CN216213360U - 硅片目检旋转载台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种硅片目检旋转载台，包括底座以及安装在底座上的承载台，承载台能够相对于底座旋转，承载台上至少均布有3个用于承载硅片的治具，该治具包括垂直于承载台的承载架，承载架上沿其延伸方向间隔设置有多层用于承载硅片的承载段。本实用新型能够检查到硅片边缘top面的缺陷，使硅片360°的位置的缺陷都能够被检查到。

Description

硅片目检旋转载台

技术领域

本实用新型涉及一种旋转载台，具体是一种硅片目检旋转载台，属于硅片检测设备技术领域。

背景技术

硅片加工过程中需要检查边缘缺陷，防止有边缘崩边、划伤、缺角、粗糙的硅片影响下端工序或下游客户。目前市面上能用于检查缺陷的显微镜主要是用来检查硅片表面缺陷，当需要检查硅片边缘的各种缺陷时，存在以下弊端：

1.只能大致放大硅片边缘斜面上的缺陷，硅片边缘top面的缺陷很难被检查到；

2.当想检查各个角度的边缘缺陷时，很难旋转显微镜载台，使硅片边缘缺陷被检查到。

发明内容

针对上述现有技术存在的问题，本实用新型提供一种硅片目检旋转载台，能够检查到硅片边缘top面的缺陷，使硅片360°的位置的缺陷都能够被检查到。

为实现上述目的，本实用新型一种硅片目检旋转载台，包括底座以及安装在底座上的承载台，承载台能够相对于底座旋转，承载台上至少均布有3个用于承载硅片的治具，该治具包括垂直于承载台的承载架，承载架上沿其延伸方向间隔设置有多层用于承载硅片的承载段。

进一步，治具下部还设有安装段，治具通过其最下层的承载段与安装段夹持在承载台的边缘处，并通过固定件将安装段固定在承载台上，从而使治具固定在承载台上；承载架上设置有两层承载段，分别为上层承载段和下层承载段，上层承载段的端部与承载台圆心之间的距离大于下层承载段所放硅片的半径，且小于上层承载段所放硅片的半径，下层承载段的端部与承载台圆心之间的距离小于下层承载段所放硅片的半径。该技术方案便于将硅片放置在下层承载段上。本技术方案便于将硅片放置在下层承载段上。

进一步，承载段上设有限位部件，限位部件与承载台圆心之间的距离等于放置在该承载段上的硅片的半径。本技术方案对承载段上的硅片起到了限位作用，有效地防止了检查过程中硅片出现位移或晃动的现象，以便提高检查的准确率和效率。

进一步，承载段上设有限位部件，限位部件能够沿承载段延伸方向滑动，以适应不同尺寸的硅片，对不同尺寸的硅片进行限位，有效地防止了检查过程中硅片出现位移或晃动的现象，以便提高检查的准确率和效率。安装段能够沿承载架延伸方向上下滑动，以适应不同厚度的承载台。

优选地，承载段上设有第一滑槽，第一滑槽内部安装有与第一滑槽相配合的第一滑块，限位部件底部与第一滑块固定连接；承载架下部侧壁设有第二滑槽，第二滑槽内部设有与第二滑槽配合的第二滑块，安装段一端与第二滑块固定连接。本技术方案通过滑槽和滑块的配合，限位部件沿承载段延伸方向移动，实现对不同尺寸鬼片的限位，安装段沿承载架竖直方向上下移动，以适应不同厚度的承载台，适用范围更广泛。

优选地，底座中心位置开设有转轴孔，转轴孔中内置有转轴，转轴上端连接有支撑平台，承载台安装在支撑平台上，支撑平台的半径至少是承载台半径的1/2，底座、支撑平台和承载台同轴设置。本技术方案通过转轴与转轴孔的配合实现了承载台相对于底座旋转，人工手动推动承载台即可转动承载台。

优选地，底座内置有电机和电池，电机与电池电连接，电机输出轴连接承载台。本技术方案无需人工手动推动承载台旋转，直接通过电机带动承载台旋转即可实现承载台相对于底座旋转。

优选地，固定件为吸盘，安装段上表面为阶梯状，安装段的第二阶梯上安装有吸盘，安装段的第一阶梯高于第二阶梯，第一阶梯与第二阶梯的高度差等于吸盘的厚度，第二阶段与承载台接触，并通过其上的吸盘固定在承载台上，通过吸盘将治具安装在承载台上，无需打孔，安装更加方便。

优选地，固定件为螺栓，螺栓上端设有防滑垫片，一方面防滑，另一方面防止了螺栓与承载台硬接触，有效地保护了承载台。

优选地，承载台为玻璃承载台，治具采用特氟龙材料制作而成，承载段和限位部件的边角均为圆角结构，承载架顶部为凸圆弧结构。特氟龙材料适用于无尘室，且不会对硅片造成额外的损伤。

附图说明

图1是本实用新型整体结构示意图；

图2是本实用新型第一个实施例治具与承载台的细节图；

图3是本实用新型第二个实施例治具与承载台的细节图；

图4是本实用新型第三个实施例治具与承载台的细节图；

图5是图4安装段结构示意图；

图6是本实用新型承载段结构示意图；

图7是本实用新型限位部件能够沿承载段延伸方向滑动的结构示意图

图8是本实用新型显微镜镜头与硅片边缘的位置示意图。

图中：1.底座，21.吸盘，22.螺栓，3.安装段，31.第一阶梯，32.第二阶梯，4.承载台，5.承载段，51.上层承载段，52.下层承载段，53.第一滑槽，54.第一滑块，6.承载架，7.限位部件，8.硅片，81.硅片边缘top面，9.显微镜镜头，10.第二滑块，11.第二滑槽，13.凹圆弧状。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明。

本实用新型一种硅片8目检旋转载台，包括底座1以及安装在底座1上的承载台4，承载台4相对于底座1能够360°旋转，承载台4上至少均布有3个用于承载硅片8的治具，该治具包括垂直于承载台4的承载架6，承载架6上沿其延伸方向(即竖直方向)间隔设置有多层用于承载硅片8的承载段5。

检测时，将硅片8放置在承载台4上，显微镜镜头9对准硅片边缘top面81，如图8所示，手动旋转承载台4，旋转速度由检测人员控制，检测人员通过显微镜即可检查硅片边缘top面81的缺陷。

如图1和图6所示，作为一种实施例，本实用新型承载架6为圆柱体，承载段5一端为与承载架6相配合的凹圆弧状13，承载段5通过其凹圆弧状13的一端对接到承载架6上，并通过螺栓22(此螺栓22在图中未显示)将承载段5的凹圆弧状13的一端固定在承载架6上，从而将承载段5与承载架6安装在一起。当然，承载段5和承载架6也可一体成型。

作为一种实施例，本实用新型承载架6下部还设有安装段3，承载架6通过其最下层的承载段51与安装段3夹持在承载台4边缘处，并通过固定件2将安装段3紧固在承载台4上，从而使治具固定在承载台4上。当然，也可以通过其他方式将治具固定在承载台4上，如直接将承载架6底部用胶粘贴在承载台4上。

另外，为了便于将硅片8放置在下层承载段52上，本实用新型承载架6上设置有两层承载段5，分别为上层承载段51和下层承载段52，为了便于将硅片8放置在下层承载段52上，上层承载段51的端部与承载台4圆心之间的距离大于下层承载段52所放硅片8的半径，且小于上层承载段51所放硅片8的半径，下层承载段52的端部与承载台4圆心之间的距离小于下层承载段52所放硅片8的半径，即上层承载段51的长度短于下层承载段52。

作为一种实施例，为了进一步稳固硅片8，防止硅片8因承载台4转动而出现位移的现象，本实用新型承载段5上设有限位部件7，限位部件7与承载台4圆心之间的距离等于放置在该承载段5上的硅片8的半径，较好地对硅片8进行限位，稳定性更好，有利于工作人员对硅片8边缘进行检查。目前市面上主要是8寸和12寸的硅片8，限位部件7的位置可根据硅片8的尺寸来确定。

例如：本实施例用于8寸和12寸的硅片8，上层承载段51放置12寸硅片8，则治具的限位部件7与承载台4圆心之间的距离为6英寸(即12寸硅片8半径)，此时，将12寸硅片8放置在上层承载段51上，上层承载段51的限位部件7刚好与12寸硅片8的边缘接触，由于本实施例承载台4周边至少设置了3个治具，根据3点确定一个平面的原理，本实施例选择使用3个治具安装在承载台4上，因此，在3个治具上层承载段51的限位部件7共同作用下限制了12寸硅片8的运动，从而对12寸硅片8进行了限位，放置其出现位移或晃动的现象。8寸硅片8放置在下层承载段52上，下层承载段52上的限位部件7的位置参照上层承载段51上的限位部件7设置，在此不再赘述。

当承载台4的尺寸与上层承载段51所放硅片8的尺寸相同时，上层承载段51与承载架6顶端之间的承载架6部分作为限位部件7，如图1所示，本实施例下层承载段52的限位部件7为圆柱形凸起，上层承载段51的限位部件7为上层承载段51与承载架6顶端之间的承载架6部分，如图1、图3和图4所示。

如图2和图7所示，作为一种实施例，为了进一步稳固硅片8，防止硅片8因承载台4转动而出现位移的现象，本实用新型承载段5上设有限位部件7，限位部件7能够沿承载段5延伸方向滑动。进一步具体的结构如下：承载段5上设有第一滑槽53，第一滑槽53内部安装有与第一滑槽53相配合的第一滑块54，限位部件7底部与第一滑块54固定连接。该结构通过滑块和滑槽的配合，使得第一滑块54带动限位部件7在承载段5延伸方向滑动，从而实现了对不同尺寸硅片8的限位，硅片8稳定性更好，有利于工作人员对硅片边缘top面81进行检查。

为了适应不同厚度的承载台4，本实用新型安装段3能够沿承载架6延伸方向上下滑动，进一步具体结构如下：承载架6下部侧壁设有第二滑槽11，第二滑槽11内部设有与第二滑槽11配合的第二滑块10，安装段3一端与第二滑块10固定连接。因此，该结构通过滑块和滑槽的配合，使得治具可以安装在不同厚度的承载台4上，适用范围更广泛。

作为一种实施例，本实用新型底座1中心位置开设有转轴孔，转轴孔中内置有转轴，转轴上端连接有支撑平台(图中未显示)，承载台4放置在支撑平台，支撑平台的半径至少是承载台4半径的1/2，底座1、支撑平台和承载台4同轴设置。该结构简单，易于制作和实现。当然，也可以通过其他方式实现承载台4旋转，如底座1内置有电机和电池，电机与电池电连接，电机输出轴连接承载台4，通过电机带动承载台4旋转，该电机为步进电机，可根据实际情况设置电机的转动频率。当然，也可以通过其他方式实现承载台4相对于底座1旋转。进一步，为了适应不同工作人员检测时所需的不同高度，转轴为可升降结构，如转轴为电动伸缩杆，底座1内部安装有电池，电动伸缩杆与电池电连接，工作人员可根据的实际需求控制电动伸缩杆的伸出和回缩以调节硅片8的高度，更有利于工作人员对硅片边缘top面81的检测。

如图4和图5所示，作为一种实施例，为了防止治具在旋转过程中因离心力的原因而被甩出去，本实用新型固定件为吸盘21，安装段3上表面为阶梯状，安装段3的第二阶梯32上安装有吸盘21，安装段3的第一阶梯31高于第二阶梯32，第一阶梯31与第二阶梯32的高度差等于吸盘21的厚度，第二阶段32与承载台4接触，并通过其上的吸盘21固定在承载台4上，安装段3的第一阶梯31边缘远离或接触承载台4边缘。

在安装治具时，通过两个吸盘21将治具牢牢吸附在承载台4上，有效地防止了治具在承载台4转动过程中出现被甩出的现象。

如图2和图3所示，作为一种实施例，本实用新型固定件为螺栓22，螺栓22上端(与承载台4接触的一端)设有防滑垫片(图中未显示)，一方面起到了防滑的作用，另一方面避免了螺栓22上端面与承载台4硬接触，保护了承载台4。

作为一种实施例，本实用新型承载台4为由玻璃制作而成；另外，由于本装置是在无尘室使用，且要求不会对硅片8造成额外的损伤，因为，为了不对硅片8造成额外的损坏，本实用新型治具采用特氟龙材料制作而成，承载段5和限位部件7的边角均为圆角结构，承载架6顶部为凸圆弧结构。

Claims (10)

1.一种硅片目检旋转载台，其特征在于，包括底座(1)以及安装在底座(1)上的承载台(4)，承载台(4)能够相对于底座(1)旋转，承载台(4)上至少均布有3个用于承载硅片(8)的治具，该治具包括垂直于承载台(4)的承载架(6)，承载架(6)上沿其延伸方向间隔设置有多层用于承载硅片(8)的承载段(5)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片目检旋转载台，其特征在于，承载架(6)下部还设有安装段(3)，承载架(6)通过其最下层的承载段(5)与安装段(3)夹持在承载台(4)的边缘处，并通过固定件(2)将安装段(3)固定在承载台(4)上；承载架(6)上设置有两层承载段(5)，分别为上层承载段(51)和下层承载段(52)，上层承载段(51)的端部与承载台(4)圆心之间的距离大于下层承载段(52)所放硅片(8)的半径，且小于上层承载段(51)所放硅片(8)的半径，下层承载段(52)端部与承载台(4)圆心之间的距离小于下层承载段(52)所放硅片(8)的半径。

3.根据权利要求1或2所述的一种硅片目检旋转载台，其特征在于，承载段(5)上设有限位部件(7)，限位部件(7)与承载台(4)圆心之间的距离等于放置在该承载段(5)上的硅片(8)的半径。

4.根据权利要求2所述的一种硅片目检旋转载台，其特征在于，承载段(5)上设有限位部件(7)，限位部件(7)能够沿承载段(5)延伸方向滑动，安装段(3)能够沿承载架(6)延伸方向上下滑动。

5.根据权利要求4所述的一种硅片目检旋转载台，其特征在于，承载段(5)上设有第一滑槽(53)，第一滑槽(53)内部安装有与第一滑槽(53)相配合的第一滑块(54)，限位部件(7)底部与第一滑块(54)固定连接；承载架(6)下部侧壁设有第二滑槽(11)，第二滑槽(11)内部设有与第二滑槽(11)配合的第二滑块(10)，安装段(3)一端与第二滑块(10)固定连接。

6.根据权利要求3所述的一种硅片目检旋转载台，其特征在于，底座(1)中心位置开设有转轴孔，转轴孔中内置有转轴，转轴上端连接有支撑平台，承载台(4)放置在支撑平台，支撑平台的半径至少是承载台(4)半径的1/2，底座(1)、支撑平台和承载台(4)同轴设置。

7.根据权利要求3所述的一种硅片目检旋转载台，其特征在于，底座(1)内置有电机和电池，电机与电池电连接，电机输出轴连接承载台(4)。

8.根据权利要求7所述的一种硅片目检旋转载台，其特征在于，固定件为吸盘(21)，安装段(3)上表面为阶梯状，安装段(3)的第二阶梯(32)上安装有吸盘(21)，安装段(3)的第一阶梯(31)高于第二阶梯(32)，第一阶梯(31)与第二阶梯(32)的高度差等于吸盘(21)的厚度，第二阶梯(32)与承载台(4)接触，并通过其上的吸盘(21)固定在承载台(4)上。

9.根据权利要求7所述的一种硅片目检旋转载台，其特征在于，固定件为螺栓(22)，螺栓(22)上端设有防滑垫片。

10.根据权利要求3所述的一种硅片目检旋转载台，其特征在于，承载台(4)为由玻璃制作而成；治具采用特氟龙材料制作而成，承载段(5)和限位部件(7)的边角均为圆角结构，承载架(6)顶部为凸圆弧结构。

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