CN218765376U - 蚀刻设备的检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了蚀刻设备的检测装置，属于蚀刻设备技术领域，所述的蚀刻设备检测装置包括装置底座、检测平台、检测架和检测探头，所述的检测平台滑动连接在装置底座上，所述的检测架螺纹滑动连接在装置底座上，所述的检测探头滑动安装在检测架上，通过设置有可纵向滑动的检测平台、可横向滑动的检测架以及可上下滑动的检测探头等组件的配合使用，使得蚀刻设备检测装置在使用过程中能够便于对待检测的蚀刻工件的放置，在检测过程中能够通过纵向和横向滑动检测平台和检测架来对蚀刻工件的检测位置进行调节定位，同时还能够通过上下滑动检测探头来调整检测视距，以便于更好地进行检测，从而有效地提高了使用效率和实用性。

Description

蚀刻设备的检测装置

技术领域

本实用新型属于蚀刻设备技术领域，具体地说，涉及蚀刻设备的检测装置。

背景技术

蚀刻设备可以分为化学蚀刻机及电解蚀刻机两类，在化学蚀刻中是使用化学溶液，经由化学反应以达到蚀刻的目的，化学蚀刻设备是将材料用化学反应或物理撞击作用而移除的技术，在这些产品完成蚀刻加工后往往需要对这些蚀刻工件进行检测，因此就需要使用到专门的检测装置；

现有的蚀刻设备的检测装置例如公开号为CN212903299U，公开了一种卷式蚀刻设备的检测装置，包括机体，还包括检测箱、限位机构和滚轮输送线，检测箱内部的上端设置有摄像头机组；检测箱安装在机体上，滚轮输送线设置于机体与检测箱之间，滚轮输送线包括有若干均匀排列的滚轮组，若干滚轮组相互传动连接；可实现安装限位开关等感应驱动器来驱动限位机构，当蚀刻产品到达摄像头机组下方时将驱动阻料机构上升，将蚀刻产品的两侧进行阻挡，然后通过前后两侧的夹紧机构对蚀刻产品的前后两侧进行夹紧，以限定蚀刻产品的位置，最终再通过摄像头机组对该蚀刻产品进行检测，从而实现了自动化、精确度高的检测效果，现有的用于蚀刻设备的检测装置在使用过程中虽然能够对蚀刻产品进行夹紧，但是在进行检测的过程中却不便于对蚀刻工件的检测位置进行移动定位，同时也不便于对检测装置的检测探头组件的视距进行调整，从而导致了蚀刻设备检测装置的使用效率和实用性有所降低。

实用新型内容

针对现有的用于蚀刻设备的检测装置在使用过程中虽然能够对蚀刻产品进行夹紧，但是在进行检测的过程中却不便于对蚀刻工件的检测位置进行移动定位，同时也不便于对检测装置的检测探头组件的视距进行调整，从而导致了蚀刻设备检测装置的使用效率和实用性有所降低的问题，本实用新型提供蚀刻设备的检测装置，以解决背景技术中提出的问题。

为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。

蚀刻设备的检测装置，包括蚀刻设备检测装置，所述的蚀刻设备检测装置包括装置底座、检测平台、检测架和检测探头，所述的检测平台滑动连接在装置底座上，所述的检测架螺纹滑动连接在装置底座上，所述的检测探头滑动安装在检测架上。

优选地，所述的装置底座上设置有滑动安装块，所述的滑动安装块固定连接在装置底座上且位于装置底座上中部位置，所述的滑动安装块上设置有滑动槽，所述的检测平台的下端设置有滑动块，所述的滑动块的形状规格与滑动槽相适配。

优选地，所述的检测平台通过滑动块和滑动槽的配合使用滑动连接在装置底座上的滑动安装块上，所述的检测平台上设置有放置槽。

优选地，所述的装置底座的后侧壁上设置有连接滑槽，所述的连接滑槽内设置有螺纹杆，所述的螺纹杆转动连接在连接滑槽内，所述的装置底座的侧壁上设置有转动柄，所述的转动柄与螺纹杆的一端固定连接。

优选地，所述的检测架的下方侧壁上设置有连接滑块，所述的连接滑块固定连接在检测架的下方侧壁上，所述的连接滑块的形状规格与连接滑槽相适配，所述的检测架通过连接滑块滑动连接在连接滑槽内，且通过连接滑块螺纹滑动套接在连接滑槽内的螺纹杆上。

优选地，所述的检测架上设置有安装板，所述的安装板固定连接在检测架上，所述的安装板上设置有T型滑槽，所述的检测探头的后侧壁上设置有T型滑块，所述的T型滑块固定连接在检测探头的后侧壁上，所述的T型滑块的形状规格与T型滑槽相适配，所述的检测探头通过T型滑块与T型滑槽的配合使用滑动连接在安装板上。

有益效果

相比于现有技术，本实用新型的有益效果为：

上述的蚀刻设备的检测装置，通过设置有可纵向滑动的检测平台、可横向滑动的检测架以及可上下滑动的检测探头等组件的配合使用，使得蚀刻设备检测装置在使用过程中能够便于对待检测的蚀刻工件的放置，在检测过程中能够通过纵向和横向滑动检测平台和检测架来对蚀刻工件的检测位置进行调节定位，同时还能够通过上下滑动检测探头来调整检测视距，以便于更好地进行蚀刻工件的检测，从而有效地提高了蚀刻设备检测装置的使用效率和实用性。

附图说明

图1为本实用新型中蚀刻设备检测装置的结构示意图；

图2为本实用新型中装置底座的结构拆分图；

图3为本实用新型中检测架的结构拆分图。

图中各附图标注与部件名称之间的对应关系如下：

图中：100、蚀刻设备检测装置；1、装置底座；2、检测平台；3、检测架；4、检测探头；5、滑动安装块；6、滑动槽；7、滑动块；8、放置槽；9、连接滑槽；10、螺纹杆；11、转动柄；12、连接滑块；13、安装板；14、T型滑槽；15、T型滑块。

具体实施方式

下面结合具体实用新型对本实用新型进一步进行描述。

实施例

如图1～3所示，其为本实用新型一优选实施方式的蚀刻设备的检测装置的结构示意图，本实施例的蚀刻设备检测装置100包括装置底座1、检测平台2、检测架3和检测探头4，所述的检测平台2滑动连接在装置底座1上，所述的检测架3螺纹滑动连接在装置底座1上，所述的检测探头4滑动安装在检测架3上。

所述的装置底座1上设置有滑动安装块5，所述的滑动安装块5固定连接在装置底座1上且位于装置底座1上中部位置，所述的滑动安装块5上设置有滑动槽6，所述的检测平台2的下端设置有滑动块7，所述的滑动块7的形状规格与滑动槽6相适配，用于在蚀刻设备检测装置100的使用过程中能够便于对检测平台2进行连接安装。

所述的检测平台2通过滑动块7和滑动槽6的配合使用滑动连接在装置底座1上的滑动安装块5上，所述的检测平台2上设置有放置槽8，用于在蚀刻设备检测装置100的使用过程中能够便于对待检测的蚀刻工件进行放置，同时能够便于对检测平台2在装置底座1上进行纵向移动。

所述的装置底座1的后侧壁上设置有连接滑槽9，所述的连接滑槽9内设置有螺纹杆10，所述的螺纹杆10转动连接在连接滑槽9内，所述的装置底座1的侧壁上设置有转动柄11，所述的转动柄11与螺纹杆10的一端固定连接，用于在蚀刻设备检测装置100的使用过程中能够便于对检测架3进行连接安装。

所述的检测架3的下方侧壁上设置有连接滑块12，所述的连接滑块12固定连接在检测架3的下方侧壁上，所述的连接滑块12的形状规格与连接滑槽9相适配，所述的检测架3通过连接滑块12滑动连接在连接滑槽9内，且通过连接滑块12螺纹滑动套接在连接滑槽9内的螺纹杆10上，用于在蚀刻设备检测装置100的使用过程中能够便于对检测架3进行横向的滑动。

所述的检测架3上设置有安装板13，所述的安装板13固定连接在检测架3上，所述的安装板13上设置有T型滑槽14，所述的检测探头4的后侧壁上设置有T型滑块15，所述的T型滑块15固定连接在检测探头4的后侧壁上，所述的T型滑块15的形状规格与T型滑槽14相适配，所述的检测探头4通过T型滑块15与T型滑槽14的配合使用滑动连接在安装板13上，用于在蚀刻设备检测装置100的使用过程中能够便于对检测探头4进行上下的高度调节，以便于更好地对检测平台2上的蚀刻工件进行检测。

本实施例中，当需要使用到蚀刻设备检测装置100进行蚀刻工件的检测时，通过将蚀刻工件放置在检测平台2上的放置槽8内，然后通过使检测平台2在装置底座1上进行滑动来对蚀刻工件的纵向位置进行调节，接着通过转动转动柄11使得转动柄11带动螺纹杆10进行转动，从而使得检测架3带动检测探头4在装置底座1上进行横向的移动调节，以便于更好地对蚀刻工件的检测位置进行定位，然后通过检测探头4来对检测平台2上的蚀刻工件进行检测，在检测过程中还能够通过使检测探头4在安装板13上进行上下滑动来对检测探头4的视距进行调节，以便于更好地完成对蚀刻工件的检测，本实用新型的结构简单且便于使用，通过设置有可纵向滑动的检测平台2、可横向滑动的检测架3以及可上下滑动的检测探头4等组件的配合使用，使得蚀刻设备检测装置100在使用过程中能够便于对待检测的蚀刻工件的放置，在检测过程中能够通过纵向和横向滑动检测平台2和检测架3来对蚀刻工件的检测位置进行调节定位，同时还能够通过上下滑动检测探头4来调整检测视距，以便于更好地进行蚀刻工件的检测，从而有效地提高了蚀刻设备检测装置100的使用效率和实用性。

以上内容是结合具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明，不能认定本实用新型具体实施只局限于这些说明，对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型的构思的前提下，还可以做出若干简单的推演或替换，都应当视为属于本实用新型所提交的权利要求书确定的保护范围。

Claims (6)

1.蚀刻设备的检测装置，包括蚀刻设备检测装置(100)，

其特征在于：

所述的蚀刻设备检测装置(100)包括装置底座(1)、检测平台(2)、检测架(3)和检测探头(4)，所述的检测平台(2)滑动连接在装置底座(1)上，所述的检测架(3)螺纹滑动连接在装置底座(1)上，所述的检测探头(4)滑动安装在检测架(3)上。

2.根据权利要求1所述的蚀刻设备的检测装置，其特征在于：所述的装置底座(1)上设置有滑动安装块(5)，所述的滑动安装块(5)固定连接在装置底座(1)上且位于装置底座(1)上中部位置，所述的滑动安装块(5)上设置有滑动槽(6)，所述的检测平台(2)的下端设置有滑动块(7)，所述的滑动块(7)的形状规格与滑动槽(6)相适配。

3.根据权利要求2所述的蚀刻设备的检测装置，其特征在于：所述的检测平台(2)通过滑动块(7)和滑动槽(6)的配合使用滑动连接在装置底座(1)上的滑动安装块(5)上，所述的检测平台(2)上设置有放置槽(8)。

4.根据权利要求1所述的蚀刻设备的检测装置，其特征在于：所述的装置底座(1)的后侧壁上设置有连接滑槽(9)，所述的连接滑槽(9)内设置有螺纹杆(10)，所述的螺纹杆(10)转动连接在连接滑槽(9)内，所述的装置底座(1)的侧壁上设置有转动柄(11)，所述的转动柄(11)与螺纹杆(10)的一端固定连接。

5.根据权利要求4所述的蚀刻设备的检测装置，其特征在于：所述的检测架(3)的下方侧壁上设置有连接滑块(12)，所述的连接滑块(12)固定连接在检测架(3)的下方侧壁上，所述的连接滑块(12)的形状规格与连接滑槽(9)相适配，所述的检测架(3)通过连接滑块(12)滑动连接在连接滑槽(9)内，且通过连接滑块(12)螺纹滑动套接在连接滑槽(9)内的螺纹杆(10)上。

6.根据权利要求1所述的蚀刻设备的检测装置，其特征在于：所述的检测架(3)上设置有安装板(13)，所述的安装板(13)固定连接在检测架(3)上，所述的安装板(13)上设置有T型滑槽(14)，所述的检测探头(4)的后侧壁上设置有T型滑块(15)，所述的T型滑块(15)固定连接在检测探头(4)的后侧壁上，所述的T型滑块(15)的形状规格与T型滑槽(14)相适配，所述的检测探头(4)通过T型滑块(15)与T型滑槽(14)的配合使用滑动连接在安装板(13)上。

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