CN214703373U - 一种方便移动的晶圆检查机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种方便移动的晶圆检查机，包括底座，底座上设有承台箱，承台箱上固定安装有箱体，箱体上固定安装有气缸，气缸活塞杆端固定安装有机箱，机箱内固定安装有第一电机，第一电机转轴端固定连接有条形盒，条形盒内固定安装有第二电机，第二电机转轴端固定连接有丝杆，丝杆上螺纹连接有连杆，连杆的一端设有检测探头和照明灯，底座上螺纹连接有螺纹杆。通过设置有第一电机，起到转动条形盒方位的目的，利于检查晶圆的外表面，配合第二电机和丝杆，便于移动检测探头，达到对晶圆全方位检测的目的，通过设置有照明灯，利于晶圆的检查。

Description

一种方便移动的晶圆检查机

技术领域

本实用新型属于晶圆检查机技术领域，具体为一种方便移动的晶圆检查机。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。

目前，现有的晶圆检查机，在使用时，对晶圆外观进行检查时，不能有效全方位对晶圆表面进行查看，检查效率较低，且在晶圆检查机使用位置要求较高，地面需要平整，无坑洼，否则晶圆检查机一角会出现悬空，影响使用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种方便移动的晶圆检查机，以解决现有晶圆检查机检查不够全面，且使用位置要求较高的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种方便移动的晶圆检查机，包括底座，所述底座上设有承台箱，所述承台箱上固定安装有箱体，所述箱体上固定安装有气缸，气缸的型号为SC100，通过设置有气缸，起到升降机箱的目的，所述气缸活塞杆端固定安装有机箱，通过设置有机箱，起到保护第一电机的目的，所述机箱内固定安装有第一电机，第一电机的型号为 TCB8024 B3，通过设置有第一电机，起到带动条形盒转动的目的，所述第一电机转轴端固定连接有条形盒，条形盒底端为开放空间，所述条形盒内固定安装有第二电机，第二电机的型号为5IK90GN-YF，第二电机具有正反功能，所述第二电机转轴端固定连接有丝杆，丝杆的另一端通过轴承与条形盒内壁连接，所述丝杆上螺纹连接有连杆，连杆在条形盒内滑动，所述连杆的一端设有检测探头和照明灯，照明灯的型号为XX3008-D48，通过设置有照明灯，起到提供光线照明的目的，配合检测探头，便于对晶圆进行检测，所述底座上螺纹连接有螺纹杆，螺纹杆的设置，在晶圆检查机一角出现悬空时，起到支撑的作用，利于保持晶圆检查机的稳定。

优选的，所述箱体的表面设有箱门，所述箱门上设有门把，通过设置带有门把的箱门，便于打开箱体。

优选的，所述箱体侧面设有显示器，所述螺纹杆的个数为四个，四个螺纹杆分别设置于晶圆检查机的四个角。

优选的，所述螺纹杆的底端设有圆箱，所述圆箱底端设有缓冲橡胶，通过设置带有缓冲橡胶的圆箱，使得晶圆检查机与地面接触稳定。

优选的，所述螺纹杆的顶端固定安装有把手，所述把手的个数为四个，通过设置有把手，便于转动螺纹杆。

优选的，所述螺纹杆的底端固定安装有转盘，所述转盘在圆箱内转动，通过设置有转盘，起到承接螺纹杆转动的目的。

优选的，所述底座的表面设有万向轮，所述万向轮的个数为四个，通过设置有万向轮，便于移动晶圆检查机。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过设置有第一电机，起到转动条形盒方位的目的，利于检查晶圆的外表面，配合第二电机和丝杆，便于移动检测探头，达到对晶圆全方位检测的目的，通过设置有照明灯，利于晶圆的检查，通过设置有螺纹杆，螺纹杆位于晶圆检查机的四角，在晶圆检查机一角出现悬空时，起到支撑的作用，利于保持晶圆检查机的稳定，起到提高晶圆检查机适用性的目的，利于适用不同地形。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的箱体剖面图；

图3为本实用新型的圆箱示意图。

图中：1、底座；2、把手；3、螺纹杆；4、转盘；5、万向轮；6、连杆； 7、圆箱；8、显示器；9、箱体；10、气缸；11、箱门；12、条形盒；13、承台箱；14、机箱；15、第一电机；16、第二电机；17、丝杆；18、检测探头； 19、照明灯。

具体实施方式

请参阅图1和图2，一种方便移动的晶圆检查机，包括底座1，底座1上设有承台箱13，承台箱13上固定安装有箱体9，箱体9上固定安装有气缸10，气缸10的型号为SC100，通过设置有气缸10，起到升降机箱14的目的，气缸10活塞杆端固定安装有机箱14，通过设置有机箱14，起到保护第一电机 15的目的，机箱14内固定安装有第一电机15，第一电机15的型号为TCB8024 B3，通过设置有第一电机15，起到带动条形盒12转动的目的，第一电机15 转轴端固定连接有条形盒12，条形盒12底端为开放空间，条形盒12内固定安装有第二电机16，第二电机16的型号为5IK90GN-YF，第二电机16具有正反功能，第二电机16转轴端固定连接有丝杆17，丝杆17的另一端通过轴承与条形盒12内壁连接，丝杆17上螺纹连接有连杆6，连杆6在条形盒12内滑动，连杆6的一端设有检测探头18和照明灯19，照明灯19的型号为 XX3008-D48，通过设置有照明灯19，起到提供光线照明的目的，配合检测探头18，便于对晶圆进行检测，底座1上螺纹连接有螺纹杆3，螺纹杆3的设置，在晶圆检查机一角出现悬空时，起到支撑的作用，利于保持晶圆检查机的稳定。

请参阅图1，箱体9的表面设有箱门11，箱门11上设有门把，通过设置带有门把的箱门11，便于打开箱体9。

请参阅图1，箱体9侧面设有显示器8，螺纹杆3的个数为四个，四个螺纹杆3分别设置于晶圆检查机的四个角。

请参阅图1和图3，螺纹杆3的底端设有圆箱7，圆箱7底端设有缓冲橡胶，通过设置带有缓冲橡胶的圆箱7，使得晶圆检查机与地面接触稳定。

请参阅图1，螺纹杆3的顶端固定安装有把手2，把手2的个数为四个，通过设置有把手2，便于转动螺纹杆3。

请参阅图1和图3，螺纹杆3的底端固定安装有转盘4，转盘4在圆箱7 内转动，通过设置有转盘4，起到承接螺纹杆3转动的目的。

请参阅图1，底座1的表面设有万向轮5，万向轮5的型号为JJ115，万向轮5的个数为四个，通过设置有万向轮5，便于移动晶圆检查机。

本方案的工作原理是：当晶圆检查机使用时，通过底座1设有万向轮5，将晶圆检查机移动到指定位置，然后将其固定，然后查看晶圆检查机的四个万向轮5是否与地面接触密实，若出现万向轮5悬空时，转动相依处的把手2，把手2将带动螺纹杆3转动，螺纹杆3将带动圆箱7下移，直到圆箱7底端的缓冲橡胶与地面接触密实，便于保持晶圆检查机的稳定，通过上述设置，起到提高晶圆检查机适用性的目的，利于适用不同地形，当晶圆检查时，打开箱门11，将晶圆放置到箱体9内，然后打开照明灯19，通过检测探头18 对晶圆的表面进行检查，通过第一电机15，便于移动条形盒12的位置，配合条形盒12内的第二电机16和丝杆17，第二电机16带动丝杆17转动，丝杆 17将带动连杆6沿着条形盒12内壁滑动，连杆6将带动检测探头18移动，便于移动检测探头18的位置，利于对晶圆进行全方位检测。

Claims (7)

1.一种方便移动的晶圆检查机，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上设有承台箱(13)，所述承台箱(13)上固定安装有箱体(9)，所述箱体(9)上固定安装有气缸(10)，所述气缸(10)活塞杆端固定安装有机箱(14)，所述机箱(14)内固定安装有第一电机(15)，所述第一电机(15)转轴端固定连接有条形盒(12)，所述条形盒(12)内固定安装有第二电机(16)，所述第二电机(16)转轴端固定连接有丝杆(17)，所述丝杆(17)上螺纹连接有连杆(6)，所述连杆(6)的一端设有检测探头(18)和照明灯(19)，所述底座(1)上螺纹连接有螺纹杆(3)。

2.根据权利要求1所述的一种方便移动的晶圆检查机，其特征在于：所述箱体(9)的表面设有箱门(11)，所述箱门(11)上设有门把。

3.根据权利要求1所述的一种方便移动的晶圆检查机，其特征在于：所述箱体(9)侧面设有显示器(8)，所述螺纹杆(3)的个数为四个。

4.根据权利要求3所述的一种方便移动的晶圆检查机，其特征在于：所述螺纹杆(3)的底端设有圆箱(7)，所述圆箱(7)底端设有缓冲橡胶。

5.根据权利要求1所述的一种方便移动的晶圆检查机，其特征在于：所述螺纹杆(3)的顶端固定安装有把手(2)，所述把手(2)的个数为四个。

6.根据权利要求1所述的一种方便移动的晶圆检查机，其特征在于：所述螺纹杆(3)的底端固定安装有转盘(4)，所述转盘(4)在圆箱(7)内转动。

7.根据权利要求1所述的一种方便移动的晶圆检查机，其特征在于：所述底座(1)的表面设有万向轮(5)，所述万向轮(5)的个数为四个。

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