CN213351442U - 一种用于半导体生产线的压装设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于半导体生产线的压装设备，包括用于支撑装置的支撑机构、盛放板、驱动机构，所述盛放板通过螺钉固定于所述支撑机构上，所述驱动机构设置于所述支撑机构的顶端，还包括用于固定不同尺寸大小工件的固定机构、压实机构，所述固定机构设置于所述盛放板的上方，所述固定机构共设置有八组且每四组相向设置，所述压实机构通过螺钉固定于所述驱动机构的下方。本实用新型通过设置四组固定机构固定一个待压装的工件，防止压力过大导致材料发生滑动，从而影响压装效果，另设置四个楔形块对工件进行夹紧，使工件的固定及拆卸均十分简便，提高加工效率，通过设置弹簧配合楔形块对工件进行夹紧，可适用于不同尺寸大小的工件。

Description

一种用于半导体生产线的压装设备

技术领域

本实用新型涉及半导体生产设备技术领域，具体地说是一种用于半导体生产线的压装设备。

背景技术

半导体是一种电导率在绝缘体至导体之间的物质，其电导率容易受控制，可作为信息处理的元件材料，从科技或是经济发展的角度来看，半导体非常重要，很多电子产品，如计算机、移动电话、数字录音机的核心单元都是利用半导体的电导率变化来处理信息，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，半导体在生产时需要对其进行压装。现在的半导体生产线的压装设备结构简单，无法将工件压实稳固，常因压力过大导致工件滑动，从而影响压装效果，且在固定工件或是拆卸工件时，均需要操作固定机构控制其开合进而固定或拆下工件，较为浪费时间。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于半导体生产线的压装设备，以解决上述背景中提出现在的半导体生产线的压装设备结构简单，无法将工件压实稳固，常因压力过大导致工件滑动，从而影响压装效果，且在固定工件或是拆卸工件时，均需要操作固定机构控制其开合进而固定或拆下工件，较为浪费时间的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于半导体生产线的压装设备，包括用于支撑装置的支撑机构、盛放板、驱动机构，所述盛放板通过螺钉固定于所述支撑机构上，所述驱动机构设置于所述支撑机构的顶端，还包括用于固定不同尺寸大小工件的固定机构、压实机构，所述固定机构设置于所述盛放板的上方，所述固定机构共设置有八组且每四组相向设置，所述压实机构通过螺钉固定于所述驱动机构的下方。

优选地，所述支撑机构包括工作台、储物柜、支脚、支撑梁，所述工作台内部开设有两个所述储物柜，所述工作台底部的四角通过螺钉固定有所述支脚，所述工作台上方通过螺钉固定有所述支撑梁。

优选地，所述固定机构包括限位板、弹簧、推动块、楔形块，所述楔形块滑动连接于所述盛放板上，每四个所述楔形块相对设置，每个所述楔形块的外侧均通过螺钉固定有所述推动块，每个所述推动块远离所述楔形块的一侧均设置有所述限位板，所述限位板与所述推动块之间通过螺钉固定有所述弹簧，所述限位板与所述盛放板通过螺钉固定连接，所述推动块与所述盛放板滑动连接。

优选地，所述压实机构包括压实头、固定筒、螺栓、螺纹孔、橡胶垫，所述固定筒通过螺钉固定于所述驱动机构的下端，所述固定筒的一侧开设有所述螺纹孔，所述螺纹孔内部通过螺纹连接有所述螺栓，所述螺栓的端部通过螺钉固定有所述橡胶垫，所述固定筒内部设置有所述压实头。

优选地，所述驱动机构包括液压缸、限位杆、滑块、丝杠、第一电机，所述第一电机通过螺钉固定于所述支撑机构的一侧，所述第一电机的输出端通过联轴器连接有所述丝杠，所述丝杠上通过螺纹连接有所述滑块，所述滑块内部滑动连接有所述限位杆，所述限位杆与所述支撑机构通过螺钉固定连接，所述滑块下方通过螺钉固定有所述液压缸。

优选地，所述驱动机构包括液压缸、安装板、转轴、第二电机，所述第二电机通过螺钉固定于所述支撑机构的顶部，所述第二电机的输出端通过联轴器连接所述转轴，所述转轴的下端键连接有所述安装板，所述安装板的下方通过螺钉固定有所述液压缸。

本实用新型提供的技术方案可以包括以下有益效果：

1、通过设置四组固定机构固定一个待压装的工件，防止压力过大导致材料发生滑动，从而影响压装效果，另设置四个楔形块对工件进行夹紧，使工件的固定及拆卸均十分简便，提高加工效率。

2、通过设置弹簧配合楔形块对工件进行夹紧，可适用于不同尺寸大小的工件，同时通过螺栓对压实头进行固定便于更换不同尺寸的压实头，以配合不同尺寸的工件适用，从而增大装置的使用范围，另设置八组固定机构固定工件，使装置实现双工位加工，提高加工效率。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型第一实施例的主视图；

图2是本实用新型第一实施例的俯视图；

图3是本实用新型放置板的俯视图；

图4是本实用新型压装机构的主视内部结构示意图；

图5是本实用新型推动块和楔形块的立体结构示意图；

图6是本实用新型第二实施例的主视图。

图中：1、支撑机构；11、工作台；12、储物柜；13、支脚；14、支撑梁；2、盛放板；3、固定机构；31、限位板；32、弹簧；33、推动块；34、楔形块；4、压实机构；41、压实头；42、固定筒；43、螺栓；44、螺纹孔；45、橡胶垫；5、驱动机构；51、液压缸；52、限位杆；53、滑块；54、丝杠；55、第一电机；501、安装板；502、转轴；503、第二电机。

具体实施方式

以下，参照附图对实施例进行说明。此外，下面所示的实施例不对权利要求所记载的实用新型内容起任何限定作用。另外，下面实施例所表示的构成的全部内容不限于作为权利要求所记载的实用新型的解决方案所必需的。

实施例1

如图1、图2、图3、图4、图5所示，一种用于半导体生产线的压装设备，包括用于支撑装置的支撑机构1、盛放板2、驱动机构5，盛放板2通过螺钉固定于支撑机构1上，驱动机构5设置于支撑机构1的顶端，还包括用于固定不同尺寸大小工件的固定机构3、压实机构4，固定机构3设置于盛放板2的上方，固定机构3共设置有八组且每四组相向设置，压实机构4通过螺钉固定于驱动机构5的下方，支撑机构1包括工作台11、储物柜12、支脚13、支撑梁14，工作台11内部开设有两个储物柜12，用以暂时存放未加工或者加工完成的工件，工作台11底部的四角通过螺钉固定有支脚13，工作台11上方通过螺钉固定有支撑梁14，固定机构3包括限位板31、弹簧32、推动块33、楔形块34，楔形块34滑动连接于盛放板2上，每四个楔形块34相对设置，如此设置用以对工件的四个侧面进行夹紧以固定工件，每个楔形块34的外侧均通过螺钉固定有推动块33，每个推动块33远离楔形块34的一侧均设置有限位板31，限位板31与推动块33之间通过螺钉固定有弹簧32，限位板31与盛放板2通过螺钉固定连接，推动块33与盛放板2滑动连接。如此设置可便于对工件进行拆装另可固定不同大小尺寸的工件，压实机构4包括压实头41、固定筒42、螺栓43、螺纹孔44、橡胶垫45，固定筒42通过螺钉固定于滑块53的下端，固定筒42的一侧开设有螺纹孔44，螺纹孔44内部通过螺纹连接有螺栓43，用以对压实头41进行压紧固定，螺栓43的端部通过螺钉固定有橡胶垫45，用以增大与压实头41之间的摩擦力的同时减轻螺栓43对压实头41的磨损，固定筒42内部设置有压实头41，如此设置便于更换不同尺寸的压实头41以配合不同尺寸的工件使用，增大装置的使用范围，驱动机构5包括液压缸51、限位杆52、滑块53、丝杠54、第一电机55，第一电机55通过螺钉固定于支撑梁14的一侧，用以为装置提供动力，第一电机55的输出端通过联轴器连接有丝杠54，丝杠54上通过螺纹连接有滑块53，滑块53内部滑动连接有限位杆52，限位杆52与支撑机构1通过螺钉固定连接，滑块53下方通过螺钉固定有液压缸51，用以控制压实头41的高度。

上述结构中：使用时，首先将压实头41放置于固定筒42内部，通过旋紧螺栓43将压实头41固定，将待压装的工件置于四个楔形块34的中心处与四个楔形块34的斜面接触，轻轻按压工件，此时四个楔形块34同时滑动挤压弹簧32使其收缩从而使工件下移至接触盛放板2，同时弹簧32推动推动块33及楔形块34对工件进行夹紧，即完成工件的固定，然后通过第一电机55工作带动滑块53及压实机构4移动至工件上方，通过液压缸51带动压实头41下移完成压实工作，压实完成后，只需轻轻提起工件即可将其取出，无需调节固定机构3即可实现工件的拆装，十分简便，以提高工作效率。

实施例2

如图3、图4、图5、图6所示，实施例2和实施例1的区别在于，将实施例1的液压缸51、限位杆52、滑块53、丝杠54、第一电机55更换成液压缸51、安装板501、转轴502、第二电机503，当需要对另外一个工位上的工件进行压装时，通过液压缸51带动压实机构4上移，启动第二电机503工作带动安装板501旋转支撑机构180度，再通过液压缸51带动压实机构4即可对另一个工件进行压实。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种用于半导体生产线的压装设备，其特征在于：包括用于支撑装置的支撑机构(1)、盛放板(2)、驱动机构(5)，所述盛放板(2)通过螺钉固定于所述支撑机构(1)上，所述驱动机构(5)设置于所述支撑机构(1)的顶端，还包括用于固定不同尺寸大小工件的固定机构(3)、压实机构(4)，所述固定机构(3)设置于所述盛放板(2)的上方，所述固定机构(3)共设置有八组且每四组相向设置，所述压实机构(4)通过螺钉固定于所述驱动机构(5)的下方；

所述支撑机构(1)包括工作台(11)、储物柜(12)、支脚(13)、支撑梁(14)，所述工作台(11)内部开设有两个所述储物柜(12)，所述工作台(11)底部的四角通过螺钉固定有所述支脚(13)，所述工作台(11)上方通过螺钉固定有所述支撑梁(14)；

所述固定机构(3)包括限位板(31)、弹簧(32)、推动块(33)、楔形块(34)，所述楔形块(34)滑动连接于所述盛放板(2)上，每四个所述楔形块(34)相对设置，每个所述楔形块(34)的外侧均通过螺钉固定有所述推动块(33)，每个所述推动块(33)远离所述楔形块(34)的一侧均设置有所述限位板(31)，所述限位板(31)与所述推动块(33)之间通过螺钉固定有所述弹簧(32)，所述限位板(31)与所述盛放板(2)通过螺钉固定连接，所述推动块(33)与所述盛放板(2)滑动连接；

所述压实机构(4)包括压实头(41)、固定筒(42)、螺栓(43)、螺纹孔(44)、橡胶垫(45)，所述固定筒(42)通过螺钉固定于所述驱动机构(5)的下端，所述固定筒(42)的一侧开设有所述螺纹孔(44)，所述螺纹孔(44)内部通过螺纹连接有所述螺栓(43)，所述螺栓(43)的端部通过螺钉固定有所述橡胶垫(45)，所述固定筒(42)内部设置有所述压实头(41)。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产线的压装设备，其特征在于：所述驱动机构(5)包括液压缸(51)、限位杆(52)、滑块(53)、丝杠(54)、第一电机(55)，所述第一电机(55)通过螺钉固定于所述支撑机构(1)的一侧，所述第一电机(55)的输出端通过联轴器连接有所述丝杠(54)，所述丝杠(54)上通过螺纹连接有所述滑块(53)，所述滑块(53)内部滑动连接有所述限位杆(52)，所述限位杆(52)与所述支撑机构(1)通过螺钉固定连接，所述滑块(53)下方通过螺钉固定有所述液压缸(51)。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产线的压装设备，其特征在于：所述驱动机构(5)包括液压缸(51)、安装板(501)、转轴(502)、第二电机(503)，所述第二电机(503)通过螺钉固定于所述支撑机构(1)的顶部，所述第二电机(503)的输出端通过联轴器连接所述转轴(502)，所述转轴(502)的下端键连接有所述安装板(501)，所述安装板(501)的下方通过螺钉固定有所述液压缸(51)。

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