CN218595244U - 一种连续上料装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种连续上料装置，其技术方案要点是：包括工作架，所述工作架的内部设置有两个传动柱，所述工作架的内部设置有传送带，所述传送带与所述传动柱活动套接；上料组件，设置在所述工作架的内部一侧，用于对晶圆进行上料，所述上料组件包括两个旋转槽，两个所述旋转槽均开设在所述工作架的内部一侧，所述传动柱的一端固定安装有旋转柱，所述传动柱的一端固定安装有转动柱，通过设置的工作架、传动柱、旋转槽、旋转柱、转动柱、转动孔、传送带、步进电机、斜面板、导引槽、检测台、安装槽、驱动电机、转动块、推动柱、落料槽和PLC控制器相互配合使用，便于对多个晶圆进行连续上料，以便工作人员后续对晶圆进行检测。

Description

一种连续上料装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆连续上料技术领域，具体涉及一种连续上料装置。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工一片或多片晶圆，随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点，晶圆加工的过程中，需要连续上料装置将晶圆移动到检测设备上，保证检测设备对晶圆的检测效率和精准度。

例如公开号为CN213635937U的中国专利，其中提出了一种晶圆加工用连续上料装置，该专利通过设置的升降管、丝杆、伺服电机、滑动座、支撑平台、三号旋转电机、二号旋转电机、一号旋转电机、一号旋转臂、二号旋转臂和晶圆托架，使得晶圆加工用连续上料装置通过一个晶圆托架将晶圆从检测设备上取走时，另一个低高度的晶圆托架已经顶托有待检测的晶圆，在装置将检测设备上的晶圆抬起取走时，升降管上升，进而使得低高度的晶圆托架上升到与检测设备相同高度，进而将待检测的晶圆放置到检测设备上，缩短检测时间，提高检测效率，但是该方案中，由于该装置对晶圆上料时通过升降管等结构对晶圆进行抬起，进而将晶圆放在检测的位置，而此方式可能只可以对单个晶圆进行上料操作，当晶圆过多时，可能会降低晶圆的上料速度，从而会导致晶圆的连续上料效果较差。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种连续上料装置，解决了该装置对晶圆上料时通过升降管等结构对晶圆进行抬起，进而将晶圆放在检测的位置，而此方式可能只可以对单个晶圆进行上料操作，当晶圆过多时，可能会降低晶圆的上料速度，从而会导致晶圆的连续上料效果较差的问题。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种连续上料装置，包括工作架，所述工作架的内部设置有两个传动柱，所述工作架的内部设置有传送带，所述传送带与所述传动柱活动套接；上料组件，设置在所述工作架的内部一侧，用于对晶圆进行上料，所述上料组件包括：两个旋转槽，两个所述旋转槽均开设在所述工作架的内部一侧，所述传动柱的一端固定安装有旋转柱，所述传动柱的一端固定安装有转动柱，所述旋转柱与所述旋转槽活动套接，所述工作架的一侧开设有两个转动孔，所述转动柱与所述转动孔活动套接，所述工作架的一侧设置有步进电机，所述步进电机的驱动轴与位于所述工作架左侧的所述转动柱的一端固定安装，所述工作架的一侧固定安装有斜面板，所述斜面板的顶面开设有导引槽，所述斜面板的一侧固定安装有检测台，所述检测台的顶面开设有安装槽，所述安装槽的内圆壁面固定套接有驱动电机，所述驱动电机驱动轴的顶面固定安装有转动块，所述转动块的外圆壁面固定安装有若干个推动柱，所述检测台的一侧设置有PLC控制器，所述PLC控制器与所述步进电机电性连接，所述PLC控制器与所述驱动电机电性连接，所述检测台的一侧开设有落料槽。

为了防止连续上料的晶圆发生堆积，作为本实用新型的一种连续上料装置，较佳的，所述上料组件还包括：固定架，所述固定架固定安装在所述斜面板的底面，所述固定架的内部底面开设有固定槽，所述固定槽的内圆壁面固定套接有电动液压杆，所述导引槽的内部底面开设有移动孔，所述移动孔的内部滑动连接有挡板，所述挡板与所述电动液压杆的伸缩杆固定安装，所述电动液压杆与所述PLC控制器电性连接。

为了便于让工作人员放置检测晶圆用的设备，作为本实用新型的一种连续上料装置，较佳的，所述检测台的一侧固定安装有放置板。

为了便于对步进电机、驱动电机、PLC控制器和电动液压杆进行供电，作为本实用新型的一种连续上料装置，较佳的，所述检测台的底面设置有蓄电池，所述蓄电池与所述步进电机电性连接，所述蓄电池与所述驱动电机电性连接，所述蓄电池与所述PLC控制器电性连接，所述传动柱步进电机与所述电动液压杆电性连接。

为了便于纠正晶圆在传送带顶面的移动位置，作为本实用新型的一种连续上料装置，较佳的，所述工作架的顶面固定安装有两个限位板，所述限位板的内部一侧固定安装有海绵块。

为了便于对步进电机进行支撑，作为本实用新型的一种连续上料装置，较佳的，所述工作架的一侧固定安装有安装架，所述安装架的一侧开设有固定孔，所述固定孔与所述步进电机固定套接。

为了便于减少转动柱转动的摩擦力，作为本实用新型的一种连续上料装置，较佳的，所述转动孔的内圆壁面固定套接有轴承，所述轴承与所述转动柱固定套接。

综上所述，本实用新型主要具有以下有益效果：

通过设置的工作架、传动柱、旋转槽、旋转柱、转动柱、转动孔、传送带、步进电机、斜面板、导引槽、检测台、安装槽、驱动电机、转动块、推动柱、落料槽和PLC控制器相互配合使用，便于对多个晶圆进行连续上料，以便工作人员后续对晶圆进行检测。

通过设置的挡板，当多个晶圆同时进入导引槽的内部时，工作人员可能检测速度较慢，此时，通过挡板，便于将多个晶圆阻挡在导引槽的内部，当工作人员检测下一个晶圆时，通过使用PLC控制器启动电动液压杆，电动液压杆的伸缩杆移动会带动挡板移动，可以将挡板移动进移动孔的内部解除对晶圆的阻挡，让晶圆继续滑动移动至检测台的顶面，从而便于让晶圆有序移动至检测台的顶面进行检测，防止连续上料的晶圆发生堆积。

附图说明

图1是本实用新型的立体结构示意图；

图2是本实用新型的工作架结构示意图；

图3是本实用新型的检测台结构示意图；

图4是本实用新型的固定架结构示意图。

附图标记：1、工作架；2、传动柱；3、旋转槽；4、旋转柱；5、转动柱；6、转动孔；7、轴承；8、传送带；9、步进电机；10、斜面板；11、导引槽；12、检测台；13、安装槽；14、驱动电机；15、转动块；16、推动柱；17、蓄电池；18、安装架；19、固定孔；20、限位板；21、海绵块；22、落料槽；23、固定架；24、固定槽；25、电动液压杆；26、移动孔；27、挡板；28、放置板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参考图1、图2和图3，一种连续上料装置，包括工作架1，所述工作架1的内部设置有两个传动柱2，工作架1的内部设置有传送带8，传送带8与传动柱2活动套接，工作架1的内部一侧设置有上料组件，用于对晶圆进行上料，上料组件包括两个旋转槽3，两个旋转槽3均开设在工作架1的内部一侧，传动柱2的一端固定安装有旋转柱4，传动柱2的一端固定安装有转动柱5，旋转柱4与旋转槽3活动套接，工作架1的一侧开设有两个转动孔6，转动柱5与转动孔6活动套接，工作架1的一侧设置有步进电机9，步进电机9的驱动轴与位于工作架1左侧的转动柱5的一端固定安装，工作架1的一侧固定安装有斜面板10，斜面板10的顶面开设有导引槽11，斜面板10的一侧固定安装有检测台12，检测台12的顶面开设有安装槽13，安装槽13的内圆壁面固定套接有驱动电机14，驱动电机14驱动轴的顶面固定安装有转动块15，转动块15的外圆壁面固定安装有若干个推动柱16，检测台12的一侧设置有PLC控制器，PLC控制器与步进电机9电性连接，PLC控制器与驱动电机14电性连接，检测台12的一侧开设有落料槽22，通过设置的传送带8，工作人员将生产完成的晶圆放在传送带8的顶面，进而工作人员通过使用PLC控制器启动步进电机9，步进电机9的驱动轴转动会带动传动柱2转动，传动柱2转动会带动传送带8进行旋转传动，传送带8移动后可以带动传送带8顶面放置的晶圆，当晶圆移动至工作架1的末端后，由于传送带8会从工作架1的下方回转，此时晶圆会从传送带8的顶面移出，落进导引槽11的内部，由于斜面板10的斜坡状，可以让晶圆向下滑动，进而晶圆会移动至检测台12的顶面，而后工作人员通过使用PLC控制器启动驱动电机14，驱动电机14的驱动轴转动会带动转动块15和推动柱16转动，进而推动柱16的一侧会接触晶圆，并推动其进行移动，当推动柱16将晶圆推动至检测台12的一侧后，工作人员可以使用检测设备对晶圆进行检测，检测完成后，让驱动电机14、转动块15和推动柱16继续推动晶圆进行转动，进而检测完成的晶圆会移动至落料槽22的位置，而后晶圆会通过落料槽22移出检测台12的表面，工作人员可以在落料槽22的位置放置收集箱等物品，可以对晶圆进行收集，通过工作架1、传动柱2、传送带8、步进电机9、斜面板10、导引槽11、检测台12、驱动电机14、转动块15和推动柱16配合使用，便于对多个晶圆进行连续上料，以便工作人员后续对晶圆进行检测。

参考图1、图2、图3和图4，上料组件还包括固定架23，固定架23固定安装在斜面板10的底面，固定架23的内部底面开设有固定槽24，固定槽24的内圆壁面固定套接有电动液压杆25，导引槽11的内部底面开设有移动孔26，移动孔26的内部滑动连接有挡板27，挡板27与电动液压杆25的伸缩杆固定安装，电动液压杆25与PLC控制器电性连接，通过设置的挡板27，当多个晶圆同时进入导引槽11的内部时，工作人员可能检测速度较慢，此时，通过挡板27，便于将多个晶圆阻挡在导引槽11的内部，当工作人员检测下一个晶圆时，通过使用PLC控制器启动电动液压杆25，电动液压杆25的伸缩杆移动会带动挡板27移动，可以将挡板27移动进移动孔26的内部解除对晶圆的阻挡，让晶圆继续滑动移动至检测台12的顶面，从而便于让晶圆有序移动至检测台12的顶面进行检测，防止连续上料的晶圆发生堆积，检测台12的一侧固定安装有放置板28，检测台12的底面设置有蓄电池17，蓄电池17与步进电机9电性连接，蓄电池17与驱动电机14电性连接，蓄电池17与PLC电性连接，传动柱2步进电机9与电动液压杆25电性连接，工作架1的顶面固定安装有两个限位板20，限位板20的内部一侧固定安装有海绵块21，工作架1的一侧固定安装有安装架18，安装架18的一侧开设有固定孔19，固定孔19与步进电机9固定套接，转动孔6的内圆壁面固定套接有轴承7，轴承7与转动柱5固定套接。

工作原理：请参考图1－图4所示，通过设置的传送带8，工作人员将生产完成的晶圆放在传送带8的顶面，进而工作人员通过使用PLC控制器启动步进电机9，步进电机9的驱动轴转动会带动传动柱2转动，传动柱2转动会带动传送带8进行旋转传动，传送带8移动后可以带动传送带8顶面放置的晶圆，当晶圆移动至工作架1的末端后，由于传送带8会从工作架1的下方回转，此时晶圆会从传送带8的顶面移出，落进导引槽11的内部，由于斜面板10的斜坡状，可以让晶圆向下滑动，进而晶圆会移动至检测台12的顶面，而后工作人员通过使用PLC控制器启动驱动电机14，驱动电机14的驱动轴转动会带动转动块15和推动柱16转动，进而推动柱16的一侧会接触晶圆，并推动其进行移动，当推动柱16将晶圆推动至检测台12的一侧后，工作人员可以使用检测设备对晶圆进行检测，检测完成后，让驱动电机14、转动块15和推动柱16继续推动晶圆进行转动，进而检测完成的晶圆会移动至落料槽22的位置，而后晶圆会通过落料槽22移出检测台12的表面，工作人员可以在落料槽22的位置放置收集箱等物品，可以对晶圆进行收集，通过工作架1、传动柱2、传送带8、步进电机9、斜面板10、导引槽11、检测台12、驱动电机14、转动块15和推动柱16配合使用，便于对多个晶圆进行连续上料，以便工作人员后续对晶圆进行检测。

通过设置的挡板27，当多个晶圆同时进入导引槽11的内部时，工作人员可能检测速度较慢，此时，通过挡板27，便于将多个晶圆阻挡在导引槽11的内部，当工作人员检测下一个晶圆时，通过使用PLC控制器启动电动液压杆25，电动液压杆25的伸缩杆移动会带动挡板27移动，可以将挡板27移动进移动孔26的内部解除对晶圆的阻挡，让晶圆继续滑动移动至检测台12的顶面，从而便于让晶圆有序移动至检测台12的顶面进行检测，防止连续上料的晶圆发生堆积。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种连续上料装置，其特征在于，包括：

工作架(1)，所述工作架(1)的内部设置有两个传动柱(2)，所述工作架(1)的内部设置有传送带(8)，所述传送带(8)与所述传动柱(2)活动套接；

上料组件，设置在所述工作架(1)的内部一侧，用于对晶圆进行上料，所述上料组件包括：两个旋转槽(3)，两个所述旋转槽(3)均开设在所述工作架(1)的内部一侧，所述传动柱(2)的一端固定安装有旋转柱(4)，所述传动柱(2)的一端固定安装有转动柱(5)，所述旋转柱(4)与所述旋转槽(3)活动套接，所述工作架(1)的一侧开设有两个转动孔(6)，所述转动柱(5)与所述转动孔(6)活动套接，所述工作架(1)的一侧设置有步进电机(9)，所述步进电机(9)的驱动轴与位于所述工作架(1)左侧的所述转动柱(5)的一端固定安装，所述工作架(1)的一侧固定安装有斜面板(10)，所述斜面板(10)的顶面开设有导引槽(11)，所述斜面板(10)的一侧固定安装有检测台(12)，所述检测台(12)的顶面开设有安装槽(13)，所述安装槽(13)的内圆壁面固定套接有驱动电机(14)，所述驱动电机(14)驱动轴的顶面固定安装有转动块(15)，所述转动块(15)的外圆壁面固定安装有若干个推动柱(16)，所述检测台(12)的一侧设置有PLC控制器，所述PLC控制器与所述步进电机(9)电性连接，所述PLC控制器与所述驱动电机(14)电性连接，所述检测台(12)的一侧开设有落料槽(22)。

2.根据权利要求1所述的一种连续上料装置，其特征在于，所述上料组件还包括：

固定架(23)，所述固定架(23)固定安装在所述斜面板(10)的底面，所述固定架(23)的内部底面开设有固定槽(24)，所述固定槽(24)的内圆壁面固定套接有电动液压杆(25)，所述导引槽(11)的内部底面开设有移动孔(26)，所述移动孔(26)的内部滑动连接有挡板(27)，所述挡板(27)与所述电动液压杆(25)的伸缩杆固定安装，所述电动液压杆(25)与所述PLC控制器电性连接。

3.根据权利要求1所述的一种连续上料装置，其特征在于：所述检测台(12)的一侧固定安装有放置板(28)。

4.根据权利要求2所述的一种连续上料装置，其特征在于：所述检测台(12)的底面设置有蓄电池(17)，所述蓄电池(17)与所述步进电机(9)电性连接，所述蓄电池(17)与所述驱动电机(14)电性连接，所述蓄电池(17)与所述PLC控制器电性连接，所述传动柱(2)步进电机(9)与所述电动液压杆(25)电性连接。

5.根据权利要求1所述的一种连续上料装置，其特征在于：所述工作架(1)的顶面固定安装有两个限位板(20)，所述限位板(20)的内部一侧固定安装有海绵块(21)。

6.根据权利要求1所述的一种连续上料装置，其特征在于：所述工作架(1)的一侧固定安装有安装架(18)，所述安装架(18)的一侧开设有固定孔(19)，所述固定孔(19)与所述步进电机(9)固定套接。

7.根据权利要求1所述的一种连续上料装置，其特征在于：所述转动孔(6)的内圆壁面固定套接有轴承(7)，所述轴承(7)与所述转动柱(5)固定套接。

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