CN216323446U - 左右崩边检测装置及硅片检测分选设备 - Google Patents

左右崩边检测装置及硅片检测分选设备 Download PDF

Info

Publication number
CN216323446U
CN216323446U CN202121007016.7U CN202121007016U CN216323446U CN 216323446 U CN216323446 U CN 216323446U CN 202121007016 U CN202121007016 U CN 202121007016U CN 216323446 U CN216323446 U CN 216323446U
Authority
CN
China
Prior art keywords
detection
detection mechanism
fixing plate
edge breakage
right edge
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202121007016.7U
Other languages
English (en)
Inventor
孙靖
曹葵康
顾烨
孙俊
苏傲
钱春辉
胡辉来
程璧
张体瑞
温延培
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tztek Technology Co Ltd
Original Assignee
Tztek Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tztek Technology Co Ltd filed Critical Tztek Technology Co Ltd
Priority to CN202121007016.7U priority Critical patent/CN216323446U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN216323446U publication Critical patent/CN216323446U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

本实用新型提供一种左右崩边检测装置及硅片检测分选设备,其中,左右崩边检测装置包括:左检测机构、右检测机构以及滑轨;左检测机构与右检测机构设置于滑轨上,且两个检测机构相向设置,任一检测机构包括:检测相机、点激光、光源以及调节组件;光源能够相对第一固定板进行调节;点激光和检测相机能够分别相对第二固定板进行调节;调节组件包括:固定座和调节件。本实用新型通过左检测机构、右检测机构对输送的硅片进行崩边检测,有利于分选出不符合要求的硅片,提高了硅片的出厂良率。同时,两个检测机构能够沿所在滑轨进行位置调节,且各检测机构中的检测相机、点激光、光源也能够独立调节,有利于实际运行过程中的调试,提高了检测的效率。

Description

左右崩边检测装置及硅片检测分选设备
技术领域
本实用新型涉及硅片检测分选技术领域,尤其涉及一种左右崩边检测装置及硅片检测分选设备。
背景技术
硅片作为重要的工业原材料,被广泛用于太阳能电池、电路板等产品的生产制造中。因此,在硅片生产出厂之前需要对其质量进行严格的把控,以保证由硅片制造的太阳能电池、电路板等产品的质量。
目前,在硅片的检测分选过程中,需要对通过流线输送的硅片的左右边缘进行检视,以判断硅片的边缘是否存在破损的问题。因此,针对如何对硅片的边缘进行检视的问题,有必要提出进一步地解决方案。
实用新型内容
本实用新型旨在提供一种左右崩边检测装置及硅片检测分选设备,以克服现有技术中存在的不足。
为解决上述技术问题,本实用新型的技术方案是:
一种左右崩边检测装置,其包括:左检测机构、右检测机构以及滑轨;
所述左检测机构与右检测机构设置于所述滑轨上,且两个检测机构相向设置,任一检测机构包括:检测相机、点激光、光源以及调节组件;
所述光源安装于所述第一固定板上,并面向检测工位设置,所述光源能够相对所述第一固定板进行调节;
所述点激光和检测相机安装于第二固定板上,并面向所述检测工位设置,所述点激光和检测相机能够分别相对所述第二固定板进行调节;
所述调节组件包括:固定座和调节件,所述调节件安装于所述固定座上,并能够带动所在的检测机构沿所述滑轨进行移动。
作为本实用新型的左右崩边检测装置的改进,所述左检测机构与右检测机构相对错位设置。
作为本实用新型的左右崩边检测装置的改进,所述第一固定板竖直设置,所述光源为两组,两组光源上下相对地安装于所述第一固定板上,两组光源之间形成所述检测工位。
作为本实用新型的左右崩边检测装置的改进,所述光源朝向所述检测工位的光路上还设置有能够进行角度调节的棱镜。
作为本实用新型的左右崩边检测装置的改进,所述光源枢转安装于所述第一固定板上,所述第一固定板上开设有适于所述光源角度调整的第一调节槽。
作为本实用新型的左右崩边检测装置的改进,所述点激光所在的安装座枢转安装于所述第二固定板上,所述安装座上开设有适于所述点激光角度调节的第二调节槽,所述第二固定板上设置有伸入所述第二调节槽中的凸起。
作为本实用新型的左右崩边检测装置的改进,所述检测相机所在的安装座上开设有滑槽,所述第二固定板上开设有适于所述检测相机滑动调节的锁孔。
作为本实用新型的左右崩边检测装置的改进,所述固定座固定于所述滑轨所在的底座上,所述调节件为一螺杆,所述螺杆一端螺接于所述固定座上,另一端螺接于所在检测机构的底部凸块上。
为解决上述技术问题,本实用新型的技术方案是:
一种硅片检测分选设备,其包括如上所述的左右崩边检测装置。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型通过左检测机构、右检测机构对输送的硅片进行崩边检测,有利于分选出不符合要求的硅片,提高了硅片的出厂良率。同时,两个检测机构能够沿所在滑轨进行位置调节,且各检测机构中的检测相机、点激光、光源也能够独立调节,有利于实际运行过程中的调试,提高了检测的效率。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型左右崩边检测装置一实施例的立体示意图;
图2为图1中左右崩边检测装置的俯视图;
图3为图1中调节组件的立体放大示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
如图1、2所示,本实用新型一实施例的左右崩边检测装置包括:左检测机构10、右检测机构20以及滑轨30。
左检测机构10、右检测机构20用于对输送的硅片进行崩边检测,进而分选出不符合要求的硅片,有利于提高硅片的出厂良率。
具体地,左检测机构10与右检测机构20设置于滑轨30上,且两个检测机构10、20相向设置。如此,当输送而来的硅片经过左检测机构10与右检测机构20时,两个检测机构10、20可实现对硅片边缘质量的检视。一个实施方式中,左检测机构10与右检测机构20相对错位设置,该设置方式可避免两个检测机构10、20相互干扰,影响检测结果的精度。滑轨30的两端安装于工字型的底座40上。
任一检测机构10、20包括:检测相机11、点激光12、光源13以及调节组件14。
其中,检测相机11、点激光12用于对硅片的边缘进行检视,光源13用于为检测相机11、点激光12的检视提供照明。检测相机11、点激光12、光源13能够进行独立调节。
具体地,光源13安装于第一固定板15上,并面向检测工位设置,且光源13能够相对第一固定板15进行调节。如此,可在实际的调试过程中,调整光源13的照射角度,以满足硅片的检视需求。
一个实施方式中,为了实现光源13的角度调节,光源13通过一转轴枢转安装于第一固定板15上,且第一固定板15上开设有适于光源13角度调整的第一调节槽151。如此,光源13可沿着上述第一调节槽151进行枢转运动,进而第一调节槽151为光源13的枢转提供导向。
进一步地,第一固定板15竖直设置。当光源13为两组时,两组光源13上下相对地安装于第一固定板15上,此时两组光源13之间形成检测工位。此外,光源13朝向检测工位的光路上还设置有能够进行角度调节的棱镜16,如此以便于搭建检测光路。
点激光12和检测相机11安装于第二固定板17上,并面向检测工位设置,且点激光12和检测相机11能够分别相对第二固定板17进行调节。如此,可在实际的调试过程中,调整点激光12和检测相机11的照射角度和位置,以满足硅片的检视需求。
一个实施方式中,为了实现点激光12的角度调节,点激光12所在的安装座121枢转安装于第二固定板17上,安装座121上开设有适于点激光12角度调节的第二调节槽120,第二固定板17上设置有伸入第二调节槽120中的凸起。如此,安装座121进行枢转时,其上的第二调节槽120可沿着凸起进行滑动,进而第二调节槽120为点激光12的枢转提供导向。
其中,点激光12的安装座121包括:座体1211、安装于座体1211上的连接板1212。该座体1211通过一转轴枢转连接于第二固定板17上,第二调节槽开设于座体1211上。连接板1212上开设有收容点激光12的安装槽。
一个实施方式中,为了实现检测相机11位置的调节,检测相机11所在的安装座111上开设有滑槽1110,第二固定板17上开设有适于检测相机11滑动调节的锁孔。如此,装配于锁孔中的紧固件通过锁附在滑槽1110中的不同位置,可实现检测相机11前后位置滑动调节。
其中,检测相机11的安装座111为一L形的安装座,滑槽1110为开设于该L形安装座底部位置的腰形槽。
如图3所示,调节组件14包括:固定座141和调节件142。调节件142安装于固定座141上,并能够带动所在的检测机构沿滑轨30进行移动。
一个实施方式中,固定座141固定于滑轨30所在的底座上,调节件142为一螺杆。此时,螺杆一端螺接于固定座141上,另一端螺接于所在检测机构的底部凸块上。如此,当需要调节左检测机构10、右检测机构20沿滑轨30进行滑动时,可手动旋转螺杆,进而通过螺纹推动左检测机构10、右检测机构20沿滑轨30进行滑动。
本实用新型另一实施例还提供一种硅片检测分选设备,其包括如上实施例所述的左右崩边检测装置。
综上所述,本实用新型通过左检测机构、右检测机构对输送的硅片进行崩边检测,有利于分选出不符合要求的硅片,提高了硅片的出厂良率。同时,两个检测机构能够沿所在滑轨进行位置调节,且各检测机构中的检测相机、点激光、光源也能够独立调节,有利于实际运行过程中的调试,提高了检测的效率。
对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (9)

1.一种左右崩边检测装置,其特征在于,所述左右崩边检测装置包括:左检测机构、右检测机构以及滑轨;
所述左检测机构与右检测机构设置于所述滑轨上,且两个检测机构相向设置,任一检测机构包括:检测相机、点激光、光源以及调节组件;
所述光源安装于第一固定板上,并面向检测工位设置,所述光源能够相对所述第一固定板进行调节;
所述点激光和检测相机安装于第二固定板上,并面向所述检测工位设置,所述点激光和检测相机能够分别相对所述第二固定板进行调节;
所述调节组件包括:固定座和调节件,所述调节件安装于所述固定座上,并能够带动所在的检测机构沿所述滑轨进行移动。
2.根据权利要求1所述的左右崩边检测装置,其特征在于,所述左检测机构与右检测机构相对错位设置。
3.根据权利要求1所述的左右崩边检测装置,其特征在于,所述第一固定板竖直设置,所述光源为两组,两组光源上下相对地安装于所述第一固定板上,两组光源之间形成所述检测工位。
4.根据权利要求1或3所述的左右崩边检测装置,其特征在于,所述光源朝向所述检测工位的光路上还设置有能够进行角度调节的棱镜。
5.根据权利要求1所述的左右崩边检测装置,其特征在于,所述光源枢转安装于所述第一固定板上,所述第一固定板上开设有适于所述光源角度调整的第一调节槽。
6.根据权利要求1所述的左右崩边检测装置,其特征在于,所述点激光所在的安装座枢转安装于所述第二固定板上,所述安装座上开设有适于所述点激光角度调节的第二调节槽,所述第二固定板上设置有伸入所述第二调节槽中的凸起。
7.根据权利要求1所述的左右崩边检测装置,其特征在于,所述检测相机所在的安装座上开设有滑槽,所述第二固定板上开设有适于所述检测相机滑动调节的锁孔。
8.根据权利要求1所述的左右崩边检测装置,其特征在于,所述固定座固定于所述滑轨所在的底座上,所述调节件为一螺杆,所述螺杆一端螺接于所述固定座上,另一端螺接于所在检测机构的底部凸块上。
9.一种硅片检测分选设备,其特征在于,所述硅片检测分选设备包括如权利要求1至8任一项所述的左右崩边检测装置。
CN202121007016.7U 2021-05-12 2021-05-12 左右崩边检测装置及硅片检测分选设备 Active CN216323446U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202121007016.7U CN216323446U (zh) 2021-05-12 2021-05-12 左右崩边检测装置及硅片检测分选设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202121007016.7U CN216323446U (zh) 2021-05-12 2021-05-12 左右崩边检测装置及硅片检测分选设备

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN216323446U true CN216323446U (zh) 2022-04-19

Family

ID=81127883

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202121007016.7U Active CN216323446U (zh) 2021-05-12 2021-05-12 左右崩边检测装置及硅片检测分选设备

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN216323446U (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114535108A (zh) * 2022-04-26 2022-05-27 常州市昌隆电机股份有限公司 传动轴分类装盒系统及其工作方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114535108A (zh) * 2022-04-26 2022-05-27 常州市昌隆电机股份有限公司 传动轴分类装盒系统及其工作方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2022116514A1 (zh) 硅片智能分选机
WO2018121471A1 (zh) 一种双层结构aoi自动光检测仪
CN104931233B (zh) 一种导光板检测装置
CN111781489A (zh) 一种pcb电路板缺陷自动检查设备
CN216323446U (zh) 左右崩边检测装置及硅片检测分选设备
CN113510076A (zh) 导正检测装置及硅片检测分选设备
CN112642731A (zh) 联合检测装置及硅片智能分选机
CN115825101B (zh) 一种Mini LED面板光学检测设备及其检测方法
CN212180654U (zh) 一种相机模组调整装置
CN115184777B (zh) 一种含soa的eml芯片全自动测试机及测试方法
CN211070906U (zh) 一种硅片孔洞检测装置及硅片分选设备
CN209109642U (zh) 镜头缺陷自动化检测设备
CN220063874U (zh) 一种集成硅片棱边和上下表面缺陷检测装置
CN106292009A (zh) 区分缺陷在玻璃基板a面还是b面的检查法
CN219715913U (zh) 一种可多方位多角度调整的遮光检测机构
CN115793405B (zh) 曝光机
CN209349089U (zh) 一种手机镜头品质自动检测机
CN212944178U (zh) 一种全自动led分光机的检测机构
CN116106322A (zh) 陶瓷基板外观自动检测装置
CN214472862U (zh) 一种柔性电路板线路检测装置
CN210824150U (zh) 一种物品输送装置
CN220063864U (zh) 一种硅片棱边缺陷检测装置
CN113030116A (zh) 一种柔性电路板线路检测装置
CN209992152U (zh) 对准转轴中心检验治具
CN219872005U (zh) 一种带边崩检测结构的tft组件

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant