CN213752663U - 一种模封机料盒固定装置与安全门联动系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体设备技术领域，特别是一种模封机料盒固定装置与安全门联动系统，包括第一驱动装置和第二驱动装置，所述第一驱动装置和第二驱动装置均连接有电磁阀，所述电磁阀连接有开关，通过所述开关的接通与断开能够实现所述第一驱动装置和第二驱动装置的同步运动，所述第一驱动装置用于连接安全门，所述第二驱动装置连接有挡板，所述第二驱动装置能够带动所述挡板锁定或解锁料盒。采用本实用新型装置避免了操作人员在安装和取出所述料盒时均需手动操作锁定或解锁所述料盒，减轻了劳动强度，避免了遗忘锁定所述料盒，设备报警的情况，避免了工作时间的延误，提高了工作效率。

Description

一种模封机料盒固定装置与安全门联动系统

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，特别是一种模封机料盒固定装置与安全门联动系统。

背景技术

模封机是一种芯片框架加工设备，料盒是模封机内用于存放芯片框架的容器，模封机加工过程中需要对料盒进行固定。图1为现有技术中一种模封机料盒固定装置，限位杆3通过支架2固定在模封机内，手动将限位杆3按图1箭头所示方向逆时针转动挡在料盒1侧面，限制料盒1位移。模封机加工结束后，需取出料盒拿出芯片框架，操作人员按下开关，电磁阀通电，电磁阀控制气缸带动模封机安全门打开，操作人员手动将限位杆3反方向转动使限位杆3从料盒1侧面移开，操作人员得以取出料盒1拿出芯片框架，操作人员将空的料盒重新放入模封机内，将限位杆3手动转动至料盒侧面，将料盒1固定，再一次按下开关，电磁阀断电，电磁阀控制气缸带动安全门关闭，模封机继续加工。

但是，操作人员每次在安装或取出料盒1时，都需要手动转动限位杆3锁定或解锁料盒1，操作较为繁琐，若操作人员忘记锁定料盒1，会导致模封机报警，操作人员需重新打开安全门固定料盒1，降低了工作效率。

实用新型内容

本实用新型目的在于针对现有技术中安装或取出料盒时，操作人员都需要手动转动限位杆锁定或解锁料盒，操作较为繁琐，且忘记锁定料盒时，会导致设备报警，延误工作时间的问题，提供一种模封机料盒固定装置与安全门联动系统。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为：

一种模封机料盒固定装置与安全门联动系统，包括电磁阀组件、第一驱动装置和第二驱动装置，所述电磁阀组件与所述第一驱动装置和第二驱动装置均连接，所述电磁阀组件连接有开关，且所述开关能够控制所述电磁阀组件来带动所述第一驱动装置和第二驱动装置同步运动，所述第一驱动装置用于连接安全门，所述第二驱动装置连接有挡板，且所述第一驱动装置和第二驱动装置被配置为：

当所述第一驱动装置用于控制安全门打开时，所述第二驱动装置同步解锁料盒；

当所述第一驱动装置用于控制安全门关闭时，所述第二驱动装置同步锁定料盒。

所述驱动装置可为油缸或气缸，所述电磁阀可为常见的三位五通电磁阀或两位四通电磁阀，可采用两个所述电磁阀分别控制所述第一驱动装置和第二驱动装置，两个所述电磁阀串联或并联相连，所述开关控制两个所述电磁阀同时接通或断开，进而实现所述第一驱动装置和第二驱动装置的同步运动，需要指出的是，所述同步运动仅仅指的是所述第一驱动装置和第二驱动装置一起运动，其运动速度、行程可不同。也可采用一个所述电磁阀同时连接所述第一驱动装置和第二驱动装置，所述开关控制所述电磁阀的接通或断开，也可实现所述第一驱动装置和第二驱动装置的同步运动。所述第一驱动装置驱动所述安全门打开时，所述第二驱动装置带动所述挡板远离所述料盒实现对料盒位置的解锁；所述第一驱动装置驱动所述安全门关闭时，所述第二驱动装置带动所述挡板挡住所述料盒实现对料盒位置的锁定。采用本实用新型装置可以实现在打开或关闭所述安全门时，所述第二驱动装置自动带动所述挡板解锁或锁定所述料盒位置，省去了需要操作人员手动转动限位杆锁定或解锁所述料盒位置的操作流程，减轻了操作人员劳动强度，避免了遗忘锁定所述料盒带来的工作延误，提高了工作效率。

优选的，所述第一驱动装置包括第一气缸，所述第二驱动装置包括第二气缸，所述电磁阀通过三通阀连接所述第一气缸和第二气缸。

气缸结构简单、清洁，易于安装、维护，作为半导体设备的驱动装置较为合适。所述电磁阀连接所述第一气缸的进气管和出气管处分别设置一个三通阀连接所述第二气缸，使得所述电磁阀可以同时控制所述第一气缸和第二气缸动作。所述第二气缸连接有挡板，通过所述第二气缸的伸缩带动所述挡板挡住或远离所述料盒实现对料盒位置的锁定与解锁。采用本实用新型装置可以实现在打开或关闭所述安全门时，所述第二气缸自动带动所述挡板解锁或锁定所述料盒位置，省去了需要操作人员手动转动限位杆锁定或解锁所述料盒位置的操作流程，减轻了操作人员劳动强度，避免了遗忘锁定所述料盒带来的延误，提高了工作效率。

优选的，所述第二气缸包括旋转气缸。

所述旋转气缸的活塞杆具有旋转和轴向移动两个方向的行程。所述活塞杆带动所述挡板转动至所述料盒的正面并且朝着所述料盒正面移动压紧所述料盒，使所述料盒固定更加牢固。所述活塞杆反方向转动和轴向移动即可解锁所述料盒位置

优选的，所述挡板包括第一挡块和第二挡块，所述第二气缸连接所述第一挡块，所述第一挡块朝向所述料盒一侧通过弹簧连接有所述第二挡块，所述第二挡块用于锁定或解锁所述料盒。所述第二挡块压紧所述料盒后会受到反作用力再经过所述弹簧传到所述第一挡块上，所述弹簧可以起到缓冲吸能的作用，延长所述第一挡块的使用寿命。

优选的，所述第一挡块和第二挡块之间设置至少两个所述弹簧。

优选的，所述第二气缸通过支架与所述模封机相连接。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

1.采用本实用新型装置避免了操作人员在安装和取出所述料盒时均需手动锁定或解锁所述料盒，减轻了劳动强度，避免了遗忘锁定所述料盒时设备报警，提高了工作效率；

2.所述挡板压紧所述料盒后会受到反作用力，所述弹簧可以起到缓冲吸能的作用，延长所述挡板使用寿命。

附图说明

图1为现有技术中一种模封机料盒固定装置示意图；

图2为实施例1中料盒固定装置示意图，料盒处于解锁状态；

图3为实施例1中料盒固定装置示意图，料盒处于锁定状态；

图4为挡板结构示意图；

图中标记：1-料盒，2-支架，3-限位杆，4-第二驱动装置，5-挡板，51-第一挡块，52-第二挡块，53-弹簧。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例1

本实施例提供了一种模封机料盒固定装置与安全门联动系统，包括电磁阀组件、第一驱动装置和第二驱动装置4，所述电磁阀组件与所述第一驱动装置和第二驱动装置4均连接，所述电磁阀组件连接有开关，且所述开关能够控制所述电磁阀组件来带动所述第一驱动装置和第二驱动装置4同步运动，所述第一驱动装置用于连接安全门，所述第二驱动装置4连接有挡板5，且所述第一驱动装置和第二驱动装置4被配置为：

当所述第一驱动装置用于控制安全门打开时，所述第二驱动装置4同步解锁料盒1；

当所述第一驱动装置用于控制安全门关闭时，所述第二驱动装置4同步锁定料盒1。

如图2-4所示，所述第一驱动装置（图中未表示出）包括第一气缸，所述第二驱动装置4包括第二气缸，所述第一气缸和第二气缸活塞杆能轴向伸缩，所述第二气缸的活塞杆连接有所述挡板5，通过所述第二气缸的活塞杆带动所述挡板5挡住或远离所述料盒1实现对所述料盒1位置的锁定与解锁。所述第一气缸和第二气缸的行程、推力可根据实际情况选取。在本实施例中，所述第二气缸为旋转气缸，所述旋转气缸的活塞杆具有旋转和轴向移动两个方向的行程。可选的，本实施例中所述第一气缸采用CDG1BN20-500-C73型气缸，其中行程500mm，所述第二气缸采用型号为SRC-25-90的旋转气缸，其中缸径25mm，轴向行程11mm，转角90度。在本实施例中，根据所述第一气缸和第二气缸的型号选择合适的所述电磁阀型号，所述电磁阀可采用常见的三位五通电磁阀或两位四通电磁阀，可选地，采用型号为VQ1301-5的三位五通电磁阀。在本实施例中，所述电磁阀通过三通阀连接所述第一气缸和第二气缸，所述三通阀可为常见的Y型气动配件接头，根据所述电磁阀、第一气缸和第二气缸的具体型号选取合适的所述三通阀，可选地，采用型号为KQ2U04-00A的Y型快插接头。在所述电磁阀连接所述第一气缸的进气管和出气管处分别设置一个所述三通阀连接所述第二气缸。所述开关串联连接所述电磁阀，通过所述开关的接通与断开使得所述电磁阀相应地接通与断开，进而控制所述第一气缸和第二气缸同时动作。

进一步的，所述挡板5包括第一挡块51和第二挡块52，所述第二气缸连接所述第一挡块51，所述第一挡块51朝向所述料盒1一侧通过弹簧53连接有所述第二挡块52，所述第二挡块52用于锁定或解锁所述料盒1。可选的，所述旋转气缸活塞杆端部与所述第一挡块51螺纹连接，便于更换所述挡板5。进一步的，为了使得所述挡板5受力后，所述第一挡块51和第二挡块52之间位置保持相对稳定，不会发生相对错动，所述第一挡块51和第二挡块52之间设有至少两个所述弹簧53。在本实施例中，因所述料盒1位置一定，需要根据所述料盒1的位置依次确定出所述挡板5、第二气缸的位置，根据确定出的所述第二气缸的位置，所述第二气缸底座可能无法直接与所述模封机连接，可采用支架2将所述第二气缸底座和所述模封机相连接。

可选的，所述旋转气缸设于所述料盒1左侧，操作人员按下开关（图中未示出），电磁阀（图中未示出）电源断开，电磁阀控制所述第一气缸带动模封机安全门（图中未示出）关闭并控制所述旋转气缸的活塞杆按图2箭头所示方向旋转90度并朝向所述料盒1位移一段距离，带动所述挡板5转动至所述料盒1的侧面并且压紧所述料盒1从而自动锁定所述料盒1，如图3所示；操作人员再一次按下所述开关，所述电磁阀电源接通，所述电磁阀控制所述第一气缸带动所述安全门打开并控制所述旋转气缸的活塞杆反方向转动并朝远离所述料盒1的方向位移一段距离，带动所述挡板5从所述料盒1的侧面移开自动解锁所述料盒1，方便快捷。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种模封机料盒固定装置与安全门联动系统，其特征在于，包括电磁阀组件、第一驱动装置和第二驱动装置（4），所述电磁阀组件与所述第一驱动装置和第二驱动装置（4）均连接，所述电磁阀组件连接有开关，且所述开关能够控制所述电磁阀组件来带动所述第一驱动装置和第二驱动装置（4）同步运动，所述第一驱动装置用于连接安全门，所述第二驱动装置（4）连接有挡板（5），且所述第一驱动装置和第二驱动装置（4）被配置为：

当所述第一驱动装置用于控制安全门打开时，所述第二驱动装置（4）同步解锁料盒（1）；

当所述第一驱动装置用于控制安全门关闭时，所述第二驱动装置（4）同步锁定料盒（1）。

2.根据权利要求1所述的一种模封机料盒固定装置与安全门联动系统，其特征在于，所述第一驱动装置包括第一气缸，所述第二驱动装置（4）包括第二气缸，所述电磁阀通过三通阀连接所述第一气缸和第二气缸。

3.根据权利要求2所述的一种模封机料盒固定装置与安全门联动系统，其特征在于，所述第二气缸包括旋转气缸。

4.根据权利要求3所述的一种模封机料盒固定装置与安全门联动系统，其特征在于，所述挡板（5）包括第一挡块（51）和第二挡块（52），所述第二气缸连接所述第一挡块（51），所述第一挡块（51）朝向所述料盒（1）一侧通过弹簧（53）连接有所述第二挡块（52），所述第二挡块（52）用于锁定或解锁所述料盒（1）。

5.根据权利要求4所述的一种模封机料盒固定装置与安全门联动系统，其特征在于，所述第一挡块（51）和第二挡块（52）之间设置至少两个所述弹簧（53）。

6.根据权利要求2-5任一所述的一种模封机料盒固定装置与安全门联动系统，其特征在于，所述第二气缸通过支架（2）与所述模封机相连接。

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