CN213922098U - 一种晶圆金属环存放架 - Google Patents

Abstract

本实用新型提出了一种晶圆金属环存放架，包括顶框和底杆，所述底杆之间通过连接片固定连接，所述顶框和所述底杆之间设有分层框和条形的分隔板，两个所述分层框之间形成存放槽，所述顶框和所述底杆内侧设置有竖直对应的凸块，所述凸块之间连接有螺纹杆。本实用新型通过分层框和分隔板之间的相互配合形成存放槽，同时结合螺纹杆与凸块的配合，能够精准的对晶圆金属环进行限位固定，避免出现杂乱的情况，而且本实用新型能够自由调节分层框之间分隔板的数量，以此调节存放槽的厚度，来满足不同厚度的晶圆金属环的存放，避免出现一格多放等情况；本实用新型通过设置分层框对相邻的两个存放槽进行分隔，对金属环具有分隔、导向的作用。

Description

一种晶圆金属环存放架

技术领域

本实用新型涉及激光半导体技术领域，尤其是涉及一种晶圆金属环存放架。

背景技术

现有晶圆金属环存放架主要存在以下三个问题：

1、存放架的每个存放晶圆金属环的格子由一左一右两个槽轨构成,但是相邻的每个格子之间没有进行分隔,放置晶圆环的时候经常会出现晶圆金属环一边放在A格子，一边放在B格子的情况，如果刻意去对位置会比较浪费时间，不方便；

2、存放架的格子间隙较大，一方面会出现一个格子收纳多个环的情况，另一方面浪费了有效空间；

3、相邻两个存放槽之间没有进行分隔，放置金属环时容易出现金属环的两侧分别放置在不同的存放槽内，使金属环发生倾斜，不仅占用空间，而且容易损坏。

实用新型内容

本实用新型提出一种晶圆金属环存放架，以解决上述背景技术中提出的传统的晶圆金属环存放架存放晶圆金属环时容易出现杂乱，需要刻意对比位置，以及格子间距离固定，不能根据晶圆金属环的厚度来自由调整，而且容易出现金属环的两侧分别放置在不同的存放槽内等问题。

本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种晶圆金属环存放架，包括“门”字型的顶框和两根条形的底杆，所述底杆之间通过连接片固定连接，所述顶框和所述底杆之间间隔交错设置有“门”字型的分层框和条形的分隔板，所述分隔板的内径小于所述分层框的内径尺寸，且两个所述分层框之间形成存放槽，所述顶框和所述底杆内侧设置有竖直对应的凸块，所述凸块之间连接有螺纹杆。

优选的，所述顶框内侧设置有两根水平的加强筋，所述顶框的底部设置有加强片。

优选的，两根所述加强筋之间活动安装有活动提手。

优选的，所述顶框和所述底杆的两侧端部设置有相互对应的固定部，所述固定部上开设有固定孔。

优选的，所述分层框和所述分隔板的两侧端部设置有定位部，所述定位部与所述固定部竖直对应，所述定位部上开设有与所述固定孔竖直对应的定位孔，且所述固定孔和所述定位孔内设置有所述螺纹杆。

优选的，所述底杆的内侧开设有滑槽，所述连接片通过螺钉固定在所述滑槽内部。

优选的，所述凸块上开设有限位孔，所述限位孔与所述螺纹杆相互配合。

采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果为：

本实用新型通过分层框和分隔板之间的相互配合形成存放槽，同时结合螺纹杆与凸块的配合，能够精准的对晶圆金属环进行限位固定，避免出现杂乱的情况，而且本实用新型能够自由调节分层框之间分隔板的数量，以此调节存放槽的厚度，来满足不同厚度的晶圆金属环的存放，避免出现一格多放等情况；本实用新型通过设置分层框对相邻的两个存放槽进行分隔，对金属环具有分隔、导向的作用。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的顶框的仰视结构示意图；

图3为本实用新型的分层框和分隔板的结合示意图；

图4为本实用新型的底杆的连接示意图。

其中：

1、顶框；2、加强筋；3、加强片；4、活动提手；5、凸块；6、固定部；7、固定孔；8、限位孔；9、分层框；10、分隔板；11、定位部；12、定位孔；13、底杆；14、连接片；15、滑槽；16、螺纹杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参阅图1-图4，一种晶圆金属环存放架，包括“门”字型的顶框1和两根条形的底杆13，底杆13之间通过连接片14固定连接，顶框1和底杆13之间间隔交错设置有“门”字型的分层框9和条形的分隔板10，分隔板10的内径小于分层框9的内径尺寸，且两个分层框9之间形成存放槽，顶框1和底杆13内侧设置有竖直对应的凸块5，凸块5之间连接有螺纹杆16。

具体地，顶框1内侧设置有两根水平的加强筋2，顶框1的底部设置有加强片3；通过设置加强筋2和加强片3能够增强顶框1的结构强度，使顶框1不易散架，使装置整体更加稳固。

具体地，两根加强筋2之间活动安装有活动提手4；通过设置活动提手4，方便工作人员通过活动提手4提起存放架，便于存放架的移动和运输。

具体地，顶框1和底杆13的两侧端部设置有相互对应的固定部6，固定部6上开设有固定孔7，分层框9和分隔板10的两侧端部设置有定位部11，定位部11与固定部6竖直对应，定位部11上开设有与固定孔7竖直对应的定位孔12，且固定孔7和定位孔12内设置有螺纹杆16；如此设置，在使用时通过螺纹杆16与固定孔7和定位孔12的配合，能够将分层框9和分隔板10牢牢的固定在顶框1与底杆13之间，方便存放架的组装和拆卸调节。

具体地，底杆13的内侧开设有滑槽15，连接片14通过螺钉固定在滑槽15内部；如此设置，通过调节连接片14在滑槽15内的位置，能够调节连接片14在底杆13之间的位置。

具体地，凸块5上开设有限位孔8，限位孔8与螺纹杆16相互配合，如此设置，方便螺纹杆16与凸块5的结合和分离，方便对晶圆金属环进行取放。

工作原理：

在使用时，根据晶圆金属环的厚度尺寸，在两个分层框9之间选择合适数量的分隔板10，使分层框9和分隔板10形成的存放槽能够刚好放置一个晶圆金属环，并通过螺纹杆16与凸块5之间的配合，对放置在存放架内的晶圆金属环进行限位固定，避免晶圆金属环从存放槽内滑出。

本实用新型通过分层框9和分隔板10之间的相互配合形成存放槽，同时结合螺纹杆16与凸块5的配合，能够精准的对晶圆金属环进行限位固定，避免出现杂乱的情况，而且本实用新型能够自由调节分层框9之间分隔板10的数量，以此调节存放槽的厚度，来满足不同厚度的晶圆金属环的存放，避免出现一格多放等情况，本实用新型通过设置分层框9对相邻的两个存放槽进行分隔，在放置时分层框9中间的横条对金属环具有分隔、导向的作用。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种晶圆金属环存放架，其特征在于：包括“门”字型的顶框（1）和两根条形的底杆（13），所述底杆（13）之间通过连接片（14）固定连接，所述顶框（1）和所述底杆（13）之间间隔交错设置有“门”字型的分层框（9）和条形的分隔板（10），所述分隔板（10）的内径小于所述分层框（9）的内径尺寸，且两个所述分层框（9）之间形成存放槽，所述顶框（1）和所述底杆（13）内侧设置有竖直对应的凸块（5），所述凸块（5）之间连接有螺纹杆（16）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆金属环存放架，其特征在于：所述顶框（1）内侧设置有两根水平的加强筋（2），所述顶框（1）的底部设置有加强片（3）。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆金属环存放架，其特征在于：两根所述加强筋（2）之间活动安装有活动提手（4）。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆金属环存放架，其特征在于：所述顶框（1）和所述底杆（13）的两侧端部设置有相互对应的固定部（6），所述固定部（6）上开设有固定孔（7）。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆金属环存放架，其特征在于：所述分层框（9）和所述分隔板（10）的两侧端部设置有定位部（11），所述定位部（11）与所述固定部（6）竖直对应，所述定位部（11）上开设有与所述固定孔（7）竖直对应的定位孔（12），且所述固定孔（7）和所述定位孔（12）内设置有所述螺纹杆（16）。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆金属环存放架，其特征在于：所述底杆（13）的内侧开设有滑槽（15），所述连接片（14）通过螺钉固定在所述滑槽（15）内部。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆金属环存放架，其特征在于：所述凸块（5）上开设有限位孔（8），所述限位孔（8）与所述螺纹杆（16）相互配合。

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