CN219017581U - 晶片腐蚀放置架 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种晶片腐蚀放置架，涉及碳化硅晶片腐蚀技术领域，该种晶片腐蚀放置架，包括承载框架、辅助卡持架和扶手架，辅助卡持架的两端与承载框架的中部连接，并朝向承载框架的一侧凸起，承载框架相对的两个侧边上设置有多个侧边卡槽，辅助卡持架远离承载框架的侧边上设置有多个底边卡槽，多个底边卡槽与两侧的侧边卡槽分别对应，扶手架的两端铰接于承载框架的中部。相较于现有技术，本实用新型通过多个底边卡槽和侧边卡槽来实现对晶片的边缘卡槽，避免了支架与晶片表面的直接接触，能够保证腐蚀的均匀性，并且能够同时实现对多个晶片的卡持，进而实现对多片晶片的同时腐蚀，大大提升了腐蚀效率，保证了腐蚀效果。

Description

晶片腐蚀放置架

技术领域

本实用新型涉及碳化硅晶片腐蚀技术领域，具体而言，涉及一种晶片腐蚀放置架。

背景技术

由于碳化硅特殊的腐蚀条件，需要在500℃左右熔融态的KOH溶液中放置15～20分钟，所以坩埚材料一般选用Ni金属，传统的坩埚和支架一般选择焊接结构，Ni金属材料软，焊接精度达不到要求，影响使用且浪费资源，并且一般情况下，常规的支架并不能同时腐蚀多片晶片，导致晶片腐蚀增加了时间成本。进一步地，传统的腐蚀支架一般是直接接触，即将晶片放置在支架表面，这样会影响腐蚀的均匀性，容易给缺陷的检测结果带来误差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶片腐蚀放置架，其能够采用组装式结构，并能够同时卡持多片晶片，实现对多片晶片的同时腐蚀，并且采用边缘卡持式的结构，能够进一步保证腐蚀的均匀性，保证了腐蚀的效果。

本实用新型的实施例是这样实现的：

本实施例提供了一种晶片腐蚀放置架，包括承载框架、辅助卡持架和扶手架，所述辅助卡持架的两端与所述承载框架的中部连接，并朝向所述承载框架的一侧凸起，所述承载框架相对的两个侧边上设置有多个侧边卡槽，所述辅助卡持架远离所述承载框架的侧边上设置有多个底边卡槽，多个所述底边卡槽与两侧的所述侧边卡槽分别对应，并用于卡持晶片的边缘，所述扶手架的两端铰接于所述承载框架的中部，并用于朝向所述承载框架的另一侧凸起，以对所述晶片的边缘进行限位。

进一步地，所述辅助卡持架包括辅助支撑架体和设置在所述辅助支撑架体两端的辅助连接架体，所述辅助连接架体的一端与所述承载框架的中部连接，另一端与所述辅助支撑架体连接，所述底边卡槽设置在所述辅助支撑架体上。

进一步地，所述承载框架包括依次连接的两个承载连接架体和两个承载支撑架体，所述辅助连接架体与所述承载连接架体的中部连接，所述扶手架的两端分别铰接于两个所述承载连接架体的中部，两个所述承载支撑架体相对设置在所述承载连接架体的两端，所述侧边卡槽设置在两个所述承载支撑架体上。

进一步地，所述扶手架包括扶手连接架体和扶手固定架体，所述扶手连接架体设置在所述扶手固定架体的两端，并铰接于所述承载连接架体的中部。

进一步地，所述扶手架还包括固定杆，所述固定杆设置在所述扶手固定架体处，且所述固定杆的两端分别与两个所述扶手连接架体连接，所述固定杆用于对所述晶片的边缘进行限位。

进一步地，所述承载连接架体的中部设置有连接片，所述连接片上设置有连接件，所述连接件与所述扶手连接架体的端部可拆卸连接，以使所述扶手连接架体与所述连接片铰接。

进一步地，所述晶片腐蚀放置架还包括连接杆，所述连接杆的两端分别连接于所述承载框架的两个顶点处，且所述连接杆的中部连接于所述辅助卡持架。

进一步地，所述连接杆呈半圆形。

进一步地，所述晶片腐蚀放置架还包括承载底座，所述连接杆和所述辅助卡持架放置在所述承载底座上，且所述承载底座上开设有容置槽，所述连接杆容置在所述容置槽中。

进一步地，所述晶片腐蚀放置架还包括支撑圆盘，所述支撑圆盘卡持在所述侧边卡槽和所述底边卡槽上，用于支撑晶片。

本实用新型实施例的有益效果包括：

本实用新型实施例提供的晶片腐蚀放置架，在承载框架相对的两个侧边上设置多个侧边卡槽，同时在辅助卡持架的侧边上设置多个底边卡槽，多个底边卡槽与两侧的侧边卡槽分别对应，用于卡持在晶片的边缘，实现对多个晶片的固定，并且扶手架的两端铰接于承载框架的中部，实现对晶片的边缘进行限位。相较于现有技术，本实用新型通过多个底边卡槽和侧边卡槽来实现对晶片的边缘卡槽，避免了支架与晶片表面的直接接触，能够保证腐蚀的均匀性，并且能够同时实现对多个晶片的卡持，进而实现对多片晶片的同时腐蚀，大大提升了腐蚀效率，保证了腐蚀效果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型实施例提供的晶片腐蚀放置架在第一视角下的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的晶片腐蚀放置架在第二视角下的结构示意图；

图3为图1中晶片腐蚀放置架在扶手架锁定状态的结构示意图；

图4为图1中晶片腐蚀放置架在扶手架解锁状态的结构示意图；

图5为图1中晶片腐蚀放置架在第一视角下的局部结构示意图；

图6为图1中晶片腐蚀放置架在第二视角下的局部结构示意图。

图标:

100-晶片腐蚀放置架；110-承载框架；111-承载连接架体；113-承载支撑架体；120-辅助卡持架；121-辅助支撑架体；123-辅助连接架体；130-扶手架；131-扶手连接架体；133-扶手固定架体；135-固定杆；140-侧边卡槽；150-底边卡槽；160-连接片；161-连接件；170-连接杆；180-承载底座；190-支撑圆盘。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

正如背景技术中所公开的，现有的晶片支架，通常为直接焊接在坩埚内的结构，并且通过承载晶片的方式来支撑固定晶片，这样就会导致支架与晶片的表面接触，导致晶片的表面影响晶片表面的腐蚀均匀性。此外，常规的支架通常为单片式支撑结构，一次只能放置一片晶片，无法做到同时腐蚀多片晶片，导致晶片的腐蚀效率低下，增加了时间成本。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种新型的晶片腐蚀放置架，其能够同时放置多片晶片，从而对多片晶片同时进行腐蚀，提升了腐蚀效率。并且采用边缘限位结构，能够有晶片的边缘进行卡持限位，避免了支架对晶片的表面造成接触，能够进一步保证腐蚀的均匀性，保证了腐蚀的效果。下面对本实用新型提供的晶片腐蚀放置架进行详细介绍。

请参考图1和图2，本实施例提供了一种晶片腐蚀放置架100，实现了对晶片的边缘卡槽，避免了支架与晶片表面的直接接触，能够保证腐蚀的均匀性，并且能够同时实现对多个晶片的卡持，进而实现对多片晶片的同时腐蚀，大大提升了腐蚀效率，保证了腐蚀效果。

本实施例提供的晶片腐蚀放置架100，包括承载框架110、辅助卡持架120和扶手架130，辅助卡持架120的两端与承载框架110的中部连接，并朝向承载框架110的一侧凸起，承载框架110相对的两个侧边上设置有多个侧边卡槽140，辅助卡持架120远离承载框架110的侧边上设置有多个底边卡槽150，多个底边卡槽150与两侧的侧边卡槽140分别对应，并用于卡持晶片的边缘，扶手架130的两端铰接于承载框架110的中部，并用于朝向承载框架110的另一侧凸起，以对晶片的边缘进行限位。

本实施例提供的晶片腐蚀放置架100，采用组装式结构，将承载框架110、辅助卡持架120和扶手架130分别制备后进行组装，在腐蚀过程中只会接触晶片的边缘很小的一部分，利用底边卡槽150和侧边卡槽140对晶片的三点进行卡持限位，并利用扶手架130对晶片的4点边缘进行限位，使得晶片步进能够均匀腐蚀，还能够最大程度地保持稳定。同时，本实施例提供的晶片腐蚀放置架100包容性较强，通过多个底边卡槽150和侧边卡槽140实现对晶片的边缘卡持，其中可以卡持固定一片到多片的晶片，并且卡持尺寸可以根据晶片的尺寸进行修改或设定。

值得注意的是，本实施例中侧边卡槽140与底边卡槽150的规格可以相同，并且均采用锯齿状结构，同时侧边卡槽140和底边卡槽150均可以是三角卡槽，以提升其适用性。当然，此处侧边卡槽140与底边卡槽150的卡槽形状也可以是椭圆卡槽或矩形卡槽等，在此不作具体限定。

在本实施例中，扶手架130为铰接状态，其能够打开或者关闭承载框架110，在图3所示的状态下，扶手架130处于锁定状态，能够对晶片的边缘进行限位，从而配合底边卡槽150和侧边卡槽140实现对晶片的4点定位，在需要放入或取出晶片时，如图4所示，则可以将扶手架130相对承载框架110转动，将扶手架130调整至解锁状态，从而使得其解除对晶片的限位，方便向卡槽中放入或取出晶片。

需要说明的是，本实施例中扶手架130的旋转中心、侧边卡槽140以及底边卡槽150的相交点中心并不重合，扶手架130可以有打开状态和限位状态两种工作状态，当扶手架130处于打开状态时，扶手架130会转动至与承载框架110相平齐的位置，此时扶手架130水平放置，并且是满足晶片放置的最远距离，可以方便放入或取出晶片；当扶手架130处于限位状态时，扶手架130会转动至垂直位置，此时实现对晶片的边缘限位。

结合参见图5和图6，辅助卡持架120包括辅助支撑架体121和设置在辅助支撑架体121两端的辅助连接架体123，辅助连接架体123的一端与承载框架110的中部连接，另一端与辅助支撑架体121连接，底边卡槽150设置在辅助支撑架体121上。具体地，辅助支撑架体121和辅助连接架体123一体设置，并呈C字形结构，辅助连接架体123可以是两个，两个辅助连接架体123与承载框架110的中部连接。

承载框架110包括依次连接的两个承载连接架体111和两个承载支撑架体113，辅助连接架体123与承载连接架体111的中部连接，扶手架130的两端分别铰接于两个承载连接架体111的中部，两个承载支撑架体113相对设置在承载连接架体111的两端，侧边卡槽140设置在两个承载支撑架体113上。具体地，承载连接架体111和承载支撑架体113一体设置，并形成矩形框结构，两个承载支撑架体113上对应开设有多个侧边卡槽140，从而能够实现多个晶片的卡持固定。

在本实施例中，扶手架130包括扶手连接架体131、扶手固定架体133和固定杆135，扶手连接架体131设置在扶手固定架体133的两端，并铰接于承载连接架体111的中部。固定杆135设置在扶手固定架体133处，且固定杆135的两端分别与两个扶手连接架体131连接，固定杆135用于对晶片的边缘进行限位。具体地，固定杆135为可拆卸结构，其在对晶片进行限位前可以单独放置，在扶手固定架体133转动到位后再装入固定杆135，实现对晶片边缘的固定。为了避免固定杆135对晶片边缘造成破坏，固定杆135可以采用弹性材料例如树脂等制成。

需要说明的是，本实施例中固定杆135呈L字型，方便进行安装和拆下。具体地，扶手连接架体131上对应设置有插孔，固定杆135的两端分别插入两端的插孔中，并保持与扶手连接架体131之间的相对固定。

在本实施例中，承载连接架体111的中部设置有连接片160，连接片160上设置有连接件161，连接件161与扶手连接架体131的端部可拆卸连接，以使扶手连接架体131与连接片160铰接。具体地，连接件161可以是螺栓，通过螺栓将扶手连接架体131铰接在连接片160上，并通过螺栓来实现固定，当需要调整扶手连接架体131的位置时，可以拧松螺栓，反之需要固定扶手连接架体131时则可以拧紧螺栓。

进一步地，晶片腐蚀放置架100还包括连接杆170，连接杆170的两端分别连接于承载框架110的两个顶点处，且连接杆170的中部连接于辅助卡持架120。具体地，连接杆170呈半圆形，并将承载框架110的承载连接架体111和辅助卡持架120的辅助连接架体123串接起来，形成框架结构以提升整体结构强度。

值得注意的是，在本实用新型其他较佳的实施例中，连接杆170也可以用环形的板材代替，其同样能够实现承载连接架体111和辅助连接架体123之间的连接。或者，连接杆170也可以呈圆形或方形，但凡是能够将承载连接架体111和辅助连接架体123串接为一体即可，对于连接杆170的形状在此不作具体限定。

进一步地，请继续参见图1至图4，晶片腐蚀放置架100还包括承载底座180，连接杆170和辅助卡持架120放置在承载底座180上，且承载底座180上开设有容置槽，连接杆170容置在容置槽中。具体地，连接杆170和辅助卡持架120可以直接放置在承载底座180上，当需要腐蚀晶片时可以将装好晶片的辅助卡持架120由承载底座180提出，并放入腐蚀溶液中进行腐蚀动作。当然，此处对于承载底座180的形状和安装方式并不作限定。

在本实施例中，晶片腐蚀放置架100还包括支撑圆盘190，支撑圆盘190卡持在侧边卡槽140和底边卡槽150上，用于支撑晶片。具体地，支撑圆盘190上开设有多个圆孔，用于对直径稍小或者破碎的晶片进行放置，其中支撑圆盘190可以是一个，也可以是多个，其具体数量并不作限定。

本实施例提供的晶片腐蚀放置架100，在放置晶片时，可以将承载框架110、辅助卡持架120和连接杆170构成的框架水平放置在承载底座180上，并将扶手架130转动至水平位置，此时可以将待腐蚀的晶片依次放入侧边卡槽140和底边卡槽150，利用三点固定原理对晶片进行固定，在放置完毕后可以将扶手架130转动至竖直位置，此时扶手架130与晶片有一个中心相交点的距离差值，此时扶手架130可以前后波动，然后插入固定杆135，使得扶手架130的运动半径减小，并使得固定杆135能够抵持在晶片的顶端边缘，保持晶片的4点固定。

需要说明的是，在放置晶片时，还可以将至少一个支撑圆盘190固定在侧边卡槽140和底边卡槽150上，其中支撑圆盘190的尺寸与待固定的晶片尺寸相当。

晶片放置完成后，可以将晶片腐蚀放置架100移动至腐蚀工作状态，此时可以利用机械臂或挂钩等提拉装置提起承载框架110的一端，并将整个框架从承载底座180上取下并保持竖直状态，然后直接放置在腐蚀坩埚内部，此时固定杆135朝下，支撑圆盘190上可以放置直径稍小的晶片或破碎的晶片。在放入坩埚后，即可进行常规的腐蚀动作。

还需要说明的是，本实施例提供的晶片腐蚀放置架100的承载底座180可以采用不锈钢、陶瓷等材料，而其余各个部件均采用了耐腐蚀的Ni金属或合金材料。

综上所述，本实施例提供的晶片腐蚀放置架100，在承载框架110相对的两个侧边上设置多个侧边卡槽140，同时在辅助卡持架120的侧边上设置多个底边卡槽150，多个底边卡槽150与两侧的侧边卡槽140分别对应，用于卡持在晶片的边缘，实现对多个晶片的固定，并且扶手架130的两端铰接于承载框架110的中部，实现对晶片的边缘进行限位。相较于现有技术，本实施例通过多个底边卡槽150和侧边卡槽140来实现对晶片的边缘卡槽，避免了支架与晶片表面的直接接触，能够保证腐蚀的均匀性，并且能够同时实现对多个晶片的卡持，进而实现对多片晶片的同时腐蚀，大大提升了腐蚀效率，保证了腐蚀效果。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种晶片腐蚀放置架，其特征在于，包括承载框架(110)、辅助卡持架(120)和扶手架(130)，所述辅助卡持架(120)的两端与所述承载框架(110)的中部连接，并朝向所述承载框架(110)的一侧凸起，所述承载框架(110)相对的两个侧边上设置有多个侧边卡槽(140)，所述辅助卡持架(120)远离所述承载框架(110)的侧边上设置有多个底边卡槽(150)，多个所述底边卡槽(150)与两侧的所述侧边卡槽(140)分别对应，并用于卡持晶片的边缘，所述扶手架(130)的两端铰接于所述承载框架(110)的中部，并用于朝向所述承载框架(110)的另一侧凸起，以对所述晶片的边缘进行限位。

2.根据权利要求1所述的晶片腐蚀放置架，其特征在于，所述辅助卡持架(120)包括辅助支撑架体(121)和设置在所述辅助支撑架体(121)两端的辅助连接架体(123)，所述辅助连接架体(123)的一端与所述承载框架(110)的中部连接，另一端与所述辅助支撑架体(121)连接，所述底边卡槽(150)设置在所述辅助支撑架体(121)上。

3.根据权利要求2所述的晶片腐蚀放置架，其特征在于，所述承载框架(110)包括依次连接的两个承载连接架体(111)和两个承载支撑架体(113)，所述辅助连接架体(123)与所述承载连接架体(111)的中部连接，所述扶手架(130)的两端分别铰接于两个所述承载连接架体(111)的中部，两个所述承载支撑架体(113)相对设置在所述承载连接架体(111)的两端，所述侧边卡槽(140)设置在两个所述承载支撑架体(113)上。

4.根据权利要求3所述的晶片腐蚀放置架，其特征在于，所述扶手架(130)包括扶手连接架体(131)和扶手固定架体(133)，所述扶手连接架体(131)设置在所述扶手固定架体(133)的两端，并铰接于所述承载连接架体(111)的中部。

5.根据权利要求4所述的晶片腐蚀放置架，其特征在于，所述扶手架(130)还包括固定杆(135)，所述固定杆(135)设置在所述扶手固定架体(133)处，且所述固定杆(135)的两端分别与两个所述扶手连接架体(131)连接，所述固定杆(135)用于对所述晶片的边缘进行限位。

6.根据权利要求4或5所述的晶片腐蚀放置架，其特征在于，所述承载连接架体(111)的中部设置有连接片(160)，所述连接片(160)上设置有连接件(161)，所述连接件(161)与所述扶手连接架体(131)的端部可拆卸连接，以使所述扶手连接架体(131)与所述连接片(160)铰接。

7.根据权利要求1-5任一项所述的晶片腐蚀放置架，其特征在于，所述晶片腐蚀放置架还包括连接杆(170)，所述连接杆(170)的两端分别连接于所述承载框架(110)的两个顶点处，且所述连接杆(170)的中部连接于所述辅助卡持架(120)。

8.根据权利要求7所述的晶片腐蚀放置架，其特征在于，所述连接杆(170)呈半圆形。

9.根据权利要求7所述的晶片腐蚀放置架，其特征在于，所述晶片腐蚀放置架还包括承载底座(180)，所述连接杆(170)和所述辅助卡持架(120)放置在所述承载底座(180)上，且所述承载底座(180)上开设有容置槽，所述连接杆(170)容置在所述容置槽中。

10.根据权利要求1-5任一项所述的晶片腐蚀放置架，其特征在于，所述晶片腐蚀放置架还包括支撑圆盘(190)，所述支撑圆盘(190)卡持在所述侧边卡槽(140)和所述底边卡槽(150)上，用于支撑晶片。

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