CN215240151U - 芯片研磨机的研磨液喷液装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种芯片研磨机的研磨液喷液装置，包括箱体、电机一、下研磨盘、顶板、液压缸、连接板、电机二、从动轴、输液泵和上研磨盘，其特征在于：所述的箱体顶部设置有立柱、排污槽，所述的电机一设置在箱体内底部，所述的下研磨盘安装在传动轴一上，所述的顶板设置在立柱上，所述的液压缸设置在顶板上，所述的连接板通过连接杆与活塞杆连接，所述的电机二设置在连接板上，所述的从动轴竖向穿过轴承二，所述的输液泵设置在连接板上，所述的上研磨盘通过安装环安装在从动轴上。本实用新型在排污槽内放置过滤板，通过过滤板能够对流入到排污槽内的研磨液进行初步过滤处理，避免大颗粒的杂质从排污管进入到箱体内，提高研磨液的过滤效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及芯片研磨机技术领域，具体是涉及一种芯片研磨机的研磨液喷液装置。
背景技术
研磨机作为一种抛光、磨光设备在机械加工中广泛使用，在精密机械零件的加工过程中，为了降低工件的研磨抛光难度，多会采用研磨液喷洒到工件研磨表面对工件进行研磨处理。如申请号为202021726513.8的专利一种研磨抛光机的研磨液上料机构，其解决了研磨液易发生沉淀的问题，但其存在着不能对使用后的研磨液进行回收处理、研磨液浪费较多、研磨液喷洒效果不佳的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是针对现有芯片研磨机的研磨液上料机构存在的不能对使用后的研磨液进行回收处理、研磨液浪费较多、研磨液喷洒效果不佳的问题，提供一种结构设计合理、能对使用后的研磨液进行回收处理、研磨液浪费少、研磨液喷洒效果好的芯片研磨机的研磨液喷液装置。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种芯片研磨机的研磨液喷液装置，包括箱体、电机一、下研磨盘、顶板、液压缸、连接板、电机二、从动轴、输液泵和上研磨盘，其特征在于：所述的箱体顶部设置有立柱、排污槽，并在排污槽上设置有轴承一，所述的电机一设置在箱体内底部，在电机一上设置有传动轴一，并将传动轴一竖向穿过轴承一，所述的下研磨盘安装在传动轴一上，电机一带动传动轴一及下研磨盘旋转，使下研磨盘对芯片底部进行研磨处理，所述的顶板设置在立柱上，所述的液压缸设置在顶板上，在液压缸上设置有活塞杆，将活塞杆从顶板下方竖向穿出，并在活塞杆上设置有连接杆，所述的连接板通过连接杆与活塞杆连接，并在连接板上设置有轴承二，所述的电机二设置在连接板上，在电机二上设置有传动轴二，并在传动轴二上设置有主动轮，所述的从动轴竖向穿过轴承二，在从动轴顶部设置有从动轴，并将从动轮通过皮带与主动轮连接，所述的输液泵设置在连接板上，并在输液泵上设置有输液管，所述的上研磨盘通过安装环安装在从动轴上，液压缸、活塞杆推动连接板上下移动，使连接板带动电机二、从动轴、输液泵、上研磨盘上下移动，使上研磨盘对芯片顶部进行研磨处理，实现了对芯片底部、顶部同时进行研磨处理，提高了芯片的研磨效率，增强芯片的研磨质量。
优选地，所述的箱体上的排污槽底部设置有排污管，并将排污管从箱体侧壁伸出，喷洒出的研磨液喷洒到芯片表面，既能降低芯片的研磨难度，也能提高芯片的研磨精度，研磨液携带芯片研磨过程中产生的碎屑流入到排污槽内，并经过排污管排出，便于对使用后的研磨液进行收集处理，使处理后的研磨液能够循环使用，减少了研磨液的浪费，
优选地，所述的从动轴设置为中空结构，将输液管插入从动轴顶端，输液泵通过输液管将研磨液输送到中空的从动轴内，研磨液进入到上研磨盘的内腔中，并经过排液孔排出，对研磨过程中的芯片喷洒研磨液，既能降低芯片的研磨难度，也能提高芯片的研磨精度。
优选地，所述的从动轴与输液管之间设置有密封环，通过密封环既能提高从动轴与输液管之间的密封性，又能够使从动轴围绕输液管旋转，提高研磨液的喷液效率，减少研磨液的浪费。
优选地，所述的上研磨盘内设置有内腔，将内腔与中空的从动轴连通，在上研磨盘表面设置有研磨槽，在研磨槽内设置有排液孔，并将排液孔与内腔连通，将输液管插入从动轴顶端，输液泵通过输液管将研磨液输送到中空的从动轴内，研磨液进入到上研磨盘的内腔中，并经过排液孔排出，对研磨过程中的芯片喷洒研磨液，既能降低芯片的研磨难度，也能提高芯片的研磨精度，在研磨槽内设置有排液孔，使上研磨盘在旋转过程中能够喷洒出研磨液，提高研磨液喷洒均匀性，进而提高芯片的研磨质量。
优选地，所述的上研磨盘通过安装环设置为可在从动轴上更换的结构，将安装环与从动轴之间通过螺纹连接，提高上研磨盘在从动轴上的安装或更换效率，增强上研磨盘在从动轴上的稳定性，根据芯片的研磨要求不同，选择相应的上研磨盘，不仅提高了芯片的研磨质量，也能扩大研磨机的适用范围，降低制造多套研磨机的成本。
有益效果：本实用新型在上研磨盘内设置有内腔，将内腔与中空的从动轴连通，在上研磨盘表面设置有研磨槽，在研磨槽内设置有排液孔，并将排液孔与内腔连通，将输液管插入从动轴顶端，输液泵通过输液管将研磨液输送到中空的从动轴内，研磨液进入到上研磨盘的内腔中，并经过排液孔排出，对研磨过程中的芯片喷洒研磨液，既能降低芯片的研磨难度，也能提高芯片的研磨精度。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为本实用新型的部分结构示意图，示意箱体与排污槽的连接结构。
图3为本实用新型的部分结构示意图，示意从动轴与上研磨盘的连接结构。
图4为本实用新型的部分结构示意图，示意从动轴与输液管的连接结构。
图5为本实用新型的部分结构示意图，示意上研磨盘与排液孔的连接结构。
图6为本实用新型的另一种实施结构示意图。
图中：1.箱体、2.电机一、3.下研磨盘、4.顶板、5.液压缸、6.连接板、7.电机二、8.从动轴、9.输液泵、10.上研磨盘、11.立柱、12.排污槽、13.排污管、14.轴承一、15.传动轴一、16.活塞杆、17.轴承二、18.传动轴二、19.主动轮、20.从动轮、21.皮带、22.输液管、23.密封环、24.安装环、25.内腔、26.研磨槽、27.排液孔、28.连接杆、29.限位环。
具体实施方式
以下将结合附图对本实用新型进行较为详细的说明。
实施例一：
如附图1-5所示：一种芯片研磨机的研磨液喷液装置，包括箱体1、电机一2、下研磨盘3、顶板4、液压缸5、连接板6、电机二7、从动轴8、输液泵9和上研磨盘10，其特征在于：所述的箱体1顶部设置有立柱11、排污槽12，并在排污槽12上设置有轴承一14，所述的电机一2设置在箱体1内底部，在电机一2上设置有传动轴一15，并将传动轴一15竖向穿过轴承一14，所述的下研磨盘3安装在传动轴一15上，电机一2带动传动轴一15及下研磨盘3旋转，使下研磨盘3对芯片底部进行研磨处理，所述的顶板4设置在立柱11上，所述的液压缸5设置在顶板4上，在液压缸5上设置有活塞杆16，将活塞杆16从顶板4下方竖向穿出，并在活塞杆16上设置有连接杆28，所述的连接板6通过连接杆28与活塞杆16连接，并在连接板6上设置有轴承二17，所述的电机二7设置在连接板6上，在电机二7上设置有传动轴二18，并在传动轴二18上设置有主动轮19，所述的从动轴8竖向穿过轴承二17，在从动轴8顶部设置有从动轴8，并将从动轮20通过皮带21与主动轮19连接，所述的输液泵9设置在连接板6上，并在输液泵9上设置有输液管22，所述的上研磨盘10通过安装环24安装在从动轴8上，液压缸5、活塞杆16推动连接板6上下移动，使连接板6带动电机二7、从动轴8、输液泵9、上研磨盘10上下移动，使上研磨盘10对芯片顶部进行研磨处理，实现了对芯片底部、顶部同时进行研磨处理，提高了芯片的研磨效率，增强芯片的研磨质量。
优选地，所述的箱体1上的排污槽12底部设置有排污管13，并将排污管13从箱体1侧壁伸出，喷洒出的研磨液喷洒到芯片表面，既能降低芯片的研磨难度，也能提高芯片的研磨精度，研磨液携带芯片研磨过程中产生的碎屑流入到排污槽12内，并经过排污管13排出，便于对使用后的研磨液进行收集处理，使处理后的研磨液能够循环使用，减少了研磨液的浪费，
优选地，所述的从动轴8设置为中空结构，将输液管22插入从动轴8顶端，输液泵9通过输液管22将研磨液输送到中空的从动轴8内，研磨液进入到上研磨盘10的内腔25中，并经过排液孔27排出，对研磨过程中的芯片喷洒研磨液，既能降低芯片的研磨难度，也能提高芯片的研磨精度。
优选地，所述的从动轴8与输液管22之间设置有密封环23，通过密封环23既能提高从动轴8与输液管22之间的密封性，又能够使从动轴8围绕输液管22旋转，提高研磨液的喷液效率，减少研磨液的浪费。
优选地，所述的上研磨盘10内设置有内腔25，将内腔25与中空的从动轴8连通，在上研磨盘10表面设置有研磨槽26，在研磨槽26内设置有排液孔27，并将排液孔27与内腔25连通，将输液管22插入从动轴8顶端，输液泵9通过输液管22将研磨液输送到中空的从动轴8内，研磨液进入到上研磨盘10的内腔25中，并经过排液孔27排出，对研磨过程中的芯片喷洒研磨液，既能降低芯片的研磨难度，也能提高芯片的研磨精度。
优选地，所述的上研磨盘10通过安装环24设置为可在从动轴8上更换的结构，将安装环24与从动轴8之间通过螺纹连接，提高上研磨盘10在从动轴8上的安装或更换效率，增强上研磨盘10在从动轴8上的稳定性，根据芯片的研磨要求不同，选择相应的上研磨盘10，不仅提高了芯片的研磨质量，也能扩大研磨机的适用范围，降低制造多套研磨机的成本。
实施例二：
如附图6所示：一种芯片研磨机的研磨液喷液装置，包括箱体1、电机一2、下研磨盘3、顶板4、液压缸5、连接板6、电机二7、从动轴8、输液泵9和上研磨盘10，其特征在于：所述的箱体1顶部设置有立柱11、排污槽12，并在排污槽12上设置有轴承一14，所述的电机一2设置在箱体1内底部，在电机一2上设置有传动轴一15，并将传动轴一15竖向穿过轴承一14，所述的下研磨盘3安装在传动轴一15上，电机一2带动传动轴一15及下研磨盘3旋转，使下研磨盘3对芯片底部进行研磨处理，所述的顶板4设置在立柱11上，所述的液压缸5设置在顶板4上，在液压缸5上设置有活塞杆16，将活塞杆16从顶板4下方竖向穿出，并在活塞杆16上设置有连接杆28，所述的连接板6通过连接杆28与活塞杆16连接，并在连接板6上设置有轴承二17，所述的电机二7设置在连接板6上，在电机二7上设置有传动轴二18，并在传动轴二18上设置有主动轮19，所述的从动轴8竖向穿过轴承二17，在从动轴8顶部设置有从动轴8，并将从动轮20通过皮带21与主动轮19连接，所述的输液泵9设置在连接板6上，并在输液泵9上设置有输液管22，所述的上研磨盘10通过安装环24安装在从动轴8上，液压缸5、活塞杆16推动连接板6上下移动，使连接板6带动电机二7、从动轴8、输液泵9、上研磨盘10上下移动，使上研磨盘10对芯片顶部进行研磨处理，实现了对芯片底部、顶部同时进行研磨处理，提高了芯片的研磨效率，增强芯片的研磨质量。
优选地，所述的箱体1上的排污槽12底部设置有排污管13，并将排污管13从箱体1侧壁伸出，喷洒出的研磨液喷洒到芯片表面，既能降低芯片的研磨难度，也能提高芯片的研磨精度，研磨液携带芯片研磨过程中产生的碎屑流入到排污槽12内，并经过排污管13排出，便于对使用后的研磨液进行收集处理，使处理后的研磨液能够循环使用，减少了研磨液的浪费，
优选地，所述的从动轴8设置为中空结构，将输液管22插入从动轴8顶端，输液泵9通过输液管22将研磨液输送到中空的从动轴8内，研磨液进入到上研磨盘10的内腔25中，并经过排液孔27排出，对研磨过程中的芯片喷洒研磨液，既能降低芯片的研磨难度，也能提高芯片的研磨精度。
优选地，所述的从动轴8与输液管22之间设置有密封环23，通过密封环23既能提高从动轴8与输液管22之间的密封性，又能够使从动轴8围绕输液管22旋转，提高研磨液的喷液效率，减少研磨液的浪费。
优选地，所述的上研磨盘10内设置有内腔25，将内腔25与中空的从动轴8连通，在上研磨盘10表面设置有研磨槽26，在研磨槽26内设置有排液孔27，并将排液孔27与内腔25连通，将输液管22插入从动轴8顶端，输液泵9通过输液管22将研磨液输送到中空的从动轴8内，研磨液进入到上研磨盘10的内腔25中，并经过排液孔27排出，对研磨过程中的芯片喷洒研磨液，既能降低芯片的研磨难度，也能提高芯片的研磨精度。
优选地，所述的上研磨盘10通过安装环24设置为可在从动轴8上更换的结构，将安装环24与从动轴8之间通过螺纹连接，提高上研磨盘10在从动轴8上的安装或更换效率，增强上研磨盘10在从动轴8上的稳定性，根据芯片的研磨要求不同，选择相应的上研磨盘10，不仅提高了芯片的研磨质量，也能扩大研磨机的适用范围，降低制造多套研磨机的成本。
优选地，所述的连接板6上设置有限位环29，并将立柱11竖向穿过限位环29，连接板6在液压缸5、活塞杆16的作用下竖向移动，通过限位环29能够对上下移动过程中的连接板6起到限位作用，避免连接板6发生晃动，提高上研磨盘10对芯片研磨过程中的稳定性，进而提高芯片的研磨质量。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
本实用新型未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现。
Claims (6)
1.一种芯片研磨机的研磨液喷液装置，包括箱体、电机一、下研磨盘、顶板、液压缸、连接板、电机二、从动轴、输液泵和上研磨盘，其特征在于：所述的箱体顶部设置有立柱、排污槽，并在排污槽上设置有轴承一，所述的电机一设置在箱体内底部，在电机一上设置有传动轴一，并将传动轴一竖向穿过轴承一，所述的下研磨盘安装在传动轴一上，所述的顶板设置在立柱上，所述的液压缸设置在顶板上，在液压缸上设置有活塞杆，将活塞杆从顶板下方竖向穿出，并在活塞杆上设置有连接杆，所述的连接板通过连接杆与活塞杆连接，并在连接板上设置有轴承二，所述的电机二设置在连接板上，在电机二上设置有传动轴二，并在传动轴二上设置有主动轮，所述的从动轴竖向穿过轴承二，在从动轴顶部设置有从动轴，并将从动轮通过皮带与主动轮连接，所述的输液泵设置在连接板上，并在输液泵上设置有输液管，所述的上研磨盘通过安装环安装在从动轴上。
2.如权利要求1所述的芯片研磨机的研磨液喷液装置，其特征在于：所述的箱体上的排污槽底部设置有排污管，并将排污管从箱体侧壁伸出。
3.如权利要求1所述的芯片研磨机的研磨液喷液装置，其特征在于：所述的从动轴设置为中空结构，将输液管插入从动轴顶端。
4.如权利要求1或3所述的芯片研磨机的研磨液喷液装置，其特征在于：所述的从动轴与输液管之间设置有密封环。
5.如权利要求1所述的芯片研磨机的研磨液喷液装置，其特征在于：所述的上研磨盘内设置有内腔，将内腔与中空的从动轴连通，在上研磨盘表面设置有研磨槽，在研磨槽内设置有排液孔，并将排液孔与内腔连通。
6.如权利要求1或5所述的芯片研磨机的研磨液喷液装置，其特征在于：所述的上研磨盘通过安装环设置为可在从动轴上更换的结构。
Priority Applications (1)
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