CN215756753U - 硅片切割液在线循环回收系统 - Google Patents
硅片切割液在线循环回收系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN215756753U CN215756753U CN202022595554.4U CN202022595554U CN215756753U CN 215756753 U CN215756753 U CN 215756753U CN 202022595554 U CN202022595554 U CN 202022595554U CN 215756753 U CN215756753 U CN 215756753U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- tank
- communicated
- filter
- cutting fluid
- way valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 title claims abstract description 41
- 238000004064 recycling Methods 0.000 title claims abstract description 22
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 81
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 58
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 claims abstract description 46
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 31
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 31
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 31
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 23
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims abstract description 22
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 30
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 22
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 17
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 claims description 15
- 239000011550 stock solution Substances 0.000 claims description 13
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 11
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 11
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 8
- 235000015073 liquid stocks Nutrition 0.000 claims description 6
- 230000008676 import Effects 0.000 claims description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 abstract description 2
- 239000010865 sewage Substances 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 2
- 238000010009 beating Methods 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Natural products OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000003912 environmental pollution Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000011897 real-time detection Methods 0.000 description 1
- 239000008237 rinsing water Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种硅片切割液在线循环回收系统，包含有废水收集池，所述废水收集池经泵连通至脏水箱，所述脏水箱经进料泵连通至压滤机，所述压滤机的出液口连通至电动三通阀二的进口，且压滤机的出液口与电动三通阀二的进口之间的管路上安装有浊度仪，上述电动三通阀二的一个出口连通至清液缓冲箱，另一出口连通至脏水箱，所述清液缓冲箱经离心泵和过滤膜组连通至电动三通阀三的进口，电动三通阀三的的一个出口连通至清液存储箱，另一出口经电动三通阀四连通至脏水箱。整个系统采用多级循环净化提高回收所用的切割液的质量且整个回收过程为在线形式，极大的提高了回收效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种在线循环回收系统，尤其是涉及一种在硅片切割过程中对切割液废水进行循环回收利用的系统。
背景技术
目前，光伏/半导体行业在对硅片进行切片操作时,会产生大量的切割液废水，直接排放不但会造成切削液的浪费(成本损失)，而且还会造成环境污染，为此必须进行回收处理。常规的废砂浆回收系统只是简单压滤处理后对切削液进行收集回用，其不但回用质量堪忧，而且整个系统缺乏系统化的布置，效率低下。为此，亟需一种回收质量高且回收效率高的回收系统以解决上述问题。
发明内容
本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种硅片切割液在线循环回收系统，其多级循环净化提高回收所用的切割液的质量且整个回收过程采用在线形式，极大的提高了回收效率。
本实用新型的目的是这样实现的：
一种硅片切割液在线循环回收系统，包含有废水收集池，所述废水收集池经泵连通至脏水箱，所述脏水箱经进料泵连通至压滤机，所述压滤机的出液口连通至电动三通阀二的进口，且压滤机的出液口与电动三通阀二的进口之间的管路上安装有浊度仪，上述电动三通阀二的一个出口连通至清液缓冲箱，另一出口连通至脏水箱，所述清液缓冲箱经离心泵和过滤膜组连通至清液存储箱。
本实用新型一种硅片切割液在线循环回收系统，所述清液存储箱的出液口经两台相互并联的离心泵对外供液，且清液存储箱的出液口与离心泵之间的管路上安装有COD检测仪器。
本实用新型一种硅片切割液在线循环回收系统，所述废水收集池经袋式过滤器后泵入脏水箱。
本实用新型一种硅片切割液在线循环回收系统，所述脏水箱、压滤机和清液缓冲箱分别并联设置有两台。
本实用新型一种硅片切割液在线循环回收系统，所述废水收集池上安装有两台砂浆泵(砂浆泵扬程和流量根据废水进行设计选型，一备一用且每台对应每个管道均可单独工作)将废水输送至脏水箱；同时，在砂浆泵前段安装虹吸桶和止回阀，防止砂浆泵空打，保护砂浆泵。
本实用新型一种硅片切割液在线循环回收系统，废水收集池旁设置有多条延伸至切片机的地沟，且地沟中部以及与废水收集池相连通的尾端均安装有过滤网，地沟由切片机向废水收集池斜向下倾斜设置。
本实用新型一种硅片切割液在线循环回收系统，所述废水收集池上安装有搅拌器、液位计和PH计；
本实用新型一种硅片切割液在线循环回收系统，所述系统还包含有PH 调配系统，包含有酸液调和罐，所述酸液调和罐上安装有搅拌器，所述酸液调和罐上安装有回用水管，该回用水管连通至清液存储箱，所述酸液调和罐上插接有酸液连杆浮球液位计，且酸液调和罐经酸液计量泵连通至废水收集池。
本实用新型一种硅片切割液在线循环回收系统，所述系统还包含有压滤收集液箱，所述清液存储箱的出液口经两台相互并联的离心泵连通至压滤收集液箱，切割液原液桶经原液计量泵连通至压滤收集液箱，纯水箱经纯水计量表连通至压滤收集液箱。
本实用新型一种硅片切割液在线循环回收系统，所述切割液原液桶上插接有连杆浮球液位计；所述压滤收集液箱并联设置有两台。
本实用新型一种硅片切割液在线循环回收系统，所述脏水箱经电动三通阀一和进料泵连通至压滤机的进料口，且电动三通阀一与清液存储箱相连通；所述压滤机的进料口经清洗控制阀连通至脏水箱。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
本实用新型通过脏水箱和压滤机中的循环压滤提高了回收的回用水的质量，且整个回收过程均是在线实现，通过各个部件的连接使得最终作为回用的回用水能够顺利调配后提供和切片机使用；同时，通过PH调配系统保证了废水收集池内的PH保持在酸性状态，这是由于切割废水一般呈弱酸性，如混入碱性废水(如切片机冲洗水、脱胶水等)则废水收集池中废水会呈碱性，当碱性废水进入压滤机中进行压榨时，会导致压滤机板框发热、着火等危险情况；因此本专利系统设计时在废水收集池中安装有实时检测的PH计，对废水收集池中的废水进行实时监控，当废水检测出呈碱性时，通过PH调配系统导入酸性溶液进行调配，从而保证其处于弱酸性状态，避免对压滤机的损伤。
附图说明
图1为本实用新型一种硅片切割液在线循环回收系统的系统框图。
图2为本实用新型一种硅片切割液在线循环回收系统中的切割液自动添加和纯水自动添加系统框图。
图3为本实用新型一种硅片切割液在线循环回收系统中的PH调配系统的框图。
其中：
废水收集池1、脏水箱2、压滤机3、清液缓冲箱4、清液存储箱5、过滤膜组6、清洗控制阀7；
电动三通阀一101、电动三通阀二102、电动三通阀三103、电动三通阀四104；
压滤收集液箱201、切割液原液桶202、纯水箱203、原液计量泵204、纯水计量表205、连杆浮球液位计206；
酸液调和罐301、酸液连杆浮球液位计302、回用水管303、酸液计量泵304。
具体实施方式
参见图1～3，本实用新型涉及的一种硅片切割液在线循环回收系统，包含有废水收集池1，所述废水收集池1经泵连通至脏水箱2，所述脏水箱 2经进料泵连通至压滤机3，所述压滤机3的出液口连通至电动三通阀二 102的进口，且压滤机3的出液口与电动三通阀二102的进口之间的管路上安装有浊度仪，上述电动三通阀二102的一个出口连通至清液缓冲箱4，另一出口连通至脏水箱2，所述清液缓冲箱4经离心泵和过滤膜组6连通至清液存储箱5；
进一步的，所述清液存储箱5的出液口经两台相互并联的离心泵对外供液，且清液存储箱5的出液口与离心泵之间的管路上安装有COD检测仪器，实时检测清液存储箱5内回用水的COD浓度，便于客户添加切割液原液或纯水来保证切割用水品质；
进一步的，所述清液缓冲箱4经离心泵连通至压滤机3的进口；用于对清液缓冲箱4内的回用水进行二次压滤；
进一步的，所述清液缓冲箱4经离心泵和过滤膜组6连通至电动三通阀三103的进口，电动三通阀三103的的一个出口连通至清液存储箱5，另一出口连通至电动三通阀四104的进液口；所述电动三通阀四104的一个出液口连通至脏水箱2，另一出液口连通至污水处理站；
进一步的，所述废水收集池1经袋式过滤器后泵入脏水箱2；优选的，所述废水收集池1和脏水箱2之间的管路上并接有一安全支路，该安全支路经电动阀和提升泵连通至污水处理站，从而当本实用新型系统出现异常时，可有效避免切割废水一直在流入地池后导入废水收集池1外溢到底面上，此时通过该安全支路可方便的将切割废水导入污水处理站进行集中处理。
进一步的，所述脏水箱2、压滤机3和清液缓冲箱4分别并联设置有两台；
进一步的，所述脏水箱2上设置有液位仪，且液位仪与脏水箱2和压滤机3之间的进料泵互锁，从而保护压滤机的进料泵防止进料泵空转，且压滤机的进料泵为变频控制，采取恒压变频。
进一步的，所述废水收集池1上安装有两台砂浆泵(砂浆泵扬程和流量根据废水进行设计选型，一备一用且每台对应每个管道均可单独工作) 将废水输送至脏水箱2；同时，在砂浆泵前段安装虹吸桶和止回阀，防止砂浆泵空打，保护砂浆泵。
进一步的，废水收集池1旁设置有多条延伸至切片机的地沟，且地沟中部以及与废水收集池1相连通的尾端均安装有过滤网，地沟由切片机向废水收集池1斜向下倾斜设置；
进一步的，所述废水收集池1上安装有搅拌器、液位计和PH计；
优选的，所述系统还包含有PH调配系统，包含有酸液调和罐301，所述酸液调和罐301上安装有搅拌器，所述酸液调和罐301上安装有回用水管303，该回用水管303连通至清液存储箱5，所述酸液调和罐301上插接有酸液连杆浮球液位计302，且酸液调和罐301经酸液计量泵304连通至废水收集池1；
优选的，所述酸液调和罐301内的酸液由柠檬酸粉料和经由回用水管 303导入的清水或回用水调和成酸性溶液；
优选的，所述酸液调和罐301上安装有排放阀；
进一步的，所述系统还包含有压滤收集液箱201，所述清液存储箱5 的出液口经两台相互并联的离心泵连通至压滤收集液箱201，切割液原液桶202经原液计量泵204连通至压滤收集液箱201，纯水箱203经纯水计量表205连通至压滤收集液箱201；
进一步的，所述压滤收集液箱201的顶部插接有一溢流管道，该溢流管道的另一端连通至排污地沟；
进一步的，所述切割液原液桶202上安装有排放阀；
优选的，所述切割液原液桶202上插接有连杆浮球液位计206；
优选的，所述压滤收集液箱201并联设置有两台。
进一步的，所述系统还具有清洗功能，如图1所述：
所述脏水箱2经电动三通阀一101和进料泵(其为由变频控制的螺杆泵)连通至压滤机3的进料口，且电动三通阀一101与清液存储箱5相连通；所述压滤机3的进料口经清洗控制阀7连通至脏水箱2；当需要清洗时，通过进料泵从清液存储箱5中抽取清液，随后经电动三通阀一101、进料泵、清洗控制阀7回流至脏水箱2，从而实现了对管路和进料泵的清洗；
另外：需要注意的是，上述具体实施方式仅为本专利的一个优化方案，本领域的技术人员根据上述构思所做的任何改动或改进，均在本专利的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种硅片切割液在线循环回收系统，其特征在于：包含有废水收集池(1)，所述废水收集池(1)经泵连通至脏水箱(2)，所述脏水箱(2)经进料泵连通至压滤机(3)，所述压滤机(3)的出液口连通至电动三通阀二(102)的进口，且压滤机(3)的出液口与电动三通阀二(102)的进口之间的管路上安装有浊度仪，上述电动三通阀二(102)的一个出口连通至清液缓冲箱(4)，另一出口连通至脏水箱(2)，所述清液缓冲箱(4)经离心泵和过滤膜组(6)连通至清液存储箱(5)。
2.如权利要求1所述一种硅片切割液在线循环回收系统，其特征在于：清液存储箱(5)的出液口经两台相互并联的离心泵对外供液，且清液存储箱(5)的出液口与离心泵之间的管路上安装有COD检测仪器。
3.如权利要求1所述一种硅片切割液在线循环回收系统，其特征在于：所述废水收集池(1)经袋式过滤器后泵入脏水箱(2)。
4.如权利要求1所述一种硅片切割液在线循环回收系统，其特征在于：所述脏水箱(2)、压滤机(3)和清液缓冲箱(4)分别并联设置有两台。
5.如权利要求1所述一种硅片切割液在线循环回收系统，其特征在于：所述废水收集池(1)上安装有两台砂浆泵。
6.如权利要求1所述一种硅片切割液在线循环回收系统，其特征在于：废水收集池(1)旁设置有多条延伸至切片机的地沟，且地沟中部以及与废水收集池(1)相连通的尾端均安装有过滤网，地沟由切片机向废水收集池(1)斜向下倾斜设置。
7.如权利要求1所述一种硅片切割液在线循环回收系统，其特征在于：所述废水收集池(1)上安装有搅拌器、液位计和PH计。
8.如权利要求1所述一种硅片切割液在线循环回收系统，其特征在于：所述系统还包含有PH调配系统，包含有酸液调和罐(301)，所述酸液调和罐(301)上安装有搅拌器，所述酸液调和罐(301)上安装有回用水管(303)，该回用水管(303)连通至清液存储箱(5)，所述酸液调和罐(301)上插接有酸液连杆浮球液位计(302)，且酸液调和罐(301)经酸液计量泵(304)连通至废水收集池(1)。
9.如权利要求2所述一种硅片切割液在线循环回收系统，其特征在于：所述系统还包含有压滤收集液箱(201)，所述清液存储箱(5)的出液口经两台相互并联的离心泵连通至压滤收集液箱(201)，切割液原液桶(202)经原液计量泵(204)连通至压滤收集液箱(201)，纯水箱(203)经纯水计量表(205)连通至压滤收集液箱(201)；所述切割液原液桶(202)上插接有连杆浮球液位计(206)；所述压滤收集液箱(201)并联设置有两台。
10.如权利要求1所述一种硅片切割液在线循环回收系统，其特征在于：所述脏水箱(2)经电动三通阀一(101)和进料泵连通至压滤机(3)的进料口，且电动三通阀一(101)与清液存储箱(5)相连通；所述压滤机(3)的进料口经清洗控制阀(7)连通至脏水箱(2)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202022595554.4U CN215756753U (zh) | 2020-11-11 | 2020-11-11 | 硅片切割液在线循环回收系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202022595554.4U CN215756753U (zh) | 2020-11-11 | 2020-11-11 | 硅片切割液在线循环回收系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN215756753U true CN215756753U (zh) | 2022-02-08 |
Family
ID=80070035
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202022595554.4U Active CN215756753U (zh) | 2020-11-11 | 2020-11-11 | 硅片切割液在线循环回收系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN215756753U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115259493A (zh) * | 2022-07-25 | 2022-11-01 | 阳光硅谷电子科技有限公司 | 一种金刚线切片机废水处理装置及其废水处理方法 |
| WO2024244618A1 (zh) * | 2023-05-31 | 2024-12-05 | Tcl中环新能源科技股份有限公司 | 切割液净化系统及净化方法、应用 |
-
2020
- 2020-11-11 CN CN202022595554.4U patent/CN215756753U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115259493A (zh) * | 2022-07-25 | 2022-11-01 | 阳光硅谷电子科技有限公司 | 一种金刚线切片机废水处理装置及其废水处理方法 |
| WO2024244618A1 (zh) * | 2023-05-31 | 2024-12-05 | Tcl中环新能源科技股份有限公司 | 切割液净化系统及净化方法、应用 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN210876527U (zh) | 一种用于硅抛光片清洗机的控制化学液浓度的装置 | |
| CN211999201U (zh) | 一种切割冷却液循环系统及切割系统 | |
| CN215756753U (zh) | 硅片切割液在线循环回收系统 | |
| CN114212927B (zh) | 一种切片废水资源化处理回用装置及方法 | |
| CN111807662A (zh) | 一种在线浓缩的连续流模块化储泥池 | |
| CN117534263A (zh) | 一种可调型溶气气浮池 | |
| CN211570330U (zh) | 一种芬顿气浮物化水处理设备 | |
| CN108164020A (zh) | 一种金刚线切割晶体硅生产线的用水方法及用水系统 | |
| CN203346105U (zh) | 制浆废水的处理装置 | |
| CN216737850U (zh) | 一种切片废水资源化处理回用装置 | |
| CN208633189U (zh) | 一种自溢式全自动废水回收中转供水系统 | |
| CN220364447U (zh) | 一种分段回收一级除盐系统再生废水的装置 | |
| CN216191594U (zh) | 一种高浓度氢氟酸废水预处理系统 | |
| CN211595286U (zh) | 一种物化废水处理设备 | |
| CN212198541U (zh) | 食品行业废水处理用调节池 | |
| CN111420458B (zh) | 碱液专用净化系统 | |
| CN211283963U (zh) | 一种碱减量印染废水预处理系统 | |
| CN113060872A (zh) | 一种污水处理装置及污水处理方法 | |
| CN220642864U (zh) | 一种污泥浓缩系统 | |
| CN206970261U (zh) | 一种气浮机 | |
| CN109081480B (zh) | 一种酸性蚀刻液废水末端处理系统 | |
| CN217264937U (zh) | 一种气浮溶气系统自动清洗装置 | |
| CN222076128U (zh) | 一种切割液循环回收处理系统 | |
| CN214861467U (zh) | 在线大循环系统用加液系统 | |
| CN117566875B (zh) | 一种纤维水泥板废水回收在利用系统和方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of utility model: Wafer cutting fluid online recycling system Effective date of registration: 20220922 Granted publication date: 20220208 Pledgee: Jiangsu Jiangyin Rural Commercial Bank Co.,Ltd. high tech Zone sub branch Pledgor: JIANGYIN DONGWEI RENEWABLE RESOURCES TECHNOLOGY Co.,Ltd. Registration number: Y2022320010539 |
|
| PC01 | Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
| PC01 | Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right |
Date of cancellation: 20231023 Granted publication date: 20220208 Pledgee: Jiangsu Jiangyin Rural Commercial Bank Co.,Ltd. high tech Zone sub branch Pledgor: JIANGYIN DONGWEI RENEWABLE RESOURCES TECHNOLOGY Co.,Ltd. Registration number: Y2022320010539 |
|
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of utility model: An online recycling system for silicon wafer cutting fluid Effective date of registration: 20231025 Granted publication date: 20220208 Pledgee: Jiangsu Jiangyin Rural Commercial Bank Co.,Ltd. high tech Zone sub branch Pledgor: JIANGYIN DONGWEI RENEWABLE RESOURCES TECHNOLOGY Co.,Ltd. Registration number: Y2023980062692 |
|
| PC01 | Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
| PC01 | Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right |
Granted publication date: 20220208 Pledgee: Jiangsu Jiangyin Rural Commercial Bank Co.,Ltd. high tech Zone sub branch Pledgor: JIANGYIN DONGWEI RENEWABLE RESOURCES TECHNOLOGY Co.,Ltd. Registration number: Y2023980062692 |
|
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of utility model: Online recycling system for silicon wafer cutting fluid Granted publication date: 20220208 Pledgee: Jiangsu Jiangyin Rural Commercial Bank Co.,Ltd. high tech Zone sub branch Pledgor: JIANGYIN DONGWEI RENEWABLE RESOURCES TECHNOLOGY Co.,Ltd. Registration number: Y2024980048707 |