CN218016917U - 一种全自动插片装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种全自动插片装置，涉及插片装置技术领域，该插片装置旨在解决现有技术的全自动插片装置通常难以将单个硅片快速插入在一定高度的硅片存放架内，难以实现快速连续插片的技术问题，该插片装置包括存放箱和活动设置于存放箱上方的移动块；存放箱的右端固定安装有承载板，承载板的上端固定安装有固定板，存放箱的上端固定安装有第一支撑块，固定板的上端固定安装有第二支撑块，第二支撑块的右端固定安装有伺服电机，该插片装置可将单个硅片快速插入在一定高度的硅片存放架内，可实现快速连续插片。

Description

一种全自动插片装置

技术领域

本实用新型属于插片装置技术领域，具体涉及一种全自动插片装置。

背景技术

硅片在生产加工过程中，需要将硅片放置在硅片存放架内进行保存，目前通常是利用全自动插片装置将硅片放置在硅片存放架内进行保存，但目前的全自动插片装置通常难以将单个硅片快速插入在一定高度的硅片存放架内，难以实现快速连续插片。

目前，专利号为CN202122339310.4的实用新型专利公开了一种全自动插片装置，包括机架、横向驱动机构、纵向驱动机构、夹爪以及摆动驱动机构，所述横向驱动机构安装于所述机架且位于工作台上方，所述纵向驱动机构安装于所述横向驱动机构上，以适于所述横向驱动机构驱动所述纵向驱动机构横向运动，所述夹爪可活动地安装于所述纵向驱动机构上，以适于所述纵向驱动机构驱动所述夹爪纵向运动，所述摆动驱动机构安装于所述纵向驱动机构上，且所述摆动驱动机构的驱动端与所述夹爪铰接，以适于驱动所述夹爪相对所述纵向驱动机构发生摆动，该全自动插片装置取代了现有人工安装连接片的方式，安装效率高，但目前的全自动插片装置通常难以将单个硅片快速插入在一定高度的硅片存放架内，难以实现快速连续插片。

因此，针对上述的目前的全自动插片装置通常难以将单个硅片快速插入在一定高度的硅片存放架内，难以实现快速连续插片的问题，亟需得到解决，以实现插片装置可将单个硅片快速插入在一定高度的硅片存放架内，可实现快速连续插片的能力。

实用新型内容

(1)要解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种全自动插片装置，该插片装置旨在解决现有的全自动插片装置通常难以将单个硅片快速插入在一定高度的硅片存放架内，难以实现快速连续插片的技术问题。

(2)技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了这样一种全自动插片装置，该插片装置包括存放箱和活动设置于所述存放箱上方的移动块；所述存放箱的右端固定安装有承载板，所述承载板的上端固定安装有固定板，所述存放箱的上端固定安装有第一支撑块，所述固定板的上端固定安装有第二支撑块，所述第二支撑块的右端固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出轴贯穿第二支撑块固定安装有丝杆本体，所述丝杆本体的外壁活动设置有丝杆螺母，所述丝杆螺母的外壁与移动块的内壁相连接，所述移动块的前后两端均固定安装有第二固定块，所述第二固定块的上端固定安装有第二电动缸，所述第二电动缸的伸缩杆下端贯穿第二固定块固定安装有升降板，所述升降板的下端固定安装有均匀分布的真空吸盘。

使用本技术方案的插片装置时，将硅片放置在承载板的上端，开启第二电动缸使升降板在垂直方向上向下移动，开启真空吸盘将硅片吸附在真空吸盘的下端，再次启动第二电动缸将升降板向上移动，将硅片移动至合适的高度后，开启伺服电机使丝杆本体转动，丝杆螺母沿丝杆本体的外壁移动，可将硅片向左移动至所需位置进行存放。

进一步地，所述存放箱的上端固定开设有第一槽体，所述第一槽体的内壁活动设置有抽板，所述存放箱的下端内壁固定安装有挡板，所述存放箱的下端内壁活动设置有活动盒，活动盒可放置在存放箱的内壁，可实现活动盒的快速稳定放置。

进一步地，所述活动盒的右端与挡板的左端相贴合，所述活动盒的左端与抽板的右端相贴合，所述活动盒的前后两端内壁固定安装有均匀分布的盛放板，活动盒位于抽板和挡板之间的设置，利于活动盒的稳定放置。

进一步地，所述固定板的右端固定安装有第一电动缸，所述第一电动缸的伸缩杆左端贯穿固定板固定安装有推板，所述固定板的前后两端均固定安装有限位板，开启第一电动缸使推板向左移动，可将初步放置在活动盒内的硅片向左推入活动盒中。

进一步地，所述第一支撑块的上端固定安装有第一固定块，所述第一固定块的右端固定安装有限位柱，第一固定块和限位柱的设置利于移动块的稳定移动。

进一步地，所述移动块的上端固定安装有第三固定块，所述第三固定块的左右两端贯穿开设有限位孔，所述限位孔的内壁与限位柱的外壁相贴合，移动块在移动时，第三固定块上的限位孔的内壁沿限位柱的外壁移动，利于移动块的稳定移动。

进一步地，所述抽板的左右两端贯穿开设有第二槽体，所述第一槽体和存放箱的内部相互贯通，所述第一支撑块的左右两端贯穿式固定安装有轴承，所述轴承的内壁与丝杆本体的左端外壁相贴合，第二槽体的设置方便对抽板进行移动。

(3)有益效果

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：本实用新型的插片装置通过设置第二电动缸、升降板和真空吸盘，将硅片放置在承载板的上端，开启第二电动缸使升降板在垂直方向上向下移动，开启真空吸盘将硅片吸附在真空吸盘的下端，再次启动第二电动缸将升降板向上移动，将硅片移动至合适的高度后，开启伺服电机使丝杆本体转动，丝杆螺母沿丝杆本体的外壁移动，可将硅片向左移动至所需位置进行存放，当硅片进入两个盛放板之间后，开启真空吸盘将硅片放下，开启第二电动缸使升降板向上移动，之后开启第一电动缸带动推板向左移动，可将硅片完全的推入两个盛放板之间进行存放，从而实现该装置可将单个硅片快速插入在一定高度的硅片存放架内，可实现快速连续插片的能力。

附图说明

图1为本实用新型插片装置一种具体实施方式的立体结构示意图；

图2为本实用新型插片装置一种具体实施方式的移动块的立体结构示意图；

图3为本实用新型插片装置一种具体实施方式的活动盒的立体结构示意图；

图4为本实用新型插片装置一种具体实施方式的抽板的立体结构示意图。

附图中的标记为：1、存放箱；2、承载板；3、固定板；4、第一支撑块；5、第二支撑块；6、伺服电机；7、丝杆本体；8、轴承；9、移动块；10、第一槽体；11、抽板；12、挡板；13、第一电动缸；14、推板；15、限位板；16、第一固定块；17、限位柱；18、丝杆螺母；19、第二固定块；20、第二电动缸；21、升降板；22、真空吸盘；23、第三固定块；24、限位孔；25、活动盒；26、盛放板；27、第二槽体。

具体实施方式

本具体实施方式是一种全自动插片装置，其立体结构示意图如图1所示，其移动块9的立体结构示意图如图2所示，该插片装置包括存放箱1和活动设置于存放箱1上方的移动块9；存放箱1的右端固定安装有承载板2，承载板2的上端固定安装有固定板3，存放箱1的上端固定安装有第一支撑块4，固定板3的上端固定安装有第二支撑块5，第二支撑块5的右端固定安装有伺服电机6，伺服电机6的输出轴贯穿第二支撑块5固定安装有丝杆本体7，丝杆本体7的外壁活动设置有丝杆螺母18，丝杆螺母18的外壁与移动块9的内壁相连接，移动块9的前后两端均固定安装有第二固定块19，第二固定块19的上端固定安装有第二电动缸20，第二电动缸20的伸缩杆下端贯穿第二固定块19固定安装有升降板21，升降板21的下端固定安装有均匀分布的真空吸盘22，抽板11的左右两端贯穿开设有第二槽体27，第一槽体10和存放箱1的内部相互贯通，第一支撑块4的左右两端贯穿式固定安装有轴承8，轴承8的内壁与丝杆本体7的左端外壁相贴合。

为了实现活动盒25的稳定放置，存放箱1的上端固定开设有第一槽体10，第一槽体10的内壁活动设置有抽板11，存放箱1的下端内壁固定安装有挡板12，存放箱1的下端内壁活动设置有活动盒25，活动盒25的右端与挡板12的左端相贴合，活动盒25的左端与抽板11的右端相贴合，活动盒25的前后两端内壁固定安装有均匀分布的盛放板26，将活动盒25放置在挡板12和抽板11之间，可实现活动盒25的稳定放置。

为了方便对初步放置在两个盛放板26之间的硅片进行移动，固定板3的右端固定安装有第一电动缸13，第一电动缸13的伸缩杆左端贯穿固定板3固定安装有推板14，固定板3的前后两端均固定安装有限位板15。开启第一电动缸13使推板14向左移动，可将初步放置在两个盛放板26之间的硅片完全推入两个盛放板26之间。

为了实现移动块9的稳定移动，第一支撑块4的上端固定安装有第一固定块16，第一固定块16的右端固定安装有限位柱17，移动块9的上端固定安装有第三固定块23，第三固定块23的左右两端贯穿开设有限位孔24，限位孔24的内壁与限位柱17的外壁相贴合，移动块9在移动时，限位孔24沿限位柱17的外壁移动，可实现移动块9的稳定移动。

该插片装置活动盒25的立体结构示意图如图3所示，其抽板11的立体结构示意图如图4所示。

使用本技术方案的插片装置时，将硅片放置在承载板2的上端，开启第二电动缸20使升降板21在垂直方向上向下移动，开启真空吸盘22将硅片吸附在真空吸盘22的下端，再次启动第二电动缸20将升降板21向上移动，将硅片移动至合适的高度后，开启伺服电机6使丝杆本体7转动，丝杆螺母18沿丝杆本体7的外壁移动，可将硅片向左移动至两个盛放板26之间进行存放，当硅片进入两个盛放板26之间后，开启真空吸盘22将硅片放下，开启第二电动缸20使升降板21向上移动，之后开启第一电动缸13带动推板14向左移动，可将硅片完全的推入两个盛放板26之间进行存放，实现该装置全自动插片上料的能力。

Claims (7)

1.一种全自动插片装置，该插片装置包括存放箱和活动设置于所述存放箱上方的移动块；其特征在于，所述存放箱的右端固定安装有承载板，所述承载板的上端固定安装有固定板，所述存放箱的上端固定安装有第一支撑块，所述固定板的上端固定安装有第二支撑块，所述第二支撑块的右端固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出轴贯穿第二支撑块固定安装有丝杆本体，所述丝杆本体的外壁活动设置有丝杆螺母，所述丝杆螺母的外壁与移动块的内壁相连接，所述移动块的前后两端均固定安装有第二固定块，所述第二固定块的上端固定安装有第二电动缸，所述第二电动缸的伸缩杆下端贯穿第二固定块固定安装有升降板，所述升降板的下端固定安装有均匀分布的真空吸盘。

2.根据权利要求1所述的一种全自动插片装置，其特征在于，所述存放箱的上端固定开设有第一槽体，所述第一槽体的内壁活动设置有抽板，所述存放箱的下端内壁固定安装有挡板，所述存放箱的下端内壁活动设置有活动盒。

3.根据权利要求2所述的一种全自动插片装置，其特征在于，所述活动盒的右端与挡板的左端相贴合，所述活动盒的左端与抽板的右端相贴合，所述活动盒的前后两端内壁固定安装有均匀分布的盛放板。

4.根据权利要求1所述的一种全自动插片装置，其特征在于，所述固定板的右端固定安装有第一电动缸，所述第一电动缸的伸缩杆左端贯穿固定板固定安装有推板，所述固定板的前后两端均固定安装有限位板。

5.根据权利要求1所述的一种全自动插片装置，其特征在于，所述第一支撑块的上端固定安装有第一固定块，所述第一固定块的右端固定安装有限位柱。

6.根据权利要求5所述的一种全自动插片装置，其特征在于，所述移动块的上端固定安装有第三固定块，所述第三固定块的左右两端贯穿开设有限位孔，所述限位孔的内壁与限位柱的外壁相贴合。

7.根据权利要求2所述的一种全自动插片装置，其特征在于，所述抽板的左右两端贯穿开设有第二槽体，所述第一槽体和存放箱的内部相互贯通，所述第一支撑块的左右两端贯穿式固定安装有轴承，所述轴承的内壁与丝杆本体的左端外壁相贴合。

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