CN215742480U - 一种半导体含氦废气收集用净化装置 - Google Patents

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Abstract

本实用新型公开了一种半导体含氦废气收集用净化装置，箱体、隔板、支撑板、安装板、干燥板、第一过滤机构、第二过滤机构、清洁机构，所述隔板、支撑板、安装板、干燥板在箱体内部从下到上依次设置，且隔板、支撑板、安装板、将箱体内部从上到下依次分为第一过滤腔、第二过滤腔、水洗腔，所述水洗腔中盛放有有机溶剂，且水洗腔设置有贯穿箱体的排液管，所述箱体一侧外壁设置有进气管，且箱体顶部设置有出气管。本实用新型中，废气经进气管进入箱体内部，经第一过滤腔初步过滤后再通入第二过滤腔进行除尘操作，将废气中包含的大颗粒杂质与灰尘微粒去除，接着将废气导入水洗腔中通过有机溶剂进行水洗，降低废气排放对环境的影响。

Description

一种半导体含氦废气收集用净化装置
技术领域
本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种半导体含氦废气收集用净化装置。
背景技术
半导体是一种电导率在绝缘体至导体之间的物质，其电导率容易受控制，可作为信息处理的元件材料。从科技或是经济发展的角度来看，半导体非常重要。很多电子产品，如计算机、移动电话、数字录音机的核心单元都是利用半导体的电导率变化来处理信息。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等。
半导体在生产过程中会产生大量废弃，现有技术中，并未对半导体生产过程中产生的废气进行处理，往往直接将废气排放，废弃中包含的污染物以及粉尘等会对环境造成污染，加重环境负担。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种半导体含氦废气收集用净化装置。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种半导体含氦废气收集用净化装置，箱体、隔板、支撑板、安装板、干燥板、第一过滤机构、第二过滤机构、清洁机构，所述隔板、支撑板、安装板、干燥板在箱体内部从下到上依次设置，且隔板、支撑板、安装板、将箱体内部从上到下依次分为第一过滤腔、第二过滤腔、水洗腔，所述水洗腔中盛放有有机溶剂，且水洗腔设置有贯穿箱体的排液管，所述箱体一侧外壁设置有进气管，且箱体顶部设置有出气管，排液管、进气管、出气管均设置有控制阀。
优选的，所述第一过滤机构包括滑动插接于第一过滤腔内壁的安装架、开设于安装架外壁的安装槽、安装于安装槽内壁的过滤网,第一过滤腔顶部内壁一侧设置有通入第二过滤腔内部的连接孔。
优选的，所述第二过滤机构包括焊接于第二过滤腔底部与顶部内壁的电极板、设置于第二过滤腔靠近进气管一侧外壁的通入水洗腔的连接管、安装于连接管外壁的抽气泵、设置于连接管末端的单向进气阀，所述电极板分为阴极板与阳极板，且阴极板与阳极板分别位于第二过滤腔底部与顶部内壁。
优选的，所述水洗腔顶部设置有等距离分布的贯穿安装板的透气孔，且干燥板开设有干燥槽，干燥槽内壁滑动连接有干燥网箱，干燥网箱内部填充有硅胶干燥剂。
优选的，所述清洁机构包括安装于第二过滤腔靠近连接孔一侧内壁的电动伸缩杆、焊接于电动伸缩杆末端的安装块、焊接于安装块顶部与底部外壁的清洁架、粘接于清洁架外壁的清洁垫，清洁垫尺寸与电极板尺寸相适配。
优选的，所述箱体外壁上方与下方均铰接有箱门，且箱门分别与第一过滤腔、第二过滤腔、干燥板相适配，箱门内壁设置有与箱体相适配的密封垫。
本实用新型的有益效果为：
1、本实用新型中，废气经进气管进入箱体内部，经第一过滤腔初步过滤后再通入第二过滤腔进行除尘操作，将废气中包含的大颗粒杂质与灰尘微粒去除，接着将过滤后的废气导入水洗腔中通过有机溶剂进行水洗，将废气中的有害物质去除，相比于传统装置，对废气进行处理，将废气中的有害物质去除，降低废气排放对环境的影响；
2、废气进行进气管进入箱体后，过滤网将废气中的大颗粒灰尘杂质去除，对废气进行初步过滤，接着电极板将废气中的微粒吸附，再次对废气进行净化，净化后的废气进入水洗腔进行水洗，最后经干燥网箱干燥后排出，防止废气直接排放造成环境污染；
3、电动伸缩杆驱动安装块移动从而带动清洁垫对电极板进行清洁，将电极板表面附着的灰尘去除，防止电极板表面灰尘积攒过多影响电极板使用，提高废气过滤效率。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种半导体含氦废气收集用净化装置的箱体结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种半导体含氦废气收集用净化装置的安装架结构示意图；
图3为本实用新型提出的一种半导体含氦废气收集用净化装置的剖面结构示意图。
图中：1箱体、2隔板、3支撑板、4安装板、5干燥板、6第一过滤腔、7第二过滤腔、8水洗腔、9安装架、10过滤网、11电极板、12连接管、13抽气泵、14干燥网箱、15电动伸缩杆、16清洁架、17清洁垫。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-3，一种半导体含氦废气收集用净化装置，箱体1、隔板2、支撑板3、安装板4、干燥板5、第一过滤机构、第二过滤机构、清洁机构，所述隔板2、支撑板3、安装板4、干燥板5在箱体1内部从下到上依次设置，且隔板2、支撑板3、安装板4、将箱体内部从上到下依次分为第一过滤腔6、第二过滤腔7、水洗腔8，所述水洗腔8中盛放有有机溶剂，且水洗腔8设置有贯穿箱体1的排液管，所述箱体1一侧外壁设置有进气管，且箱体1顶部设置有出气管，排液管、进气管、出气管均设置有控制阀，所述箱体1外壁上方与下方均铰接有箱门，且箱门分别与第一过滤腔6、第二过滤腔7、干燥板5相适配，箱门内壁设置有与箱体1相适配的密封垫，废气经进气管进入箱体1内部，经第一过滤腔6初步过滤后再通入第二过滤腔7进行除尘操作，将废气中包含的大颗粒杂质与灰尘微粒去除，接着将过滤后的废气导入水洗腔8中通过有机溶剂进行水洗，将废气中的有害物质去除，相比于传统装置，对废气进行处理，将废气中的有害物质去除，降低废气排放对环境的影响；
所述第一过滤机构包括安装架9、安装槽、过滤网10、连接孔，所述安装架滑动插接于第一过滤腔6内壁，且安装槽开设于安装架9外壁，所述过滤网10安装于安装槽内壁，且连接孔第一过滤腔6顶部内壁一侧，所述第二过滤机构包括电极板11、连接管12、抽气泵13，所述电极板11焊接于第二过滤腔7底部与顶部内壁，且连接管12设置于第二过滤腔7靠近进气管一侧外壁，抽气泵13安装于连接管12外壁，所述连接管12末端设置有的单向进气阀，所述电极板11分为阴极板与阳极板，且阴极板与阳极板分别位于第二过滤腔7底部与顶部内壁，所述水洗腔8顶部设置有等距离分布的贯穿安装板4的透气孔，且干燥板5开设有干燥槽，干燥槽内壁滑动连接有干燥网箱14，干燥网箱14内部填充有硅胶干燥剂，废气进行进气管进入箱体1后，过滤网10将废气中的大颗粒灰尘杂质去除，对废气进行初步过滤，接着电极板11将废气中的微粒吸附，再次对废气进行净化，净化后的废气进入水洗腔8进行水洗，最后经干燥网箱14干燥后排出，防止废气直接排放造成环境污染；
所述清洁机构包括电动伸缩杆15、安装块、清洁架16、清洁垫17，所述电动伸缩杆15安装于第二过滤腔7一侧内壁，且安装块焊接于电动伸缩杆15末端，所述清洁架16焊接于安装块顶部与底部外壁，且清洁垫17粘接于清洁架16外壁，清洁垫17尺寸与电极板11尺寸相适配，电动伸缩杆15驱动安装块移动从而带动清洁垫17对电极板11进行清洁，将电极板11表面附着的灰尘去除，防止电极板11表面灰尘积攒过多影响电极板11使用，提高废气过滤效率。
工作原理：本实用新型中，废气经进气管进入箱体1内部，经第一过滤腔6初步过滤后再通入第二过滤腔7进行除尘操作，将废气中包含的大颗粒杂质与灰尘微粒去除，接着将过滤后的废气导入水洗腔8中通过有机溶剂进行水洗，将废气中的有害物质去除，相比于传统装置，对废气进行处理，将废气中的有害物质去除，降低废气排放对环境的影响，废气进行进气管进入箱体1后，过滤网10将废气中的大颗粒灰尘杂质去除，对废气进行初步过滤，接着电极板11将废气中的微粒吸附，再次对废气进行净化，净化后的废气进入水洗腔8进行水洗，最后经干燥网箱14干燥后排出，防止废气直接排放造成环境污染，电动伸缩杆15驱动安装块移动从而带动清洁垫17对电极板11进行清洁，将电极板11表面附着的灰尘去除，防止电极板11表面灰尘积攒过多影响电极板11使用，提高废气过滤效率。
本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种半导体含氦废气收集用净化装置，箱体(1)、隔板(2)、支撑板(3)、安装板(4)、干燥板(5)、第一过滤机构、第二过滤机构、清洁机构，其特征在于，所述隔板(2)、支撑板(3)、安装板(4)、干燥板(5)在箱体(1)内部从下到上依次设置，且隔板(2)、支撑板(3)、安装板(4)、将箱体内部从上到下依次分为第一过滤腔(6)、第二过滤腔(7)、水洗腔(8)，所述水洗腔(8)中盛放有有机溶剂，且水洗腔(8)设置有贯穿箱体(1)的排液管，所述箱体(1)一侧外壁设置有进气管，且箱体(1)顶部设置有出气管，排液管、进气管、出气管均设置有控制阀。
2.根据权利要求1所述的一种半导体含氦废气收集用净化装置，其特征在于，所述第一过滤机构包括滑动插接于第一过滤腔(6)内壁的安装架(9)、开设于安装架(9)外壁的安装槽、安装于安装槽内壁的过滤网(10),第一过滤腔(6)顶部内壁一侧设置有通入第二过滤腔(7)内部的连接孔。
3.根据权利要求1所述的一种半导体含氦废气收集用净化装置，其特征在于，所述第二过滤机构包括焊接于第二过滤腔(7)底部与顶部内壁的电极板(11)、设置于第二过滤腔(7)靠近进气管一侧外壁的通入水洗腔(8)的连接管(12)、安装于连接管(12)外壁的抽气泵(13)、设置于连接管(12)末端的单向进气阀，所述电极板(11)分为阴极板与阳极板，且阴极板与阳极板分别位于第二过滤腔(7)底部与顶部内壁。
4.根据权利要求1所述的一种半导体含氦废气收集用净化装置，其特征在于，所述水洗腔(8)顶部设置有等距离分布的贯穿安装板(4)的透气孔，且干燥板(5)开设有干燥槽，干燥槽内壁滑动连接有干燥网箱(14)，干燥网箱(14)内部填充有硅胶干燥剂。
5.根据权利要求1所述的一种半导体含氦废气收集用净化装置，其特征在于，所述清洁机构包括安装于第二过滤腔(7)靠近连接孔一侧内壁的电动伸缩杆(15)、焊接于电动伸缩杆(15)末端的安装块、焊接于安装块顶部与底部外壁的清洁架(16)、粘接于清洁架(16)外壁的清洁垫(17)，清洁垫(17)尺寸与电极板(11)尺寸相适配。
6.根据权利要求1所述的一种半导体含氦废气收集用净化装置，其特征在于，所述箱体(1)外壁上方与下方均铰接有箱门，且箱门分别与第一过滤腔(6)、第二过滤腔(7)、干燥板(5)相适配，箱门内壁设置有与箱体(1)相适配的密封垫。
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