CN212638032U - 一种晶元产品在凹型载具中均匀分布的装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶元产品在凹型载具中均匀分布的装置，包括底板、位于所述底板上的驱动电机、位于所述驱动电机一侧的摆动支架以及位于所述摆动支架上的凹型载具；所述底板上设置有主凸轮盘与副凸轮盘，所述主凸轮盘位于所述摆动支架摆动的中心位置处，所述主凸轮盘通过带轮结构与所述驱动电机的转轴连接，所述副凸轮盘位于所述主凸轮盘侧面且与所述摆动支架位置对应，所述主凸轮盘与所述副凸轮盘均通过轴承与所述摆动支架连接，所述摆动支架能够进行偏心摆动。本实用新型实现了对晶元产品在凹型载具内的均匀分布，在此过程中，无需人工操作，减少人力消耗的同时降低了工人的劳动强度，相较于传统的人工调整，效率更高，调整达到的效果更好。
Description
技术领域
本实用新型属于晶元产品配置技术领域，尤其涉及一种晶元产品在凹型载具中均匀分布的装置。
背景技术
晶元，是一种生产集成电路所用的载体，通常多指单晶硅圆片，晶元在生产加工完成之后，往往需要对其进行收集，而传统的收集方式往往是将晶元直接导入载具中，再采用人工调整的方式，使晶元产品均匀分布在载具中，而载具的类型往往有多种，对于晶元产品在凹型载具内的放置，这种人工调整的方式需要消耗大量人力，极大地增加了工人的劳动强度，同时人工调整的效率低下，最终达到的调整效果也不尽如人意。
实用新型内容
本实用新型克服了现有技术的不足，提供一种晶元产品在凹型载具中均匀分布的装置，以解决现有技术中存在的问题。
为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为：一种晶元产品在凹型载具中均匀分布的装置，包括底板、位于所述底板上的驱动电机、位于所述驱动电机一侧的摆动支架以及位于所述摆动支架上的凹型载具；所述底板上设置有主凸轮盘与副凸轮盘，所述主凸轮盘位于所述摆动支架摆动的中心位置处，所述主凸轮盘通过带轮结构与所述驱动电机的转轴连接，所述副凸轮盘位于所述主凸轮盘侧面且与所述摆动支架位置对应，所述主凸轮盘与所述副凸轮盘均通过轴承与所述摆动支架连接，所述摆动支架能够进行偏心摆动。
本实用新型一个较佳实施例中，所述驱动电机为步进电机。
本实用新型一个较佳实施例中，所述摆动支架顶部设置有支撑板，所述凹型载具位于所述支撑板上。
本实用新型一个较佳实施例中，所述支撑板上设置有定位组件，所述定位组件数量为四组且能够从四个方向对所述凹型载具进行定位。
本实用新型一个较佳实施例中，所述定位组件包括定位气缸与位于所述定位气缸活塞杆端的定位板，所述定位板与所述凹型载具位置对应。
本实用新型一个较佳实施例中，所述带轮结构包括主动带轮与从动带轮，所述主动带轮位于所述驱动电机的转轴上，所述从动带轮通过连接轴与所述主凸轮盘连接，所述主动带轮与所述从动带轮之间采用皮带传动。
本实用新型解决了背景技术中存在的缺陷，本实用新型具备以下有益效果：
本实用新型在底板、驱动电机、摆动支架、主凸轮盘以及副凸轮盘的配合作用下，实现了对晶元产品在凹型载具内的均匀分布，在此过程中，无需人工操作，减少人力消耗的同时降低了工人的劳动强度，同时，相较于传统的人工调整，效率更高，调整达到的效果更好。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明；
图1为本实用新型优选实施例一整体结构示意图；
图2为本实用新型优选实施例另一整体结构示意图；
图中：1、底板；2、驱动电机；3、摆动支架；4、凹型载具；5、主凸轮盘；6、副凸轮盘；7、带轮结构；8、轴承；9、支撑板；10、定位组件；101、定位气缸；102、定位板。
具体实施方式
现在结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的说明，这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
如图1与图2所示，一种晶元产品在凹型载具中均匀分布的装置，包括底板1、位于底板1上的驱动电机2、位于驱动电机2一侧的摆动支架3以及位于摆动支架3上的凹型载具4；底板1上设置有主凸轮盘5与副凸轮盘6，主凸轮盘5位于摆动支架3摆动的中心位置处，主凸轮盘5通过带轮结构7与驱动电机2的转轴连接，副凸轮盘6位于主凸轮盘5侧面且与摆动支架3位置对应，主凸轮盘5与副凸轮盘6均通过轴承8与摆动支架3连接，摆动支架3能够进行偏心摆动。
在本实施例中，晶元产品不均匀的放置在凹型载具4内，由定位组件10对凹型载具4进行定位，当需要对晶元产品位置进行调整时，驱动电机2通过带轮结构7驱动主凸轮盘5进行转动，主凸轮盘5带动摆动支架3进行摆动，由于轴承8的位置与主凸轮盘5的中心位置不对应，故而主凸轮盘5在转动时，摆动支架3将会进行偏心摆动，而副凸轮盘6的存在，能够对摆动支架3摆动的角度进行限定，避免摆动角度过大造成晶元产品从凹型载具4内抛出，从而晶元产品在凹型载具4内进行运动，最终使晶元产品在凹型载具4内均匀分布。
具体地，在本实施例中，驱动电机2为步进电机。
在本实施例中，摆动支架3顶部设置有支撑板9，凹型载具4位于支撑板9上。
进一步地，支撑板9上设置有定位组件10，定位组件10数量为四组且能够从四个方向对凹型载具4进行定位，达到更好的定位效果。
具体地，定位组件10包括定位气缸101与位于定位气缸101活塞杆端的定位板102，定位板102与凹型载具4位置对应。
在本实施例中，带轮结构7包括主动带轮与从动带轮，主动带轮位于驱动电机2的转轴上，从动带轮通过连接轴与主凸轮盘5连接，主动带轮与从动带轮之间采用皮带传动。
总而言之，本实用新型在底板1、驱动电机2、摆动支架3、主凸轮盘5以及副凸轮盘6的配合作用下，实现了对晶元产品在凹型载具4内的均匀分布，在此过程中，无需人工操作，减少人力消耗的同时降低了工人的劳动强度，同时，相较于传统的人工调整，效率更高，调整达到的效果更好。
以上依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定技术性范围。
Claims (6)
1.一种晶元产品在凹型载具中均匀分布的装置，其特征在于，包括底板、位于所述底板上的驱动电机、位于所述驱动电机一侧的摆动支架以及位于所述摆动支架上的凹型载具；所述底板上设置有主凸轮盘与副凸轮盘，所述主凸轮盘位于所述摆动支架摆动的中心位置处，所述主凸轮盘通过带轮结构与所述驱动电机的转轴连接，所述副凸轮盘位于所述主凸轮盘侧面且与所述摆动支架位置对应，所述主凸轮盘与所述副凸轮盘均通过轴承与所述摆动支架连接，所述摆动支架能够进行偏心摆动。
2.根据权利要求1所述的一种晶元产品在凹型载具中均匀分布的装置，其特征在于，所述驱动电机为步进电机。
3.根据权利要求1所述的一种晶元产品在凹型载具中均匀分布的装置，其特征在于，所述摆动支架顶部设置有支撑板，所述凹型载具位于所述支撑板上。
4.根据权利要求3所述的一种晶元产品在凹型载具中均匀分布的装置，其特征在于，所述支撑板上设置有定位组件，所述定位组件数量为四组且能够从四个方向对所述凹型载具进行定位。
5.根据权利要求4所述的一种晶元产品在凹型载具中均匀分布的装置，其特征在于，所述定位组件包括定位气缸与位于所述定位气缸活塞杆端的定位板，所述定位板与所述凹型载具位置对应。
6.根据权利要求1所述的一种晶元产品在凹型载具中均匀分布的装置，其特征在于，所述带轮结构包括主动带轮与从动带轮，所述主动带轮位于所述驱动电机的转轴上，所述从动带轮通过连接轴与所述主凸轮盘连接，所述主动带轮与所述从动带轮之间采用皮带传动。
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