CN216878824U - 一种三轴研磨液桶搅拌装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及搅拌装置技术领域，尤其是一种三轴研磨液桶搅拌装置，包括研磨液桶和支架，所述研磨液桶的上端设置有桶盖，所述桶盖上设置有第一电机，所述桶盖的下端设置有传动盒，所述第一齿轮盘和第二齿轮盘的下端均设置有连接轴，三组所述连接轴的下端均设置有搅拌轴，三组所述搅拌轴的外壁均设置有蛟龙叶片，通过三组搅拌轴和蛟龙叶片配合提高搅拌效率，并且在蛟龙叶片的作用下使研磨液桶上下部分的研磨液混合搅拌均匀；在搅拌时通过传动仓和传动块配合有效防止连接轴与搅拌轴之间错位导致搅拌轴不转动，使搅拌装置使用起来更加可靠。

Description

一种三轴研磨液桶搅拌装置

技术领域

本实用新型涉及搅拌装置技术领域，尤其涉及一种三轴研磨液桶搅拌装置。

背景技术

目前半导体机械研磨设备的铝制程中有一剂比较特殊的研磨液(A7100)需要用到研磨液桶的机械搅拌功能，并且须有特殊的角度考量，目的是为了实现桶内的液体的各物质均匀的分布，有利于设备制程工艺的研磨速率，使产能有效的提高。目前常规的做法在供给设备的外面另增加一个搅拌装置，然后再把研磨液桶拖出供给设备，人工手持带搅拌杆的搅拌装置插入研磨液桶进行搅拌来达到搅拌效果。搅拌到一定时间后再拆卸现有的装置，拖到供给设备中接上接口，但这种操作会让使用者进行反复操作，势必增加劳动者的负担。由于没有角度的考量，桶底的液体无法实现有效的翻转，使液体内的物质分布不均匀，极易引起液体的沉积、沉淀、进而影响铝制程的工艺效果。中国专利公开号CN213913225U公开了“一种研磨液桶搅拌装置”，包括研磨液桶、研磨液桶顶盖、搅拌装置，所述研磨液桶顶部开口通过螺纹与研磨液桶顶盖连接，所述搅拌装置与研磨液桶垂直轴成10-20度夹角，所述桶口锁紧套在研磨液桶顶盖内面通过手动锁紧螺母与研磨液桶顶盖和电机固定套连接固定。本实用新型让搅拌装置的电机在有限的空间内发挥出最大的功率，引导液体导向性的流通，让研磨液中的物质能均匀的分布在各个空间，避免了液体中的物质长时间的静止或微弱的动作，而产生的沉积、沉淀、固化，从而更加有利于铝制程工艺的要求，同时本实用新型不需要人工手持操作节省了人力成本。

该专利虽能避免了液体中的物质长时间的静止或微弱的动作，而产生的沉积、沉淀、固化，从而更加有利于铝制程工艺的要求，但在实际使用时由于单轴搅拌效率低下，且搅拌时依靠叶轮带动研磨液进行搅拌，难以带动研磨液桶上下部分的液体混合，且不便于取出更换研磨液桶，需要人工取出提高成本降低效率。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有的研磨液桶搅拌装置在实际使用时由于单轴搅拌效率低下，且搅拌时依靠叶轮带动研磨液进行搅拌，难以带动研磨液桶上下部分的液体混合，且不便于取出更换研磨液桶，需要人工取出提高成本降低效率等缺点，而提出的一种三轴研磨液桶搅拌装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

设计一种三轴研磨液桶搅拌装置，包括研磨液桶和支架，所述研磨液桶的外侧设置有支架，所述研磨液桶的上端设置有桶盖，所述桶盖上设置有第一电机，所述桶盖的下端设置有传动盒，所述第一电机的输出轴贯穿桶盖并连接有第一齿轮盘，所述传动盒内设置有两组与第一齿轮盘相配合的第二齿轮盘，所述第一齿轮盘和第二齿轮盘的下端均设置有连接轴，三组所述连接轴的下端均设置有搅拌轴，三组所述搅拌轴的外壁均设置有蛟龙叶片。

优选的，所述支架上设置有第二电机，所述第二电机的输出轴贯穿支架并固定连接有螺杆，所述螺杆的下端螺纹连接有连接架。

优选的，所述连接架的上端设置有两组导向柱，所述支架的上端设置有两组与导向柱相配合的导向孔，所述连接架的下端设置有两组连接槽，所述桶盖的上端设置有两组与连接槽相配合的L型板，所述L型板位于第二电机的两侧。

优选的，所述连接轴的下端设置有传动槽，所述搅拌轴的上端设置有与传动槽相配合的传动块，所述搅拌轴为空心搅拌轴，所述研磨液桶的下端设置有三组与搅拌轴相配合的定位轴。

本实用新型提出的一种三轴研磨液桶搅拌装置，其有益效果在于：通过三组搅拌轴和蛟龙叶片配合提高搅拌效率，并且在蛟龙叶片的作用下使研磨液桶上下部分的研磨液混合搅拌均匀；通过设置支架和电机以及螺杆带动连接架上移，在连接槽和L型板的配合下带动桶盖整体上移使连接轴与搅拌轴分离，使研磨液桶可取出便于更换新的研磨液桶提高搅拌效率；在搅拌时通过传动仓和传动块配合有效防止连接轴与搅拌轴之间错位导致搅拌轴不转动，使搅拌装置使用起来更加可靠；其结构简单实用性强适合推广。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种三轴研磨液桶搅拌装置立体结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种三轴研磨液桶搅拌装置搅拌轴结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种三轴研磨液桶搅拌装置剖视图。

图中：1、研磨液桶；2、支架；3、桶盖；4、第一电机；5、传动盒；6、第一齿轮盘；7、第二齿轮盘；8、连接轴；9、搅拌轴；10、蛟龙叶片；11、第二电机；12、螺杆；13、连接架；14、L型板；15、传动块；16、定位轴。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参考图1-3，一种三轴研磨液桶搅拌装置，包括研磨液桶1和支架2，研磨液桶1的外侧设置有支架2，研磨液桶1的上端设置有桶盖3，桶盖3上设置有第一电机4，桶盖3的下端设置有传动盒5，第一电机4的输出轴贯穿桶盖3并连接有第一齿轮盘6，传动盒5内设置有两组与第一齿轮盘6相配合的第二齿轮盘7，第一齿轮盘6和第二齿轮盘7的下端均设置有连接轴8，三组连接轴8的下端均设置有搅拌轴9，三组搅拌轴9的外壁均设置有蛟龙叶片10，通过第一电机4、第一齿轮盘6和两组第二齿轮盘7配合带动三组连接轴8，进而带动三组搅拌轴9，并通过三组搅拌轴9和蛟龙叶片10配合提高搅拌效率，并且在蛟龙叶片10的作用下使研磨液桶1上下部分的研磨液混合搅拌均匀。

支架2上设置有第二电机11，第二电机11的输出轴贯穿支架2并固定连接有螺杆12，螺杆12的下端螺纹连接有连接架13，通过第二电机11和螺杆12配合控制连接架13的位置。

连接架13的上端设置有两组导向柱，支架2的上端设置有两组与导向柱相配合的导向孔，连接架13的下端设置有两组连接槽，桶盖3的上端设置有两组与连接槽相配合的L型板14，L型板14位于第二电机11的两侧，通过连接架13控制L型板14和桶盖3的位置便于更换研磨液桶1提高工作效率。

连接轴8的下端设置有传动槽，搅拌轴9的上端设置有与传动槽相配合的传动块15，搅拌轴9为空心搅拌轴，研磨液桶1的下端设置有三组与搅拌轴9相配合的定位轴16，通过传动槽与传动块15配合提高连接轴8的传动效率，并且有效防止连接轴8与搅拌轴9之间错位导致搅拌轴9不转动。

本实用新型，使用时通过第一电机4、第一齿轮盘6和两组第二齿轮盘7配合带动三组连接轴8，进而带动三组搅拌轴9，并通过三组搅拌轴9和蛟龙叶片10配合提高搅拌效率，并且在蛟龙叶片10的作用下使研磨液桶1上下部分的研磨液混合搅拌均匀，通过传动槽与传动块15配合提高连接轴8的传动效率，并且有效防止连接轴8与搅拌轴9之间错位导致搅拌轴9不转动；搅拌完成后通过第二电机11和螺杆12配合控制连接架13的位置，并通过控制L型板14和桶盖3的位置便于更换研磨液桶1提高工作效率。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种三轴研磨液桶搅拌装置，包括研磨液桶（1）和支架（2），其特征在于，所述研磨液桶（1）的外侧设置有支架（2），所述研磨液桶（1）的上端设置有桶盖（3），所述桶盖（3）上设置有第一电机（4），所述桶盖（3）的下端设置有传动盒（5），所述第一电机（4）的输出轴贯穿桶盖（3）并连接有第一齿轮盘（6），所述传动盒（5）内设置有两组与第一齿轮盘（6）相配合的第二齿轮盘（7），所述第一齿轮盘（6）和第二齿轮盘（7）的下端均设置有连接轴（8），三组所述连接轴（8）的下端均设置有搅拌轴（9），三组所述搅拌轴（9）的外壁均设置有蛟龙叶片（10）。

2.根据权利要求1所述的一种三轴研磨液桶搅拌装置，其特征在于，所述支架（2）上设置有第二电机（11），所述第二电机（11）的输出轴贯穿支架（2）并固定连接有螺杆（12），所述螺杆（12）的下端螺纹连接有连接架（13）。

3.根据权利要求2所述的一种三轴研磨液桶搅拌装置，其特征在于，所述连接架（13）的上端设置有两组导向柱，所述支架（2）的上端设置有两组与导向柱相配合的导向孔，所述连接架（13）的下端设置有两组连接槽，所述桶盖（3）的上端设置有两组与连接槽相配合的L型板（14），所述L型板（14）位于第二电机（11）的两侧。

4.根据权利要求1所述的一种三轴研磨液桶搅拌装置，其特征在于，所述连接轴（8）的下端设置有传动槽，所述搅拌轴（9）的上端设置有与传动槽相配合的传动块（15），所述搅拌轴（9）为空心搅拌轴，所述研磨液桶（1）的下端设置有三组与搅拌轴（9）相配合的定位轴（16）。

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