CN219321366U - 一种光伏硅片超声刻蚀槽体 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种光伏硅片超声刻蚀槽体，包括槽体本体，槽体本体内设置有底板，底板上设置有支撑架用于花篮承托，还包括药水循环组件；药水循环组件包括设置在槽体本体外部的循环泵，循环泵的入口连通有进液管路且进液管路的入口连通至底板的底部，循环泵的出口连通有出液管路，槽体本体的顶部水平设置有喷淋管且喷淋管上均匀开设有喷淋孔，出液管路的出口连通至喷淋管的入口。本实用新型通过改变传统工艺槽的药水循环方式，硅片放置于花篮内部，运行时药水由上至下流入循环泵，再由循环泵重新打到上部喷淋管，从而实现药水循环使用的同时反复的清洗硅片，保证残渣沉淀在槽体底部，有效的提高硅片了清洗效率。

Description

一种光伏硅片超声刻蚀槽体

技术领域

本实用新型涉及光伏电池片生产设备技术领域，特别涉及一种光伏硅片超声刻蚀槽体。

背景技术

光伏发电已经成为一种可替代化石能源的技术，这依赖于近年不断降低的生产成本和光电转换效率的提升。按照光伏电池片的材质，以高纯度硅材作为主要原材料的晶体硅太阳能电池是主流产品，太阳能电池的制作过程需要经过扩散、印刷等多道工序，由于经切片、研磨、倒角、抛光等多道工序加工成的硅片表面已吸附了各种杂质：如颗粒、金属粒子、硅粉粉尘及有机杂质，在进行扩散前需要进行清洗以消除各类污染物，并制作能够减少表面太阳光反射的绒面结构(制绒)，且清洗的洁净程度直接影响着电池片的成品率和可靠率。

在硅片清洗制绒过程中，花篮用于盛放硅片便于清洗和转移，即把硅片放在花篮里，通过机械手臂传递花篮依次到不同工艺槽里使来料硅片实现清洗并利用工艺槽中的药水实现在硅片表面的刻蚀制绒，由于硅片表面在前道切片、研磨、倒角、抛光等工序中会产生残渣以及在刻蚀过程中会产生大量残渣，而残渣的存在会严重影响刻蚀的效果，因此需要在蚀刻过程中有效的将硅片表面产生的残渣及时清除以确保刻蚀效果。

但是，现有技术的刻蚀工艺槽药水循环基本是从底部进水，槽内药水流向为从下至上，因此会将已经冲洗并沉积下来的残渣再次翻涌并随药水重复接触硅片表面造成二次污染，因此，传统的药水循环方式有局限性而导致清洗效果及刻蚀效果较差，不适用于硅片表面有残渣的情况。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种光伏硅片超声刻蚀槽体，包括槽体本体，所述槽体本体内设置有底板，所述底板上设置有支撑架用于花篮承托；还包括药水循环组件；

所述药水循环组件包括设置在所述槽体本体外部的循环泵，所述循环泵的入口连通有进液管路且所述进液管路的入口连通至所述底板的底部，所述循环泵的出口连通有出液管路，所述槽体本体的顶部水平设置有喷淋管且所述喷淋管上均匀开设有喷淋孔，所述出液管路的出口连通至所述喷淋管的入口。

其中，所述底板包括倾斜设置的第一底板及水平设置的第二底板，且所述第一底板的低位端连接至所述第二底板。

其中，所述进液管路的入口连通至所述第二底板的底部。

进一步的，所述第二底板上还设置有对应所述进液管路入口的过滤罩。

进一步的，所述支撑架上还设置有位于所述花篮下方的超声设备。

通过上述技术方案，本实用新型通过改变传统工艺槽的药水循环方式，硅片放置于花篮内部，运行时药水由上至下流入循环泵，再由循环泵重新打到上部喷淋管，从而实现药水循环使用的同时反复的清洗硅片，保证残渣沉淀在槽体底部；进一步的通过花篮下方安装的超声设备，从而实现更好的从硅片上分离残渣，提高硅片的清洗效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1为本实用新型实施例所公开的刻蚀槽体结构示意图。

图中数字表示：10.槽体本体；11.第一底板；12.第二底板；13.支撑架；20.循环泵；21.进液管路；22.出液管路；23.喷淋管；231.喷淋孔；24.过滤罩；30.花篮；40.超声设备。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

实施例1：

参考图1，本实施例1提供了一种光伏硅片超声刻蚀槽体，包括槽体本体10，槽体本体10内设置有底板，底板上设置有支撑架13用于花篮30承托；还包括药水循环组件；药水循环组件包括设置在槽体本体10外部的循环泵20，循环泵20的入口连通有进液管路21且进液管路21的入口连通至底板的底部，循环泵20的出口连通有出液管路22，槽体本体10的顶部水平设置有喷淋管23且喷淋管23上均匀开设有喷淋孔231，出液管路22的出口连通至喷淋管23的入口。

本实施例1通过改变传统工艺槽的药水循环方式，硅片放置于花篮30内部，运行时药水由上至下流入循环泵20，再由循环泵20重新打到上部喷淋管23，从而实现药水循环使用的同时反复的清洗硅片，保证残渣沉淀在槽体底部以避免重复翻涌并导致硅片二次污染，从而有效的提高硅片了清洗效率。

实施例2：

基于实施例1，本实施例2中，底板包括倾斜设置的第一底板11及水平设置的第二底板12，且第一底板11的低位端连接至第二底板12，进液管路21的入口连通至第二底板12的底部，第二底板12上还设置有对应进液管路21入口的过滤罩24。

本实施例2通过将底板设置为组合的倾斜设置的第一底板11及水平设置的第二底板12，可以利用倾斜的第一底板11将沉积的残渣引导至水平的第二底板12上，并通过过滤罩24实现对残渣的过滤以确保循环药水中不含有残渣，进一步确保了硅片清洗效率。

实施例3：

基于实施例1或2，本实施例3中，支撑架13上还设置有位于花篮30下方的超声设备40。

本实施例3通过在花篮下方安装的超声设备40，利用超声作用从而实现更好的从硅片上分离残渣，提高硅片的清洗效率。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对上述实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (5)

1.一种光伏硅片超声刻蚀槽体，包括槽体本体(10)，所述槽体本体(10)内设置有底板，所述底板上设置有支撑架(13)用于花篮(30)承托；其特征在于，还包括药水循环组件；

所述药水循环组件包括设置在所述槽体本体(10)外部的循环泵(20)，所述循环泵(20)的入口连通有进液管路(21)且所述进液管路(21)的入口连通至所述底板的底部，所述循环泵(20)的出口连通有出液管路(22)，所述槽体本体(10)的顶部水平设置有喷淋管(23)且所述喷淋管(23)上均匀开设有喷淋孔(231)，所述出液管路(22)的出口连通至所述喷淋管(23)的入口。

2.根据权利要求1所述的一种光伏硅片超声刻蚀槽体，其特征在于，所述底板包括倾斜设置的第一底板(11)及水平设置的第二底板(12)，且所述第一底板(11)的低位端连接至所述第二底板(12)。

3.根据权利要求2所述的一种光伏硅片超声刻蚀槽体，其特征在于，所述进液管路(21)的入口连通至所述第二底板(12)的底部。

4.根据权利要求3所述的一种光伏硅片超声刻蚀槽体，其特征在于，所述第二底板(12)上还设置有对应所述进液管路(21)入口的过滤罩(24)。

5.根据权利要求1所述的一种光伏硅片超声刻蚀槽体，其特征在于，所述支撑架(13)上还设置有位于所述花篮(30)下方的超声设备(40)。

Images