CN217606794U - 双导轨固晶摆臂机构及固晶机 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于固晶机技术领域，具体涉及双导轨固晶摆臂机构及固晶机，包括连接件、设置在连接件左右两侧的摆臂，所述的连接件的左右两侧壁设有与其在竖向滑动配合的连板，连板外侧套设有两道保持连板贴合在连接件侧壁上的环状固持板，两道固持板上下分布，两固持板分别连接两连板，所述的摆臂的内端连接在连板的底端上，连接件上方设有驱动连接件回转的回转驱动机构，连接件侧边于连板上方设有升降机构，升降机构的输出端连接固持板，驱动两侧摆臂独立升降，双摆臂独立平稳运行，固晶吸晶的良品率高，生产效率显著提高。

Description

双导轨固晶摆臂机构及固晶机

技术领域

本实用新型属于固晶机技术领域，具体涉及双导轨固晶摆臂机构及固晶机。

背景技术

随着半导体运用范围的普及，有关半导体的生产工艺也逐渐走向全面性自动化的方向，固晶在半导体的封装过程中尤其重要，市场上出现了各种固晶机，比较为市场推崇的是双头固晶机，特别是固晶机中的摆臂装置，摆臂装置包括摆臂、驱动摆臂上下运行的升降机构，其结构复杂，成本昂贵。现有的摆臂装置一般直接通过加装的升降机构直接驱动摆臂在Z轴做上下运动，升降机构与其他机构间连接性差，比如与驱动摆臂回转的回转轴或主轴的配合度差，不仅造成体积大，而且令摆臂在上下运行时的稳定性差，故导致固晶的良品率低。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对上述缺陷，提供双导轨固晶摆臂机构及固晶机，双摆臂独立平稳运行，固晶吸晶的良品率高，生产效率显著提高。

本实用新型解决其技术问题采用的技术方案如下：

双导轨固晶摆臂机构，包括连接件、设置在连接件左右两侧的摆臂，所述的连接件的左右两侧壁设有与其在竖向滑动配合的连板，连板外侧套设有两道保持连板贴合在连接件侧壁上的环状固持板，两道固持板上下分布，两固持板分别连接两连板，所述的摆臂的内端连接在连板的底端上，连接件上方设有驱动连接件回转的回转驱动机构，连接件侧边于连板上方设有升降机构，升降机构的输出端连接固持板，驱动两侧摆臂独立升降。

进一步的，所述的连接板的侧壁设有滑固板，所述的连板与滑固板滑动配合，固持板内孔与连板、连接件组合后的横截面形状配合。

进一步的，所述的回转驱动机构通过连杆或联轴器连接驱动连接件，所述的升降机构包括驱动电机、偏心轴、双轴承传动板，所述驱动电机的输出端通过偏心轴与双轴承传动板的顶部一端连接，双轴承传动板的底部一端通过连接板与对应的固持板连接。

进一步的，所述的连接件的上侧设有固定台，所述的回转驱动机构通过回转固定架固定在固定台上，固定台上设有固定驱动电机的电机架，电机架靠近连接件的侧边设有直线滑轨，所述的连接板固定在直线滑轨的滑动部上。

进一步的，所述的固定台对应处设有供连接件、直线滑轨或双轴承传动板上下运动的让位孔。

共晶机，包括上述的双导轨固晶摆臂机构，还包括分立在连接件底部左右两侧的轨道加热机构、晶环机构，所述的轨道加热机构包括固晶台、固晶台底侧实调整固晶台横向、纵向位置的固晶台位置调整单元，固晶台上设有加热组件，所述的晶环机构包括晶环台、晶环台底部调整晶环台纵向、横向位置的晶环台位置调整单元。

进一步的，所述的固晶台位置调整单元包括两个沿横向、纵向设置的位移组件，所述的位移组件包括底座、底座上沿底底座长度方向与底座滑动配合的滑座，底座上设有丝杠副，滑座与丝杠副的丝杠螺母连接，底座上设有驱动丝杠副丝杠转动的位移伺服电机，纵向的移动组件处于横向的移动组件的底侧，横向的移动组件的底座固定在纵向的移动组件的滑座上，所述的固晶台固定在横向的移动组件的滑座上。

进一步的，所述的晶环台位置调整单元包括底板、底板上侧沿纵向移动的台板，底板上设有纵向滑轨、纵向丝杠副，台板底侧与纵向滑轨滑动配合，台板与纵向丝杠副的丝杠螺母连接，底板上设有驱动纵向丝杠副的纵向电机，台板上设有横向滑轨、横向丝杠副，所述的晶环台底部与横向丝杠滑动配合，晶环台与横向丝杠副的丝杠螺母连接，台板上设有驱动横向丝杠副的横向电机。

本实用新型的有益效果是：采用上述方案，连板与连接件的配合稳定，双导轨摆臂的上下运行稳定性高，体积小，摆臂的上下运动与转动同步进行，精度高，大大的缩短了芯片从吸晶到固晶的时间，大幅度提高机器的工作效率。

附图说明

通过下面结合附图的详细描述，本实用新型前述的和其他的目的、特征和优点将变得显而易见。

图1为本实用新型一种实施例中连接件与连板、固持板配合状态示意图。

图2为本实用新型一种实施例中连接件处的纵截面结构示意图。

图3为本实用新型一种实施例中升降机构与摆臂配合状态示意图。

图4为本实用新型一种实施例中升降机构与固定台配合状态示意图。

图5为本实用新型一种实施例中固晶机的示意图。

图6为本实用新型一种实施例中轨道加热机构的结构示意图。

图7为本实用新型一种实施例中位移组件的结构示意图。

图8为本实用新型一种实施例中晶环机构的结构示意图。

其中：1为连接件，2为摆臂，3为滑固板，4为连板，5为固持板，6为驱动电机，61为偏心轴，62为双轴承传动板，63为连接板，7为直线滑轨，8为固晶台，9为晶环台，10为底座，11为固定台，12为底板，13为台板，101为滑座，121为纵向滑轨，122为纵向丝杠副。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步说明。

参照图1-图4，双导轨固晶摆臂机构，包括连接件1、连接件1左右两侧的摆臂2，连接板1的左右侧壁上固定有滑固板3，滑固板3上设有与其在竖向上滑动配合的连板4，连板4的外侧套设有两个上下分布的环状的固持板5，连板4、滑固板3、连接件1组成一个组合体，两个固持板5套设在该组合体外部，连板4具有灵活的上下活动性，固持板5的内孔与组合体的横截面形状一致，摆臂2的内端连接在连板4的底端上，连接件1的上方设有驱动连接件1回转的回转驱动机构，连接件1的侧边于连板4的上方设有升降机构，升两降机构的输出端连接对应的固持板5，升降机构5控制固定板5上下运动，固持板5则驱动对应的连板4上下运动，实现摆臂2的上下运动，两个升降机构实现两侧摆臂2独立的升降，作为优选实施例，滑固板3、连板4采用滑轨、滑块配合结构形式，竖向上滑动配合稳定，横向上，配合具有自锁性，滑固板3、连板4、连接件1的组合结构被固持板5有效的限制，提高了连接件1处的结构强度，同时，充分的保证了连板4上下运动的稳定性，结构体积小，提高使用性能。

回转驱动机构通过连杆或联轴器连接驱动连接件1，连接件1的上部处设有固定台11，固定台11上设有固定回转驱动机构的互转固定架，回转驱动机构采用伺服电机，升降机构包括驱动电机6、偏心轴61、双轴承传动板62，固定台11上设有支撑驱动电机6的电机架，驱动电机6的输出端通过偏心轴61与双轴承传动板62的顶部一端活动连接，双轴承传动板62的底部一端通过连接板63与对应的固持板5连接，双轴承传动板62的底部一端与连接板63活动连接，驱动电机6驱动偏心轴61转动将回转运动通过双轴承传动板62转化成连接板63的上下升降运动，连接板63带动对应的滑固板3上下升降，为提高连额吉版62升降运动的方向性及平稳性，电机架靠近连接件1的侧边设有直线滑轨7，连接板63固定在直线滑轨7的滑动部上，直线滑轨7为连接板7的滑动提供方向性及保持稳定，提高摆臂2升降的平稳性，对应的，固定台11对应处设有供连接件1、直线滑轨7或双轴承传动板62上下运动的让位孔。

本机构不仅实现了两个摆臂2在平面内的回转，还实现了两侧摆臂2的独立升降，重要的是，摆臂2升降的平稳性获得有效保证，直接带动摆臂2升降的连板4与连接件1的配合结构紧密，体积小，从而降低双导轨固晶摆臂机构的体积及结构的复杂性。

共晶机，参照图5，包括上述的双导轨固晶摆臂机构，还包括分立在连接件底部左右两侧的轨道加热机构、晶环机构，轨道加热机构包括固晶台8、固晶台8底侧调整固晶台8横向、纵向位置的固晶台位置调整单元，固晶台8上设有加热组件，晶环机构包括晶环台9、晶环台9底部调整晶环台纵向、横向位置的晶环台位置调整单元，本共晶机具有双导轨双固晶摆臂机构，加热组件令轨道加热模块处于高温加热状态，支架在固晶台8上在加热组件的作用下保持高温，利于芯片背面锡胶的融化，从而使得芯片能固定在支架上，双导轨摆臂机构通过两侧摆臂2的上下运动来进行吸晶和固晶，通过回转将芯片从晶环机构吸取到轨道加热机构，从而进行固晶动作，在回转过程中，

控制驱动电机6及伺服电机，能准确地实现摆臂2的上下运动与回转同步进行，当其中一个摆臂2在固晶的同时，另一个摆臂2在进行吸晶动作，固晶完成时，吸晶也同步完成，然后继续固晶吸晶，这样大大的缩短了芯片从吸晶到固晶的时间，从而大幅度提高机器的工作效率，对比于单摆臂以及直线式共晶机，双导轨双固晶摆臂机构省去了从固晶到吸晶然后再固晶之间等待的时间。这两种固晶方式需要在固完晶后等待吸嘴吸晶回来后再继续固晶，而双导轨双摆臂机构在一个摆臂完成固晶时另一个摆臂已经完成吸晶，只需通过双摆臂的转动即可完成下一次固晶，不仅仅提高了共晶机的工作效率，同时该机构结构简单，系统控制方便，能够很好地保证产品的良品率。

共晶机的轨道加热机构、晶环机构均可以在X、Y方向上运动，实现轨道加热机构、晶环机构位置的调整，从而进一步提高固晶位置的准确性，很大的提高固晶的工作效率，且保证了固晶吸晶的良品率，符合当代社会高效率，严要求的标准，具有很大的应用前景。

具体的，参照图6、图7，固晶台位置调整单元包括两个沿横向、纵向设置的位移组件，位移组件包括底座10、底座10上沿底座10长度方向与底座10滑动配合的滑座101，底座10上设有丝杠副，滑座101与丝杠副的丝杠螺母连接，底座10上设有驱动丝杠副运转的位移伺服电机(丝杠副与底座10的配合结构、丝杠副与位移伺服电机配合结构为本技术领域常规技术，故此不再赘述)，纵向的移动组件处于横向的移动组件的底侧，横向的移动组件的底座10固定在纵向的移动组件的滑座101上，固晶台8固定在横向的移动组件的滑座101上，从而，实现固晶台8位置的调整；参照图8，晶环台9位置调整单元包括底板12、底板12上侧沿纵向移动的台板13，底板12上设有纵向滑轨121、纵向丝杠副122，台板13底侧与纵向滑轨121滑动配合，台板13与纵向丝杠副122的丝杠螺母连接(纵向滑轨与底板的配合结构、纵向丝杠副与底板的配合结构为本技术领域常规技术，故此不再赘述)，底板12上设有驱动纵向丝杠副的纵向电机，台板13上设有横向滑轨(未示出)、横向丝杠副(未示出)，晶环台9的底部与横向丝杠滑动配合，晶环台9与横向丝杠副的丝杠螺母连接，台板13上设有驱动横向丝杠副的横向电机，一次，实现晶环台9位置的调整。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型做任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质上对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化，均落入本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.双导轨固晶摆臂机构，包括连接件、设置在连接件左右两侧的摆臂，其特征在于：所述的连接件的左右两侧壁设有与其在竖向滑动配合的连板，连板外侧套设有两道保持连板贴合在连接件侧壁上的环状固持板，两道固持板上下分布，两固持板分别连接两连板，所述的摆臂的内端连接在连板的底端上，连接件上方设有驱动连接件回转的回转驱动机构，连接件侧边于连板上方设有升降机构，升降机构的输出端连接固持板，驱动两侧摆臂独立升降。

2.根据权利要求1所述的双导轨固晶摆臂机构，其特征在于：所述的连接件的侧壁设有滑固板，所述的连板与滑固板滑动配合，固持板内孔与连板、连接件组合后的横截面形状配合。

3.根据权利要求1所述的双导轨固晶摆臂机构，其特征在于：所述的回转驱动机构通过连杆或联轴器连接驱动连接件，所述的升降机构包括驱动电机、偏心轴、双轴承传动板，所述驱动电机的输出端通过偏心轴与双轴承传动板的顶部一端连接，双轴承传动板的底部一端通过连接板与对应的固持板连接。

4.根据权利要求3所述的双导轨固晶摆臂机构，其特征在于：所述的连接件的上侧设有固定台，所述的回转驱动机构通过回转固定架固定在固定台上，固定台上设有固定驱动电机的电机架，电机架靠近连接件的侧边设有直线滑轨，所述的连接板固定在直线滑轨的滑动部上。

5.根据权利要求4所述的双导轨固晶摆臂机构，其特征在于：所述的固定台对应处设有供连接件、直线滑轨或双轴承传动板上下运动的让位孔。

6.固晶机，其特征在于，包括权利要求1-5任意一项所述的双导轨固晶摆臂机构，还包括分立在连接件底部左右两侧的轨道加热机构、晶环机构，所述的轨道加热机构包括固晶台、固晶台底侧实调整固晶台横向、纵向位置的固晶台位置调整单元，固晶台上设有加热组件，所述的晶环机构包括晶环台、晶环台底部调整晶环台纵向、横向位置的晶环台位置调整单元。

7.根据权利要求6所述的固晶机，其特征在于：所述的固晶台位置调整单元包括两个沿横向、纵向设置的位移组件，所述的位移组件包括底座、底座上沿底底座长度方向与底座滑动配合的滑座，底座上设有丝杠副，滑座与丝杠副的丝杠螺母连接，底座上设有驱动丝杠副丝杠转动的位移伺服电机，纵向的移动组件处于横向的移动组件的底侧，横向的移动组件的底座固定在纵向的移动组件的滑座上，所述的固晶台固定在横向的移动组件的滑座上。

8.根据权利要求6所述的固晶机，其特征在于：所述的晶环台位置调整单元包括底板、底板上侧沿纵向移动的台板，底板上设有纵向滑轨、纵向丝杠副，台板底侧与纵向滑轨滑动配合，台板与纵向丝杠副的丝杠螺母连接，底板上设有驱动纵向丝杠副的纵向电机，台板上设有横向滑轨、横向丝杠副，所述的晶环台底部与横向丝杠滑动配合，晶环台与横向丝杠副的丝杠螺母连接，台板上设有驱动横向丝杠副的横向电机。

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