CN219571646U - 一种管道系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种管道系统，包括平台、第一闸阀和第二闸阀，所述第一闸阀和所述第二闸阀分别连接所述平台，自所述第一闸阀输入的冷媒在对所述平台进行制冷后经由所述第二闸阀输出，还包括清洗管路，所述清洗管路连接所述第一闸阀和/或第二闸阀，所述清洗管路具有至少一种流通状态，以对至少所述平台进行清洗。该管道系统在不拆除或更换平台的情况下，可快速的清洁平台内的水垢，节约维修及时间成本；方便查看平台内的堵塞情况，提高清洗作业的便捷性和有效性。

Description

一种管道系统

技术领域

本实用新型涉及显示屏生产装置领域，尤其涉及一种管道系统。

背景技术

光刻工艺是显示屏生产的重要环节之一，而光刻车间设备因制程需求，部分工段需对平台温度管控。

考虑成本原因，目前平台基本使用厂务提供的PCW（工艺冷却水系统）水进行制冷，但是PCW水的水质不纯、杂质较多，长时间使用后平台及其对接的管道容易堵塞，且冷却系统为封闭系统，一旦发生堵塞需拆卸平台进行清洁，耗时长且成本较高。

因此，在不拆除或更换平台的情况下，设计出一种能够快速清洁平台的管道系统尤为重要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种管道系统，用于解决平台堵塞及堵塞后清理困难的问题，并减少作业时间和成本。

本实用新型的目的采用以下技术方案实现：

一种管道系统，包括平台、第一闸阀和第二闸阀，所述第一闸阀和所述第二闸阀分别连接所述平台，自所述第一闸阀输入的冷媒在对所述平台进行制冷后经由所述第二闸阀输出；

还包括清洗管路，所述清洗管路至少连接所述平台以对其进行清洗。

在一可选地方案中，所述管道系统还包括防堵检测装置；

所述防堵检测装置包括流量计，所述流量计设置在所述平台与所述第一闸阀之间；或者，

所述防堵检测装置包括第一压力传感器和第二压力传感器，所述第一压力传感器设置在所述平台的输入端处，所述第二压力传感器设置在所述平台的输出端处。

在一可选地方案中，所述清洗管路包括：

水槽，所述水槽内加注有清洗剂；

第三闸阀，所述第三闸阀连接所述水槽，所述第三闸阀被配置为第一纯水入口；

第四闸阀，所述第四闸阀连接所述水槽，所述第四闸阀被配置为排水口；

第一三通阀，所述第一三通阀连接所述平台和所述第一闸阀，所述第一三通阀还通过循环泵连接所述水槽；

第二三通阀，所述第二三通阀连接所述平台和所述第二闸阀，所述第一三通阀还连接所述水槽。

在一可选地方案中，所述清洗管路还包括第三三通阀，所述第三三通阀连接所述第一三通阀和所述循环泵，所述第三三通阀的空余阀口被配置为第二纯水入口。

在一可选地方案中，所述水槽内的清洗剂经所述循环泵、所述第一三通阀、所述平台、所述第二三通阀回流至所述水槽，形成第一流通状态；

所述第三三通阀输入的纯水经所述第一三通阀、所述平台、所述第二三通阀、所述水槽流向所述第四闸阀，形成第二流通状态。

在一可选地方案中，所述循环泵上设置有计时模块，所述计时模块被配置为对循环泵的作业时间进行计时。

在一可选地方案中，所述第一闸阀与所述平台之间连接有调节阀。

在一可选地方案中，所述第一闸阀的输入端和/或输出端设置有滤网。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果至少包括：

1、在不拆除或更换平台的情况下，可快速的清洁平台内的水垢，节约维修及时间成本。

2、方便查看平台内的堵塞情况，提高清洗作业的便捷性和有效性。

附图说明

图1是本实用新型实施例的管道系统的示意图。

图中：1、平台，2、第一闸阀，3、第二闸阀，4、防堵检测装置，5、水槽，6、第三闸阀，7、第四闸阀，8、第一三通阀，9、第二三通阀，10、循环泵，11、第三三通阀，12、调节阀。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本实用新型更全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。在图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略对它们的重复描述。

本实用新型中所描述的表达位置与方向的词，均是以附图为例进行的说明，但根据需要也可以做出改变，所做改变均包含在本实用新型保护范围内。

参见图1所示，本实用新型提供了一种管道系统，其主要用于光刻车间设备，也可以用于其它需对平台1温控的设备上，该管道系统包括平台1、第一闸阀2和第二闸阀3，第一闸阀2和第二闸阀3分别连接平台1，作为示例，可以将第一闸阀2配置为冷媒入口、第二闸阀3配置为冷媒出口，冷媒优选PCW水，以减少温度管控成本，自第一闸阀2输入的冷媒在对平台1进行制冷后经由第二闸阀3输出，从而实现对平台1温度的管控。

此外，管道系统还包括清洗管路，清洗管路至少连接平台1以对其进行清洗，即清洗管路可直接连接平台1，从而对平台1内部进行清洗，或者，清洗管路也可以连接第一闸阀2和/或第二闸阀3，从而对平台1内部及连接平台1的部分管段进行清洗，以避免管道系统堵塞影响生产进程。

在一具体实施方式中，清洗管路包括水槽5、第三闸阀6、第四闸阀7、第一三通阀8和第二三通阀9。

其中，水槽5上设置有槽盖，以方便通过槽盖往水槽5内加注清洗剂，清洗剂在混合纯水后通入平台1，可对其内部的水垢、铁锈等杂质进行化学反应，以提高清洗效率及效果，作为示例，清洗剂优选钙尔西康除垢剂，该清洗剂无毒并含有的金属缓蚀剂可确保普通金属部件不受到任何腐蚀，在清洗后可以防止回锈产生。此外，还可以在水槽5内设置液位传感器（未示出），或者，在水槽5的侧壁上设置透明的液位视窗（未示出），以方便了解水槽5内的液位变化，从而对水槽5进行补水或排水处理。

第三闸阀6和第四闸阀7均连接到水槽5，第三闸阀6被配置为第一纯水入口，通过控制第三闸阀6的启闭，可向水槽5内输入定量的纯水，第四闸阀7被配置为排水口，通过控制第四闸阀7的启闭，可将水槽5内的余液排出。

第一三通阀8连接平台1和第一闸阀2，第一三通阀8还通过循环泵10连接水槽5，以图1为例，具体地说，即第一三通阀8处于平台1和第一闸阀2之间，第一三通阀8的左端通过循环泵10连接水槽5，第一三通阀8的上端连接平台1的输入端，第一三通阀8的下端连接第一闸阀2的输出端。

第二三通阀9连接平台1和第二闸阀3，第一三通阀8还连接水槽5。仍是以图1为例，即第二三通阀9处于平台1和第三闸阀6之间，第二三通阀9的上端连接平台1的输出端，第二三通阀9的下端连接第二闸阀3的输入端，第二三通阀9的右端连接水槽5。

进一步地，清洗管路还包括第三三通阀11，第三三通阀11连接第一三通阀8和循环泵10，第三三通阀11的空余阀口被配置为第二纯水入口，具体地说，即第三三通阀11处于第一三通阀8和循环泵10之间，第三三通阀11的左端连接循环泵10，第三三通阀11的右端连接第一三通阀8的左端。

上述清洗管路在对平台1清洗时具有至少一种流通状态，作为示例，将水槽5内的清洗剂经循环泵10、第一三通阀8、平台1、第二三通阀9回流至水槽5，形成第一流通状态，该第一流通状态被定义为循环清洗状态。而将第三三通阀11输入的纯水经第一三通阀8、平台1、第二三通阀9、水槽5流向第四闸阀7，形成第二流通状态，该第二流通状态被定义为冲洗状态。

在循环清洗状态下，将第一闸阀2、第二闸阀3和第四闸阀7关闭，第三闸阀6打开往水槽5内通入纯水，并与水槽5内的清洗剂进行混合形成混合液，使第一三通阀8的左端和上端流通、第二三通阀9的上端和右端连接，循环泵10直接或通过第三三通阀11（第三三通阀11的左端和右端流通）向第一三通阀8输入混合液，混合液自水槽5通入到平台1并回流至水槽5，如此循环往复实现对平台1内部的清洗。

在冲洗状态下，将第一闸阀2、第二闸阀3和第三闸阀6关闭，第四闸阀7打开，使第一三通阀8的左端和上端流通、第二三通阀9的上端和右端流通、第三三通阀11的空余阀口和右端流通，通过从第三三通阀11的空余阀口输入纯水，纯水经过平台1、水槽5后自第四闸阀7排出，以清除平台1及连接平台1的部分管段内的残留混合液，进一步提高清洗效果。

除通过清洗管路进行清洗，该管道系统还可以在平台1和/或与连接平台1的部分管段上安装超声波振子/振板（未示出），以靠超声波在介质中的空化作用，同样可对平台1内水垢进行清洗，更进一步提高清洗效果。

在对平台1清洗结束后关闭清洗管路，使第一三通阀8的上端和下端流通、第二三通阀9的上端和下端流通，即可将管道系统切换至正常工作状态。

在一较佳的实施方式中，管道系统还包括防堵检测装置4，该防堵检测装置4可以连接报警器实现堵塞预警的功能。通过增设防堵检测装置4，相较于定期清洗方式而言，能更方便的查看平台1内堵塞情况，从而判断是否需要对管道系统进行清洗。

作为示例，防堵检测装置4包括流量计（如图1所示），流量计设置在平台1与第一闸阀2之间并连接二者，流量计用于监控正常使用时流量变化，当低于预设流量时，则判断管道系统堵塞。或者，防堵检测装置4包括第一压力传感器和第二压力传感器（未示出），第一压力传感器设置在平台1的输入端处，第二压力传感器设置在平台1的输出端处，正常状态下第一压力传感器与第二压力传感器的压差持平或在一个相对较小的范围内，当平台1两端压差大于预设值时，则判断管道系统堵塞。

在一较佳的实施方式中，循环泵10上设置有计时模块（未示出），计时模块被配置为对循环泵10的作业时间进行计时，通过计时模块控制，可灵活调节循环清洗状态的时间，实现自动化控制。

在一较佳的实施方式中，第一闸阀2与平台1之间连接有调节阀12，通调节阀12可对冷媒的流量、压力、温度等参数进行调节，从而实现平台1的温度管控。

在一较佳的实施方式中，第一闸阀2的输入端和/或输出端设置有滤网（未示出）。滤网可对杂质进行过滤，提高冷媒的纯净度，从而延长管道系统的使用寿命。滤网采用耐腐蚀材质制成，例如，滤网为不锈钢滤网、陶瓷滤网或树脂滤网等，以保证滤网自身的使用寿命。

尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下，在实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型，所有的这些改变都应该属于本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种管道系统，包括平台（1）、第一闸阀（2）和第二闸阀（3），所述第一闸阀（2）和所述第二闸阀（3）分别连接所述平台（1），自所述第一闸阀（2）输入的冷媒在对所述平台（1）进行制冷后经由所述第二闸阀（3）输出；

其特征在于，还包括清洗管路，所述清洗管路至少连接所述平台（1）以对其进行清洗。

2.根据权利要求1所述的管道系统，其特征在于，所述管道系统还包括防堵检测装置（4）；

所述防堵检测装置（4）包括流量计，所述流量计设置在所述平台（1）与所述第一闸阀（2）之间；或者，

所述防堵检测装置（4）包括第一压力传感器和第二压力传感器，所述第一压力传感器设置在所述平台（1）的输入端处，所述第二压力传感器设置在所述平台（1）的输出端处。

3.根据权利要求1所述的管道系统，其特征在于，所述清洗管路包括：

水槽（5），所述水槽（5）内加注有清洗剂；

第三闸阀（6），所述第三闸阀（6）连接所述水槽（5），所述第三闸阀（6）被配置为第一纯水入口；

第四闸阀（7），所述第四闸阀（7）连接所述水槽（5），所述第四闸阀（7）被配置为排水口；

第一三通阀（8），所述第一三通阀（8）连接所述平台（1）和所述第一闸阀（2），所述第一三通阀（8）还通过循环泵（10）连接所述水槽（5）；

第二三通阀（9），所述第二三通阀（9）连接所述平台（1）和所述第二闸阀（3），所述第一三通阀（8）还连接所述水槽（5）。

4.根据权利要求3所述的管道系统，其特征在于，所述清洗管路还包括第三三通阀（11），所述第三三通阀（11）连接所述第一三通阀（8）和所述循环泵（10），所述第三三通阀（11）的空余阀口被配置为第二纯水入口。

5.根据权利要求4所述的管道系统，其特征在于，所述水槽（5）内的清洗剂经所述循环泵（10）、所述第一三通阀（8）、所述平台（1）、所述第二三通阀（9）回流至所述水槽（5），形成第一流通状态；

所述第三三通阀（11）输入的纯水经所述第一三通阀（8）、所述平台（1）、所述第二三通阀（9）、所述水槽（5）流向所述第四闸阀（7），形成第二流通状态。

6.根据权利要求3所述的管道系统，其特征在于，所述循环泵（10）上设置有计时模块，所述计时模块被配置为对循环泵（10）的作业时间进行计时。

7.根据权利要求1所述的管道系统，其特征在于，所述第一闸阀（2）与所述平台（1）之间连接有调节阀（12）。

8.根据权利要求1所述的管道系统，其特征在于，所述第一闸阀（2）的输入端和/或输出端设置有滤网。