CN212587465U - 激光切割用加工晶圆转运结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种激光切割用加工晶圆转运结构，包括安装框和限位装置，所述安装框上端与提手固定连接，且安装框侧壁与定位块固定连接，同时安装框内部固定连接有晶圆固定板，并且晶圆固定板内部开设有卡槽，安装框底部与卡扣固定连接，且安装框底部设置在转运装置内部，同时转运装置内壁上固定连接有定位轨道，同时转运装置外壁右下侧开设有凹槽；所述限位装置固定安装在转运装置内部下侧，且限位装置左侧安装有定位管，同时定位管右侧安装有定位柱。该激光切割用加工晶圆转运结构，卡块向左移动，此时卡块对卡扣失去固定力，通过提手，向上拉动安装框，即可将安装框从转运装置内部取出，便于与将晶圆从安装框内部取出。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆转运装置领域，具体为一种激光切割用加工晶圆转运结构。
背景技术
在实际晶圆运输过程中，需要使用到晶圆盒对晶圆进行转运，对晶圆进行保护和运输作业，经过检索，现有技术公开(申请号：CN201821859026.1) 一种能降低晶圆运输报废的晶圆盒，文中提出“包括晶圆盒主体,所述晶圆盒主体的内部左右两侧内壁上设有若干组的盒内卡槽，所述晶圆盒的前侧嵌入安装有晶圆盒盖，所述晶圆盒盖的内侧设有晶圆盒盖卡槽，所述晶圆盒主体内部左右底三侧内壁上设有盒内卡槽固定槽，所述晶圆盒主体内部还设有隔板，”晶圆盒主体为一体式设置，在将晶圆从其内部取出的时候，十分不便，针对上述中存在的问题，遂有本案产生。
为了解决目前市场上所存在的缺点，从而提出一种激光切割用加工晶圆转运结构来解决上述提出的问题。
实用新型内容
本实用新型解决的技术问题在于克服背景技术中提到的缺陷，提供一种激光切割用加工晶圆转运结构。所述卡块、卡扣、安装框和转运装置具有卡块向左移动，此时卡块对卡扣失去固定力，通过提手，向上拉动安装框，即可将安装框从转运装置内部取出，便于与将晶圆从安装框内部取出的特点。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种激光切割用加工晶圆转运结构，包括安装框和限位装置，所述安装框上端与提手固定连接，且安装框侧壁与定位块固定连接，同时安装框内部固定连接有晶圆固定板，并且晶圆固定板内部开设有卡槽，安装框底部与卡扣固定连接，且安装框底部设置在转运装置内部，同时转运装置内壁上固定连接有定位轨道，同时转运装置外壁右下侧开设有凹槽；
所述限位装置固定安装在转运装置内部下侧，且限位装置左侧安装有定位管，同时定位管右侧安装有定位柱，定位柱右端与卡块固定连接，并且卡块内部开设有开孔，开孔右端与传动杆固定连接，且传动杆右端穿过转运装置的壁板与按压块固定连接。
优选的，所述安装框的两端均固定连接有两组定位块，且定位块内部开设有两组定位槽，定位块与定位槽的尺寸相适配，同时安装框通过其两端的定位块滑动连接在定位槽内部。
优选的，所述安装框是由金属材质做成的“回”字形结构，且安装框在转运装置、内部为可拆卸设置。
优选的，所述定位管内部开设有与定位柱尺寸相适配的定位孔，定位柱插接在定位孔内部，定位管左侧通过安装板安装在转运装置内部下侧，定位管与安装板组合在一起为 “L”形设置。
优选的，所述卡块是由金属材质做成的矩形结构，且卡块内部开设有下倾斜面，下倾斜面与上倾斜面平行设置，同时下倾斜面与上倾斜面接触连接，下倾斜面倾斜49°设置。
优选的，所述卡块为横向移动结构，且卡块内部的开孔尺寸大于卡扣的尺寸，同时卡扣的下端为直角梯形设置。
优选的，所述传动杆上套接有复位弹簧，且复位弹簧设置在卡块与转运装置的内壁之间。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1.卡扣的下端穿过开孔；复位弹簧失去拉升力，复位弹簧复位，卡接在卡块的底部，完成安装框在转运装置内部的固定工作；
2.按压按压块，使得卡块向左移动，此时卡块对卡扣失去固定力，通过提手，向上拉动安装框，即可将安装框从转运装置内部取出，便于与将晶圆从安装框内部取出。
附图说明
图1为本实用新型结构正视示意图；
图2为本实用新型结构卡扣、限位装置卡接示意图；
图3为本实用新型结构A-A剖面示意图；
图4为本实用新型结构卡扣与卡块接触示意图；
图5为本实用新型结构卡扣与卡块卡接示意图；
图6为本实用新型结构卡扣与卡块脱离示意图；
图7为本实用新型结构卡块俯视图。
图中标号：1、提手；2、安装框；3、晶圆固定板；4、卡槽；5、转运装置；6、定位块；7、定位轨道；8、按压块；9、卡扣；10、限位装置；11、定位管；12、定位柱；13、上倾斜面；14、卡块；15、开孔；16、复位弹簧；17、传动杆；18、凹槽；19、下倾斜面。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-7，本实用新型提供一种技术方案：一种激光切割用加工晶圆转运结构，包括安装框2和限位装置10，安装框2上端与提手1固定连接，且安装框2侧壁与定位块6固定连接，同时安装框2内部固定连接有晶圆固定板3，并且晶圆固定板3内部开设有卡槽4，安装框2底部与卡扣9固定连接，且安装框2底部设置在转运装置5内部，同时转运装置5内壁上固定连接有定位轨道7，同时转运装置5外壁右下侧开设有凹槽18；安装框2的两端均固定连接有两组定位块6，且定位块6内部开设有两组定位槽，定位块6与定位槽的尺寸相适配，同时安装框2通过其两端的定位块6滑动连接在定位槽内部；安装框2是由金属材质做成的“回”字形结构，且安装框2在转运装置5、内部为可拆卸设置；限位装置10固定安装在转运装置5内部下侧，且限位装置10左侧安装有定位管11，同时定位管11右侧安装有定位柱12，定位柱12右端与卡块14固定连接，并且卡块14内部开设有开孔15，定位管11内部开设有与定位柱12尺寸相适配的定位孔，定位柱12插接在定位孔内部，定位管11左侧通过安装板安装在转运装置5内部下侧，定位管11与安装板组合在一起为 “L”形设置；开孔15右端与传动杆17固定连接，且传动杆17右端穿过转运装置5的壁板与按压块8固定连接；传动杆17上套接有复位弹簧16，且复位弹簧16设置在卡块14与转运装置5的内壁之间；卡块14是由金属材质做成的矩形结构，且卡块14内部开设有下倾斜面19，下倾斜面19与上倾斜面13平行设置，同时下倾斜面19与上倾斜面13接触连接，下倾斜面19倾斜49°设置；卡块14为横向移动结构，且卡块14内部的开孔15尺寸大于卡扣9的尺寸，同时卡扣9的下端为直角梯形设置；
如图4-7所示：卡扣9向下移动的时候，其底部的上倾斜面13与下倾斜面19相接触，下倾斜面19表面受力使得卡块14向左移动，此时卡扣9继续向下移动，此时的复位弹簧16处于拉升状态，直到卡扣9的下端穿过开孔15；复位弹簧16失去拉升力，复位弹簧16复位，卡接在卡块14的底部，完成安装框2在转运装置5内部的固定工作；
如图1-2所示：当需要将安装框2内部的晶圆取出的时候，按压按压块8，使得卡块14向左移动，此时卡块14对卡扣9失去固定力，通过提手1，向上拉动安装框2，即可将安装框2从转运装置5内部取出，安装框2的周向位置设置有密封块，当卡扣9与卡块14相卡接的时候，安装框2周向的密封块卡接在定位轨道7上，避免在转运的过程中，外界的灰尘进入到转运装置5内部，避免晶圆受到灰尘污染。
在使用该激光切割用加工晶圆转运结构时，手持提手1，将安装框2两端的定位块6分别对准定位轨道7，将定位块6插接在定位轨道7内部，完成对安装框2在转运装置5内部的安装工作，安装框2下端的卡扣9卡接在限位装置10上的卡块14底部，完成对安装框2与转运装置5之间的固定工作；这就是该激光切割用加工晶圆转运结构工作的整个过程。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (7)
1.一种激光切割用加工晶圆转运结构，包括安装框（2）和限位装置（10），其特征在于：所述安装框（2）上端与提手（1）固定连接，且安装框（2）侧壁与定位块（6）固定连接，同时安装框（2）内部固定连接有晶圆固定板（3），并且晶圆固定板（3）内部开设有卡槽（4），安装框（2）底部与卡扣（9）固定连接，且安装框（2）底部设置在转运装置（5）内部，同时转运装置（5）内壁上固定连接有定位轨道（7），同时转运装置（5）外壁右下侧开设有凹槽（18）；
所述限位装置（10）固定安装在转运装置（5）内部下侧，且限位装置（10）左侧安装有定位管（11），同时定位管（11）右侧安装有定位柱（12），定位柱（12）右端与卡块（14）固定连接，并且卡块（14）内部开设有开孔（15），开孔（15）右端与传动杆（17）固定连接，且传动杆（17）右端穿过转运装置（5）的壁板与按压块（8）固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种激光切割用加工晶圆转运结构，其特征在于：所述安装框（2）的两端均固定连接有两组定位块（6），且定位块（6）内部开设有两组定位槽，定位块（6）与定位槽的尺寸相适配，同时安装框（2）通过其两端的定位块（6）滑动连接在定位槽内部。
3.根据权利要求1所述的一种激光切割用加工晶圆转运结构，其特征在于：所述安装框（2）是由金属材质做成的“回”字形结构，且安装框（2）在转运装置（5）、内部为可拆卸设置。
4.根据权利要求1所述的一种激光切割用加工晶圆转运结构，其特征在于：所述定位管（11）内部开设有与定位柱（12）尺寸相适配的定位孔，定位柱（12）插接在定位孔内部，定位管（11）左侧通过安装板安装在转运装置（5）内部下侧，定位管（11）与安装板组合在一起为“L”形设置。
5.根据权利要求1所述的一种激光切割用加工晶圆转运结构，其特征在于：所述卡块（14）是由金属材质做成的矩形结构，且卡块（14）内部开设有下倾斜面（19），下倾斜面（19）与上倾斜面（13）平行设置，同时下倾斜面（19）与上倾斜面（13）接触连接，下倾斜面（19）倾斜49°设置。
6.根据权利要求1所述的一种激光切割用加工晶圆转运结构，其特征在于：所述卡块（14）为横向移动结构，且卡块（14）内部的开孔（15）尺寸大于卡扣（9）的尺寸，同时卡扣（9）的下端为直角梯形设置。
7.根据权利要求1所述的一种激光切割用加工晶圆转运结构，其特征在于：所述传动杆（17）上套接有复位弹簧（16），且复位弹簧（16）设置在卡块（14）与转运装置（5）的内壁之间。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115593910A (zh) * | 2022-10-19 | 2023-01-13 | 苏州广年科技有限公司（Cn） | 防刮伤式晶圆转运方法 |
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- 2020-09-03 CN CN202021900902.8U patent/CN212587465U/zh active Active
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