漏杯中，造成酸液外溢。

综上所述，如何保持清洗腔内的腔体清洁，是目前本领域技术人员亟待解决的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种防外溢承漏杯结构，通过可拆卸的承漏装置存放喷淋装置，喷淋装置预喷的化学药液由承漏装置流入排液管路，能够避免清洗腔受到污染。

本实用新型的另一目的是提供一种包括上述承漏杯结构的晶圆清洗设备。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种防外溢承漏杯结构，包括：

杯体，为中空结构，杯体与用于排液的排液管路连通；

承漏装置，可拆卸的设于杯体的内部并用于存放可伸出于承漏装置的喷淋装置，承漏装置的下端部与排液管路连通，以使喷淋装置浴盆的化学药液由承漏装置流入排液管路。

优选地，排液管路包括排液接头与排液管，排液管通过排液接头与杯体连通。

优选地，承漏装置包括管状的存放段、过渡段与出液管均为管状件，过渡段为两端开口的圆台状壳体，过渡段的一端与存放段连通，过渡段的另一端与出液管连通。

优选地，出液管背离过渡段的末端设有连接部，连接部的外周设有外螺纹，杯体与排液管路连通的末端的内周设有内螺纹。

优选地，承漏装置为标准件，且排液接头与排液管之间的连接方式为入珠式连接。

优选地，排液管路与排液设备连通。

一种晶圆清洗设备，包括：

承漏杯，采用上述任一项的防外溢承漏杯结构；

清洗腔，用于承载晶圆并用于晶圆的清洗；

喷淋装置，在清洗腔与承漏杯之间移动，用于喷淋清洗液以实现晶圆的清洗；

其中，

承漏杯和清洗腔分开设计，清洗腔的排液管路与承漏杯的排液管路分别独立设计。

本实用新型提供的一种防外溢承漏杯结构，通过在杯体的内部设置可拆卸的承漏装置，将喷淋装置设置于承漏装置内，以实现喷淋装置与清洗腔的分隔设置，承漏装置的下端部与排液管路连通，喷淋装置预喷的化学药液由承漏装置流入排液管路，防止喷淋装置预喷的化学药液溢流到清洗腔内，确保了清洗腔内的腔体清洁。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本实用新型所提供的防外溢承漏杯结构的剖视图；

图2为本实用新型所提供的防外溢承漏杯结构的结构示意图；

图3为本实用新型所提供的杯体的结构示意图。

图1至图3中，附图标记包括：

1为杯体、2为排液管路、3为承漏装置、4为排液接头、5为排液管、6为存放段、7为过渡段、8为出液管、9为连接部。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型的核心是提供一种防外溢承漏杯结构，该承漏杯结构能够保证清洗腔的腔体清洁。

本实用新型的另一核心是提供一种包括上述承漏杯结构的晶圆清洗设备。

请参考附图1至附图3，本申请提供的一种防外溢承漏杯结构，包括杯体1与承漏装置3，杯体1为中空结构，杯体1与用于排液的排液管路2连通；承漏装置3可拆卸的设于杯体1的内部并用于存放可伸出承漏装置3的喷淋装置，承漏装置3的下端部与排液管路2连通，以使喷淋装置预喷的化学药液由承漏装置3流入排液管路2。

具体来说，在中空的杯体1中设置承漏装置3，承漏装置3的整体尺寸略小于杯体1，杯体1与清洗腔连通，以使杯体1整体沿承漏装置3的外周套设且与承漏装置3之间间隔设置，杯体1与承漏装置3的上端均设有开口，且两者的开口位于同一水平面内，杯体1与承漏装置3的下端部均与排液管路2连通，喷淋装置设于承漏装置3内，喷淋装置对晶圆清洗之前，先在承漏装置3内进行预喷工序，将喷淋装置的喷管内的残留化学药液喷出，由承漏装置3的内壁流入排液管路2，整个过程中喷淋装置预喷射的化学药液不与清洗腔的壁面接触，能够有效的保持清洗腔的清洁度，完成预喷流程的喷淋装置通过伸缩旋转装置伸出承漏装置3并伸入清洗腔的上端对晶圆进行喷射清洗。

在上述实施例的基础之上，排液管路2包括排液接头4与排液管5，排液管5通过排液接头4与杯体1连通。

具体来说，排液管5与杯体1通过排液接头4连通，通过排液接头4可实现二者之间的可拆卸连接，并保证其连接的结构可靠性与密封性。

在上述实施例的基础之上，承漏装置3包括存放段6、过渡段7与出液段8，存放段6与出液管8均为管状件，过渡段7为两端开口的圆台状壳体，过渡段7的一端与存放段6连通，过渡段7的另一端与出液管8连通。

具体来说，承漏装置3的存放段6用于喷淋装置不工作时存放喷淋装置，存放段6的下端连接有过渡段7，过渡段7为两端开口的圆台状壳体，且过渡段7水平方向的直径由上端至下端逐渐减小，起到引流的作用，能够将喷淋装置预喷的化学药液品排入排液管路2，有效的防止积液现象。

在上述实施例的基础之上，出液管8背离过渡段7的末端设有连接部9，连接部9的外周设有外螺纹，杯体1与排液管路2连通的末端的内周设有内螺纹。

具体来说，在出液管8与排液管路2连通的端部设有连接部9，连接部9的外周设有外螺纹，杯体1与排液管路2连通的末端内部设有内螺纹，以使杯体1与承漏装置3之间通过螺纹连接的方式固定连接，便于拆卸的同时能够保证连接的可靠性。

在上述实施例的基础之上，承漏装置3为标准件，且排液接头4与排液管5之间的连接方式为入珠式连接。

具体来说，由于承漏装置3内完成喷淋装置的预喷工序后，化学药液品由内壁向下流入排液管路2，承漏装置3与排液管路2的连接处会残留一定的化学药液，承漏装置3与杯体1的连接处与承漏装置3的内壁均容易被化学药液腐蚀，因此承漏装置3需经常更换，承漏装置3可作为标准件进行量产制作，能够降低承漏装置3更换的成本，此外，排液接头4与排液管5之间可通过入珠式连接的方式保证较好的密封性，防止化学药液外漏。

可选的，排液接头4可为PFA(Polyfluoroalkoxy，即四氟乙烯-全氟烷氧基乙烯基醚共聚物)入珠式接头。

在上述实施例的基础之上，排液管路2与排液设备连通。

具体来说，喷淋装置预喷射的化学药液与喷淋装置被清洗后的混合液均由排液管路2流入排液设备，由排液设备完成废液的回收，并由排液设备统一排入工程的排废管中。

除了上述防外溢承漏杯结构，本实用新型还提供一种包括上述实施例公开的防外溢承漏杯结构的晶圆清洗设备，该晶圆清洗设备包括：承漏杯，采用上述任一项的防外溢承漏杯机构；

清洗腔，用于承载晶圆并用于晶圆的清洗；

喷淋装置，在清洗腔与承漏杯之间移动，用于喷淋清洗液以实现晶圆的清洗；

其中，

承漏杯和清洗腔分开设计，清洗腔的排液管路与承漏杯的排液管路2分别独立设计。

具体来说，本实用新型提供的晶圆清洗设备，包括用于清洗晶圆的清洗腔以及承漏杯，承漏杯包括上述任一项的承漏杯机构，承漏杯机构内设有喷淋装置，喷淋装置用于喷淋清洗液以实现晶圆的清洗并能够在清洗腔与承漏杯之间移动，喷淋装置清洗晶圆的废液由清洗腔的排液管路排出，喷淋装置预喷的化学药液由承漏杯的排液管路2排出，清洗腔的排液管路与承漏杯的排液管路2分别独立设计，避免互相干扰，提高设备寿命。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

以上对本实用新型所提供的一种防外溢承漏杯结构及晶圆清洗设备进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。

Claims (7)

1.一种防外溢承漏杯结构，其特征在于，包括：

杯体(1)，为中空结构，所述杯体(1)与用于排液的排液管路(2)连通；

承漏装置(3)，可拆卸的设于所述杯体(1)的内部并用于存放可伸出所述承漏装置(3)的喷淋装置，所述承漏装置(3)的下端部与所述排液管路(2)连通，以使所述喷淋装置预喷的化学药液由所述承漏装置(3)流入所述排液管路(2)。

2.根据权利要求1所述的防外溢承漏杯结构，其特征在于，所述排液管路(2)包括排液接头(4)与排液管(5)，所述排液管(5)通过所述排液接头(4)与所述承漏装置(3)连通。

3.根据权利要求2所述的防外溢承漏杯结构，其特征在于，所述承漏装置(3)包括存放段(6)、过渡段(7)与出液管(8)，所述存放段(6)与所述出液管(8)均为管状件，所述过渡段(7)为两端开口的圆台状壳体，所述过渡段(7)的一端与所述存放段(6)连通，所述过渡段(7)的另一端与所述出液管(8)连通。

4.根据权利要求3所述的防外溢承漏杯结构，其特征在于，所述出液管(8)背离所述过渡段(7)的末端设有连接部(9)，所述连接部(9)的外周设有外螺纹，所述杯体(1)与所述排液管路(2)连通的末端的内周设有内螺纹。

5.根据权利要求2至4任一项所述的防外溢承漏杯结构，其特征在于，所述承漏装置(3)为标准件，且所述排液接头(4)与所述排液管(5)之间的连接方式为入珠式连接。

6.根据权利要求5所述的防外溢承漏杯结构，其特征在于，所述排液管路(2)与排液设备连通。

7.一种晶圆清洗设备，包括防外溢承漏杯结构，其特征在于，包括：

承漏杯，采用如权利要求1至6任一项所述的防外溢承漏杯结构；

清洗腔，用于承载所述晶圆并用于所述晶圆的清洗；

所述喷淋装置，在所述清洗腔与所述承漏杯之间移动，用于喷淋清洗液以实现所述晶圆的清洗；

其中，

所述承漏杯和所述清洗腔分开设计，所述清洗腔的排液管路与所述承漏杯的排液管路(2)分别独立设计。