CN217636775U - 一种立式扩散炉的传片机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种立式扩散炉的传片机，包括横向移动结构、气缸和夹持结构，所述横向移动结构包括第一导轨，所述第一导轨的凹槽内设有单向丝杆和第一滑块，所述第一滑块外侧壁固定有转接板，所述第一导轨外侧壁固定有第一电机。本实用新型中，设置有横向移动结构、气缸和夹持结构，横向移动结构的连接板与气缸固定连接，气缸的伸缩端与夹持结构的第二导轨固定连接，因此可以通过横向移动结构带动气缸和夹持结构实现横向移动，然后通过夹持结构的第二电机驱动两个夹板相互靠近对晶片进行抓取，并且通过压力传感器的反馈，可以调节夹持力度，其次夹板底端设有托板，顶端设有上下移动的压板，使得晶片在被抓取时更加牢固稳定。

Description

一种立式扩散炉的传片机

技术领域

本实用新型涉及立式扩散炉技术领域，尤其涉及一种立式扩散炉的传片机。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。而立式扩散炉在使用时需要通过传片机，传片机会抓取Stage平台上的晶圆片，然后将晶圆片运送至Cap平台处，并将晶圆片放在Cap平台上，最后由Cap平台将晶圆片升高送至扩散炉中。但是现有的立式扩散炉的传片机在对晶圆片进行抓取时，抓取的不够牢固，导致晶圆片容易松动，因此本实用新型提出一种立式扩散炉的传片机。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种立式扩散炉的传片机。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种立式扩散炉的传片机，包括横向移动结构、气缸和夹持结构，所述横向移动结构包括第一导轨，所述第一导轨的凹槽内设有单向丝杆和第一滑块，所述第一滑块外侧壁固定有转接板，所述第一导轨外侧壁固定有第一电机，所述夹持结构包括第二导轨，所述第二导轨的凹槽内部设有双向丝杆和两个第二滑块，所述第二导轨外侧壁固定有第二电机，两个所述第二滑块侧壁均固定连接有夹板。

进一步的，所述第一导轨外侧壁底端固定有多个安装板，且多个安装板中部均开设有安装孔，便于通过安装板将第一导轨安装在立式扩散炉内部。

进一步的，所述单向丝杆与第一导轨的凹槽转动连接，且单向丝杆一端穿过第一导轨侧壁与第一电机驱动端固定连接，所述单向丝杆穿过第一滑块并与第一滑块螺纹转动连接，所述第一滑块与第一导轨的凹槽滑动连接，所述转接板表面固定有U形连接板，所述气缸固定于U形连接板内部，当第一电机转动后会带动单向丝杆转动，从而会带动第一滑块在第一导轨的凹槽内横向移动，进而带动气缸横向移动。

进一步的，所述气缸的伸缩端与第二导轨外侧壁固定连接，通过气缸的伸长与缩短可以带动夹持结构移动，使得夹持结构抓取或放置晶圆片。

进一步的，所述双向丝杆与第二导轨的凹槽转动连接，且双向丝杆一端穿过第二导轨侧壁与第二电机驱动端固定连接，所述双向丝杆穿过两个第二滑块并与两个第二滑块螺纹转动连接，两个所述第二滑块均与第二导轨的凹槽滑动连接，当第二电机转动后，会带动双向丝杆转动，从而可以通过两个第二滑块带动两个夹板相互靠近或远离，实现对晶圆片的夹取或释放。

进一步的，两个所述夹板相邻侧均设有压力传感器，压力传感器与立式扩散炉的控制器电性连接，压力传感器可以检测夹板对晶圆片的夹持力度，并且可以通过控制器设置夹持力度，该夹持力度由第二电机带动夹板移动的行程体现。

进一步的，两个所述夹板底端均固定有托板，且两个夹板顶端均设有顶板，所述顶板两侧均固定有电磁伸缩杆，所述电磁伸缩杆底部伸缩端固定有压板，托板可以防止夹持的晶圆片掉落，当两个夹板间夹持有晶圆片后，电磁伸缩杆伸长，使得压板下降再次对晶圆片进行压紧固定，使得夹持结构对晶圆片的夹持固定更加牢固。

本实用新型的有益效果：

本实用新型在使用时，通过设置横向移动结构、气缸和夹持结构，横向移动结构的连接板与气缸固定连接，气缸的伸缩端与夹持结构的第二导轨固定连接，因此可以通过横向移动结构带动气缸和夹持结构实现横向移动，然后通过夹持结构的第二电机驱动两个夹板相互靠近对晶片进行抓取，并且通过压力传感器的反馈，可以调节夹持力度，其次夹板底端设有托板，顶端设有上下移动的压板，使得晶片在被抓取时更加牢固稳定。

附图说明

图1为本实用新型的俯视图；

图2为本实用新型的U形连接板立体图；

图3为本实用新型的夹持结构立体图。

图例说明：

1、第一导轨；2、单向丝杆；3、第一滑块；4、第一电机；5、安装板；6、转接板；7、气缸；8、U形连接板；9、第二导轨；10、双向丝杆；11、第二滑块；12、第二电机；13、夹板；14、托板；15、顶板；16、电磁伸缩杆；17、压板；18、压力传感器。

具体实施方式

如图1-3所示，涉及一种立式扩散炉的传片机，包括横向移动结构、气缸7和夹持结构，横向移动结构包括第一导轨1，第一导轨1的凹槽内设有单向丝杆2和第一滑块3，第一滑块3外侧壁固定有转接板6，第一导轨1外侧壁固定有第一电机4，夹持结构包括第二导轨9，第二导轨9的凹槽内部设有双向丝杆10和两个第二滑块11，第二导轨9外侧壁固定有第二电机12，两个第二滑块11侧壁均固定连接有夹板13。第一导轨1外侧壁底端固定有多个安装板5，且多个安装板5中部均开设有安装孔。单向丝杆2与第一导轨1的凹槽转动连接，且单向丝杆2一端穿过第一导轨1侧壁与第一电机4驱动端固定连接，单向丝杆2穿过第一滑块3并与第一滑块3螺纹转动连接，第一滑块3与第一导轨1的凹槽滑动连接，转接板6表面固定有U形连接板8，气缸7固定于U形连接板8内部。气缸7的伸缩端与第二导轨9外侧壁固定连接。且第一电机4和第二电机12均为伺服电机，可以保证第一滑块3和第二滑块11移动的位置更加准确。

如图1和图3所示，双向丝杆10与第二导轨9的凹槽转动连接，且双向丝杆10一端穿过第二导轨9侧壁与第二电机12驱动端固定连接，双向丝杆10穿过两个第二滑块11并与两个第二滑块11螺纹转动连接，两个第二滑块11均与第二导轨9的凹槽滑动连接。两个夹板13相邻侧均设有压力传感器18。两个夹板13底端均固定有托板14，且两个夹板13顶端均设有顶板15，顶板15两侧均固定有电磁伸缩杆16，电磁伸缩杆16底部伸缩端固定有压板17。两个夹板13相邻侧和压板17下表面均设有橡胶垫，对晶圆片进行夹持固定时可以起到保护作用。

工作原理：将第一导轨1通过安装板5固定在立式扩散炉内部，使用时，气缸7伸长使得夹持结构移动到stage平台上方，然后由第二电机12转动并带动两个夹板13相互靠近，实现对晶圆片的夹持抓取，此时托板14位于晶圆片下方，起到支托的作用，接着电磁伸缩杆16伸长带动压板17下降，对晶圆片进一步压紧固定，抓取完成后，气缸7缩短带动夹持结构复位，随后第一电机4带动第一滑块3以及与第一滑块3固定连接的气缸7横向移动，使得夹持结构移动到cap平台前方，再由气缸7伸长，让夹持结构移动到cap平台上方，随后电磁伸缩杆16缩短并带动压板17复位，再通过第二电机12反转，使得两个夹板13松开对晶圆片的夹持，实现将晶圆片放在cap平台上。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种立式扩散炉的传片机，其特征在于：包括横向移动结构、气缸（7）和夹持结构，所述横向移动结构包括第一导轨（1），所述第一导轨（1）的凹槽内设有单向丝杆（2）和第一滑块（3），所述第一滑块（3）外侧壁固定有转接板（6），所述第一导轨（1）外侧壁固定有第一电机（4），所述夹持结构包括第二导轨（9），所述第二导轨（9）的凹槽内部设有双向丝杆（10）和两个第二滑块（11），所述第二导轨（9）外侧壁固定有第二电机（12），两个所述第二滑块（11）侧壁均固定连接有夹板（13）。

2.根据权利要求1所述的一种立式扩散炉的传片机，其特征在于：所述第一导轨（1）外侧壁底端固定有多个安装板（5），且多个安装板（5）中部均开设有安装孔。

3.根据权利要求1所述的一种立式扩散炉的传片机，其特征在于：所述单向丝杆（2）与第一导轨（1）的凹槽转动连接，且单向丝杆（2）一端穿过第一导轨（1）侧壁与第一电机（4）驱动端固定连接，所述单向丝杆（2）穿过第一滑块（3）并与第一滑块（3）螺纹转动连接，所述第一滑块（3）与第一导轨（1）的凹槽滑动连接，所述转接板（6）表面固定有U形连接板（8），所述气缸（7）固定于U形连接板（8）内部。

4.根据权利要求1所述的一种立式扩散炉的传片机，其特征在于：所述气缸（7）的伸缩端与第二导轨（9）外侧壁固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种立式扩散炉的传片机，其特征在于：所述双向丝杆（10）与第二导轨（9）的凹槽转动连接，且双向丝杆（10）一端穿过第二导轨（9）侧壁与第二电机（12）驱动端固定连接，所述双向丝杆（10）穿过两个第二滑块（11）并与两个第二滑块（11）螺纹转动连接，两个所述第二滑块（11）均与第二导轨（9）的凹槽滑动连接。

6.根据权利要求1所述的一种立式扩散炉的传片机，其特征在于：两个所述夹板（13）相邻侧均设有压力传感器（18）。

7.根据权利要求1所述的一种立式扩散炉的传片机，其特征在于：两个所述夹板（13）底端均固定有托板（14），且两个夹板（13）顶端均设有顶板（15），所述顶板（15）两侧均固定有电磁伸缩杆（16），所述电磁伸缩杆（16）底部伸缩端固定有压板（17）。

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