CN217426702U - 一种防止oht倾斜的双平稳机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种防止OHT倾斜的双平稳机构，属于OHT设备技术领域，包括安装板，安装板上固定连接有滑轨，滑轨上滑动连接有两个滑块，滑块上固定连接有支撑板，两个支撑板的相背面的下端均固定连接有支撑块，在OHT运行的轨道两侧内壁上均设有支撑槽，支撑槽内壁上表面远离OHT的一端朝下倾斜，在支撑板上设有用于驱动两块滑块相对或相向运动的驱动机构，本实用新型具有使得OHT在进行取放晶圆盒的时候能够同时保证前后两侧力量的平衡，提高了取放晶圆盒的精确度，提高OHT取放晶圆盒时的精准性和稳定性，使得OHT对所装载的晶圆盒所允许产生的旋转力矩更大，能够满足于不同的工况的优点。

Description

一种防止OHT倾斜的双平稳机构

技术领域

本实用新型属于OHT设备技术领域，特别是一种防止OHT倾斜的双平稳机构。

背景技术

半导体领域内，晶圆厂普遍使用自动物料传输系统(AMHS)来提高工厂自动化程度，更加智能地去管理厂内物料的运输与工艺流程管理。

空中自动搬运小车(OHT)是自动物料传输系统中的重要子系统，主要负责搬运FOUP至不同的工艺设备或仓储设备。

由于OHT的运行轨道是悬挂在无尘室的天花板上，所以OHT需要依靠四个行走轮支撑在轨道，为了布置更多的平行轨道以提高运量，因此车身宽度必须以更窄的方式来设计以容纳更多的平行轨道，在取放晶圆盒时，小车的重心因Y轴的伸出而偏离，导致车身倾斜，极大的影响到下料时的精度问题。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种防止OHT倾斜的双平稳机构，具有使得OHT在进行取放晶圆盒的时候能够同时保证前后两侧力量的平衡，提高了取放晶圆盒的精确度，提高OHT取放晶圆盒时的精准性和稳定性，使得OHT对所装载的晶圆盒所允许产生的旋转力矩更大，能够满足于不同的工况的特点。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：

一种防止OHT倾斜的双平稳机构，包括固定连接在OHT两端上的安装板，在安装板上固定连接有一滑轨，在滑轨上滑动连接有两个滑块，在滑块上固定连接有一支撑板，在两个支撑板的相背面的下端均固定连接有一支撑块，支撑块远离支撑板的一端朝下呈倾斜设置，在OHT运行的轨道两侧内壁上均设有一支撑槽，支撑槽的内壁上表面呈倾斜设置，支撑槽内壁上表面远离OHT的一端朝下倾斜，在支撑板上设有用于驱动两块滑块相对或相向运动的驱动机构；所述驱动机构包括固定连接在其中一块支撑板上的固定板、固定连接在固定板上的步进电机、同轴固定连接在步进电机输出轴上的驱动丝杠、固定连接在另一块支撑板上的驱动板、固定连接在驱动板上的丝杠螺母，所述丝杠螺母与驱动丝杠螺纹连接。

进一步的，在所述安装板上固定连接有一安装座，安装座位于两个滑块之间，在安装座上表面上开设有一嵌槽，在嵌槽槽底上通过螺钉固定连接有一限位板，在限位板的两端上均固定连接有一限位勾，限位勾用于限位两个滑块向外滑动的距离。

进一步的，在所述安装板上设有用于定位支撑板的位置的定位件，所述定位件包括固定连接在安装板上的安装条、两个安装在安装条上的光电传感器和固定连接在支撑板上表面上的检知板，检知板位于两个光电传感器之间。

进一步的，在所述安装座两侧侧壁上均开设有一安装孔，在安装孔内壁上固定连接有一缓冲橡胶块，缓冲橡胶块的一端伸出安装孔。

进一步的，在所述支撑块远离支撑板的一端上表面上开设有一连接槽，在连接槽槽底上通过螺栓固定连接有一垫块，垫块上表面超出支撑块上表面且与支撑块上表面平行。

进一步的，所述垫块上表面远离支撑板的一端的水平延长线与支撑槽内壁上表面的交点位于支撑槽内壁上表面的两端之间。

进一步的，所述支撑板、支撑块、垫块均有导电橡胶或者导电PE制成。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

1、本实用新型中当OHT需要拿取晶圆盒或者放置晶圆盒时，OHT停止在轨道上，步进电机启动，步进电机带动驱动丝杠转动，驱动丝杠，在驱动丝杠和丝杠螺母的配合下，两个滑块相背运动，支撑板一端上的支撑块滑动进支撑槽中，支撑块上表面上的垫块抵接在支撑槽内壁上表面上，通过垫块和OHT的滚轮将OHT锁紧在轨道上，此时OHT上的Y轴在进行伸出取放晶圆盒，通过这样的设置，结构简单，操作方便，使得OHT在进行取放晶圆盒的时候能够同时保证前后两侧力量的平衡，提高了取放晶圆盒的精确度，提高OHT取放晶圆盒时的精准性和稳定性，使得OHT对所装载的晶圆盒所允许产生的旋转力矩更大，能够满足于不同的工况。

2、本实用新型通过将支撑板、支撑块和垫块的材质设置为导电橡胶或者导电PE，通过这样的设置，结构简单，操作方便，方便了将OHT上的静电导到OHT运行的轨道上，减小了静电造成OHT故障的概率。

3、本实用新型中通过将支撑槽内壁上表面与垫块上表面呈平行设置，垫块远离支撑板的一端的水平延长线与支撑槽内壁上表面的交点位于支撑槽内壁的两端之间，支撑板向两侧运动，垫块抵接在支撑板内壁上表面上，支撑板继续运动，在支撑板内壁上表面的斜面和垫块上表面的作用下，提高了OHT小车固定在轨道上的稳定性。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型实施例中安装板上的结构示意图。

图3是本实用新型实施例中支撑槽和支撑块之间的结构示意图。

图4是本实用新型实施例中安装座上的结构示意图。

图中，1、安装板；2、滑轨；3、滑块；4、支撑板；5、支撑块；6、支撑槽；7、驱动机构；8、固定板；9、步进电机；10、驱动丝杠；11、驱动板；12、丝杠螺母；13、安装座；14、嵌槽；15、限位板；16、限位勾；17、安装条；18、光电传感器；19、检知板；20、安装孔；21、缓冲橡胶块；22、连接槽；23、垫块；24、保护罩。

具体实施方式

以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。

如图1、图2、图3、图4所示，一种防止OHT倾斜的双平稳机构，包括固定连接在OHT两端上的安装板1，在安装板1上固定连接有一滑轨2，在滑轨2上滑动连接有两个滑块3，在滑块3上固定连接有一支撑板4，在两个支撑板4相背面下端均固定连接有一支撑块5，支撑块5远离支撑板4的一端朝下呈倾斜设置，在OHT运行的轨道的两侧内壁上均设有一支撑槽6，支撑槽6的内壁上表面呈倾斜设置，支撑槽6内壁上表面靠近OHT的一端的高度大于支撑槽6内壁上表面远离OHT的一端，在支撑板4上设有用于驱动两块滑块3相对或相向运动的驱动机构7。

如图1、图2、图3、图4所示，驱动机构7包括固定板8、步进电机9，驱动丝杠10、驱动板11和丝杠螺母12，固定板8通过螺栓固定连接在其中一块支撑板4远离支撑块5的一端上，步进电机9固定连接在固定板8上，驱动丝杠10的一端同轴固定连接在步进电机9的输出轴上，驱动板11通过螺栓固定连接在另一个支撑板4远离支撑块5的一端上，丝杠螺母12固定连接在驱动板11上，丝杠螺母12与驱动丝杠10呈螺纹连接。

如图1、图2、图3、图4所示，为了方便限位两个滑块3相对滑动或相背滑动的位置，在安装板1上设有一定位件，定位件包括安装条17、光电传感器18和检知板19，安装条17通过螺栓固定连接在安装板1上，在安装板1上固定连接有两根安装条17，光电传感器18通过螺栓固定连接在安装条17上，检知板19固定连接在支撑板4上表面上，检知板19在一个安装条17上的两个光电传感器18之间运动。

如图1、图2、图3、图4所示，为了防止由于光电传感器18的损坏使得滑块3脱离滑轨2，在安装板1上固定连接有一安装座13，安装座13位于两个滑块3之间，在安装座13上表面上开设有一嵌槽14，嵌槽14两侧与外界连通，在嵌槽14槽底上通过螺钉固定连接有一限位板15，限位板15的两端上均固定连接有一限位勾16，限位勾16用于限位滑块3向外滑动的最远的距离，以防止滑块3脱离滑轨2。

如图1、图2、图3、图4所示，为了减小支撑板4与安装座13之间的撞击力，在安装座13两侧侧壁上均开设有一安装孔20，在安装孔20孔底上固定连接有一缓冲橡胶块21，缓冲橡胶块21的一端伸出安装孔20。

如图1、图2、图3、图4所示，为了减小支撑块5的磨损，在支撑块5远离支撑板4的一端上表面上开设有一连接槽22，连接槽22的两侧与外界连通，在连接槽22槽底上通过螺栓固定连接有一垫块23，垫块23上表面超出支撑块5上表面，垫块23的上表面与支撑块5的上表面平行。

如图1、图2、图3、图4所示，为了提高对OHT平稳的效果，垫块23上表面远离支撑板4的一端的水平延长线与支撑槽6内壁上表面的交点位于支撑槽6内壁上表面的两端之间，支撑槽6内壁上表面与支撑块5上表面成平行设置。

如图1、图2、图3、图4所示，为了方便将OHT上的静电导向OHT的运行轨道，支撑板4、支撑块5和垫块23均由导电橡胶或者导电PE制成。

如图1、图2、图3、图4所示，在安装板1上通过螺栓固定连接有一保护罩24，保护罩24将驱动机构7罩住。

本实用新型实施例的工作原理：在OHT需要拿取或放置晶圆盒时，OHT停止在轨道上，步进电机9启动，步进电机9带动驱动丝杠10转动，驱动丝杠10和丝杠螺母12的配合下，两个支撑板4向外运动，支撑块5上的垫块23抵接在支撑槽6内壁上表面上，步进电机9继续运动，在支撑槽6内壁和垫块23的作用下，将OHT锁紧在轨道上，此时检知板19运动至靠外侧的光电传感器18处，此时步进电机9停止运动，此时的OHT被锁紧在轨道上，此时OHT可以进行拿取或者放置晶圆盒的操作，当OHT完成操作后，步进电机9反向转动，在驱动丝杠10和丝杠螺母12的配合下，支撑块5上的垫块23脱离支撑槽6，当检知板19运动至靠内的光电传感器18处时，步进电机9停止运动，此时OHT可以在轨道上滑动；

当垫块23与支撑槽6内壁接触时，将OHT上的静电排放至OHT运行的轨道上。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

尽管本文较多地使用了等术语，但并不排除使用其它术语的可能性。使用这些术语仅仅是为了更方便地描述和解释本实用新型的本质；把它们解释成任何一种附加的限制都是与本实用新型精神相违背的。

Claims (7)

1.一种防止OHT倾斜的双平稳机构，其特征在于，包括固定连接在OHT两端上的安装板(1)，在安装板(1)上固定连接有一滑轨(2)，在滑轨(2)上滑动连接有两个滑块(3)，在滑块(3)上固定连接有一支撑板(4)，在两个支撑板(4)的相背面的下端均固定连接有一支撑块(5)，支撑块(5)远离支撑板(4)的一端朝下呈倾斜设置，在OHT运行的轨道两侧内壁上均设有一支撑槽(6)，支撑槽(6)的内壁上表面呈倾斜设置，支撑槽(6)内壁上表面远离OHT的一端朝下倾斜，在支撑板(4)上设有用于驱动两块滑块(3)相对或相向运动的驱动机构(7)；所述驱动机构(7)包括固定连接在其中一块支撑板(4)上的固定板(8)、固定连接在固定板(8)上的步进电机(9)、同轴固定连接在步进电机(9)输出轴上的驱动丝杠(10)、固定连接在另一块支撑板(4)上的驱动板(11)、固定连接在驱动板(11)上的丝杠螺母(12)，所述丝杠螺母(12)与驱动丝杠(10)螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的一种防止OHT倾斜的双平稳机构，其特征在于，在所述安装板(1)上固定连接有一安装座(13)，安装座(13)位于两个滑块(3)之间，在安装座(13)上表面上开设有一嵌槽(14)，在嵌槽(14)槽底上通过螺钉固定连接有一限位板(15)，在限位板(15)的两端上均固定连接有一限位勾(16)，限位勾(16)用于限位两个滑块(3)向外滑动的距离。

3.根据权利要求2所述的一种防止OHT倾斜的双平稳机构，其特征在于，在所述安装板(1)上设有用于定位支撑板(4)的位置的定位件，所述定位件包括固定连接在安装板(1)上的安装条(17)、两个安装在安装条(17)上的光电传感器(18)和固定连接在支撑板(4)上表面上的检知板(19)，检知板(19)位于两个光电传感器(18)之间。

4.根据权利要求3所述的一种防止OHT倾斜的双平稳机构，其特征在于，在所述安装座(13)两侧侧壁上均开设有一安装孔(20)，在安装孔(20)内壁上固定连接有一缓冲橡胶块(21)，缓冲橡胶块(21)的一端伸出安装孔(20)。

5.根据权利要求4所述的一种防止OHT倾斜的双平稳机构，其特征在于，在所述支撑块(5)远离支撑板(4)的一端上表面上开设有一连接槽(22)，在连接槽(22)槽底上通过螺栓固定连接有一垫块(23)，垫块(23)上表面超出支撑块(5)上表面且与支撑块(5)上表面平行。

6.根据权利要求5所述的一种防止OHT倾斜的双平稳机构，其特征在于，所述垫块(23)上表面远离支撑板(4)的一端的水平延长线与支撑槽(6)内壁上表面的交点位于支撑槽(6)内壁上表面的两端之间。

7.根据权利要求6所述的一种防止OHT倾斜的双平稳机构，其特征在于，所述支撑板(4)、支撑块(5)、垫块(23)均由导电橡胶或者导电PE制成。

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