CN216645228U - 一种精度测量校准系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及精度测量领域，特别涉及一种精度测量校准系统，用于安装在固晶机上对芯片及基板进行校准，包括信号连接的数据处理模块和视觉模块以及调节装置；所述视觉模块设于所述调节装置上用于实时获取芯片及基板的图像信息，包括第一视觉组件及第二视觉组件，标的影像的光线被所述第一视觉组件接收，或在所述调节装置的作用下更改光路以被所述第二视觉组件接收，所述数据处理模块用于对视觉模块获取的数据进行处理，然后根据处理结果对固晶机进行校准；本实用新型的精度测量校准系统实现了对固晶后的芯片及基板进行即时检测的功能，灵敏度高、及时性强，且检测精度和检测效率高。

Description

一种精度测量校准系统

【技术领域】

本实用新型涉及精度测量技术领域，特别涉及一种精度测量校准系统。

【背景技术】

在现有的固晶工艺中，通常会在完成对一个批次芯片及基板的固晶后对该批次的成品进行测量，获取该批次成品的贴装精度，以便于在下一次固晶前对固晶机进行校准；但现有的固晶机并不具备对贴装精度的检测功能，需要将贴装好的该批次芯片及基板转移到别的设备上进行检测，然后再根据检测结果反过来对固晶机进行校准，存在灵活度过低，测量结果滞后的问题。

【实用新型内容】

为解决固晶成品的测量结果滞后的问题，本实用新型提供了一种精度测量校准系统。

本实用新型解决技术问题的方案是提供一种精度测量校准系统，用于安装在固晶机上对芯片及基板进行校准，包括信号连接的数据处理模块和视觉模块以及调节装置；所述视觉模块设于所述调节装置上用于实时获取芯片及基板的图像信息，包括第一视觉组件及第二视觉组件，标的影像的光线被所述第一视觉组件接收，或在所述调节装置的作用下更改光路以被所述第二视觉组件接收，所述数据处理模块用于对视觉模块获取的数据进行处理，然后根据处理结果对固晶机进行校准。

优选地，所述精度测量校准系统还包括客户端，所述数据处理模块和所述视觉模块与所述客户端信号连接，所述客户端作为所述数据处理模块和所述视觉模块信息交互的中转站。

优选地，所述精度测量校准系统还包存储系统，用于存储预存数据及临时数据。

优选地，所述调节装置内设有用于容纳第一视觉组件的第一腔体以及用于容纳第二视觉组件的第二腔体，所述调节装置远离所述第一视觉组件及第二视觉组件的一端设有入光口，所述第一腔体、所述第二腔体和所述入光口三者相互连通，所述入光口处设有可活动的第一光学结构；进入所述入光口的光线可通过第一腔体被所述第一视觉组件接收，或在第一光学结构的配合下通过第二腔体被第二视觉组件接收。

优选地，所述调节装置内还设有第二光学结构，用于与所述第一光学结构相配合，将进入所述入光口的光线反射到所述第二腔体以被所述第二视觉组件接收。

优选地，所述第二光学结构与所述第二视觉组件的拍摄方向之间的最小夹角呈45°。

优选地，所述第一视觉组件的拍摄方向与所述第二视觉组件的拍摄方向平行设置。

优选地，所述第一光学结构的一端与所述第一腔体的内壁转动连接，所述第一腔体内的另一内壁上设有用于与所述第一光学结构的活动端配合的限位结构。

优选地，所述第一腔体的内壁上设有用于收纳所述第一光学结构的收纳槽。

优选地，所述收纳槽的深度大于或等于所述第一光学结构的厚度。

与现有技术相比，本实用新型的精度测量校准系统具有以下优点：

1、本实用新型的精度测量校准系统通过在固晶机上安装视觉模块与数据处理模块，实现了对固晶后的芯片及基板进行即时检测的功能；在完成贴装后，可以直接通过视觉模块获贴装后的芯片及基板的图像信息，并通过数据处理模块计算得出芯片的贴装误差，灵敏度高，及时性强；同时，通过第一视觉组件和第二视觉组件相配合能有效地提高检测精度，通过调节装置来调节光线的光路能缩减更换视觉组件的时间，从而提高检测效率。

2、本实用新型的精度测量校准系统把客户端作为数据处理模块和视觉模块信息交互的中转站，利于通过客户端拓展其他功能模块，还能方便使用者监控检测情况。

3、本实用新型的存储系统能对预存数据和临时数据进行存储，便于溯源。

4、本实用新型的调节装置仅通过一个第一光学结构便能改变进入入光口的光线的光路，结构简单，便于生产，且易于维护。

5、本实用新型的调节装置内还设有第二光学结构，通过第一光学结构与第二光学结构的配合，能极大地提高调节装置对进入入光口的光线的引导能力，使得第二视觉组件的安装位置可以更加多样化。

6、本实用新型的第二光学结构与第二视觉组件的拍摄方向之间的最小夹角呈45°，此设计利于保证第二视觉组件的成像比例正常，利于提高数据处理模块的工作效率。

7、本实用新型的第一视觉组件的拍摄方向与第二视觉组件的拍摄方向平行设置，此设计能有效地节省视觉模块占用的空间。

8、本实用新型的第一光学结构与第一腔体的内壁转动连接，通过转动实现对第一光学结构的方位调节，然后通过限位结构限制第一光学结构的行程，从而让第一光学结构可以在转动后呈特定角度，且无须特意控制。

9、本实用新型的收纳槽能对第一光学结构进行收纳，避免第一视觉组件在工作工程中被收到第一光学结构的影响。

10、本实用新型的收纳槽的深度大于或等于第一光学结构的厚度，此设计能确保第一光学结构可以完全收纳于收纳槽内，进一步避免第一视觉组件在工作工程中被收到第一光学结构的影响。

【附图说明】

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型第一实施例提供的精度测量校准系统的框图。

图2是本实用新型第一实施例提供的视觉模块的剖视图(第一光学结构展开)。

图3是本实用新型第一实施例提供的视觉模块的剖视图(第一光学结构收纳)。

图4是本实用新型第二实施例提供的贴装精度校准方法的框图。

附图标识说明：

100、精度测量校准系统；

1、数据处理模块；

2、视觉模块；21、调节装置；211、第一腔体；212、第二腔体；213、入光口；214、第一光学结构；215、第二光学结构；216、限位结构；217、收纳槽；218、驱动装置；219、安装槽；220、凸块；22、第一视觉组件；23、第二视觉组件；

3、客户端；4、存储系统。

【具体实施方式】

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施实例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

在本实用新型中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本实用新型及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。

并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本实用新型中的具体含义。

此外，术语“安装”、“设置”、“设有”、“连接”、“相连”应做广义理解。例如，可以是固定连接，可拆卸连接，或整体式构造；可以是机械连接，或电连接；可以是直接相连，或者是通过中间媒介间接相连，又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请结合图1至图3，本实用新型第一实施例提供一种精度测量校准系统100，用于安装在固晶机上对芯片及基板进行校准，包括信号连接的数据处理模块1和视觉模块2以及调节装置21；所述视觉模块2设于所述调节装置21上用于实时获取芯片及基板的图像信息，包括第一视觉组件22及第二视觉组件23，进入调节装置21内的光线被第一视觉组件22接收，或在调节装置21的作用下更改光路以被第二视觉组件23接收，数据处理模块1用于对视觉模块2获取的图像信息进行处理。

可以理解的，本实用新型的精度测量校准系统100通过在固晶机上安装视觉模块2与数据处理模块1，实现了对固晶后的芯片及基板进行即时检测的功能；在完成贴装后，可以直接通过视觉模块2获贴装后的芯片及基板的图像信息，并通过数据处理模块1计算得出芯片的贴装误差，灵敏度高，及时性强；同时，通过第一视觉组件22和第二视觉组件23相配合能有效地提高检测精度，通过调节装置21来调节光线的光路能缩减更换视觉组件的时间，从而提高检测效率。

在现有的固晶机通常会设有用于吸取芯片及基板的运输装置，该运输装置可以是机械臂；而本申请中的视觉模块2可以设置于运输装置活动端上以随其一起移动，便于调节拍摄方位。

请继续参阅图1，精度测量校准系统100还包括客户端3，数据处理模块1和视觉模块2与客户端3信号连接，客户端3作为数据处理模块1和视觉模块2信息交互的中转站。

可以理解的，本实用新型的精度测量校准系统100把客户端3作为数据处理模块1和视觉模块2信息交互的中转站，利于通过客户端3拓展其他功能模块，还能方便使用者监控检测情况。

可选的，客户端3可以集成在固晶机上，也可是设置在固晶机旁或远程的PC端，还可以是手持式设备；只需保证客户端3可以作为数据处理模块1和视觉模块2信息交互的中转站即可。可以理解的，当客户端3为远程的PC端或手持式设备时，客户端3与数据处理模块1和视觉模块2远程通讯连接。

进一步的，精度测量校准系统100还包存储系统4，用于存储预存数据及临时数据。

可选的，存储系统4包括RAM和/或云端。具体的，本实施例中存储系统4包括RAM和云端。历史数据可以上传到云端，方便调用和溯源。

请结合图2和图3，调节装置21内设有用于容纳第一视觉组件22的第一腔体211以及用于容纳第二视觉组件23的第二腔体212，调节装置21远离第一视觉组件22及第二视觉组件23的一端设有入光口213，第一腔体211、第二腔体212和入光口213三者相互连通，入光口213处设有可活动的第一光学结构214；进入入光口213的光线可通过第一腔体211被第一视觉组件22接收，或在第一光学结构214的配合下通过第二腔体212被第二视觉组件23接收。

可以理解的，本实用新型的调节装置21仅通过一个第一光学结构214便能改变进入入光口213的光线的光路，结构简单，便于生产，且易于维护。

具体的，本实施例中，第一腔体211和第二腔体212在靠近入光口213的一端连通。

进一步的，入光口213的横截面积与第一腔体211的横截面积相等。具体的，本实施例中，入光口213、第一腔体211以及第二腔体212三者的横截面皆呈矩形。

进一步的，调节装置21内还设有第二光学结构215，用于与第一光学结构214相配合，将进入入光口213的光线反射到第二腔体212以被第二视觉组件23接收。

可以理解的，本实用新型的调节装置21内还设有第二光学结构215，通过第一光学结构214与第二光学结构215的配合，能极大地提高调节装置21对进入入光口213的光线的引导能力，使得第二视觉组件23的安装位置可以更加多样化。

进一步的，第一光学结构214和第二光学结构215皆包括一反射镜。第一光学结构214与第二光学结构215通过该反射镜对进入入光口213的光线的光路进行调节。

进一步的，第二光学结构215与第二视觉组件23的拍摄方向之间的最小夹角呈45°。可以理解的，本实用新型的第二光学结构215与第二视觉组件23的拍摄方向之间的最小夹角呈45°，此设计利于保证第二视觉组件23的成像比例正常，利于提高数据处理模块1的工作效率。

在其他实施例中，为了满足特殊的结构或安装要求，第二光学结构215与第二视觉组件23的拍摄方向之间的最小夹角也可以为其他角度，然后通过算法对成像进行校准以获得正常比例的图像；可以理解的，如果有特定的要求，也可以保留该特定比例的图像。

进一步的，调节装置21上对应第二光学结构215的底部设有用于承载第二光学结构215的凸块220。此设计能避免第二光学结构215因长期使用而发生位置偏移，利于提高视觉模块2的工作稳定性，延长视觉模块2的使用寿命。

请继续参阅图2和图3，第一视觉组件22的拍摄方向与第二视觉组件23的拍摄方向平行设置。可以理解的，此设计能有效地节省视觉模块2占用的空间。

进一步的，第一光学结构214的一端与第一腔体211的内壁转动连接，第一腔体211内的另一内壁上设有用于与第一光学结构214的活动端配合的限位结构216。可以理解的，在限位结构216的配合下，能让第一光学结构214可以在转动后呈特定角度，且无须特意控制。本实施例中，通过限位结构216的配合，让第一光学结构214可以在转动后与第一视觉组件22的拍摄方向之间的最小夹角呈45°。

进一步的，调节装置21内还设有用于驱使第一光学结构214转动的驱动装置218。具体的，本实施例中，启动装置包括电机和与该电极的输出轴传动连接的减速箱，减速箱的输出轴与第一光学结构214传动连接。可以理解的，第一光学结构214通常会采用镜片结构，较为脆弱，通过减速箱降低转动速度可以避免第一光学结构214意外破损。

进一步的，第一腔体211的内壁上设有用于收纳第一光学结构214的收纳槽217。此设计能避免第一视觉组件22在工作工程中被收到第一光学结构214的影响。

进一步的，收纳槽217的深度大于或等于第一光学结构214的厚度。此设计能确保第一光学结构214可以完全收纳于收纳槽217内，进一步避免第一视觉组件22在工作工程中被收到第一光学结构214的影响。

具体的，本实施例中，收纳槽217的深度大于第一光学结构214的厚度。

进一步的，调节装置21上还设有用于安装驱动装置218的安装槽219，安装槽219与收纳槽217连通。此设计利于降低视觉模块2的整体体积。

进一步的，安装槽219的深度大于收纳槽217的深度。此设计能进一步降低视觉模块2的整体体积。

请参阅图4，本发明第二实施例提供一种贴装精度校准方法，用于实时检测固晶机上贴装完毕的芯片的贴装精度，并根据检测结果对固晶机进行校准，包括以下步骤：

步骤S1：获取贴装前的基板上与待贴芯片相对应的贴装区域参考信息；

步骤S2：贴装芯片到对应贴装区域；

步骤S3：实时获取贴装后芯片在基板上的实际贴装位置信息；

步骤S4：实时比对上述的实际贴装位置与贴装区域参考信息，从而计算出芯片的贴装精度误差；

步骤S5：当精度误差超出预设范围时，对固晶机进行校准。

可以理解的，本发明中的贴装精度校准方法能在芯片及基板完成贴装之后便对其进行测量，无须等到整个批次的芯片及基板贴装完成，也无须将固晶机上的芯片及基板转移到其他设备，只要在贴装完成后便能即时完成精度测量，为同一批次中待固晶的芯片及基板提供数据参考，能极大地降低同一批次中成品的不良率。

进一步的，步骤S1具体包括以下步骤：

步骤S11：获取基板上预设的标记点信息；

步骤S12：读取预设的贴装区域信息，以预设的标记点为基准根据预设的贴装区域信息生成贴装区域参照信息。

可以理解的，本发明中的贴装区域参照信息是根据预设的贴装区域信息以及从每一基板上单独获取的标记点信息分别生成出来的，针对性强，且可靠性高。

具体的，本实施例中，贴装区域参照信息包括贴装区域参照图。

进一步的，基板上预设的标记点可以是一个或多个；当基板上预设有多个预设的标记点时，获取每一个预设的标记点信息，然后分别读取对应的预设的贴装区域信息以生成对应的贴装区域参照信息。

可以理解的，每个标记点的所对应的芯片类型可以相同或不同，故每个标记点对应的预设的贴装区域信息可以相同或不同；即使是对应着同一种芯片的标记点，由于不同标记点位于基板上的不同位置，故其所对应的预设的贴装区域信息也可以相同或不同。

进一步的，所述预设的贴装区域信息包括芯片投影在基板上的图像的轮廓数据。可以理解的，芯片在基板上的实际贴装位置的相关信息也包括其轮廓信息，此设计便于降低比对难度，提高计算效率。

具体的，本实施例中，芯片投影在基板上的图像的轮廓数据包括但不限于长度数据和角度数据；此外，预设的贴装区域信息还包括面积数据和高度数据等其他数据。

进一步的，步骤S2具体包括以下步骤：

步骤S21：获取贴装后的芯片及基板的图像信息；

步骤S22：根据该图像信息分析得出贴装后芯片在基板上的实际位置。

进一步的，获取贴装后的芯片的图像信息具体是：获取将芯片放置到基板上之后但尚未开始固化时的图像信息。

可以理解的，本发明中所获取的固晶后的芯片及基板的图像信息指的是将芯片放置到基板上之后但尚未开始固化时的图像信息，此设计能避免因固化导致的误差对检测结果造成影响，还能根据最终结果确认是贴装导致的偏差还是固化操作导致的偏差，从而提高检测结果的可靠性，避免对固晶机进行无意义甚至是错误的校准。

进一步的，步骤S3具体包括以下步骤：

步骤S31：将芯片在基板上的实际贴装位置与贴装区域参考信息相比对，得到芯片在基板上的实际贴装位置与预设贴装区域在X、Y方向之间的偏差值；

步骤S32：根据X、Y方向上的偏差值计算出芯片在X、Y方向上的误差。

可以理解的，本发明根据X、Y方向上的偏差值判断芯片的贴装精度误差，结果可靠，精准度高。

进一步的，步骤S3还包括以下步骤：

步骤S33：根据X、Y方向上的偏差值或角度偏差值计算出芯片的角度误差。

具体的，本实施例中，角度误差为芯片与基板在顺逆时针方向上的偏差值。

可以理解的，本发明既可以检测芯片在X、Y方向上的误差，还能检测芯片在顺时针或逆时针方向上的误差，检测结果全面，可靠性强。

进一步的，还能根据获取的面积数据及高度数据判断芯片类型是否正确。

进一步的，步骤S4具体包括以下步骤：

步骤S41：判断芯片的贴装精度误差是否大于第一预设值；

步骤S42：以及判断基板上贴装精度误差大于第一预设值的芯片数量是否达到第二预设值；

步骤S43：当同时满足第一预设值以及第二预设值时，即芯片的贴装精度误差大于第一预设值且基板上贴装精度误差大于第一预设值的芯片数量大于或等于第二预设值时，对固晶机进行校准。

可以理解的，本发明中当同时满足第一预设值以及第二预设值时，才会对固晶机进行校准，此设计可以避免因过于频繁地对固晶机进行无意义的校准而影响固晶效率。

进一步的，第二预设值大于或等于1。此设计利于丰富本贴装精度校准方法的多样性。

具体的，本实施例中，当第二预设值大于2，同时被记录芯片的偏差类型一致时，对固晶机进行校准。可以理解的，如果几个芯片的误差类型无规律甚至是完全相反，那么这有可能是无法避免的机械误差，这类误差是难以通过校准来进行消除的；当几个芯片的误差类型一致时，比如几个新盘都在X方向上出现了大致相等的误差，此时进行校准能起到明显的效果。

进一步的，步骤S43中的对固晶机进行校准具体包括以下步骤：

对固晶机的运行初始点进行校准；

对固晶机上用于调节芯片方位的设备进行校准。

可以理解的，从多方面进行校准利于保证校准结果的可靠性。

与现有技术相比，本实用新型的精度测量校准系统具有以下优点：

1、本实用新型的精度测量校准系统通过在固晶机上安装视觉模块与数据处理模块，实现了对固晶后的芯片及基板进行即时检测的功能；在完成贴装后，可以直接通过视觉模块获贴装后的芯片及基板的图像信息，并通过数据处理模块计算得出芯片的贴装误差，灵敏度高，及时性强；同时，通过第一视觉组件和第二视觉组件相配合能有效地提高检测精度，通过调节装置来调节光线的光路能缩减更换视觉组件的时间，从而提高检测效率。

2、本实用新型的精度测量校准系统把客户端作为数据处理模块和视觉模块信息交互的中转站，利于通过客户端拓展其他功能模块，还能方便使用者监控检测情况。

3、本实用新型的存储系统能对预存数据和临时数据进行存储，便于溯源。

4、本实用新型的调节装置仅通过一个第一光学结构便能改变进入入光口的光线的光路，结构简单，便于生产，且易于维护。

5、本实用新型的调节装置内还设有第二光学结构，通过第一光学结构与第二光学结构的配合，能极大地提高调节装置对进入入光口的光线的引导能力，使得第二视觉组件的安装位置可以更加多样化。

6、本实用新型的第二光学结构与第二视觉组件的拍摄方向之间的最小夹角呈45°，此设计利于保证第二视觉组件的成像比例正常，利于提高数据处理模块的工作效率。

7、本实用新型的第一视觉组件的拍摄方向与第二视觉组件的拍摄方向平行设置，此设计能有效地节省视觉模块占用的空间。

8、本实用新型的第一光学结构与第一腔体的内壁转动连接，通过转动实现对第一光学结构的方位调节，然后通过限位结构限制第一光学结构的行程，从而让第一光学结构可以在转动后呈特定角度，且无须特意控制。

9、本实用新型的收纳槽能对第一光学结构进行收纳，避免第一视觉组件在工作工程中被收到第一光学结构的影响。

10、本实用新型的收纳槽的深度大于或等于第一光学结构的厚度，此设计能确保第一光学结构可以完全收纳于收纳槽内，进一步避免第一视觉组件在工作工程中被收到第一光学结构的影响。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的原则之内所作的任何修改，等同替换和改进等均应包含本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种精度测量校准系统，用于安装在固晶机上对芯片及基板进行校准，其特征在于：包括信号连接的数据处理模块和视觉模块以及调节装置；所述视觉模块设于所述调节装置上用于实时获取芯片及基板的图像信息，包括第一视觉组件及第二视觉组件，标的影像的光线被所述第一视觉组件接收，或在所述调节装置的作用下更改光路以被所述第二视觉组件接收，所述数据处理模块用于对视觉模块获取的数据进行处理，然后根据处理结果对固晶机进行校准。

2.如权利要求1所述的精度测量校准系统，其特征在于：所述精度测量校准系统还包括客户端，所述数据处理模块和所述视觉模块与所述客户端信号连接，所述客户端作为所述数据处理模块和所述视觉模块信息交互的中转站。

3.如权利要求1所述的精度测量校准系统，其特征在于：所述精度测量校准系统还包存储系统，用于存储预存数据及临时数据。

4.如权利要求1所述的精度测量校准系统，其特征在于：所述调节装置内设有用于容纳第一视觉组件的第一腔体以及用于容纳第二视觉组件的第二腔体，所述调节装置远离所述第一视觉组件及第二视觉组件的一端设有入光口，所述第一腔体、所述第二腔体和所述入光口三者相互连通，所述入光口处设有可活动的第一光学结构；进入所述入光口的光线可通过第一腔体被所述第一视觉组件接收，或在第一光学结构的配合下通过第二腔体被第二视觉组件接收。

5.如权利要求4所述的精度测量校准系统，其特征在于：所述调节装置内还设有第二光学结构，用于与所述第一光学结构相配合，将进入所述入光口的光线反射到所述第二腔体以被所述第二视觉组件接收。

6.如权利要求5所述的精度测量校准系统，其特征在于：所述第二光学结构与所述第二视觉组件的拍摄方向之间的最小夹角呈45°。

7.如权利要求1所述的精度测量校准系统，其特征在于：所述第一视觉组件的拍摄方向与所述第二视觉组件的拍摄方向平行设置。

8.如权利要求4所述的精度测量校准系统，其特征在于：所述第一光学结构的一端与所述第一腔体的内壁转动连接，所述第一腔体内的另一内壁上设有用于与所述第一光学结构的活动端配合的限位结构。

9.如权利要求4所述的精度测量校准系统，其特征在于：所述第一腔体的内壁上设有用于收纳所述第一光学结构的收纳槽。

10.如权利要求9所述的精度测量校准系统，其特征在于：所述收纳槽的深度大于或等于所述第一光学结构的厚度。

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