CN215365989U - 一种衬板镀锅浸泡剥离装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种衬板镀锅浸泡剥离装置，属于贵金属清洗回收技术领域，包括右浸泡槽和剥离槽，所述右浸泡槽的一侧设置有剥离槽，所述剥离槽的内部设置有格栅滤网，所述剥离槽的底端设置有气动泵，所述剥离槽远离右浸泡槽的一侧设置有左浸泡槽，所述左浸泡槽的内部设置有加热管；本实用新型通过设置加热管对浸泡槽中的溶液进行加热，提高反应效率，保证工作质量，设置有进气导管通入压缩空气对溶液进行搅拌，实现半自动控制，提高贵金属脱离效率，设置有气动泵对溶液进行转移，避免了人工捞取贵金属物料缺陷的出现，提高取出的便利性，提高贵金属的回收效率，降低工作成本，保证工作质量。
Description
技术领域
本实用新型属于贵金属清洗回收技术领域，具体涉及一种衬板镀锅浸泡剥离装置。
背景技术
半导体制造中存在大量含贵金属镀层的设备基件，如衬板、镀锅等，需要对其中的贵金属进行回收利用，同时基材设备可返回半导体制造行业进行再使用。衬板镀锅上的贵金属镀层的分离需要通过药剂浸泡、剥离等工序，因此涉及一种适用于该基件的方便实用的浸泡剥离设备
现有技术存在以下问题：现有的半导体制造中存在大量含贵金属镀层的设备基件，且难以对贵金属进行回收利用，在回收过程中又无法对溶液进行循环利用，回收成本高，工作效率低，浪费人力资源，贵金属损失多，收集不够方便。
实用新型内容
为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种衬板镀锅浸泡剥离装置，具有工作方便，可循环使用的特点。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种衬板镀锅浸泡剥离装置，包括右浸泡槽和剥离槽，所述右浸泡槽的一侧设置有剥离槽，所述剥离槽的内部设置有格栅滤网，所述剥离槽的底端设置有气动泵，所述剥离槽远离右浸泡槽的一侧设置有左浸泡槽，所述左浸泡槽的内部设置有加热管。
优选的，所述左浸泡槽的侧壁表面设置有进气导管。
优选的，所述剥离槽的底端表面设置有出料斗。
优选的，所述右浸泡槽和左浸泡槽相互靠近的表面对应气动泵设置有阀门接口。
优选的，所述出料斗的底端设置有止水阀。
优选的，所述右浸泡槽和左浸泡槽的内部侧壁表面均设置有加热管。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
本实用新型通过设置加热管对浸泡槽中的溶液进行加热，提高反应效率，保证工作质量，设置有进气导管通入压缩空气对溶液进行搅拌，实现半自动控制，提高贵金属脱离效率，设置有气动泵对溶液进行转移，避免了人工捞取贵金属物料缺陷的出现，提高取出的便利性，设置有剥离槽对衬板镀锅进行二次处理，提高贵金属的回收效率，降低工作成本，保证工作质量。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的结构俯视图；
图3为本实用新型的剥离槽结构示意图。
图中：1、右浸泡槽；2、剥离槽；3、格栅滤网；4、进气导管；5、左浸泡槽；6、加热管；7、气动泵；8、出料斗。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，本实用新型提供以下技术方案：一种衬板镀锅浸泡剥离装置，包括右浸泡槽1和剥离槽2，右浸泡槽1的一侧设置有剥离槽2，剥离槽2的内部设置有格栅滤网3，剥离槽2的底端设置有气动泵7，剥离槽2远离右浸泡槽1的一侧设置有左浸泡槽5，左浸泡槽5的内部设置有加热管6，在进行浸泡工作时，在左浸泡槽5内部配置药剂，然后将含贵金属衬板镀层的衬板镀锅等放入左浸泡槽5中，然后调节加热管6对水温进行控制，并通过进气导管4通入压缩空气，提高浸泡效果，在浸泡工作完成后，有贵金属未完全脱离的基件放置于剥离槽2中，左浸泡槽5中的液体通过气动泵7抽滤到右浸泡槽1中进行备用，可供下一批衬板镀锅料重复使用；未脱离完的基件在剥离槽2中进行人工剥离之后，进行冲洗，剥离下来的贵金属物料直接在格栅滤网3上收集，冲洗水从出料斗8中放出。
具体的，左浸泡槽5的侧壁表面设置有进气导管4。
通过采用上述技术方案，进气导管4通入压缩空气搅拌液体，加快贵金属镀层的脱落。
具体的，剥离槽2的底端表面设置有出料斗8。
通过采用上述技术方案，提高冲洗水排放的集中性。
具体的，右浸泡槽1和左浸泡槽5相互靠近的表面对应气动泵7设置有阀门接口。
通过采用上述技术方案，保证溶液转移的效率。
具体的，出料斗8的底端设置有止水阀。
通过采用上述技术方案，便于对冲洗水进行控制回收。
具体的，右浸泡槽1和左浸泡槽5的内部侧壁表面均设置有加热管6。
通过采用上述技术方案，提高浸泡效率，保证工作质量。
本实用新型的工作原理及使用流程：本实用新型在进行浸泡工作时，在左浸泡槽5内部配置药剂，然后将含贵金属衬板镀层的衬板镀锅等放入左浸泡槽5中，然后调节加热管6对水温进行控制，并通过进气导管4通入压缩空气，提高浸泡效果，在浸泡工作完成后，有贵金属未完全脱离的基件放置于剥离槽2中，左浸泡槽5中的液体通过气动泵7抽滤到右浸泡槽1中进行备用，可供下一批衬板镀锅料重复使用；未脱离完的基件在剥离槽2中进行人工剥离之后，进行冲洗，剥离下来的贵金属物料直接在格栅滤网3上收集，冲洗水从出料斗8中放出。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种衬板镀锅浸泡剥离装置，包括右浸泡槽(1)和剥离槽(2)，其特征在于：所述右浸泡槽(1)的一侧设置有剥离槽(2)，所述剥离槽(2)的内部设置有格栅滤网(3)，所述剥离槽(2)的底端设置有气动泵(7)，所述剥离槽(2)远离右浸泡槽(1)的一侧设置有左浸泡槽(5)，所述左浸泡槽(5)的内部设置有加热管(6)。
2.根据权利要求1所述的一种衬板镀锅浸泡剥离装置，其特征在于：所述左浸泡槽(5)的侧壁表面设置有进气导管(4)。
3.根据权利要求1所述的一种衬板镀锅浸泡剥离装置，其特征在于：所述剥离槽(2)的底端表面设置有出料斗(8)。
4.根据权利要求1所述的一种衬板镀锅浸泡剥离装置，其特征在于：所述右浸泡槽(1)和左浸泡槽(5)相互靠近的表面对应气动泵(7)设置有阀门接口。
5.根据权利要求3所述的一种衬板镀锅浸泡剥离装置，其特征在于：所述出料斗(8)的底端设置有止水阀。
6.根据权利要求1所述的一种衬板镀锅浸泡剥离装置，其特征在于：所述右浸泡槽(1)和左浸泡槽(5)的内部侧壁表面均设置有加热管(6)。
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