CN214618026U - 一种特殊气体大宗供应管道压力维持设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种特殊气体大宗供应管道压力维持设备，涉及特殊气体大宗供应管道设备技术领域，包括管道主体、安装块、连接通道、第一空腔、第一滑块、丝杆、转盘、压缩弹簧、限位块、固定块、第二空腔、第三空腔、第二滑块、活动板、安装杆、连接杆、挡板、通槽、环形块、气泵、通孔、出气管道、出气口和复位弹簧。本实用新型通过设置限位块和复位弹簧，在压力过大时，多余的气体通过第一空腔排出，在压力较小时，调节压力到正常范围，使得管道主体内部的压力维持稳定，保证了装置的工作效果，通过设置环形块和通孔，空气对于管道主体的内部进行吹扫工作，避免气体残留在管道主体的内部，保证了装置工作的稳定性。

Description

一种特殊气体大宗供应管道压力维持设备

技术领域

本实用新型涉及特殊气体大宗供应管道设备技术领域，具体为一种特殊气体大宗供应管道压力维持设备。

背景技术

电子气体是半导体工业中用的气体，按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。使用量较大的气体，通常被称为大宗气体。大规模供气系统通常用于大规模集成电路厂，多采用独立的气体房与独立的抽风系统，通过供应管道来进行供应工作。

现有的特殊气体大宗供应管道在工作的过程中容易产生输送压力不稳定的情况，难以控制供应管道内部的压力维持稳定，从而影响装置的工作效果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种特殊气体大宗供应管道压力维持设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种特殊气体大宗供应管道压力维持设备，包括管道主体，所述管道主体外壁一侧设有安装块，所述管道主体内壁于所述安装块一侧开设有连接通道，所述连接通道外壁靠近所述管道主体一侧开设有第一空腔，所述第一空腔与所述连接通道连通，所述第一空腔内壁一侧开设有出气口，所述第一空腔内壁匹配设有滑动连接的第一滑块，所述第一滑块顶部设有转动连接的丝杆，所述丝杆一端延伸至所述安装块外侧并套设有转盘，所述第一滑块底部设有压缩弹簧，所述压缩弹簧一端设有限位块，所述限位块位于所述连接通道上方，所述管道主体外壁一侧设有固定块，所述固定块靠近所述管道主体一侧开设有第二空腔，所述第二空腔与所述管道主体连通，所述第二空腔内壁两侧对称开设有第三空腔，所述第三空腔内壁匹配设有滑动连接的第二滑块，两个所述第二滑块内侧设有同一个活动板，所述第二滑块远离所述管道主体一侧设有复位弹簧，所述复位弹簧一端与所述第三空腔内壁固定连接，所述活动板与所述第二空腔内壁相匹配，所述活动板外壁靠近所述管道主体一侧设有安装杆，所述安装杆一端延伸至所述管道主体内部并设有连接杆，所述连接杆一端设有挡板，所述管道主体内壁开设有与所述挡板相匹配的通槽，所述管道主体内壁一侧匹配设有滑动连接的环形块，所述管道主体外壁于所述环形块一侧设有气泵，所述环形块外壁一侧均匀开设有若干个通孔，若干个所述通孔风向朝向所述挡板，所述气泵底部设有出气管道，所述出气管道一端延伸至所述管道主体内部并与所述若干个通孔连通。

进一步的，所述出气口内部设有单向阀，避免限位块与连接通道接触不良时，管道主体从第一空腔中抽取气体，对于管道主体内部的压力造成影响。

进一步的，所述安装块内部设有与所述丝杆相匹配的丝杆螺母，丝杆与丝杆螺母相对转动，带动丝杆进行运动。

进一步的，所述安装块外壁一侧设有收集箱，所述收集箱与所述出气口连通，将管道主体中排出的气体进行收集。

进一步的，所述第一滑块顶部设有与所述丝杆相匹配的滚珠轴承，通过设置滚珠轴承来代替转动，保证了丝杆转动时的顺滑。

进一步的，所述管道主体内壁设有与所述环形块相匹配的滑轨，限制了环形块的运动方向，保证了环形块运动时的稳定性。

与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：

1、本实用新型通过设置限位块、出气口、挡板和复位弹簧，在压力过大时，多余的气体通过第一空腔排出，在压力较小时，挡板对于气体起到一定的阻挡作用，从而调节压力到正常范围，使得管道主体内部的压力维持稳定，保证了装置的工作效果。

2、本实用新型通过设置环形块和通孔，空气对于管道主体的内部进行吹扫工作，避免气体残留在管道主体的内部，保证了装置工作的稳定性。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型整体的主剖视图；

图2是本实用新型图1中A处的放大示意图；

图3是本实用新型图1中B处的放大示意图；

图4是本实用新型环形块的侧视图；

图中：1、管道主体；2、安装块；3、连接通道；4、第一空腔；5、第一滑块；6、丝杆；7、转盘；8、压缩弹簧；9、限位块；10、固定块；11、第二空腔；12、第三空腔；13、第二滑块；14、活动板；15、安装杆；16、连接杆；17、挡板；18、通槽；19、环形块；20、气泵；21、通孔；22、出气管道；23、出气口；24、复位弹簧。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供技术方案：一种特殊气体大宗供应管道压力维持设备，包括管道主体1，所述管道主体1外壁一侧设有安装块2，所述管道主体1内壁于所述安装块2一侧开设有连接通道3，所述连接通道3外壁靠近所述管道主体1一侧开设有第一空腔4，所述第一空腔4与所述连接通道3连通，所述第一空腔4内壁一侧开设有出气口23，所述第一空腔4内壁匹配设有滑动连接的第一滑块5，所述第一滑块5顶部设有转动连接的丝杆6，所述丝杆6一端延伸至所述安装块2外侧并套设有转盘7，所述第一滑块5底部设有压缩弹簧8，所述压缩弹簧8一端设有限位块9，所述限位块9位于所述连接通道3上方，所述管道主体1外壁一侧设有固定块10，所述固定块10靠近所述管道主体1一侧开设有第二空腔11，所述第二空腔11与所述管道主体1连通，所述第二空腔11内壁两侧对称开设有第三空腔12，所述第三空腔12内壁匹配设有滑动连接的第二滑块13，两个所述第二滑块13内侧设有同一个活动板14，所述第二滑块13远离所述管道主体1一侧设有复位弹簧24，所述复位弹簧24一端与所述第三空腔12内壁固定连接，所述活动板14与所述第二空腔11内壁相匹配，所述活动板14外壁靠近所述管道主体1一侧设有安装杆15，所述安装杆15一端延伸至所述管道主体1内部并设有连接杆16，所述连接杆16一端设有挡板17，所述管道主体1内壁开设有与所述挡板17相匹配的通槽18。

所述出气口23内部设有单向阀，避免限位块9与连接通道3接触不良时，管道主体1从第一空腔4中抽取气体，对于管道主体1内部的压力造成影响。

所述安装块2内部设有与所述丝杆6相匹配的丝杆螺母，丝杆6与丝杆螺母相对转动，带动丝杆6进行运动。

所述安装块2外壁一侧设有收集箱，所述收集箱与所述出气口23连通，将管道主体1中排出的气体进行收集。

所述第一滑块5顶部设有与所述丝杆6相匹配的滚珠轴承，通过设置滚珠轴承来代替转动，保证了丝杆6转动时的顺滑。

实施方式具体为：使用时，通过设置限位块9、出气口23、挡板17和复位弹簧24，工作时，大规模供气系统连通管道主体1进行供应工作，当管道主体1内部的压力过大时，管道主体1内部的特殊气体进入连接通道3中，气体对于限位块9的表面产生压力，当压力过大时，对于限位块9外壁的压力大于压缩弹簧8之后，压缩弹簧8缩短，限位块9不再对于连接通道3进行密封，气体进行第一空腔4后，经过出气口23排出进行收集，将多余的特殊气体排出后，从而避免管道主体1的内部压力过高，当管道主体1内部的压力降低到支撑范围后，压缩弹簧8推动限位块9重新对于连接通道3进行堵塞，起到避免管道主体1压力过高的作用，手动转动转盘7，带动丝杆6进行运动，从而调节第一滑块5的位置，根据不同的气体来选择不同的压力范围，保证了装置的适用范围，当管道主体1内部的压力过低时，复位弹簧24的弹力大于气体对于活动板14的压力，推动第二滑块13与活动板14向管道主体1靠近，安装杆15随之进行运动，带动连接杆16进行运动，挡板17随之进行运动，挡板17减小了管道主体1的管道截面，从而增大了管道主体1内部的压力，从而避免管道主体1内部的压力过低，在压力过大时，多余的气体通过第一空腔4排出，在压力较小时，挡板17对于气体起到一定的阻挡作用，从而调节压力到正常范围，使得管道主体1内部的压力维持稳定，保证了装置的工作效果。

请参阅图1和图4，本实用新型提供技术方案：一种特殊气体大宗供应管道压力维持设备，还包括滑动设置于所述管道主体1内壁一侧的环形块19，所述管道主体1外壁于所述环形块19一侧设有气泵20，所述环形块19外壁一侧均匀开设有若干个通孔21，若干个所述通孔21风向朝向所述挡板17，所述气泵20底部设有出气管道22，所述出气管道22一端延伸至所述管道主体1内部并与若干个所述通孔21连通。

所述管道主体1内壁设有与所述环形块19相匹配的滑轨，限制了环形块19的运动方向，保证了环形块19运动时的稳定性。

实施方式具体为：使用时，通过设置环形块19和通孔21，当管道主体1结束供应工作后，气泵20开始工作，将空气通过出气管道22后压入通孔21中，人工推动环形块19在管道主体1的内部进行运动，根据气体的种类自由调节环形块19在管道主体1内部运动的速度，使得吹扫工作充分进行，避免管道主体1内部有气体残留，空气对于管道主体1的内部进行吹扫工作，避免气体残留在管道主体1的内部，保证了装置工作的稳定性。

本实用新型的工作原理：

参照说明书附图1-3，通过设置限位块9、出气口23、挡板17和复位弹簧24，在压力过大时，多余的气体通过第一空腔4排出，在压力较小时，挡板17对于气体起到一定的阻挡作用，从而调节压力到正常范围，使得管道主体1内部的压力维持稳定，保证了装置的工作效果。

进一步的，参照说明书附图1和图4，通过设置环形块19和通孔21，空气对于管道主体1的内部进行吹扫工作，避免气体残留在管道主体1的内部，保证了装置工作的稳定性。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种特殊气体大宗供应管道压力维持设备，包括管道主体(1)，其特征在于：所述管道主体(1)外壁一侧设有安装块(2)，所述管道主体(1)内壁于所述安装块(2)一侧开设有连接通道(3)，所述连接通道(3)外壁靠近所述管道主体(1)一侧开设有第一空腔(4)，所述第一空腔(4)与所述连接通道(3)连通，所述第一空腔(4)内壁一侧开设有出气口(23)，所述第一空腔(4)内壁匹配设有滑动连接的第一滑块(5)，所述第一滑块(5)顶部设有转动连接的丝杆(6)，所述丝杆(6)一端延伸至所述安装块(2)外侧并套设有转盘(7)，所述第一滑块(5)底部设有压缩弹簧(8)，所述压缩弹簧(8)一端设有限位块(9)，所述限位块(9)位于所述连接通道(3)上方，所述管道主体(1)外壁一侧设有固定块(10)，所述固定块(10)靠近所述管道主体(1)一侧开设有第二空腔(11)，所述第二空腔(11)与所述管道主体(1)连通，所述第二空腔(11)内壁两侧对称开设有第三空腔(12)，所述第三空腔(12)内壁匹配设有滑动连接的第二滑块(13)，两个所述第二滑块(13)内侧设有同一个活动板(14)，所述第二滑块(13)远离所述管道主体(1)一侧设有复位弹簧(24)，所述复位弹簧(24)一端与所述第三空腔(12)内壁固定连接，所述活动板(14)与所述第二空腔(11)内壁相匹配，所述活动板(14)外壁靠近所述管道主体(1)一侧设有安装杆(15)，所述安装杆(15)一端延伸至所述管道主体(1)内部并设有连接杆(16)，所述连接杆(16)一端设有挡板(17)，所述管道主体(1)内壁开设有与所述挡板(17)相匹配的通槽(18)，所述管道主体(1)内壁一侧匹配设有滑动连接的环形块(19)，所述管道主体(1)外壁于所述环形块(19)一侧设有气泵(20)，所述环形块(19)外壁一侧均匀开设有若干个通孔(21)，若干个所述通孔(21)风向朝向所述挡板(17)，所述气泵(20)底部设有出气管道(22)，所述出气管道(22)一端延伸至所述管道主体(1)内部并与若干个所述通孔(21)连通。

2.根据权利要求1所述的一种特殊气体大宗供应管道压力维持设备，其特征在于：所述出气口(23)内部设有单向阀。

3.根据权利要求1所述的一种特殊气体大宗供应管道压力维持设备，其特征在于：所述安装块(2)内部设有与所述丝杆(6)相匹配的丝杆螺母。

4.根据权利要求1所述的一种特殊气体大宗供应管道压力维持设备，其特征在于：所述安装块(2)外壁一侧设有收集箱，所述收集箱与所述出气口(23)连通。

5.根据权利要求1所述的一种特殊气体大宗供应管道压力维持设备，其特征在于：所述第一滑块(5)顶部设有与所述丝杆(6)相匹配的滚珠轴承。

6.根据权利要求1所述的一种特殊气体大宗供应管道压力维持设备，其特征在于：所述管道主体(1)内壁设有与所述环形块(19)相匹配的滑轨。

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