CN218283128U - 一种半导体设备粉尘去除设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种粉尘去除设备，尤其涉及一种半导体设备粉尘去除设备。本实用新型提供一种在吸尘时无需提起整个装置，操作更加方便的半导体设备粉尘去除设备。本实用新型提供了这样一种半导体设备粉尘去除设备，包括有壳体、收集框、风机，壳体中部滑动式连接有收集框，收集框内部为中空设置，壳体内底部安装有风机，还包括有过滤网、软管和吸尘框，壳体底部连接有过滤网，壳体顶部连接有软管，软管上安装有用于进行吸尘的吸尘框，吸尘框通过软管与壳体内部连通。本实用新型在使用时，仅需将整个装置移动到半导体设备侧边，再将吸尘框对准加工处即可进行吸尘，无需将整个设备提起吸尘，在吸尘时更加的方便。

Description

一种半导体设备粉尘去除设备

技术领域

本实用新型涉及一种粉尘去除设备，尤其涉及一种半导体设备粉尘去除设备。

背景技术

在运用半导体设备对半导体进行加工时，通常会飘散出一些粉尘，为了避免粉尘影响加工，需要对粉尘进行去除。

经检索，授权专利公开号为CN214262879U的中国专利，公开了一种半导体设备粉尘去除装置，涉及半导体领域。该半导体设备粉尘去除装置，包括粉尘吸附机箱和粉尘收纳机箱，所述粉尘吸附机箱的上端安装有手持握柄，所述粉尘吸附机箱的左端安装有吸附连接管道，所述吸附连接管道远离粉尘吸附机箱的一端安装有粉尘工作吸头，所述粉尘工作吸头远离吸附连接管道的一端安装有粉尘清理毛刷，所述粉尘吸附机箱的前端安装有调节控制装置，所述粉尘吸附机箱的内部开设有吸附工作槽孔，所述吸附工作槽孔的内部安装有支撑固定底块。

上述专利存在以下不足：在吸尘时，只能够通过将整个装置提起的方式才能进行吸尘，操作较为不便。

因此，需要设计一种在吸尘时无需提起整个装置，操作更加方便的半导体设备粉尘去除设备。

实用新型内容

为了克服上述专利在吸尘时，只能够通过将整个装置提起的方式才能进行吸尘，操作较为不便的缺点，要解决的技术问题为：提供一种在吸尘时无需提起整个装置，操作更加方便的半导体设备粉尘去除设备。

本实用新型的技术实施方案是：一种半导体设备粉尘去除设备，包括有壳体、收集框、风机，壳体中部滑动式连接有收集框，收集框内部为中空设置，壳体内底部安装有风机，还包括有过滤网、软管、吸尘框和移动机构，壳体底部连接有过滤网，壳体顶部连接有软管，软管上安装有用于进行吸尘的吸尘框，吸尘框通过软管与壳体内部连通，壳体上设有移动机构。

作为上述方案的改进，移动机构包括有电动滑轨和滑动杆，壳体顶部左侧连接有两个电动滑轨，两个电动滑轨之间设置有滑动杆，滑动杆中部与吸尘框连接，滑动杆套在软管外侧。

作为上述方案的改进，包括有吸尘管、连接头和吸尘接头，壳体顶部右侧连通有吸尘管，吸尘管顶部连通有连接头，连接头上部设置有用于进行吸尘的吸尘接头。

作为上述方案的改进，吸尘管为可伸缩折叠的管道，适于根据连接头和吸尘接头的移动适应性形变，以便于连接头和吸尘接头的吸尘。

作为上述方案的改进，吸尘接头与连接头通过螺纹连接，适于将吸尘接头通过螺纹旋下更换。

作为上述方案的改进，还包括有固定架，壳体右侧连接有固定架，吸尘管穿过固定架并与固定架滑动，通过固定架对吸尘管进行导向。

作为上述方案的改进，还包括有万向轮，壳体底部四角处均安装有用于辅助移动的万向轮。

本实用新型的有益效果是：1、本实用新型在使用时，仅需将整个装置移动到半导体设备侧边，再将吸尘框对准加工处即可进行吸尘，无需将整个设备提起吸尘，在吸尘时更加的方便。

2、本实用新型能够通过提起吸尘接头来对一些吸尘框难以进行吸尘处理的角落进行吸尘，从而起到对角度进行吸尘的效果，且在处理时，也仅需拉起吸尘接头和连接头即可，无需提起整个装置。

3、本实用新型能够在移动时，能够通过万向轮辅助进行移动，使得本设备在移动时更加的方便。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图。

图2为本实用新型的剖面图。

图3为本实用新型过滤网和收集框的立体结构示意图。

图4为本实用新型电动滑轨、滑动杆和吸尘框的立体结构示意图。

图5为本实用新型连接头和吸尘接头的立体结构示意图。

其中：1：壳体，2：收集框，3：过滤网，4：风机，5：软管，6：滑动杆，7：吸尘框，8：电动滑轨，9：吸尘管，10：连接头，11：吸尘接头，12：固定架，13：万向轮。

具体实施方式

下面结合具体实施例对技术方案做进一步的说明，需要注意的是：本文中所说的上、下、左、右等指示方位的字词仅是针对所示结构在对应附图中位置而言。本文中为零部件所编序号本身，例如：第一、第二等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说如：连接、联接，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。

实施例1

一种半导体设备粉尘去除设备，如图1-4所示，包括有壳体1、收集框2、过滤网3、风机4、软管5、吸尘框7和移动机构，壳体1中部滑动式连接有收集框2，收集框2内部为中空设置，壳体1底部连接有过滤网3，壳体1内底部通过螺栓连接的方式安装有风机4，壳体1顶部连接有软管5，软管5上安装有吸尘框7，吸尘框7通过软管5与壳体1内部连通。

如图1和图4所示，移动机构包括有电动滑轨8和滑动杆6，壳体1顶部左侧栓接有两个电动滑轨8，两个电动滑轨8之间设置有滑动杆6，滑动杆6中部与吸尘框7连接，滑动杆6套在软管5外侧。

当需要使用本设备时，可以先将本设备放置在半导体设备的侧边，并使得吸尘框7对准半导体设备的加工处，当需要吸尘时，仅需启动吸尘风机4即可通过吸尘框7进行吸尘，并且在吸尘时，能够通过电动滑轨8驱动滑动杆6带动吸尘框7上下移动，进行吸尘位置的调节，如此，就能够在半导体设备加工时进行吸尘处理，并且在吸尘时无需人工来拉动整个设备进行吸尘，操作时更加的方便。

实施例2

在实施例1的基础之上，如图1和图5所示，包括有吸尘管9、连接头10和吸尘接头11，壳体1顶部右侧连通有吸尘管9，吸尘管9顶部连通有连接头10，连接头10上部设置有吸尘接头11，吸尘管9为可伸缩折叠的管道，适于根据连接头10和吸尘接头11的移动适应性形变，以便于连接头10和吸尘接头11的吸尘，吸尘接头11与连接头10通过螺纹连接，适于将吸尘接头11通过螺纹旋下更换。

如图1所示，还包括有固定架12，壳体1右侧焊接有固定架12，吸尘管9穿过固定架12并与固定架12滑动，通过固定架12对吸尘管9进行导向。

在吸尘时，如果需要对一些吸尘框7吸不到的角落进行吸尘，可以将连接头10和吸尘接头11拉出，吸尘管9适应性形变，固定架12能够对吸尘管9进行导向，将吸尘接头11对准需吸尘处，即可进行吸尘，吸尘完毕后，将吸尘接头11放回即可，如吸尘位置靠近角落较小，还可将原来的吸尘接头11旋转卸下，再更换新的吸尘接头11进行吸尘，如此，就能够针对吸尘框7难以吸尘的角落进行吸尘，并且也无需将整个装置提起，仅需拉出吸尘接头11和连接头10即可，操作更加简单。

如图1所示，还包括有万向轮13，壳体1底部四角处均安装有用于辅助移动的万向轮13。

万向轮13能够辅助本设备的移动，使得本设备在移动时更加的方便。

虽然已经参照示例性实施例描述了本实用新型，但是应理解本实用新型不限于所公开的示例性实施例。以下权利要求的范围应给予最宽泛的解释，以便涵盖所有的变型以及等同的结构和功能。

Claims (7)

1.一种半导体设备粉尘去除设备，包括有壳体(1)、收集框(2)、风机(4)，壳体(1)中部滑动式连接有收集框(2)，收集框(2)内部为中空设置，壳体(1)内底部安装有风机(4)，其特征在于：还包括有过滤网(3)、软管(5)、吸尘框(7)和移动机构，壳体(1)底部连接有过滤网(3)，壳体(1)顶部连接有软管(5)，软管(5)上安装有用于进行吸尘的吸尘框(7)，吸尘框(7)通过软管(5)与壳体(1)内部连通，壳体(1)上设有移动机构。

2.按照权利要求1所述的一种半导体设备粉尘去除设备，其特征在于：移动机构包括有电动滑轨(8)和滑动杆(6)，壳体(1)顶部左侧连接有两个电动滑轨(8)，两个电动滑轨(8)之间设置有滑动杆(6)，滑动杆(6)中部与吸尘框(7)连接，滑动杆(6)套在软管(5)外侧。

3.按照权利要求2所述的一种半导体设备粉尘去除设备，其特征在于：包括有吸尘管(9)、连接头(10)和吸尘接头(11)，壳体(1)顶部右侧连通有吸尘管(9)，吸尘管(9)顶部连通有连接头(10)，连接头(10)上部设置有用于进行吸尘的吸尘接头(11)。

4.按照权利要求3所述的一种半导体设备粉尘去除设备，其特征在于：吸尘管(9)为可伸缩折叠的管道，适于根据连接头(10)和吸尘接头(11)的移动适应性形变，以便于连接头(10)和吸尘接头(11)的吸尘。

5.按照权利要求4所述的一种半导体设备粉尘去除设备，其特征在于：吸尘接头(11)与连接头(10)通过螺纹连接，适于将吸尘接头(11)通过螺纹旋下更换。

6.按照权利要求5所述的一种半导体设备粉尘去除设备，其特征在于：还包括有固定架(12)，壳体(1)右侧连接有固定架(12)，吸尘管(9)穿过固定架(12)并与固定架(12)滑动，通过固定架(12)对吸尘管(9)进行导向。

7.按照权利要求6所述的一种半导体设备粉尘去除设备，其特征在于：还包括有万向轮(13)，壳体(1)底部四角处均安装有用于辅助移动的万向轮(13)。

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