CN218596579U - 一种碳化硅籽晶粘接装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于籽晶生产领域，尤其是一种碳化硅籽晶粘接装置，针对现有粘接装置对碳化硅籽晶进行对接粘接时，胶水不能均匀涂抹在两个碳化硅籽晶表面，粘接效果较差的问题，现提出如下方案，其包括加工台、连接座、移动控制板、粘接控制板和控制组件，所述连接座固定安装加工台的顶部，所述连接座的一侧开设有固定槽，所述移动控制板滑动安装在固定槽内，所述粘接控制板设置在移动控制板的底部，所述控制组件设置在移动控制板上，所述控制组件与粘接控制板相连接。本实用新型的粘接装置对碳化硅籽晶进行对接粘接时，胶水能均匀涂抹在两个碳化硅籽晶表面，粘接效果较好。

Description

一种碳化硅籽晶粘接装置

技术领域

本实用新型涉及籽晶生产技术领域，尤其涉及一种碳化硅籽晶粘接装置。

背景技术

碳化硅具有大禁带宽度、高临界击穿场强等特性，是制造高频、大功率、抗辐照及光照集成器件的理想材料，采用液相法生长碳化硅晶体，需提前用粘结剂将碳化硅籽晶固定在籽晶托盘上，并将托盘通过连接杆与生长炉传动装置连接；

现有技术中，由于液体粘结剂的挥发或空气的进入，导致整个过程中籽晶与托盘之间有气泡产生，气泡会影响碳化硅单晶的生长质量，针对上述问题申请号为202210282096.X公开了一种碳化硅籽晶粘接装置和方法，其中装置包括：加压机构和加热平台；加热平台用于承载并加热粘接件，加热平台可在外力作用下沿自身的竖直中心轴旋转；粘接件包括使用粘结剂粘接好的籽晶与托盘；加压机构，与加热平台同轴设置且位于加热平台上方，包括升降驱动部、加压驱动部、离心驱动部和加压盘；升降驱动部驱动加压盘的升降，当加压盘下降并接触到加热平台承载的粘接件时，利用加压驱动部对加压盘施加压力，以使加压盘对粘接件施加相同压力；利用离心驱动部驱动加压盘沿加压机构的中心轴进行离心旋转运动，使得加压盘带动加热平台进行离心旋转运动，然而在实际使用过程中，粘接装置对碳化硅籽晶进行对接粘接时，胶水不能均匀涂抹在两个碳化硅籽晶表面，粘接效果较差。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种碳化硅籽晶粘接装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种碳化硅籽晶粘接装置，包括加工台、连接座、移动控制板、粘接控制板和控制组件，所述连接座固定安装加工台的顶部，所述连接座的一侧开设有固定槽，所述移动控制板滑动安装在固定槽内，所述粘接控制板设置在移动控制板的底部，所述控制组件设置在移动控制板上，所述控制组件与粘接控制板相连接，所述控制组件包括旋转座、伸缩座、锥齿轮一、控制圆杆、锥齿轮二和转动齿轮一，所述移动控制板的底部开设有旋转槽，所述旋转槽内转动安装有旋转座，旋转座的底部开设有伸缩槽，所述粘接控制板的顶部固定安装有伸缩座，所述伸缩座滑动安装在伸缩槽内，所述旋转座的顶部固定安装有锥齿轮一，所述旋转槽的内壁上转动连接有控制圆杆，所述控制圆杆的一端固定安装有锥齿轮二，所述锥齿轮二与锥齿轮一啮合，所述移动控制板的一侧开设有连接槽，所述连接槽内转动安装有转动齿轮一，固定槽的内壁上固定安装有齿条一，齿条一与转动齿轮一啮合，所述控制圆杆的另一端延伸至连接槽内并固定安装在转动齿轮一上。

具体的，所述伸缩座的顶部固定安装有弹簧，弹簧固定连接在伸缩槽的顶部内壁上。

具体的，所述固定槽的底部内壁上固定安装有气缸，气缸的输出轴固定连接在移动控制板的底部。

具体的，所述粘接控制板的底部开设有两个安装槽，两个安装槽内均滑动安装有夹持板，两个夹持板的一侧均开设有螺纹孔一，两个安装槽的一侧内壁上开设有同一个连接孔，所述连接孔内转动安装有两个丝杆一，丝杆一螺纹安装在对应的螺纹孔一内，两个丝杆一的一端均固定安装有连接齿轮，两个连接齿轮啮合，所述丝杆一的另一端固定安装有调节旋钮。

具体的，所述加工台的顶部开设有两个调节槽，两个调节槽内均滑动安装有限位侧板，两个限位侧板相互靠近的一侧均开设有螺纹孔二，两个调节槽的内壁上均转动安装有丝杆二，丝杆二螺纹安装在对应的螺纹孔二，两个调节槽的一侧内壁上开设有同一个固定孔，两个丝杆二的一端均延伸至固定孔内并固定安装有控制齿轮，两个控制齿轮相啮合。

具体的，所述加工台的顶部开设有移动槽，移动控制板的底部固定安装有齿条二，所述齿条二滑动安装在移动槽内，所述丝杆二的一端延伸至移动槽内并固定安装有转动齿轮二，所述齿条二与转动齿轮二啮合。

具体的，所述移动槽的一侧内壁上开设有通孔，丝杆二转动安装在通孔内。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

(1)本实用新型的一种碳化硅籽晶粘接装置，在粘接过程中可对碳化硅籽晶的位置进行固定，粘接时稳定性更好，将碳化硅籽晶与另一个碳化硅籽晶对接时可进行旋转，使得胶水能均匀涂抹并得到较好的粘接。

(2)本实用新型的一种碳化硅籽晶粘接装置，粘接效果较好，且粘接较为均匀，方便对碳化硅籽晶进行快速固定。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型的实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是示例性的，本说明书所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整。

图1为本实用新型提出的一种碳化硅籽晶粘接装置的主视结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种碳化硅籽晶粘接装置的旋转锥、伸缩座和粘接控制板的立体结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种碳化硅籽晶粘接装置的A部分结构示意图；

图4为本实用新型提出的一种碳化硅籽晶粘接装置的B部分结构示意图。

图中：1、加工台；2、连接座；3、移动控制板；4、气缸；5、旋转座；6、伸缩座；7、粘接控制板；8、夹持板；9、丝杆一；10、连接齿轮；11、调节旋钮；12、弹簧；13、锥齿轮一；14、控制圆杆；15、锥齿轮二；16、转动齿轮一；17、齿条一；18、限位侧板；19、丝杆二；20、控制齿轮；21、齿条二；22、转动齿轮二。

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”“轴向”、“周向”、“径向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

参照图1-4，一种碳化硅籽晶粘接装置，包括加工台1、连接座2、移动控制板3和粘接控制板7，所述连接座2固定安装加工台1的顶部，所述连接座2的一侧开设有固定槽，所述移动控制板3滑动安装在固定槽内，所述粘接控制板7设置在移动控制板3的底部，所述移动控制板3的底部开设有旋转槽，所述旋转槽内转动安装有旋转座5，旋转座5的底部开设有伸缩槽，所述粘接控制板7的顶部固定安装有伸缩座6，所述伸缩座6滑动安装在伸缩槽内，所述伸缩座6的顶部固定安装有弹簧12，弹簧12固定连接在伸缩槽的顶部内壁上，所述旋转座5的顶部固定安装有锥齿轮一13，所述旋转槽的内壁上转动连接有控制圆杆14，所述控制圆杆14的一端固定安装有锥齿轮二15，所述锥齿轮二15与锥齿轮一13啮合，所述移动控制板3的一侧开设有连接槽，所述连接槽内转动安装有转动齿轮一16，固定槽的内壁上固定安装有齿条一17，齿条一17与转动齿轮一16啮合，所述控制圆杆14的另一端延伸至连接槽内并固定安装在转动齿轮一16上，所述固定槽的底部内壁上固定安装有气缸4，气缸4的输出轴固定连接在移动控制板3的底部。

本实施例中，粘接控制板7的底部开设有两个安装槽，两个安装槽内均滑动安装有夹持板8，两个夹持板8的一侧均开设有螺纹孔一，两个安装槽的一侧内壁上开设有同一个连接孔，所述连接孔内转动安装有两个丝杆一9，丝杆一9螺纹安装在对应的螺纹孔一内，两个丝杆一9的一端均固定安装有连接齿轮10，两个连接齿轮10啮合，所述丝杆一9的另一端固定安装有调节旋钮11。

本实施例中，所述加工台1的顶部开设有两个调节槽，两个调节槽内均滑动安装有限位侧板18，两个限位侧板18相互靠近的一侧均开设有螺纹孔二，两个调节槽的内壁上均转动安装有丝杆二19，丝杆二19螺纹安装在对应的螺纹孔二，两个调节槽的一侧内壁上开设有同一个固定孔，两个丝杆二19的一端均延伸至固定孔内并固定安装有控制齿轮20，两个控制齿轮20相啮合，所述加工台1的顶部开设有移动槽，移动控制板3的底部固定安装有齿条二21，所述齿条二21滑动安装在移动槽内，所述丝杆二19的一端延伸至移动槽内并固定安装有转动齿轮二22，所述齿条二21与转动齿轮二22啮合。

本实施例中，移动槽的一侧内壁上开设有通孔，丝杆二19转动安装在通孔内。

本实施例中，将碳化硅籽晶放置在加工台1，并将另一个碳化硅籽晶放置在粘接控制板7的底部，并转动调节旋钮11，调节旋钮11带动丝杆一9转动，丝杆一9带动连接齿轮10转动，连接齿轮10带动另一个连接齿轮10和丝杆一9转动，丝杆一9驱动对应的夹持板8移动，两个夹持板8对碳化硅籽晶进行限位，移动控制板3还带动齿条二21移动，齿条二21带动转动齿轮二22转动，转动齿轮二22带动丝杆二19转动，丝杆二19带动控制齿轮20转动，控制齿轮20带动另一个控制齿轮20和丝杆二19转动，丝杆二19驱动对应的限位侧板18移动，两个限位侧板18对碳化硅籽晶进行固定，随后气缸4带动移动控制板3向下移动，同时转动齿轮一16在齿条一17上发生转动，转动齿轮一16带动控制轴杆转动，控制轴杆带动锥齿轮二15转动，锥齿轮二15带动锥齿轮一13转动，锥齿轮一13带动旋转座5转动，旋转座5带动粘接控制板7转动，粘接控制板7上的碳化硅籽晶与加工台1上的碳化硅籽晶接触后继续转动，使得粘接控制板7还带动伸缩座6在伸缩槽内滑动并挤压弹簧12，两个碳化硅籽晶进行粘接。

本实用新型相对现有技术获得的技术进步是：本实用新型的粘接装置对碳化硅籽晶进行对接粘接时，胶水能均匀涂抹在两个碳化硅籽晶表面，粘接效果较好。

Claims (7)

1.一种碳化硅籽晶粘接装置，其特征在于，包括加工台(1)、连接座(2)、移动控制板(3)、粘接控制板(7)和控制组件，所述连接座(2)固定安装加工台(1)的顶部，所述连接座(2)的一侧开设有固定槽，所述移动控制板(3)滑动安装在固定槽内，所述粘接控制板(7)设置在移动控制板(3)的底部，所述控制组件设置在移动控制板(3)上，所述控制组件与粘接控制板(7)相连接，所述控制组件包括旋转座(5)、伸缩座(6)、锥齿轮一(13)、控制圆杆(14)、锥齿轮二(15)和转动齿轮一(16)，所述移动控制板(3)的底部开设有旋转槽，所述旋转槽内转动安装有旋转座(5)，旋转座(5)的底部开设有伸缩槽，所述粘接控制板(7)的顶部固定安装有伸缩座(6)，所述伸缩座(6)滑动安装在伸缩槽内，所述旋转座(5)的顶部固定安装有锥齿轮一(13)，所述旋转槽的内壁上转动连接有控制圆杆(14)，所述控制圆杆(14)的一端固定安装有锥齿轮二(15)，所述锥齿轮二(15)与锥齿轮一(13)啮合，所述移动控制板(3)的一侧开设有连接槽，所述连接槽内转动安装有转动齿轮一(16)，固定槽的内壁上固定安装有齿条一(17)，齿条一(17)与转动齿轮一(16)啮合，所述控制圆杆(14)的另一端延伸至连接槽内并固定安装在转动齿轮一(16)上。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅籽晶粘接装置，其特征在于，所述伸缩座(6)的顶部固定安装有弹簧(12)，弹簧(12)固定连接在伸缩槽的顶部内壁上。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅籽晶粘接装置，其特征在于，所述固定槽的底部内壁上固定安装有气缸(4)，气缸(4)的输出轴固定连接在移动控制板(3)的底部。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅籽晶粘接装置，其特征在于，所述粘接控制板(7)的底部开设有两个安装槽，两个安装槽内均滑动安装有夹持板(8)，两个夹持板(8)的一侧均开设有螺纹孔一，两个安装槽的一侧内壁上开设有同一个连接孔，所述连接孔内转动安装有两个丝杆一(9)，丝杆一(9)螺纹安装在对应的螺纹孔一内，两个丝杆一(9)的一端均固定安装有连接齿轮(10)，两个连接齿轮(10)啮合，所述丝杆一(9)的另一端固定安装有调节旋钮(11)。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅籽晶粘接装置，其特征在于，所述加工台(1)的顶部开设有两个调节槽，两个调节槽内均滑动安装有限位侧板(18)，两个限位侧板(18)相互靠近的一侧均开设有螺纹孔二，两个调节槽的内壁上均转动安装有丝杆二(19)，丝杆二(19)螺纹安装在对应的螺纹孔二，两个调节槽的一侧内壁上开设有同一个固定孔，两个丝杆二(19)的一端均延伸至固定孔内并固定安装有控制齿轮(20)，两个控制齿轮(20)相啮合。

6.根据权利要求5所述的一种碳化硅籽晶粘接装置，其特征在于，所述加工台(1)的顶部开设有移动槽，移动控制板(3)的底部固定安装有齿条二(21)，所述齿条二(21)滑动安装在移动槽内，所述丝杆二(19)的一端延伸至移动槽内并固定安装有转动齿轮二(22)，所述齿条二(21)与转动齿轮二(22)啮合。

7.根据权利要求6所述的一种碳化硅籽晶粘接装置，其特征在于，所述移动槽的一侧内壁上开设有通孔，丝杆二(19)转动安装在通孔内。

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