CN217966683U - 一种用于随行夹具的对接装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于晶棒设备技术领域，公开了一种用于随行夹具的对接装置。包括动力对接机构、随行夹具；动力对接机构和随行夹具都设置在机床上，且均与机床为可拆卸连接，动力对接机构设置在机床的上部，随行夹具设置在机床的下部，动力对接机构前端底部设有动力对接齿盘B，随行夹具前端顶部设有动力对接齿盘A；动力对接齿盘A设置在动力对接齿盘B的正下方，动力对接齿盘B相邻处设有解锁销，随行夹具上还设有销轴；销轴设置在解锁销的正下方，销轴下部外周设有弹簧A，销轴下方设有锁紧销，锁紧销的一端外周与弹簧B部分连接，另一端与随行夹具中的浮动定夹头连接。用于随行夹具与机床对接后工件旋转的动力对接，满足晶棒在切方、磨方过程中需要工件分度和旋转。

Description

一种用于随行夹具的对接装置

技术领域

本实用新型属于晶棒加工设备技术领域，本实用新型涉及一种用于随行夹具的动力对接装置。

背景技术

在目前晶棒切方、磨方工序中机床夹具都在主机床上固定连接，可是这样的一体化设备成本高，一旦故障，需要拆机维修，维修成本高且耗时长，当维修时无法继续工作，若将一体化的设备简化分解，分别设置，由于晶棒在切方、磨方加工过程中需要分度和旋转，分度的位置精度要求比较高，在随行夹具转运过程中要保证硅棒不能有转动，而且要有精确定位，因此，急需一种装置来满足上述要求。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服上述背景技术中的不足，提供一种用于随行夹具的动力对接装置，该装置具有结构简单，性能可靠，成本低等优点。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种用于随行夹具的动力对接装置，包括动力对接机构、随行夹具；动力对接机构和随行夹具都设置在机床上，且均与机床为可拆卸连接，动力对接机构设置在机床的上部，随行夹具设置在机床的下部，动力对接机构前端底部设有动力对接齿盘B，随行夹具前端顶部设有动力对接齿盘A；动力对接齿盘A设置在动力对接齿盘B的正下方，动力对接齿盘B相邻处设有解锁销，随行夹具上还设有销轴；销轴设置在解锁销的正下方，销轴下部外周设有弹簧A，销轴下方设有锁紧销，锁紧销的一端外周与弹簧B部分连接，另一端与随行夹具中的浮动定夹头连接。

锁紧销与销轴互为垂直，且锁紧销为水平设置，且锁紧销中间为凹形结构，用于与销轴底部活动连接；进而带动锁紧销移动压缩弹簧B。

所述机床包括但不限于切方机机床、磨削机机床。

所述随行夹具包括随行夹具座体、定夹头座、动夹头座；随行夹具座体一端安设有定夹头座，定夹头座前端底部插设有浮动定夹头；浮动定夹头上端连接有动力对接齿盘A连接；随行夹具座体上安设有直线导轨A和T形丝杠，动夹头座通过直线导轨A和T形丝杠以及滑块与随行夹具座体活动连接；动夹头座的顶部安装浮动动夹头，动夹头座顶部侧面装设旋转夹紧气缸；气缸活塞杆前端与连接板连接，在随行夹具座体的一端安装有轴承座A，轴承座A内部装有轴承A，轴承A上穿设有夹紧对接轴；夹紧对接轴通过联轴器A与T形丝杠相连，轴承A相邻处安设气动钳制器。

进一步的，定夹头座与随行夹具座体的上部一侧固定连接；动力对接齿盘A与浮动定夹头连接后构成动力连接件，且动力连接件贯穿定夹头座前端设置；T形丝杠的两端分别安装在丝杠座A和丝杠座B上，丝杠座A和丝杠座B安装在随行夹具座体上。夹紧对接轴通过轴承座A与随行夹具座体连接，且夹紧对接轴设置在定夹头座一侧。夹紧对接轴上安装锁紧螺母A，用于锁紧轴承A；轴承A相邻处安设气动钳制器用于锁紧T形丝杠。动夹头座的顶部安装浮动动夹头，通过T形丝杠的旋转，使动夹头座移动，并夹紧单晶硅棒；旋转夹紧气缸B用于加工时夹紧单晶硅棒的边皮。连接板设置在动夹头座的底部；连接板上安装有两个随行夹具夹紧杆。随行夹具座体上还设有定位板，定位板上设有若干个销孔；且定位板设置在动夹头座的下方。

进一步的，随行夹具座体的侧面设有定位孔，定位孔不限制具体个数，图5中仅画出1 个用于解释，用于机床的精定位销连接。随行夹具可以自动夹紧直径200-310mm，长度在 700-950mm的各种规格的晶棒。

动力对接机构包括动力对接支座、动力对接齿盘B，动力对接支座底部设有直线导轨B，动力对接机构通过直线导轨B和滑块与立柱连接，动力对接支座上设有小型油缸(型号为： CXR-LA40X80)；动力对接支座前端设有轴承座B，轴承座B内部装有轴承B，动力对接齿盘B通过轴承B安装在轴承座B上，动力对接齿盘B通过联轴器B与伺服电机连接，伺服电机安装在动力对接支座上；轴承座B一端安装有压盖，且压盖与轴承B外圈相接触；动力对接齿盘B上装有锁紧螺母B，锁紧螺母B与轴承B内圈相接触。解锁销设在动力对接支座上。

随行夹具的背面与立柱正中间通过精定位销定位与立柱连接。

随行夹具与机床对接后，伺服电机端带着端齿盘动力对接齿盘移动并压缩销轴打开锁紧销，两个齿盘对接并通过油缸顶紧，加工结束后回到初始位置，油压松开拉紧机构，伺服电机端移动脱离随行夹具，随行夹具端销轴回位径向锁紧销锁紧。随行夹具上锁紧件如图1为垂直交叉的两个弹簧销组成，当端面销轴被顶位移时径向锁紧销受到端面销轴锥面的径向力并向远离轴心移动，同时端部锥头脱离回转轴，锁紧释放。反之，端面销轴在弹簧力作用下向端面方向移动，径向锁紧销在弹簧力作用下向轴心方向移动并顶入回转轴锥孔中，从而锁死工件轴向回转，保持角向位置。通过定位锁紧销实现精准定位，保证定位精度和锁紧状态。

所述随行夹具还配设有PLC系统，所述小型油缸、伺服电机、气缸、气动钳制器分别与 PLC系统相连接，上述均不限定某一具体型号，实现其具体工作功能即可。

本实用新型与现有技术相比具有的有益效果是：

本实用新型提供的一种用于随行夹具的对接装置可以用于随行夹具与机床对接后工件旋转的动力对接，满足晶棒在切方、磨方过程中需要工件分度和旋转。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明：

图1是本实用新型一种用于随行夹具的对接装置结构剖视图。

图2是动力对接机构立体图。

图3是动力对接机构剖视图。

图4是随行夹具结构示意图。

图5是随行夹具的剖视图。

图中1.动力对接机构，2.随行夹具，101.动力对接齿盘B，102.解锁销，103.动力对接支座，104.直线导轨B，105.小型油缸，106.伺服电机，107.轴承座B，108.轴承B， 109.压盖，110.锁紧螺母B，111.联轴器B，201.随行夹具座体，202.直线导轨A，203.T 形丝杠，204.动夹头座，205.浮动动夹头，206.随行夹具夹紧杆，207.连接板，208.气缸， 209.单晶硅棒，210.浮动定夹头，211.动力对接齿盘A，212.定夹头座，213.夹紧对接轴， 214.气动钳制器，215.轴承A，216.轴承座A，217.锁紧螺母A，218.联轴器A，219.丝杠座A，220.定位孔，221.丝杠座B，222.销轴，223.弹簧A，224.锁紧销，225.弹簧B。

具体实施方式

以下结合说明书附图，对本实用新型进一步说明，但本实用新型并不局限于以下实施例。

实施例1

一种用于随行夹具的对接装置，如图1-5所示，包括动力对接机构1、随行夹具2；动力对接机构1和随行夹具2都设置在机床上，且均与机床为可拆卸连接，动力对接机构1设置在机床的上部，随行夹具2设置在机床的下部，动力对接机构1前端底部设有动力对接齿盘B 101，随行夹具2前端顶部设有动力对接齿盘A 211；动力对接齿盘A 211设置在动力对接齿盘B 101的正下方，动力对接齿盘B 101相邻处设有解锁销102，随行夹具2上还设有销轴222；销轴222设置在解锁销102的正下方，销轴222下部外周设有弹簧A 223，销轴222下方设有锁紧销224，锁紧销224的一端外周与弹簧B 225部分连接，另一端与随行夹具2中的浮动定夹头210连接。

锁紧销224与销轴222互为垂直，且锁紧销224为水平设置，且锁紧销224中间为凹形结构，用于与销轴222底部活动连接；进而带动锁紧销224移动压缩弹簧B 225。

所述机床包括但不限于切方机机床、磨削机机床。

所述随行夹具2包括随行夹具座体201、定夹头座212、动夹头座204；随行夹具座体201 一端安设有定夹头座212，定夹头座212前端底部插设有浮动定夹头210；浮动定夹头210上端连接有动力对接齿盘A 211连接；随行夹具座体201上安设有直线导轨A 202和T形丝杠 203，动夹头座204通过直线导轨A 202和T形丝杠203以及滑块与随行夹具座体201活动连接；动夹头座204的顶部安装浮动动夹头205，动夹头座204顶部侧面装设旋转夹紧气缸208；气缸208活塞杆前端与连接板207连接，在随行夹具座体201的一端安装有轴承座A216，轴承座A 216内部装有轴承A 215，轴承A 215上穿设有夹紧对接轴213；夹紧对接轴213通过联轴器A 218与T形丝杠203相连，轴承A 215相邻处安设气动钳制器214。

定夹头座212与随行夹具座体201的上部一侧固定连接；动力对接齿盘A 211与浮动定夹头210连接后构成动力连接件，且动力连接件贯穿定夹头212座前端设置；T形丝杠203 的两端分别安装在丝杠座A 219和丝杠座B 221上，丝杠座A 219和丝杠座B 221安装在随行夹具座体201上。夹紧对接轴213通过轴承座A 216与随行夹具座体201连接，且夹紧对接轴213设置在定夹头座212一侧。夹紧对接轴213上安装锁紧螺母A 217，用于锁紧轴承A215；轴承A 215相邻处安设气动钳制器214用于锁紧T形丝杠203。动夹头座204的顶部安装浮动动夹头210，通过T形丝杠203的旋转，使动夹头座204移动，并夹紧单晶硅棒209；旋转夹紧气缸B 208用于加工时夹紧单晶硅棒209的边皮。连接板207设置在动夹头座204 的底部；连接板207上安装有两个随行夹具夹紧杆206。随行夹具座体201上还设有定位板，定位板上设有若干个销孔；且定位板设置在动夹头座204的下方。

进一步的，随行夹具座体201的侧面设有定位孔220，定位孔220不限制具体个数，图5 中仅画出1个用于解释，用于机床的精定位销连接。随行夹具2可以自动夹紧直径200-310mm，长度在700-950mm的各种规格的晶棒。

动力对接机构1包括动力对接支座103、动力对接齿盘B 101，动力对接支座103底部设有直线导轨B 104，动力对接机构1通过直线导轨B 104和滑块与立柱连接，动力对接支座 103上设有小型油缸105(型号为CXR-LA40X80)；动力对接支座103前端设有轴承座B107，轴承座B 107内部装有轴承B 108，动力对接齿盘B 101通过轴承B 108安装在轴承座B107 上，动力对接齿盘B 101通过联轴器B 111与伺服电机106连接，伺服电机106安装在动力对接支座103上；轴承座B107一端安装有压盖109，且压盖109与轴承B 108外圈相接触；动力对接齿盘B 101上装有锁紧螺母B 110，锁紧螺母B 110与轴承B 108内圈相接触。

随行夹具2的背面与立柱正中间通过精定位销定位与立柱连接。

上述一种用于随行夹具的对接装置的工作进程为：随行夹具2安装到机床立柱上后，动力对接机构1的小型油缸105动作，使动力对接机构1上的前端动力对接齿盘B 101与随行夹具2上的端面齿动力对接齿盘A 211啮合，同时解锁销102推动销轴222向下移动，压缩弹簧A 223，进而带动锁紧销224向左压缩弹簧B 225移动，解除浮动定夹头210的限位，此时动力对接机构1与随行夹具2的连接，可实现夹紧头的旋转。当切方机完成两个边皮的加工或磨方机完成方棒的两个平面的磨削加工后，动力对接机构1上的伺服电机106接收指令旋转90°，与伺服电机106相连的动力对接齿盘B 101以及动随行夹具2上的动力对接齿盘 A211一起旋转90°，同时与动力对接齿盘A 211相连的浮动定夹头210、单晶硅棒209、浮动动夹头205也一起旋转90°，然后完成切方的去边皮加工或磨方磨削加工；当硅棒的四个平面磨削加工好后，伺服电机106接收指令持续旋转，磨削硅棒的四条小圆弧面，当四条小圆弧面磨削好后，伺服电机106接收指令继续旋转回到原始零点位置，完成整个硅棒的磨削加工。

虽然，上文中已经用一般性说明及具体实施例对本实用新型作了详尽的描述，但在本实用新型基础上，可以对之作一些修改或改进，这对本领域技术人员而言是显而易见的。因此，在不偏离本实用新型精神的基础上所做的这些修改或改进，均属于本实用新型要求保护的范围。

Claims (5)

1.一种用于随行夹具的对接装置，其特征是，包括动力对接机构(1)、随行夹具(2)；动力对接机构(1)和随行夹具(2)都设置在机床上，且均与机床为可拆卸连接，动力对接机构(1)设置在机床的上部，随行夹具(2)设置在机床的下部，动力对接机构(1)前端底部设有动力对接齿盘B(101)，随行夹具(2)前端顶部设有动力对接齿盘A(211)；动力对接齿盘A(211)设置在动力对接齿盘B(101)的正下方，动力对接齿盘B(101)相邻处设有解锁销(102)，随行夹具(2)上还设有销轴(222)；销轴(222)设置在解锁销(102)的正下方，销轴(222)下部外周设有弹簧A(223)，销轴(222)下方设有锁紧销(224)，锁紧销(224)的一端外周与弹簧B(225)部分连接，另一端与随行夹具(2)中的浮动定夹头(210)连接；锁紧销(224)与销轴(222)互为垂直，且锁紧销(224)为水平设置。

2.如权利要求1所述的一种用于随行夹具的对接装置，其特征是，锁紧销(224)中间为凹形结构。

3.如权利要求2所述的一种用于随行夹具的对接装置，其特征是，所述机床包括但不限于切方机机床、磨削机机床。

4.如权利要求3所述的一种用于随行夹具的对接装置，其特征是，所述随行夹具(2)包括随行夹具座体(201)、定夹头座(212)、动夹头座(204)；随行夹具座体(201)一端安设有定夹头座(212)，定夹头座(212)前端底部插设有浮动定夹头(210)；浮动定夹头(210)上端连接有动力对接齿盘A(211)连接；随行夹具座体(201)上安设有直线导轨A(202)和T形丝杠(203)，动夹头座(204)通过直线导轨A(202)和T形丝杠(203)以及滑块与随行夹具座体(201)活动连接；动夹头座(204)的顶部安装浮动动夹头(205)，动夹头座(204)顶部侧面装设旋转夹紧气缸(208)；气缸(208)活塞杆前端与连接板(207)连接，在随行夹具座体(201)的一端安装有轴承座A(216)，轴承座A(216)内部装有轴承A(215)，轴承A(215)上穿设有夹紧对接轴(213)；夹紧对接轴(213)通过联轴器A(218)与T形丝杠(203)相连，轴承A(215)相邻处安设气动钳制器(214)。

5.如权利要求4所述的一种用于随行夹具的对接装置，其特征是，动力对接机构(1)包括动力对接支座(103)、动力对接齿盘B(101)，动力对接支座(103)底部设有直线导轨B(104)，动力对接机构(1)通过直线导轨B(104)和滑块与立柱连接，动力对接支座(103)上设有小型油缸(105)；动力对接支座(103)前端设有轴承座B(107)，轴承座B(107)内部装有轴承B(108)，动力对接齿盘B(101)通过轴承B(108)安装在轴承座B(107)上，动力对接齿盘B(101)通过联轴器B(111)与伺服电机(106)连接，伺服电机(106)安装在动力对接支座(103)上；轴承座B(107)一端安装有压盖(109)，且压盖(109)与轴承B(108) 外圈相接触；动力对接齿盘B(101)上装有锁紧螺母B(110)，锁紧螺母B(110)与轴承B(108)内圈相接触。

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