CN216511161U - 一种玻璃片取放料机构及单晶体硅片倒装加工机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种玻璃片取放料机构及单晶体硅片倒装加工机，所述玻璃片取放料机构包括有玻璃片横移驱动机构、玻璃片翻转机构和玻璃片吸板，所述玻璃片横移驱动机构固定于所述机台上，所述玻璃片翻转机构固定于所述玻璃片横移驱动机构的平移运动端，所述玻璃片吸板固定于所述玻璃片翻转机构的翻转运动端，所述玻璃片横移驱动机构用于驱使所述玻璃片翻转机构运动以令所述玻璃片吸板进出所述玻璃片供料机构，所述玻璃片吸板用于吸取所述玻璃片供料机构内的玻璃片，所述玻璃片翻转机构用于驱使所述玻璃片吸板翻转180°，进而将所述玻璃片放置于所述治具机构上。本实用新型有助于简化动作流程，同时结构简单、成本低廉。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶体硅片加工设备，尤其涉及一种玻璃片取放料机构及单晶体硅片倒装加工机。
背景技术
现有的单晶体硅片倒装工艺一般包括取放玻璃片、取放石墨纸、取放挡环以及取放成品工件等工艺流程。现有技术中，对于取放玻璃片的动作过程一般包括旋转、升降、平移等步骤，其中就依赖旋转机构、升降机构以及平移机构完成玻璃片拾取工作，上述组合机构的结构比较复杂，所涉及的动作较多，不仅效率低下，而且实现成本较高。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题在于，针对现有技术的不足，提供一种有助于简化动作流程，同时结构简单、成本低廉的玻璃片取放料机构。
为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案。
一种玻璃片取放料机构，所述玻璃片取放料机构包括有玻璃片横移驱动机构、玻璃片翻转机构和玻璃片吸板，所述玻璃片横移驱动机构固定于所述机台上，所述玻璃片翻转机构固定于所述玻璃片横移驱动机构的平移运动端，所述玻璃片吸板固定于所述玻璃片翻转机构的翻转运动端，所述玻璃片横移驱动机构用于驱使所述玻璃片翻转机构运动以令所述玻璃片吸板进出所述玻璃片供料机构，所述玻璃片吸板用于吸取所述玻璃片供料机构内的玻璃片，所述玻璃片翻转机构用于驱使所述玻璃片吸板翻转180°，进而将所述玻璃片放置于所述治具机构上。
优选地，所述玻璃片翻转机构的翻转运动端固定有翻转支板，所述玻璃片吸板的一端与所述翻转支板相互贴合且二者固定连接，所述玻璃片吸板的另一端向外延伸，所述翻转支板内开设有吸气通道，所述玻璃片吸板的表面开设有多条横纵交叉的气槽，所述气槽与所述吸气通道相互连通，借由所述气槽内产生的负压将所述玻璃片吸附于所述玻璃片吸板上。
优选地，还包括有玻璃片供料机构，所述玻璃片供料机构包括有玻璃片料框、玻璃片升降板以及玻璃片升降驱动机构，所述玻璃片升降驱动机构固定于所述机台上，所述玻璃片升降板固定于所述玻璃片升降驱动机构的升降运动端，所述玻璃片料框固定于所述玻璃片升降板上，所述玻璃片料框朝向所述玻璃片取放料机构的一侧形成有玻璃片取料口。
优选地，所述玻璃片料框包括有底板，所述底板的中间处形成有向下凹陷的凹口部，所述凹口部的两侧分别形成有斜坡部。
一种单晶体硅片倒装加工机，其包括有机台，所述机台上设有治具机构、玻璃片供料机构、玻璃片取放料机构、石墨纸供料机构、石墨纸取放料机构、挡环供料机构、挡环与成品取放料机构和成品集料机构，所述玻璃片取放料机构、所述石墨纸取放料机构和所述挡环与成品取放料机构呈“品”形分布于所述治具机构的周围，所述玻璃片供料机构与所述玻璃片取放料机构相邻设置，所述石墨纸供料机构和所述石墨纸取放料机构相邻设置，所述挡环供料机构和所述成品集料机构分别与挡环与成品取放料机构相邻设置，所述玻璃片取放料机构包括有玻璃片横移驱动机构、玻璃片翻转机构和玻璃片吸板，所述玻璃片横移驱动机构固定于所述机台上，所述玻璃片翻转机构固定于所述玻璃片横移驱动机构的平移运动端，所述玻璃片吸板固定于所述玻璃片翻转机构的翻转运动端，所述玻璃片横移驱动机构用于驱使所述玻璃片翻转机构运动以令所述玻璃片吸板进出所述玻璃片供料机构，所述玻璃片吸板用于吸取所述玻璃片供料机构内的玻璃片，所述玻璃片翻转机构用于驱使所述玻璃片吸板翻转180°，进而将所述玻璃片放置于所述治具机构上。
本实用新型公开的玻璃片取放料机构中，在所述玻璃片横移驱动机构的作用下，可驱使所述玻璃片翻转机构和所述玻璃片吸板平移，直至所述玻璃片吸板靠近待取料的玻璃片表面，同时在所述玻璃片吸板的负压作用下，将玻璃片吸附于所述玻璃片吸板上，然后所述玻璃片横移驱动机构驱使所述玻璃片翻转机构和所述玻璃片吸板反向平移，再利用所述玻璃片翻转机构带动所述玻璃片吸板翻转180°，从而将所述玻璃片放置于预设的治具机构上，从而实现玻璃片的取放料功能。基于上述原理可见，本实用新型只需在所述玻璃片横移驱动机构和所述玻璃片翻转机构的配合作用下即可完成对玻璃片的取放料功能，这种翻转上料机构不仅结构简单，而且取放料速度较快，有助于简化动作步骤以及提高生产效率。
附图说明
图1为本实用新型单晶体硅片倒装设备的立体图；
图2为本实用新型单晶体硅片倒装设备的俯视图；
图3为玻璃片供料机构的结构图；
图4为玻璃片取放料机构的结构图；
图5为玻璃片取放料机构的局部分解图；
图6为治具机构的结构图一；
图7为治具机构的结构图二；
图8为石墨纸供料机构的结构图；
图9为石墨纸取放料机构的结构图；
图10为挡环与成品取放料机构的结构图；
图11为挡环供料机构的结构图；
图12为成品集料机构的结构图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作更加详细的描述。
实施例一
本实施例提出了一种玻璃片取放料机构，结合图4和图5所示，所述玻璃片取放料机构4包括有玻璃片横移驱动机构40、玻璃片翻转机构41和玻璃片吸板42，所述玻璃片横移驱动机构40固定于所述机台1上，所述玻璃片翻转机构41固定于所述玻璃片横移驱动机构40的平移运动端，所述玻璃片吸板42固定于所述玻璃片翻转机构41的翻转运动端，所述玻璃片横移驱动机构40用于驱使所述玻璃片翻转机构41运动以令所述玻璃片吸板42进出所述玻璃片供料机构3，所述玻璃片吸板42用于吸取所述玻璃片供料机构3内的玻璃片100，所述玻璃片翻转机构41用于驱使所述玻璃片吸板42翻转180°，进而将所述玻璃片100放置于所述治具机构2上。
上述结构中，在所述玻璃片横移驱动机构40的作用下，可驱使所述玻璃片翻转机构41和所述玻璃片吸板42平移，直至所述玻璃片吸板42靠近待取料的玻璃片表面，同时在所述玻璃片吸板42的负压作用下，将玻璃片100吸附于所述玻璃片吸板42上，然后所述玻璃片横移驱动机构40驱使所述玻璃片翻转机构41和所述玻璃片吸板42反向平移，再利用所述玻璃片翻转机构41带动所述玻璃片吸板42翻转180°，从而将所述玻璃片100放置于预设的治具机构上，从而实现玻璃片100的取放料功能。基于上述原理可见，本实用新型只需在所述玻璃片横移驱动机构40和所述玻璃片翻转机构41的配合作用下即可完成对玻璃片100的取放料功能，这种翻转上料机构不仅结构简单，而且取放料速度较快，有助于简化动作步骤以及提高生产效率。
作为一种优选方式，所述玻璃片翻转机构41的翻转运动端固定有翻转支板43，所述玻璃片吸板42的一端与所述翻转支板43相互贴合且二者固定连接，所述玻璃片吸板42的另一端向外延伸，所述翻转支板43内开设有吸气通道，所述玻璃片吸板42的表面开设有多条横纵交叉的气槽420，所述气槽420与所述吸气通道相互连通，借由所述气槽420内产生的负压将所述玻璃片100吸附于所述玻璃片吸板42上。
上述结构可使得多条横纵交叉的气槽420内产生均匀负压，在负压作用下可将所述玻璃片100平稳地吸附于所述玻璃片吸板42上，有助于所述玻璃片取放料机构4准确、可靠地执行翻转取放玻璃片的动作。
进一步地，本实施例还包括有玻璃片供料机构3，所述玻璃片供料机构3包括有玻璃片料框30、玻璃片升降板31以及玻璃片升降驱动机构32，所述玻璃片升降驱动机构32固定于所述机台1上，所述玻璃片升降板31固定于所述玻璃片升降驱动机构32的升降运动端，所述玻璃片料框30固定于所述玻璃片升降板31上，所述玻璃片料框30朝向所述玻璃片取放料机构4的一侧形成有玻璃片取料口33。
上述结构中，在所述玻璃片升降驱动机构32的作用下，可驱使所述玻璃片升降板31和所述玻璃片料框30上升或者下降，进而调节所述玻璃片料框30内玻璃片100的竖直高度，以便与所述玻璃片吸板42精准配合。
进一步地，所述玻璃片料框30包括有底板34，所述底板34的中间处形成有向下凹陷的凹口部35，所述凹口部35的两侧分别形成有斜坡部36。在具体的取料过程中，所述玻璃片吸板42可平移伸入所述凹口部35内，再配合所述玻璃片料框30的上下运动，使得所述玻璃片吸板42接触玻璃片100并实现吸附取料，当然这仅是本实用新型一种优选的实现方式，并不用于限制本实用新型，根据实际的工艺需要，还可以替换为其他具有同等功能的机构。
本实施例还涉及一种单晶体硅片倒装加工机，结合图1至图12所示，其包括有机台1，所述机台1上设有治具机构2、玻璃片供料机构3、玻璃片取放料机构4、石墨纸供料机构5、石墨纸取放料机构6、挡环供料机构7、挡环与成品取放料机构8和成品集料机构9，所述玻璃片取放料机构4、所述石墨纸取放料机构6和所述挡环与成品取放料机构8呈“品”形分布于所述治具机构2的周围，所述玻璃片供料机构3与所述玻璃片取放料机构4相邻设置，所述石墨纸供料机构5和所述石墨纸取放料机构6相邻设置，所述挡环供料机构7和所述成品集料机构9分别与挡环与成品取放料机构8相邻设置，所述玻璃片取放料机构4包括有玻璃片横移驱动机构40、玻璃片翻转机构41和玻璃片吸板42，所述玻璃片横移驱动机构40固定于所述机台1上，所述玻璃片翻转机构41固定于所述玻璃片横移驱动机构40的平移运动端，所述玻璃片吸板42固定于所述玻璃片翻转机构41的翻转运动端，所述玻璃片横移驱动机构40用于驱使所述玻璃片翻转机构41运动以令所述玻璃片吸板42进出所述玻璃片供料机构3，所述玻璃片吸板42用于吸取所述玻璃片供料机构3内的玻璃片100，所述玻璃片翻转机构41用于驱使所述玻璃片吸板42翻转180°，进而将所述玻璃片100放置于所述治具机构2上。
实施例二
本实施例提出了一种单晶体硅片倒装设备，结合图1至图12所示，其包括有机台1，所述机台1上设有治具机构2、玻璃片供料机构3、玻璃片取放料机构4、石墨纸供料机构5、石墨纸取放料机构6、挡环供料机构7、挡环与成品取放料机构8和成品集料机构9，其中：
所述玻璃片供料机构3用于放置玻璃片100；
所述玻璃片取放料机构4用于从所述玻璃片供料机构3拾取所述玻璃片100并放置于所述治具机构2上；
所述石墨纸供料机构5用于放置石墨纸101；
所述石墨纸取放料机构6用于从所述石墨纸供料机构5拾取所述石墨纸101并放置于所述治具机构2上的所述玻璃片100上；
所述挡环供料机构7用于放置挡环102；
所述挡环与成品取放料机构8用于从所述挡环供料机构7拾取所述挡环102并放置于所述治具机构2上的所述玻璃片100和所述石墨纸101外侧，以及拾取所述治具机构2上加工完成的成品并放置于所述成品集料机构9。
上述设备在工作过程中，所述玻璃片供料机构3、所述石墨纸供料机构5和所述挡环供料机构7分别用于放置待取料的玻璃片100、石墨纸101和挡环102，在具体的取放料工艺环节，利用所述玻璃片取放料机构4从所述玻璃片供料机构3拾取所述玻璃片100并放置于所述治具机构2上，利用所述石墨纸取放料机构6从所述石墨纸供料机构5拾取所述石墨纸101并放置于所述治具机构2上的所述玻璃片100上，利用所述挡环与成品取放料机构8从所述挡环供料机构7拾取所述挡环102并放置于所述治具机构2上的所述玻璃片100和所述石墨纸101外侧，当成品工件完成加工之后，所述挡环与成品取放料机构8拾取所述治具机构2上加工完成的成品并放置于所述成品集料机构9。相比现有技术而言，实用新型基于所述玻璃片取放料机构4、所述石墨纸取放料机构6和所述挡环与成品取放料机构8的配合，不仅结构设计合理，而且将各个机构较好地集成在一台设备上，相比采用多个独立机器人的工艺手段而言，本实用新型设备的成本更加低廉，而且更容易于实现联动控制，较好地满足了生产要求。
作为一种优选方式，结合图6和图7所示，所述治具机构2包括有治具支架20、治具载台21和中心圆台22，所述治具支架20固定于所述机台1上，所述治具载台21设于所述治具支架20的上端，所述中心圆台22嵌设于所述治具载台21的中间处。
进一步地，所述中心圆台22安装于所述治具支架20的上端，所述治具载台21的底部固定有工形架23，所述治具支架20上固定有治具气缸24，所述治具气缸24的运动端与所述工形架23固定连接，借由所述治具气缸24驱使所述工形架23和所述治具载台21上升或者下降，以令所述治具载台21与所述中心圆台22发生相对运动。上述结构中，在所述治具气缸24的作用下，可驱使所述治具载台21相对所述中心圆台22运动，进而调节所述治具载台21与所述中心圆台22的相对位置。
本实施例中，所述治具载台21上设有两个定位滑块25，且所述定位滑块25与所述治具载台21滑动配合，两个定位滑块25对称设于所述中心圆台22的两侧，所述治具载台21的底部固定有两个滑块气缸26，两个定位滑块25分别固定于两个滑块气缸26的运动端，借由两个定位滑块25驱使两个定位滑块25相互远离或者相互靠近。
上述结构中，通过两个滑块气缸26驱使两个定位滑块25相对运动，借由两个定位滑块25对所述挡环102执行松、夹动作，进而实现对所述挡环102的夹紧定位功能。
为了更好地夹紧所述挡环102，本实施例中，所述定位滑块25上形成有两个向所述中心圆台22方向延伸的支臂250，所述支臂250的端部形成有用于与所述挡环102抵接配合的斜面部251。其中，在所述斜面部251的作用下，能够更好地与所述挡环102的外侧壁相匹配。
关于所述石墨纸供料机构5的具体结构，本实施例中，请参见图8，所述石墨纸供料机构5包括有石墨纸升降机构50、石墨纸升降载台51、多个石墨纸挡料杆52和石墨纸固定平台53，所述石墨纸固定平台53与所述机台1固定连接，所述石墨纸升降机构50固定于所述石墨纸固定平台53上，所述石墨纸升降载台51安装于所述石墨纸升降机构50的升降运动端，多个石墨纸挡料杆52均固定于所述石墨纸固定平台53上，且多个石墨纸挡料杆52均匀分布于所述石墨纸升降载台51的周围。上述结构较好地实现了供给石墨纸，同时调节石墨纸竖直高度的功能。
作为一种优选方式，请参见图9，所述石墨纸取放料机构6包括有石墨纸取放支架60、石墨纸升降支臂61、石墨纸升降支臂驱动机构62、摆臂驱动机构63和摆臂64，所述石墨纸取放支架60与所述机台1固定连接，所述石墨纸升降支臂驱动机构62与所述石墨纸取放支架60固定连接，所述石墨纸升降支臂61安装于所述石墨纸升降支臂驱动机构62的升降运动端，所述摆臂驱动机构63固定于所述石墨纸升降支臂61上，所述摆臂64安装于所述摆臂驱动机构63的摆动运动端，所述摆臂64上固定有多个用于吸取石墨纸101的吸嘴65。
上述结构中，同时采用了升降和摆臂控制功能，在所述石墨纸升降支臂驱动机构62和所述摆臂驱动机构63的配合作用下，可驱使所述摆臂64运动，利用吸嘴65吸取石墨纸101后放置于所述玻璃片100上。
本实施例中，请参见图10，所述挡环与成品取放料机构8包括有挡环取放支架80、挡环升降支臂81、挡环升降支臂驱动机构82、旋转臂驱动机构83和旋转臂84，所述挡环取放支架80与所述机台1固定连接，所述挡环升降支臂驱动机构82与所述挡环取放支架80固定连接，所述挡环升降支臂81安装于所述挡环升降支臂驱动机构82的升降运动端，所述旋转臂驱动机构83固定于所述挡环升降支臂81上，所述旋转臂84安装于所述旋转臂驱动机构83的旋转运动端，所述旋转臂84的两端分别设有用于夹取挡环102的夹爪85。
上述结构中，利用所述旋转臂84两端的夹爪85，可交替、灵活地实现取放挡环以及取放成品工件的功能，进而提升工作效率。
作为一种优选方式，请参见图11，所述挡环供料机构7包括有挡环升降机构70、挡环升降载台71、多个挡环挡料杆72和挡环固定平台73，所述挡环固定平台73与所述机台1固定连接，所述挡环升降机构70固定于所述挡环固定平台73上，所述挡环升降载台71安装于所述挡环升降机构70的升降运动端，多个挡环挡料杆72均固定于所述挡环固定平台73上，且多个挡环挡料杆72均匀分布于所述挡环升降载台71的周围。
为了更好地与所述夹爪85相互配合，本实施例中，所述挡环升降载台71的边缘处开设有多个夹爪避让口710。
作为一种优选结构，请参见图12，所述成品集料机构9包括有成品升降机构90、成品升降载台91、多个成品挡料杆92和成品固定平台93，所述成品固定平台93与所述机台1固定连接，所述成品升降机构90固定于所述成品固定平台93上，所述成品升降载台91安装于所述成品升降机构90的升降运动端，多个成品挡料杆92均固定于所述成品固定平台93上，且多个成品挡料杆92均匀分布于所述成品升降载台91的周围。
以上所述只是本实用新型较佳的实施例，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的技术范围内所做的修改、等同替换或者改进等，均应包含在本实用新型所保护的范围内。
Claims (5)
1.一种玻璃片取放料机构，其特征在于，所述玻璃片取放料机构(4)包括有玻璃片横移驱动机构(40)、玻璃片翻转机构(41)和玻璃片吸板(42)，所述玻璃片横移驱动机构(40)固定于机台(1)上，所述玻璃片翻转机构(41)固定于所述玻璃片横移驱动机构(40)的平移运动端，所述玻璃片吸板(42)固定于所述玻璃片翻转机构(41)的翻转运动端，所述玻璃片横移驱动机构(40)用于驱使所述玻璃片翻转机构(41)运动以令所述玻璃片吸板(42)进出所述玻璃片供料机构(3)，所述玻璃片吸板(42)用于吸取所述玻璃片供料机构(3)内的玻璃片(100)，所述玻璃片翻转机构(41)用于驱使所述玻璃片吸板(42)翻转180°，进而将所述玻璃片(100)放置于治具机构(2)上。
2.如权利要求1所述的玻璃片取放料机构，其特征在于，所述玻璃片翻转机构(41)的翻转运动端固定有翻转支板(43)，所述玻璃片吸板(42)的一端与所述翻转支板(43)相互贴合且二者固定连接，所述玻璃片吸板(42)的另一端向外延伸，所述翻转支板(43)内开设有吸气通道，所述玻璃片吸板(42)的表面开设有多条横纵交叉的气槽(420)，所述气槽(420)与所述吸气通道相互连通，借由所述气槽(420)内产生的负压将所述玻璃片(100)吸附于所述玻璃片吸板(42)上。
3.如权利要求1所述的玻璃片取放料机构，其特征在于，还包括有玻璃片供料机构(3)，所述玻璃片供料机构(3)包括有玻璃片料框(30)、玻璃片升降板(31)以及玻璃片升降驱动机构(32)，所述玻璃片升降驱动机构(32)固定于所述机台(1)上，所述玻璃片升降板(31)固定于所述玻璃片升降驱动机构(32)的升降运动端，所述玻璃片料框(30)固定于所述玻璃片升降板(31)上，所述玻璃片料框(30)朝向所述玻璃片取放料机构(4)的一侧形成有玻璃片取料口(33)。
4.如权利要求3所述的玻璃片取放料机构，其特征在于，所述玻璃片料框(30)包括有底板(34)，所述底板(34)的中间处形成有向下凹陷的凹口部(35)，所述凹口部(35)的两侧分别形成有斜坡部(36)。
5.一种单晶体硅片倒装加工机，其特征在于，包括有机台(1)，所述机台(1)上设有治具机构(2)、玻璃片供料机构(3)、玻璃片取放料机构(4)、石墨纸供料机构(5)、石墨纸取放料机构(6)、挡环供料机构(7)、挡环与成品取放料机构(8)和成品集料机构(9)，所述玻璃片取放料机构(4)、所述石墨纸取放料机构(6)和所述挡环与成品取放料机构(8)呈“品”形分布于所述治具机构(2)的周围，所述玻璃片供料机构(3)与所述玻璃片取放料机构(4)相邻设置，所述石墨纸供料机构(5)和所述石墨纸取放料机构(6)相邻设置，所述挡环供料机构(7)和所述成品集料机构(9)分别与挡环与成品取放料机构(8)相邻设置，所述玻璃片取放料机构(4)包括有玻璃片横移驱动机构(40)、玻璃片翻转机构(41)和玻璃片吸板(42)，所述玻璃片横移驱动机构(40)固定于所述机台(1)上，所述玻璃片翻转机构(41)固定于所述玻璃片横移驱动机构(40)的平移运动端，所述玻璃片吸板(42)固定于所述玻璃片翻转机构(41)的翻转运动端，所述玻璃片横移驱动机构(40)用于驱使所述玻璃片翻转机构(41)运动以令所述玻璃片吸板(42)进出所述玻璃片供料机构(3)，所述玻璃片吸板(42)用于吸取所述玻璃片供料机构(3)内的玻璃片(100)，所述玻璃片翻转机构(41)用于驱使所述玻璃片吸板(42)翻转180°，进而将所述玻璃片(100)放置于所述治具机构(2)上。
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2021
- 2021-10-19 CN CN202122519288.1U patent/CN216511161U/zh active Active
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| CN113972157A (zh) * | 2021-10-19 | 2022-01-25 | 科尔迅智能科技(深圳)有限公司 | 一种单晶体硅片倒装设备 |
| CN113972157B (zh) * | 2021-10-19 | 2024-09-03 | 科尔迅智能科技(深圳)有限公司 | 一种单晶体硅片倒装设备 |
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