CN214600621U - 一种半导体零部件用清洗装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型适用于半导体技术领域,提供了一种半导体零部件用清洗装置,包括外壳、雾化器和风机,所述外壳内对称设置有导轨,且导轨的外表面连接有活动架,所述外壳的左端外侧设有水箱,且水箱的内设有雾化器,所述雾化器的外侧连接有气泵,且气泵内连接有传输管道,并且传输管道的外侧连接有喷淋头,所述外壳的中端设有限位杆,且外壳的底端内表面设有粘黏纸,并且外壳的右端外表面连接有排放口。该半导体零部件用清洗装置,通过在设备内增加雾化器,能够将有机化学溶剂雾化呈颗粒状,并在气泵的作用下,从喷淋头洒出,可以均匀的散布在半导体零件的内外,能够溶解零件内外的污染物,并且减少液体浸泡对零件的损伤,增加了清洁的效果。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体技术领域,尤其涉及一种半导体零部件用清洗装置。
背景技术
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用,如二极管就是采用半导体制作的器件,半导体是指一种导电性可受控制,范围可从绝缘体至导体之间的材料,半导体零件往往对清洁度、表面均匀度、工艺稳定性的要求较高,微小的杂质和尘埃,不均匀的颗粒大小都会影响半导体的性能。
然而传统的清洗装置是直接通过水对半导体进行清刷,此方法虽然可对半导体进行清洗,但有可能会损坏零部件本身表面涂层,造成半导体的损坏,并且很难将半导体零件表面的有机污染物脱落,从而降低了清洗效果,因此,需要一种半导体零部件用清洗装置。
实用新型内容
本实用新型提供一种半导体零部件用清洗装置,旨在解决传统的清洗装置是直接通过水对半导体进行清刷,此方法虽然可对半导体进行清洗,但有可能会损坏零部件本身表面涂层,造成半导体的损坏,并且很难将半导体零件表面的有机污染物脱落,从而降低了清洗效果的问题。
本实用新型是这样实现的,一种半导体零部件用清洗装置,包括外壳、雾化器和风机,所述外壳内对称设置有导轨,且导轨的外表面连接有活动架,所述外壳的左端外侧设有水箱,且水箱的内设有雾化器,所述雾化器的外侧连接有气泵,且气泵内连接有传输管道,并且传输管道的外侧连接有喷淋头,所述外壳的中端设有限位杆,且外壳的底端内表面设有粘黏纸,并且外壳的右端外表面连接有排放口,所述外壳的底端对称设置有支架,且外壳底端外表面设有风机,并且风机的外表面安装有活性炭过滤网,所述活动架的外表面连接有转动座,且转动座内连接有活动板,所述活动板的外表面连接有第二弹簧,且第二弹簧的一端与活动架外表面连接,所述活动架内设有固定板,且固定板的外表面连接有第一弹簧,所述第一弹簧的一端连接有夹持板,且夹持板的外表面连接有零件本体。
优选的,所述活动架与导轨为滑动连接,且活动架的周长小于外壳的内壁周长。
优选的,所述传输管道与外壳为贴合连接,且传输管道外表面等间距分布有喷淋头。
优选的,所述粘黏纸与外壳为贴合连接,且粘黏纸的周长与外壳内部周长相同。
优选的,所述夹持板外表面等间距分布有第二弹簧,且夹持板与零件本体为活动连接。
优选的,所述活动板通过转动座与活动架为转动连接,且活动板与限位杆为滑动连接。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该半导体零部件用清洗装置,
1.通过在设备内增加雾化器,能够将有机化学溶剂雾化呈颗粒状,并在气泵的作用下,从喷淋头洒出,可以均匀的散布在半导体零件的内外,能够溶解零件内外的污染物,并且减少液体浸泡对零件的损伤,增加了清洁的效果;
2.通过将活动架与设备进行滑动连接,能够方便进行清洗操作,并且在活动架内设置多个固定板和夹持板,在弹簧的作用下,能够对零件进行夹持的同时,还可以起到缓冲保护的作用,从而增加了清洁工作的便捷性;
3.通过在设备底端增加风机,能够持续的对设备内进行增压,在风压的作用下,使零件外侧的污染物逐渐分离,并且由粘黏纸对污染物进行吸附,避免继续弥漫在设备内对零件造成二次污染,从而增加清洁效果的同时,还增加了设备的环保性。
附图说明
图1为本实用新型整体正视结构示意图;
图2为本实用新型图1中A区放大结构示意图;
图3为本实用新型外壳和限位板侧视结构示意图;
图4为本实用新型活动架和活动板侧视结构示意图;
图5为本实用新型外壳和传输管道俯视结构示意图。
图中:1-外壳、2-活动架、3-导轨、4-水箱、5-雾化器、6-气泵、7-传输管道、 8-喷淋头、9-限位杆、10-粘黏纸、11-排放口、12-风机、13-活性炭过滤网、14- 支架、15-固定板、16-第一弹簧、17-夹持板、18-零件本体、19-活动板、20-第二弹簧、21-转动座。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
请参阅图1-5,本实用新型提供一种技术方案:
在本实施方式中,外壳1内对称设置有导轨3,且导轨3的外表面连接有活动架2,外壳1的左端外侧设有水箱4,且水箱4的内设有雾化器5。
进一步的,活动架2与导轨3为滑动连接,且活动架2的周长小于外壳1 的内壁周长,活动架2沿着外壳1内表面滑动,便于对零件本体18的位置进行移动,通过升降的方式来切换喷淋和风干的位置,在便于对零件本体18进行位移的同时,还可以通过活动架2的贴合度来增加升降的稳定性。
在本实施方式中,雾化器5的外侧连接有气泵6,且气泵6内连接有传输管道7,并且传输管道7的外侧连接有喷淋头8,外壳1的中端设有限位杆9,且外壳1的底端内表面设有粘黏纸10,并且外壳1的右端外表面连接有排放口11。
进一步的,传输管道7与外壳1为贴合连接,且传输管道7外表面等间距分布有喷淋头8,传输管道7固定在外壳1上端位置,在零件本体18经过外壳 1上端位置时,可以初步的对零件本体18进行清理工作,使水箱4内的有机化学溶剂呈颗粒状喷淋在外壳1内,并沾附在零件本体18内外表面,在可以减少液体对零件本体18影响的同时,还可以增加清洁效果。
在本实施方式中,外壳1的底端对称设置有支架14,且外壳1底端外表面设有风机12,并且风机12的外表面安装有活性炭过滤网13,活动架2的外表面连接有转动座21,且转动座21内连接有活动板19。
进一步的,粘黏纸10与外壳1为贴合连接,且粘黏纸10的周长与外壳1 内部周长相同,粘黏纸10设置在外壳1内壁,能够全方面的对零件本体18飘出的废尘进行吸附,避免污染物在设备内漂浮对零件本体18进行二次污染,从而增加了清洁效率。
在本实施方式中,活动板19的外表面连接有第二弹簧20,且第二弹簧20 的一端与活动架2外表面连接,活动架2内设有固定板15,且固定板15的外表面连接有第一弹簧16。
进一步的,夹持板17外表面等间距分布有第二弹簧20,且夹持板17与零件本体18为活动连接,夹持板17配合第二弹簧20,能够向前进行伸缩,从而利用夹持板17对零件本体18进行挤压,以达到夹持固定的作用,避免在移动的过程中掉落,并且夹持板17能够夹持多个零件本体18,从而使清洁设备可以同时处理多个零件本体18。
在本实施方式中,第一弹簧16的一端连接有夹持板17,且夹持板17的外表面连接有零件本体18。
进一步的,活动板19通过转动座21与活动架2为转动连接,且活动板19 与限位杆9为滑动连接,活动板19以转动座21为中心点进行转动,在活动架2 上下升降的过程中,活动板19与限位杆9接触可以起到定位的作用,并配合第二弹簧20能起到一定的支撑作用,从而便于进行位置切换。
本实用新型的工作原理及使用流程:本实用新型安装好过后,首先将零件本体18依次放置在夹持板17之间,并利用第一弹簧16的弹性,使夹持板17 在固定板15之间进行伸缩,并对零件本体18进行夹持固定,随后控制活动架2 上端的把手向下压,使活动架2沿着导轨3向下升降,随后启动雾化器5,将水箱4内的有机化学溶剂进行雾化,并在气泵6的加压下,由传输管道7导送到喷淋头8喷出,使有机化学溶剂呈颗粒状飘荡在外壳1内,并沾附在零件本体 18内外侧,便于溶解零件本体18表面依附污染物,此时,活动板19与限位杆 9接触,能够起到定位和限位的效果,并且还可以配合第二弹簧20可以起到一定的支撑作用,随后继续按压活动架2,活动板19在转动座21的作用下,沿着活动架2外表面转动,并挤压第二弹簧20,使活动板19沿着限位杆9外表面滑动,能够解除限位作用,随后由风机12对外壳1内部增压,并由活性炭过滤网 13来对通风口进行过滤,避免灰尘渗入到外壳1内,在风压的作用下,风力均匀的充入到零件本体18各个缝隙内,随后打开排放口11上的通腔,可以对外壳1内部的压力进行释放,使零件本体18外侧表面污染物迅速脱离,并由粘黏纸10进行粘接,避免污染物颗粒漂浮对零件本体18造成二次污染,增加了设备的环保性,支架14提升整体的稳定性,也增加了整体的实用性。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种半导体零部件用清洗装置,包括外壳(1)、雾化器(5)和风机(12),其特征在于:所述外壳(1)内对称设置有导轨(3),且导轨(3)的外表面连接有活动架(2),所述外壳(1)的左端外侧设有水箱(4),且水箱(4)的内设有雾化器(5),所述雾化器(5)的外侧连接有气泵(6),且气泵(6)内连接有传输管道(7),并且传输管道(7)的外侧连接有喷淋头(8),所述外壳(1)的中端设有限位杆(9),且外壳(1)的底端内表面设有粘黏纸(10),并且外壳(1)的右端外表面连接有排放口(11),所述外壳(1)的底端对称设置有支架(14),且外壳(1)底端外表面设有风机(12),并且风机(12)的外表面安装有活性炭过滤网(13),所述活动架(2)的外表面连接有转动座(21),且转动座(21)内连接有活动板(19),所述活动板(19)的外表面连接有第二弹簧(20),且第二弹簧(20)的一端与活动架(2)外表面连接,所述活动架(2)内设有固定板(15),且固定板(15)的外表面连接有第一弹簧(16),所述第一弹簧(16)的一端连接有夹持板(17),且夹持板(17)的外表面连接有零件本体(18)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体零部件用清洗装置,其特征在于:所述活动架(2)与导轨(3)为滑动连接,且活动架(2)的周长小于外壳(1)的内壁周长。
3.根据权利要求1所述的一种半导体零部件用清洗装置,其特征在于:所述传输管道(7)与外壳(1)为贴合连接,且传输管道(7)外表面等间距分布有喷淋头(8)。
4.根据权利要求1所述的一种半导体零部件用清洗装置,其特征在于:所述粘黏纸(10)与外壳(1)为贴合连接,且粘黏纸(10)的周长与外壳(1)内部周长相同。
5.根据权利要求1所述的一种半导体零部件用清洗装置,其特征在于:所述夹持板(17)外表面等间距分布有第二弹簧(20),且夹持板(17)与零件本体(18)为活动连接。
6.根据权利要求1所述的一种半导体零部件用清洗装置,其特征在于:所述活动板(19)通过转动座(21)与活动架(2)为转动连接,且活动板(19)与限位杆(9)为滑动连接。
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