CN219400798U - 一种碳化硅外延片加工用涂层装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种碳化硅外延片加工用涂层装置，涉及碳化硅外延片领域，包括底座，所述底座的内壁安装有第一转轴，所述第一转轴的两侧均安装有第一夹持板，所述第一夹持板的内壁固定连接有第一连接套，所述第一连接套的内壁安装有第一海绵。本实用新型通过设置的第一转轴、底座和第一夹持板，第一转轴与底座对第一夹持板起到旋转作用，在使用装置时，第一弹簧对第一夹持板进行支撑，第一夹持板的设置便于对碳化硅外延片进行贴合涂层，增加了装置的使用性，通过设置的涂料箱和盖板，涂料箱对盖板起到卡合固定作用，在使用装置时，涂料箱的设置便于对涂料进行存储，便于对装置进行持续涂层，效率快，增加了装置的使用性。
Description
技术领域
本实用新型涉及碳化硅外延片领域，具体为一种碳化硅外延片加工用涂层装置。
背景技术
碳化硅材料拥有优异的物理性能和稳定的化学性能，与传统硅材料相比，具有更大的禁带宽度、更高的击穿电场强度和更高的热导率，可以在更为苛刻的条件下服役，在工业制造、新能源、国防装备等领域都有重要应用，因此需要一种碳化硅外延片加工用涂层装置。
现有的技术公开号为CN214244604U的专利文献中提供一种用于碳化硅外延片生长的载盘，包括环形本体和放置碳化硅衬底的延伸部，延伸部沿着环形本体的圆心方向延伸并凸出环形本体，环形本体上具有复数个延伸部；延伸部为条状和/或块状。本实用新型还公开了采用此载盘的载台，用于碳化硅外延片生长。本实用新型可以提高碳化硅外延片生长温度的均匀性，从而提高其掺杂浓度均匀性，但是CN214244604U技术在进行操作时，不便于对装置进行持续涂层，效率慢，不便于根据碳化硅外延片的尺寸进行快速固定，不便于对碳化硅外延片进行贴合涂层的问题，为此急需一种碳化硅外延片加工用涂层装置。
实用新型内容
基于此，本实用新型的目的是提供一种碳化硅外延片加工用涂层装置，以解决现有的碳化硅外延片加工用涂层装置在使用的时候，不便于对装置进行持续涂层，效率慢，不便于根据碳化硅外延片的尺寸进行快速固定，不便于对碳化硅外延片进行贴合涂层的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种碳化硅外延片加工用涂层装置，包括底座，所述底座的内壁安装有第一转轴，所述第一转轴的两侧均安装有第一夹持板，所述第一夹持板的内壁固定连接有第一连接套，所述第一连接套的内壁安装有第一海绵，所述第一夹持板的一端固定连接有第一弹簧。
所述底座的一端焊接有支撑架，所述支撑架的上端安装有存储机构，所述支撑架的下端均固定连接有第二弹簧，所述支撑架的内壁安装有第二转轴，所述第二转轴的两侧均安装有第二夹持板，所述第二夹持板的内壁均固定连接有第二连接套，所述第二连接套的内壁安装有第二海绵。
所述底座的上端固定连接有电机，所述电机的前方表面法兰连接有转盘，所述转盘的上端抵触有移动架，所述移动架的一端焊接有套环，所述套环的两端均固定连接有收紧杆，所述收紧杆的一端安装有橡胶块，所述橡胶块的一侧抵触有碳化硅片。
优选地，所述存储机构包括涂料箱、导管和盖板，所述涂料箱安装在支撑架的上端，所述涂料箱的内壁均安装有导管，所述涂料箱的上端安装有盖板。
优选地，所述第一夹持板通过第一转轴与底座起到旋转作用，在使用装置时，第一夹持板以底座的中轴线对称设置。
优选地，所述第一连接套与第一海绵卡合连接，且第一连接套的内壁为开孔式设计。
优选地，所述涂料箱与盖板卡合连接，且涂料箱的外壁长度与盖板的外壁长度相同。
优选地，所述第二夹持板通过第二转轴与支撑架构成旋转结构，且第二夹持板的内壁为开孔式设计。
优选地，所述移动架与底座活动连接，且移动架与底座垂直设置。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型通过设置的第一转轴、底座和第一夹持板，第一转轴与底座对第一夹持板起到旋转作用，在使用装置时，第一弹簧对第一夹持板进行支撑，第一夹持板的设置便于对碳化硅外延片进行贴合涂层，增加了装置的使用性；
2、本实用新型通过设置的涂料箱和盖板，涂料箱对盖板起到卡合固定作用，在使用装置时，涂料箱的设置便于对涂料进行存储，便于对装置进行持续涂层，效率快，增加了装置的使用性；
3、本实用新型通过设置的套环和收紧杆，套环对收紧杆起到螺纹固定作用，在使用装置时，收紧杆的设置便于根据碳化硅外延片的尺寸进行快速固定，增加了装置的使用性。
附图说明
图1为本实用新型的正视剖视图；
图2为本实用新型存储机构的结构示意图；
图3为本实用新型的图1中A处放大结构示意图；
图4为本实用新型第一连接套与第一海绵零件组合结构示意图。
图中：1、底座；2、第一转轴；3、第一夹持板；4、第一连接套；5、第一海绵；6、第一弹簧；7、支撑架；8、存储机构；801、涂料箱；802、导管；803、盖板；9、第二弹簧；10、第二转轴；11、第二夹持板；12、第二连接套；13、第二海绵；14、电机；15、转盘；16、移动架；17、套环；18、收紧杆；19、橡胶块；20、碳化硅片。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
下面根据本实用新型的整体结构，对其实施例进行说明。
请参阅图1-4，一种碳化硅外延片加工用涂层装置，包括底座1，底座1的内壁安装有第一转轴2，第一转轴2的两侧均安装有第一夹持板3，第一夹持板3通过第一转轴2与底座1起到旋转作用，在使用装置时，第一夹持板3以底座1的中轴线对称设置，第一夹持板3的内壁固定连接有第一连接套4，第一连接套4的内壁安装有第一海绵5，第一连接套4与第一海绵5卡合连接，且第一连接套4的内壁为开孔式设计，第一夹持板3的一端固定连接有第一弹簧6，通过设置第一转轴2与底座1对第一夹持板3起到旋转作用，在使用装置时，第一弹簧6对第一夹持板3进行支撑，第一夹持板3的设置便于对碳化硅外延片进行贴合涂层，增加了装置的使用性。
请参阅图1-4，一种碳化硅外延片加工用涂层装置，底座1的一端焊接有支撑架7，支撑架7的上端安装有存储机构8，存储机构8包括涂料箱801、导管802和盖板803，涂料箱801安装在支撑架7的上端，涂料箱801的内壁均安装有导管802，涂料箱801的上端安装有盖板803，涂料箱801与盖板803卡合连接，且涂料箱801的外壁长度与盖板803的外壁长度相，支撑架7的下端均固定连接有第二弹簧9，支撑架7的内壁安装有第二转轴10，第二转轴10的两侧均安装有第二夹持板11，第二夹持板11通过第二转轴10与支撑架7构成旋转结构，且第二夹持板11的内壁为开孔式设计，第二夹持板11的内壁均固定连接有第二连接套12，第二连接套12的内壁安装有第二海绵13，通过设置涂料箱801对盖板803起到卡合固定作用，在使用装置时，涂料箱801的设置便于对涂料进行存储，便于对装置进行持续涂层，效率快，增加了装置的使用性。
请参阅图1-4，一种碳化硅外延片加工用涂层装置，底座1的上端固定连接有电机14，电机14的前方表面法兰连接有转盘15，转盘15的上端抵触有移动架16，移动架16与底座1活动连接，且移动架16与底座1垂直设置，移动架16的一端焊接有套环17，套环17的两端均固定连接有收紧杆18，收紧杆18的一端安装有橡胶块19，橡胶块19的一侧抵触有碳化硅片20，通过设置套环17对收紧杆18起到螺纹固定作用，在使用装置时，收紧杆18的设置便于根据碳化硅外延片的尺寸进行快速固定，增加了装置的使用性。
工作原理：使用时，将装置取出放置在指定位置，再将移动架16对底座1进行活动调节到指定位置，再将碳化硅片20放置在套环17内壁，再将收紧杆18对套环17进行螺纹固定，将碳化硅片20进行固定，再将涂料箱801对盖板803进行拆卸，再将涂料箱801内部存储原料，再将涂料箱801对支撑架7进行卡合固定，再将电机14打开，将电机14驱动转盘15进行旋转，将转盘15对移动架16进行移动，最后将第一弹簧6对第一夹持板3进行抵触，将第二弹簧9对第二夹持板11进行抵触，将第二海绵13对碳化硅片20进行涂层，这样就完成了装置的使用过程，本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
术语“中心”、“纵向”、“横向”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为便于描述本实用新型的简化描述，而不是指示或暗指所指的装置或元件必须具有特定的方位、为特定的方位构造和操作，因而不能理解为对本实用新型保护内容的限制。
尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种碳化硅外延片加工用涂层装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的内壁安装有第一转轴(2)，所述第一转轴(2)的两侧均安装有第一夹持板(3)，所述第一夹持板(3)的内壁固定连接有第一连接套(4)，所述第一连接套(4)的内壁安装有第一海绵(5)，所述第一夹持板(3)的一端固定连接有第一弹簧(6)；
所述底座(1)的一端焊接有支撑架(7)，所述支撑架(7)的上端安装有存储机构(8)，所述支撑架(7)的下端均固定连接有第二弹簧(9)，所述支撑架(7)的内壁安装有第二转轴(10)，所述第二转轴(10)的两侧均安装有第二夹持板(11)，所述第二夹持板(11)的内壁均固定连接有第二连接套(12)，所述第二连接套(12)的内壁安装有第二海绵(13)；
所述底座(1)的上端固定连接有电机(14)，所述电机(14)的前方表面法兰连接有转盘(15)，所述转盘(15)的上端抵触有移动架(16)，所述移动架(16)的一端焊接有套环(17)，所述套环(17)的两端均固定连接有收紧杆(18)，所述收紧杆(18)的一端安装有橡胶块(19)，所述橡胶块(19)的一侧抵触有碳化硅片(20)。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅外延片加工用涂层装置，其特征在于：所述存储机构(8)包括涂料箱(801)、导管(802)和盖板(803)，所述涂料箱(801)安装在支撑架(7)的上端，所述涂料箱(801)的内壁均安装有导管(802)，所述涂料箱(801)的上端安装有盖板(803)。
3.根据权利要求1所述的一种碳化硅外延片加工用涂层装置，其特征在于：所述第一夹持板(3)通过第一转轴(2)与底座(1)起到旋转作用，在使用装置时，第一夹持板(3)以底座(1)的中轴线对称设置。
4.根据权利要求1所述的一种碳化硅外延片加工用涂层装置，其特征在于：所述第一连接套(4)与第一海绵(5)卡合连接，且第一连接套(4)的内壁为开孔式设计。
5.根据权利要求2所述的一种碳化硅外延片加工用涂层装置，其特征在于：所述涂料箱(801)与盖板(803)卡合连接，且涂料箱(801)的外壁长度与盖板(803)的外壁长度相同。
6.根据权利要求1所述的一种碳化硅外延片加工用涂层装置，其特征在于：所述第二夹持板(11)通过第二转轴(10)与支撑架(7)构成旋转结构，且第二夹持板(11)的内壁为开孔式设计。
7.根据权利要求1所述的一种碳化硅外延片加工用涂层装置，其特征在于：所述移动架(16)与底座(1)活动连接，且移动架(16)与底座(1)垂直设置。
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