CN213936121U - 一种晶圆检查机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆检查机，包括工作台，工作台的两侧设置有侧板，侧板内设置有横向滑竿，横向滑竿上滑动连接有检测板，侧板的顶端设置纵向滑竿，纵向滑竿上滑动连接有检测杆，检测杆的下端设置有检测镜头和吸尘管，工作台的底部设置有真空泵，真空泵与吸尘管贯通连接，检测镜头的底部转动连接有显微镜头，显微镜头上设置有四倍镜、十倍镜和激光灯。本实用新型通过显微镜头对设备进行定位检测，大大增加了检测精度，通过照明灯对设备进行不补光，从而提升了检测效果，通过吸尘管、过滤器和真空泵配合将晶圆件表面的灰尘吸走，避免损坏晶圆件的同时避免检测室受到污染。
Description
技术领域
本实用新型属于晶圆生产技术领域，具体为一种晶圆检查机。
背景技术
晶圆是制造半导体芯片的基本材料，半导体集成电路最主要的原料是硅，因此对应的就是硅晶圆，晶圆激光标记定位检查装置可以准确确定晶圆的打标位置，使得晶圆打标过程中标记出来的字均匀、美观、无间隙与断隙。
授权公告号CN207577679U中公开了一种晶圆激光标记定位检查装置，其包括第一支撑架、第一标签、第二标签、固定板、循环水管、回收箱、循环泵以及储水箱，所述第一支撑架安装在储存箱内部上侧，所述第一标签安装在第一支撑架前端面，所述第二标签安装在储存箱前端面下侧，该设计解决了原有晶圆检查装置没有储存功能的问题，所述固定板安装在晶圆检查装置本体内部，所述循环水管安装在固定板内部左侧，所述回收箱安装在循环水管右侧，所述循环泵安装在回收箱下端面，所述储水箱安装在循环泵下端面。
上述公开的一种晶圆激光标记定位检查装置，该装置在对由于图像镜头距离晶圆件过远，导致定位精度不足，且影响检查准确性，且该装置检查时光线不足，影响对晶圆件表面进行观察，降低检查效率，且晶圆件表面可能粘附灰尘或其他纤维等，无法对其进行有效清除。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶圆检查机，以解决现有技术中定位装置距离晶圆件过远影响检测精度、定位装置不具备照明和除尘功能的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆检查机，包括工作台，所述工作台的两侧设置有侧板，所述侧板内设置有横向滑竿，所述横向滑竿上滑动连接有检测板，所述侧板的顶端设置纵向滑竿，所述纵向滑竿上滑动连接有检测杆，所述检测杆的下端设置有检测镜头和吸尘管，所述工作台的底部设置有真空泵，所述真空泵与吸尘管贯通连接，所述检测镜头的底部转动连接有显微镜头。
优选的，所述显微镜头上设置有四倍镜、十倍镜和激光灯，所述四倍镜、十倍镜和激光灯关于显微镜头的俯视中心圆周阵列，通过激光灯对晶圆件进行扫描定位，激光灯指向待检测晶圆件上的元件时，调节显微镜头使四倍镜对准检测镜头，进行初步检测，然后调节至十倍镜进行精确检测。
优选的，所述检测镜头的底部俯视中心设置有电机，所述电机与显微镜头键接，通过电机带动显微镜头旋转，从而使四倍镜、十倍镜和照明灯进行轮流与检测镜头对齐。
优选的，所述显微镜头的下端面俯视圆心设置有照明灯，当使用高倍镜检测时，光线不足检测镜头需要进行补光，通过照明灯对晶圆件表面进行补光。
优选的，所述吸尘管为不锈钢空心管，所述吸尘管正视指向检测镜头延长线与检测板的交点，当检测镜头检测到晶圆件表面有灰尘时，启动真空泵通过吸尘管将晶圆件表面的灰尘吸除。
优选的，所述真空泵与吸尘管之间设置有过滤器，所述过滤器与真空泵和吸尘管过盈连接，所述过滤器内设置有滤网，过滤器将真空泵吸出的灰尘过滤截留，过盈连接方式方便对过滤器进行更换。
优选的，所述滤网的过滤孔径为0.1um，超细的孔径确保灰尘颗粒不会由真空泵逸出，避免灰尘进入检查室内造成二次污染。
优选的，所述激光的型号为YQ-6.0，所述照明灯的型号为TM-S2835WSXTY55KD-E，所述电机的型号为DRC-395，所述真空泵的型号为4V12D85R29B，所述横向滑竿与纵向滑竿通过授权公告号CN207577679U中的驱动装置I和驱动装置II配合控制器进行驱动，从而调节检测板和检测杆的位置，所述检测镜头为授权公告号CN207577679U中的检测镜头。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过显微镜头对设备进行定位检测，大大增加了检测精度，通过照明灯对设备进行不补光，从而提升了检测效果，通过吸尘管、过滤器和真空泵配合将晶圆件表面的灰尘吸走，避免损坏晶圆件的同时避免检测室受到污染。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图；
图2为本实用新型的侧视图；
图3为本实用新型的过滤器剖视图。
图中：1工作台、11侧板、111横向滑竿、112检测板、113纵向滑竿、2检测杆、21吸尘管、23过滤器、231滤网、24真空泵、3检测镜头、31电机、4显微镜头、41激光灯、42四倍镜、43十倍镜、44照明灯。
具体实施方式
请参阅图1，一种晶圆检查机，包括工作台1，工作台1的两侧焊接有侧板11，侧板11内焊接有横向滑竿111，横向滑竿111上滑动连接有检测板112，侧板11的顶端焊接纵向滑竿113，纵向滑竿113上滑动连接有检测杆2，检测杆2的下端通过螺栓安装有检测镜头3和吸尘管21，工作台1的底部通过螺栓安装有真空泵24，真空泵24与吸尘管21贯通连接，检测镜头3的底部转动连接有显微镜头4。
请参阅图1，吸尘管21为不锈钢空心管，吸尘管21正视指向检测镜头3延长线与检测板112的交点，当检测镜头3检测到晶圆件表面有灰尘时，启动真空泵24通过吸尘管21将晶圆件表面的灰尘吸除。
请参阅图2，显微镜头4上安装有四倍镜42、十倍镜43和激光灯41，四倍镜42、十倍镜43和激光灯41关于显微镜头4的俯视中心圆周阵列，通过激光灯41对晶圆件进行扫描定位，激光灯41指向待检测晶圆件上的元件时，调节显微镜头4使四倍镜42对准检测镜头3，进行初步检测，然后调节至十倍镜43进行精确检测，检测镜头3的底部俯视中心通过螺栓安装有电机31，电机31与显微镜头4键接，通过电机31带动显微镜头4旋转，从而使四倍镜42、十倍镜43和照明灯44进行轮流与检测镜头3对齐，显微镜头4的下端面俯视圆心通过螺栓安装有照明灯44，当使用高倍镜检测时，光线不足检测镜头3需要进行补光，通过照明灯44对晶圆件表面进行泛补光。
请参阅图3，真空泵24与吸尘管21之间嵌接有过滤器23，过滤器23与真空泵24和吸尘管21过盈连接，过滤器23内焊接有滤网231，过滤器23将真空泵24吸出的灰尘过滤截留，过盈连接方式方便对过滤器23进行更换。
本方案的工作原理是：本实用新型在使用时，将晶圆件放置在检测板112上，然后通过横向滑竿111调节检测板112的水平位置，通过纵向滑竿113调节检测杆2的竖直位置，调节电机31使激光头竖直向下，直至激光对准所需检测位置，然后调节电机31使四倍镜42和十倍镜43以依次向下进行检测，光线不足时，打开照明灯44进行补光，晶圆体表面有灰尘时，打开真空泵24将表面灰尘吸走。
本实用新型通过显微镜头4对设备进行定位检测，大大增加了检测精度，通过照明灯44对设备进行不补光，从而提升了检测效果，通过吸尘管21、过滤器23和真空泵24配合将晶圆件表面的灰尘吸走，避免损坏晶圆件的同时避免检测室受到污染。
Claims (7)
1.一种晶圆检查机，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的两侧设置有侧板(11)，所述侧板(11)内设置有横向滑竿(111)，所述横向滑竿(111)上滑动连接有检测板(112)，所述侧板(11)的顶端设置纵向滑竿(113)，所述纵向滑竿(113)上滑动连接有检测杆(2)，所述检测杆(2)的下端设置有检测镜头(3)和吸尘管(21)，所述工作台(1)的底部设置有真空泵(24)，所述真空泵(24)与吸尘管(21)贯通连接，所述检测镜头(3)的底部转动连接有显微镜头(4)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆检查机，其特征在于：所述显微镜头(4)上设置有四倍镜(42)、十倍镜(43)和激光灯(41)，所述四倍镜(42)、十倍镜(43)和激光灯(41)关于显微镜头(4)的俯视中心圆周阵列。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆检查机，其特征在于：所述检测镜头(3)的底部俯视中心设置有电机(31)，所述电机(31)与显微镜头(4)键接。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆检查机，其特征在于：所述显微镜头(4)的下端面俯视圆心设置有照明灯(44)。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆检查机，其特征在于：所述吸尘管(21)为不锈钢空心管，所述吸尘管(21)正视指向检测镜头(3)延长线与检测板(112)的交点。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆检查机，其特征在于：所述真空泵(24)与吸尘管(21)之间设置有过滤器(23)，所述过滤器(23)与真空泵(24)和吸尘管(21)过盈连接，所述过滤器(23)内设置有滤网(231)。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆检查机，其特征在于：所述滤网(231)的过滤孔径为0.1um。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202022852659.3U CN213936121U (zh) | 2020-12-02 | 2020-12-02 | 一种晶圆检查机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202022852659.3U CN213936121U (zh) | 2020-12-02 | 2020-12-02 | 一种晶圆检查机 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN213936121U true CN213936121U (zh) | 2021-08-10 |
Family
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Family Applications (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN213936121U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN119123978A (zh) * | 2024-09-05 | 2024-12-13 | 深圳爱尚云科技有限公司 | 一种矩形芯片检测设备及该矩形芯片检测设备的检测方法 |
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2020
- 2020-12-02 CN CN202022852659.3U patent/CN213936121U/zh not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN119123978A (zh) * | 2024-09-05 | 2024-12-13 | 深圳爱尚云科技有限公司 | 一种矩形芯片检测设备及该矩形芯片检测设备的检测方法 |
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