CN218692397U - 一种可调节式晶圆清洗用放置架 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种可调节式晶圆清洗用放置架，涉及到半导体晶圆清洗技术领域，包括相对设置的两个侧板，两个所述侧板上均排列有若干个限位杆且相邻两个所述限位杆之间固定有支撑斜块，还包括安装在所述侧板的相对端面上的安装有四个滑轨和位于两个所述侧板之间并通过销轴转动连接活的两个第一活动杆和两个第二活动杆，两个所述第一活动杆和两个第二活动杆的下端分别与相对应的所述侧板转动连接，所述销轴的外壁上固定有对所述第一活动杆和两个第二活动杆限位的两个限位板，还包括定位单元。本实用新型结构合理，可适应对不同直径晶圆的放置，且可减小本放置架的占用空间。

Description

一种可调节式晶圆清洗用放置架

技术领域

本实用新型涉及半导体晶圆清洗技术领域，特别涉及一种可调节式晶圆清洗用放置架。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。

现有的晶圆在生产时需要对其进行清洗工作，其先将晶圆垂直插入到晶圆花篮的卡槽内，再将晶圆花篮浸没在装有清洗液的清洗槽内进行清洗，而现有的晶圆花篮为固定式结构，其只能承载单一直径的晶圆，使用范围大大减低，且占用空间较大，不便于收纳运输。

因此，本申请提供了一种可调节式晶圆清洗用放置架来满足需求。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种可调节式晶圆清洗用放置架，可通过改变同侧的第一活动杆和第二活动杆之间的夹角，并利用定位单元将销轴与第一活动杆和第二活动杆固定在一起，以实现两个侧板之间的距离的改变，以适应对不同直径晶圆的放置，且可减小本放置架的占用空间。

为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种可调节式晶圆清洗用放置架，包括相对设置的两个侧板，两个所述侧板上均排列有若干个限位杆且相邻两个所述限位杆之间固定有支撑斜块，还包括安装在所述侧板的相对端面上的安装有四个滑轨和位于两个所述侧板之间并通过销轴转动连接活的两个第一活动杆和两个第二活动杆，两个所述第一活动杆和两个第二活动杆的上端均与相对应设置的滑块转动连接，两个所述第一活动杆和两个第二活动杆的下端分别与相对应的所述侧板转动连接，所述销轴的外壁上固定有对所述第一活动杆和两个第二活动杆限位的两个限位板，还包括用于将所述第一活动杆和所述第二活动杆固定在一起的定位单元。

优选的，所述定位单元包括转动设置在所述销轴内腔的螺杆和滑动套设在所述销轴上的两个定位环板，两个所述定位环板的相对端上均呈圆周固定有多个定位柱，且若干个所述定位柱分别与相对应的所述第一活动杆和所述第二活动杆上呈圆周排列的若干个定位凹槽插接，所述螺杆的正螺纹段和反向螺纹段上均螺纹套接有螺纹管，且两个所述螺纹管通过贯穿活动开口的连接杆与对应所述定位环板固定连接，所述螺杆的左端贯穿所述销轴并与转动块固定连接，所述螺杆与所述销轴的连接处安装有弹性紧固套。

优选的，所述连接杆上固定套设有可对所述活动开口进行密封的密封板，且所述密封板的下端面固定连接有弹性密封垫，所述弹性密封垫与所述销轴的内壁紧贴。

优选的，还包括手握单元，所述手握单元包括固定在所述销轴外壁上的安装环，所述安装环的外端通过固定杆与手握杆固定连接。

优选的，两个所述侧板的上端均固定连接有翻边，且所述翻边上安装有手提杆，所述翻边的下端与所述侧板的外壁通过若干个三角加强块固定在一起。

优选的，两个所述侧板的底部均固定连接有移动脚轮。

综上，本实用新型的技术效果和优点：

1、本实用新型结构合理，可通过改变同侧的第一活动杆和第二活动杆之间的夹角，并利用定位单元将销轴与第一活动杆和第二活动杆固定在一起，以实现两个侧板之间的距离的改变，以适应对不同直径晶圆的放置，且可减小本放置架的占用空间；

2、本实用新型中，设有密封板，密封板始终对活动开口进行密封，可防止将本放置架放置在清洗槽中时，清洗液通过此活动开口进入销轴的内部，对螺杆造成腐蚀同时也避免螺杆在空气中氧化生锈，避免螺杆与螺纹管的卡死，提高放置架的使用寿命；

3、本实用新型中，设有手握单元，本结构设计可单手实现销轴与第一活动杆和第二活动杆的定位操作，同时可避免销轴在定位操作过程中发生转动，且两边同时进行定位操作，使得定位操作快捷。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型立体结构示意图；

图2为本实用新型侧板局部结构示意图；

图3为本实用新型图1中定位单元结构示意图；

图4为本实用新型图3中销轴剖面结构示意图。

图中：1、侧板；2、限位杆；3、滑轨；4、第一活动杆；5、第二活动杆；6、销轴；7、螺杆；8、限位板；9、转动块；10、弹性紧固套；11、螺纹管；12、定位环板；13、定位柱；14、连接杆；15、密封板；16、活动开口；17、移动脚轮；18、安装环；19、手握杆；20、固定杆；21、翻边；22、三角加强块；23、手提杆；24、支撑斜块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例：参考图1-3所示的一种可调节式晶圆清洗用放置架，包括相对设置的两个侧板1，两个侧板1上均排列有若干个限位杆2且相邻两个限位杆2之间固定有支撑斜块24，还包括安装在侧板1的相对端面上的安装有四个滑轨3和位于两个侧板1之间并通过销轴6转动连接活的两个第一活动杆4和两个第二活动杆5，两个第一活动杆4和两个第二活动杆5的上端均与相对应设置的滑块转动连接，两个第一活动杆4和两个第二活动杆5的下端分别与相对应的侧板1转动连接，销轴6的外壁上固定有对第一活动杆4和两个第二活动杆5限位的两个限位板8，还包括用于将第一活动杆4和第二活动杆5固定在一起的定位单元，在使用时，可通过改变同侧的第一活动杆4和第二活动杆5之间的夹角，并利用定位单元将销轴6与第一活动杆4和第二活动杆5固定在一起，以实现两个侧板1之间的距离的改变，以适应对不同直径晶圆的放置，且可减小本放置架的占用空间，在进行晶圆放置时，可将晶圆的下端插入两侧板1上相对设置的两限位杆2之间形成的限位空隙内，其晶圆的外端会与支撑斜块24接触形成支撑，放置完毕后可将本放置架放置在清洗槽中进行清洗。

需要注意的是：弹性紧固套10对芦螺杆7具有一定的固定作用，可阻碍螺杆7自转，同时弹性紧固套10可密封螺杆7与销轴6连接处之间的密封性。

作为本实施例中的一种优选地实施方式，如图3和图4所示，定位单元包括转动设置在销轴6内腔的螺杆7和滑动套设在销轴6上的两个定位环板12，两个定位环板12的相对端上均呈圆周固定有多个定位柱13，且若干个定位柱13分别与相对应的第一活动杆4和第二活动杆5上呈圆周排列的若干个定位凹槽插接，螺杆7的正螺纹段和反向螺纹段上均螺纹套接有螺纹管11，且两个螺纹管11通过贯穿活动开口16的连接杆14与对应定位环板12固定连接，螺杆7的左端贯穿销轴6并与转动块9固定连接，螺杆7与销轴6的连接处安装有弹性紧固10，在进行两侧板1的大小进行改变时，通过转动块9使得螺杆7相对于销轴6进行旋转，旋转的螺杆7可使得两个螺纹管11分别带动两个定位环板12做背向运动，进而使得两侧的定位柱13移出相对应的定位凹槽，此时可将两侧板1做相对或背向运动，改变两侧板1之间的距离，当第一活动杆4与第二活动杆5侧端上设有的定位凹槽一一对应时，此时相对于第一活动杆4和第二活动杆5转动销轴6，使得定位凹槽的位置与定位柱13的位置一致，一只手保持销轴6、第一活动杆4和第二活动杆5不动，另一只手可反向旋转螺杆7使得其相对销轴6进行转动，从而带动两个定位环板12做相对运动以实现定位柱13与定位凹槽插接，当两边都调节完毕后，此时两侧板1之间的距离被固定住。

作为本实施例中的一种优选地实施方式，如图4所示，连接杆14上固定套设有可对活动开口16进行密封的密封板15，且密封板15的下端面固定连接有弹性密封垫，弹性密封垫与销轴6的内壁紧贴，通过密封板15和弹性密封垫的配合对活动开口16进行紧密的密封，在定位单元整个调节过程中，密封板15始终对活动开口16进行密封，可防止将本放置架放置在清洗槽中时，清洗液通过此活动开口16进入销轴6的内部，对螺杆7造成腐蚀同时也避免螺杆7在空气中氧化生锈，避免螺杆7与螺纹管11的卡死，提高放置架的使用寿命。

作为本实施例中的一种优选地实施方式，如图3所示，还包括手握单元，手握单元包括固定在销轴6外壁上的安装环18，安装环18的外端通过固定杆20与手握杆19固定连接，为方便定位单元定位操作，在使用时，双手竖直向下并分别握住两侧的手握杆19，保持双手不动，并利用食指跟大拇指捏住转动块9的外壁对其进行旋转，可使得两定位环板12向外运动，定位柱13移出定位凹槽，此时可将双手竖直向上或竖直向下运动，第一活动杆4和第二活动杆5之间的夹角发生改变同时两个侧板做靠近或背向运动，当第一活动杆4与第二活动杆5侧端上设有的定位凹槽一一对应时，反向转动转动块9，使得两侧的定位柱做相对运动并与同侧设置的定位凹槽插接，实现销轴6与第一活动杆4和第二活动杆5的固定，本结构设计可单手实现销轴6与第一活动杆4和第二活动杆5的定位操作，同时可避免销轴6在定位操作过程中发生转动，且两边同时进行定位操作，使得定位操作快捷。

作为本实施例中的一种优选地实施方式，如图1所示，两个侧板1的上端均固定连接有翻边21，且翻边21上安装有手提杆23，翻边21的下端与侧板1的外壁通过若干个三角加强块22固定在一起，可利用双手分别握住两个手提杆21，将在有晶圆的放置架1提起并将其放置在清洗槽中进行清洗，方便对本放置架的转移。

作为本实施例中的一种优选地实施方式，如图1所示，两个侧板1的底部均固定连接有移动脚轮17，其移动脚轮17可减小与侧板1底部与支撑面之间的摩擦作用，有利于两侧板1之间的相对运动。

本实用工作原理：在使用时，可通过改变同侧的第一活动杆4和第二活动杆5之间的夹角，并利用定位单元将销轴6与第一活动杆4和第二活动杆5固定在一起，以实现两个侧板1之间的距离的改变，以适应对不同直径晶圆的放置，且可减小本放置架的占用空间，在进行晶圆放置时，可将晶圆的下端插入两侧板1上相对设置的两限位杆2之间形成的限位空隙内，其晶圆的外端会与支撑斜块24接触形成支撑，放置完毕后可将本放置架放置在清洗槽中进行清洗；

设有手握单元，在使用时，双手竖直向下并分别握住两侧的手握杆19，保持双手不动，并利用食指跟大拇指捏住转动块9的外壁对其进行旋转，可使得两定位环板12向外运动，定位柱13移出定位凹槽，此时可将双手竖直向上或竖直向下运动，第一活动杆4和第二活动杆5之间的夹角发生改变同时两个侧板做靠近或背向运动，当第一活动杆4与第二活动杆5侧端上设有的定位凹槽一一对应时，反向转动转动块9，使得两侧的定位柱做相对运动并与同侧设置的定位凹槽插接，实现销轴6与第一活动杆4和第二活动杆5的固定，本结构设计可单手实现销轴6与第一活动杆4和第二活动杆5的定位操作，同时可避免销轴6在定位操作过程中发生转动，且两边同时进行定位操作，使得定位操作快捷；

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种可调节式晶圆清洗用放置架，包括相对设置的两个侧板（1），其特征在于：两个所述侧板（1）上均排列有若干个限位杆（2）且相邻两个所述限位杆（2）之间固定有支撑斜块（24），还包括安装在所述侧板（1）的相对端面上的安装有四个滑轨（3）和位于两个所述侧板（1）之间并通过销轴（6）转动连接活的两个第一活动杆（4）和两个第二活动杆（5），两个所述第一活动杆（4）和两个第二活动杆（5）的上端均与相对应设置的滑块转动连接，两个所述第一活动杆（4）和两个第二活动杆（5）的下端分别与相对应的所述侧板（1）转动连接，所述销轴（6）的外壁上固定有对所述第一活动杆（4）和两个第二活动杆（5）限位的两个限位板（8），还包括用于将所述第一活动杆（4）和所述第二活动杆（5）固定在一起的定位单元。

2.根据权利要求1所述的一种可调节式晶圆清洗用放置架，其特征在于：所述定位单元包括转动设置在所述销轴（6）内腔的螺杆（7）和滑动套设在所述销轴（6）上的两个定位环板（12），两个所述定位环板（12）的相对端上均呈圆周固定有多个定位柱（13），且若干个所述定位柱（13）分别与相对应的所述第一活动杆（4）和所述第二活动杆（5）上呈圆周排列的若干个定位凹槽插接，所述螺杆（7）的正螺纹段和反向螺纹段上均螺纹套接有螺纹管（11），且两个所述螺纹管（11）通过贯穿活动开口（16）的连接杆（14）与对应所述定位环板（12）固定连接，所述螺杆（7）的左端贯穿所述销轴（6）并与转动块（9）固定连接，所述螺杆（7）与所述销轴（6）的连接处安装有弹性紧固套（10）。

3.根据权利要求2所述的一种可调节式晶圆清洗用放置架，其特征在于：所述连接杆（14）上固定套设有可对所述活动开口（16）进行密封的密封板（15），且所述密封板（15）的下端面固定连接有弹性密封垫，所述弹性密封垫与所述销轴（6）的内壁紧贴。

4.根据权利要求1-3中任意一项所述的一种可调节式晶圆清洗用放置架，其特征在于：还包括手握单元，所述手握单元包括固定在所述销轴（6）外壁上的安装环（18），所述安装环（18）的外端通过固定杆（20）与手握杆（19）固定连接。

5.根据权利要求1-3中任意一项所述的一种可调节式晶圆清洗用放置架，其特征在于：两个所述侧板（1）的上端均固定连接有翻边（21），且所述翻边（21）上安装有手提杆（23），所述翻边（21）的下端与所述侧板（1）的外壁通过若干个三角加强块（22）固定在一起。

6.根据权利要求1-3中任意一项所述的一种可调节式晶圆清洗用放置架，其特征在于：两个所述侧板（1）的底部均固定连接有移动脚轮（17）。

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