CN219670708U - 一种单晶炉用降低籽晶氧化的夹头 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及单晶炉技术领域，尤其是涉及一种单晶炉用降低籽晶氧化的夹头，该夹头安装在单晶炉内，该夹头包括夹持本体，夹持本体内部开设有用于夹持籽晶的夹持孔，夹持本体外部就有导引单晶炉内保护气体的导向面；导向面包括从上往下依次首尾连接的第一导向段、第二导向段、第三导向段以及连接段，第一导向段从上往下沿籽晶的轴向延伸，第二导向段从上往下向籽晶收缩，第三导向段从上往下向籽晶收缩，连接段向延伸至籽晶外周，通过设计新的夹头外结构，改变炉台使用过程中流动气氛的运动路线，减少杂质在籽晶表面的堆积，增加籽晶的使用寿命。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶炉技术领域，尤其是涉及一种单晶炉用降低籽晶氧化的夹头。
背景技术
单晶炉生产过程中，籽晶是单晶生长过程中的种子晶体，用来提供一个晶体结构的模板，使得新生长的晶体能够沿着相同的晶格方向生长；夹头是用来固定籽晶的装置，其作用是保证生长过程中籽晶的稳定；单晶炉生产过程中内部会有流动气氛(氩气)以保护硅料及单晶硅不被氧化。如图4所示，目前单晶炉使用的夹头因为设计角度问题，使得气流在夹头和籽晶的连接处的周边区域内形成涡流，导致籽晶上端易氧化发黄。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是：为了克服现有技术中单晶炉使用的夹头因为设计角度问题，使得气流在夹头和籽晶的连接处的周边区域内形成涡流，导致籽晶上端易氧化发黄的问题，提供一种单晶炉用降低籽晶氧化的夹头。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种单晶炉用降低籽晶氧化的夹头，该夹头安装在单晶炉内，该夹头包括夹持本体，夹持本体内部开设有用于夹持籽晶的夹持孔，夹持本体外部就有导引单晶炉内保护气体的导向面；
导向面包括从上往下依次首尾连接的第一导向段、第二导向段、第三导向段以及连接段，第一导向段从上往下沿籽晶的轴向延伸，第二导向段从上往下向籽晶收缩，第三导向段从上往下向籽晶收缩，连接段径向延伸至籽晶外周，通过设计新的夹头外结构，改变炉台使用过程中流动气氛的运动路线，减少杂质在籽晶表面的堆积，增加籽晶的使用寿命。
进一步包括第二导向段为直线段，第二导向段和水平面的夹角为a，80°≥a≥45°。
进一步包括第三导向段为弧线段。
进一步包括夹持孔包括从上往下依次首尾连接的导入孔段、第一过渡孔段、连接孔段、第二过渡孔段以及安装孔段，导入孔段从上往下向内收缩，连接孔段内具有用于与旋转机构连接的螺纹。
进一步包括安装孔段包括从上往下依次首尾连接的第一孔段、第二孔段以及第三孔段，第二孔段从上往下向籽晶收缩。
进一步包括夹持本体上开设有沿其夹持本体径向延伸的延伸孔，延伸孔和第二过渡孔段连通。
本实用新型的有益效果是：本实用新型提供的一种单晶炉用降低籽晶氧化的夹头，通过设计新的夹头外结构，改变炉台使用过程中流动气氛的运动路线，减少杂质在籽晶表面的堆积，增加籽晶的使用寿命。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是本实用新型的剖视结构示意图；
图3是本实用新型的氩气流动示意图(箭头为流动方向示意)；
图4是现有技术中单晶炉夹头周边的氩气流动示意图(箭头为流动方向示意)。
图中：1、夹持本体，11、延伸孔，2、夹持孔，21、导入孔段，22、第一过渡孔段，23、连接孔段，24、第二过渡孔段，25、安装孔段，251、第一孔段，252、第二孔段，253、第三孔段，3、导向面，31、第一导向段，32、第二导向段，33、第三导向段，34、连接段。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型做进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
如图1是本实用新型的结构示意图，一种单晶炉用降低籽晶氧化的夹头，该夹头安装在单晶炉内，该夹头包括夹持本体1，夹持本体1内部开设有用于夹持籽晶的夹持孔2，夹持本体1外部就有导引单晶炉内保护气体的导向面3；
导向面3包括从上往下依次首尾连接的第一导向段31、第二导向段32、第三导向段33以及连接段34，第一导向段31从上往下沿籽晶的轴向延伸，第二导向段32从上往下向籽晶收缩，第三导向段33从上往下向籽晶收缩，连接段34径向延伸至籽晶外周，通过第一导向段31、第二导向段32、第三导向段33以及连接段34的配合，改变炉台使用过程中流动气氛的运动路线，减少杂质在籽晶表面的堆积，增加籽晶的使用寿命，减少流动气氛在籽晶表面产生的涡流，减少杂质在籽晶表面的堆积，延长了籽晶的使用寿命，减少了因籽晶表面杂质过多导致的成晶困难现象。
第二导向段32为直线段，第二导向段32和水平面的夹角为a，80°≥a≥45°，第三导向段33为弧线段，进一步减小涡流的产生。
夹持孔2包括从上往下依次首尾连接的导入孔段21、第一过渡孔段22、连接孔段23、第二过渡孔段24以及安装孔段25，导入孔段21为锥形段，导入孔段21从上往下向内收缩，连接孔段23内具有用于与旋转机构连接的螺纹，使得夹头与重锤配合牢固。
安装孔段25包括从上往下依次首尾连接的第一孔段251、第二孔段252以及第三孔段253，第二孔段252从上往下向籽晶收缩。
夹持本体1上开设有沿其夹持本体1径向延伸的延伸孔11，延伸孔11和第二过渡孔段24连通，延伸孔11用于连通夹头内外避免低压高温下内腔与外界气压差导致的籽晶晃动及夹头损坏。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (6)
1.一种单晶炉用降低籽晶氧化的夹头，该夹头安装在单晶炉内，其特征是，该夹头包括夹持本体(1)，所述夹持本体(1)内部开设有用于夹持籽晶的夹持孔(2)，所述夹持本体(1)外部就有导引单晶炉内保护气体的导向面(3)；
所述导向面(3)包括从上往下依次首尾连接的第一导向段(31)、第二导向段(32)、第三导向段(33)以及连接段(34)，所述第一导向段(31)从上往下沿籽晶的轴向延伸，所述第二导向段(32)从上往下向籽晶收缩，所述第三导向段(33)从上往下向籽晶收缩，所述连接段(34)径向延伸至籽晶外周。
2.如权利要求1所述的一种单晶炉用降低籽晶氧化的夹头，其特征在于：所述第二导向段(32)为直线段，第二导向段(32)和水平面的夹角为a，80°≥a≥45°。
3.如权利要求1所述的一种单晶炉用降低籽晶氧化的夹头，其特征在于：所述第三导向段(33)为弧线段。
4.如权利要求1所述的一种单晶炉用降低籽晶氧化的夹头，其特征在于：所述夹持孔(2)包括从上往下依次首尾连接的导入孔段(21)、第一过渡孔段(22)、连接孔段(23)、第二过渡孔段(24)以及安装孔段(25)，所述导入孔段(21)从上往下向内收缩，所述连接孔段(23)内具有用于与旋转机构连接的螺纹。
5.如权利要求4所述的一种单晶炉用降低籽晶氧化的夹头，其特征在于：所述安装孔段(25)包括从上往下依次首尾连接的第一孔段(251)、第二孔段(252)以及第三孔段(253)，所述第二孔段(252)从上往下向籽晶收缩。
6.如权利要求4所述的一种单晶炉用降低籽晶氧化的夹头，其特征在于：所述夹持本体(1)上开设有沿其夹持本体(1)径向延伸的延伸孔(11)，所述延伸孔(11)和第二过渡孔段(24)连通。
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