CN212432965U - 一种半导体检测用椭偏仪 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 19
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 4
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 5
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 abstract description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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Abstract
本实用新型公开了一种半导体检测用椭偏仪，包括底座，所述底座的顶部固定连接有连接块，所述连接块的背面活动连接有支撑块，所述支撑块的底部与底座的顶部活动连接，所述支撑块正面的两侧分别设置有线性偏振器和偏振分析器，所述底座的顶部固定连接有位于连接块正面的电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的顶端固定连接有台架。本实用新型通过设置电动伸缩杆、台架、第一电机、第一齿轮、第二齿轮和固定杆，能够带动固定板转动，通过设置第二电机和固定板，能够带动放置板转动，使椭偏仪便于使用，椭偏仪不需要手动在载物台上移动半导体，不易出现产品破碎，且半导体位置可调节，避免测量误差，有利于人们的使用。
Description
技术领域
本实用新型涉及椭偏仪技术领域，具体为一种半导体检测用椭偏仪。
背景技术
椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器，由于测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器，目前常见的椭偏仪在使用时，大都通过手动在载物台上移动半导体，容易导致破碎，并且半导体的位置固定，容易出现测量误差，不利于人们的使用。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种半导体检测用椭偏仪，具备椭偏仪便于使用的优点，解决了椭偏仪使用不方便的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体检测用椭偏仪，包括底座，所述底座的顶部固定连接有连接块，所述连接块的背面活动连接有支撑块，所述支撑块的底部与底座的顶部活动连接，所述支撑块正面的两侧分别设置有线性偏振器和偏振分析器，所述底座的顶部固定连接有位于连接块正面的电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的顶端固定连接有台架，所述台架右侧固定连接有第一电机，所述第一电机转轴的左端贯穿台架并延伸至台架的内部固定连接有第一齿轮，所述第一齿轮的表面啮合有第二齿轮，所述台架的内部活动连接有固定杆，所述固定杆的表面与第二齿轮的内壁固定连接，所述固定杆的表面固定连接有固定板，所述固定板的正面固定连接有第二电机，所述第二电机转轴的后端贯穿固定板并延伸固定板的内部固定连接有放置板。
优选的，所述固定板的内部开设有通孔，所述通孔的数量为两个。
优选的，所述底座的底部固定连接有支腿，所述支腿固定连接在底座底部的四角。
优选的，所述支撑块内部的两侧均螺纹连接有螺栓，所述螺栓的前端延伸至连接块的外部。
优选的，所述固定板的内部开设有凹槽，所述凹槽为长方形。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
1、本实用新型通过设置电动伸缩杆、台架、第一电机、第一齿轮、第二齿轮和固定杆，能够带动固定板转动，通过设置第二电机和固定板，能够带动放置板转动，使椭偏仪便于使用，椭偏仪不需要手动在载物台上移动半导体，不易出现产品破碎，且半导体位置可调节，避免测量误差，有利于人们的使用。
2、本实用新型通过设置通孔，使放置板能够转动，通过设置支腿，使椭偏仪放置更稳定，通过设置螺栓，使支撑块便于固定。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为本实用新型结构剖视图；
图3为本实用新型图2中A的放大结构图。
图中：1、底座；2、连接块；3、支撑块；4、线性偏振器；5、偏振分析器；6、电动伸缩杆；7、台架；8、第一电机；9、第一齿轮；10、第二齿轮；11、固定杆；12、固定板；13、第二电机；14、放置板；15、通孔；16、支腿；17、螺栓；18、凹槽。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3，一种半导体检测用椭偏仪，包括底座1，底座1的底部固定连接有支腿16，支腿16固定连接在底座1底部的四角，通过设置支腿16，使椭偏仪放置更稳定，底座1的顶部固定连接有连接块2，连接块2的背面活动连接有支撑块3，支撑块3内部的两侧均螺纹连接有螺栓17，螺栓17的前端延伸至连接块2的外部，通过设置螺栓17，使支撑块3便于固定，支撑块3的底部与底座1的顶部活动连接，支撑块3正面的两侧分别设置有线性偏振器4和偏振分析器5，底座1的顶部固定连接有位于连接块2正面的电动伸缩杆6，电动伸缩杆6的顶端固定连接有台架7，台架7右侧固定连接有第一电机8，第一电机8转轴的左端贯穿台架7并延伸至台架7的内部固定连接有第一齿轮9，第一齿轮9的表面啮合有第二齿轮10，台架7的内部活动连接有固定杆11，固定杆11的表面与第二齿轮10的内壁固定连接，固定杆11的表面固定连接有固定板12，固定板12的内部开设有通孔15，通孔15的数量为两个，通过设置通孔15，使放置板14能够转动，固定板12的内部开设有凹槽18，凹槽18为长方形，固定板12的正面固定连接有第二电机13，第二电机13转轴的后端贯穿固定板12并延伸固定板12的内部固定连接有放置板14，通过设置电动伸缩杆6、台架7、第一电机8、第一齿轮9、第二齿轮10和固定杆11，能够带动固定板12转动，通过设置第二电机13和固定板12，能够带动放置板14转动，使椭偏仪便于使用，椭偏仪不需要手动在载物台上移动半导体，不易出现产品破碎，且半导体位置可调节，避免测量误差，有利于人们的使用。
使用时，第一电机8带动第一齿轮9转动，第一齿轮9通过第二齿轮10带动固定杆11转动，固定杆11带动固定板12转动，第二电机13带动放置板14转动，能够对放置板14上半导体的角度进行调节。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种半导体检测用椭偏仪，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的顶部固定连接有连接块（2），所述连接块（2）的背面活动连接有支撑块（3），所述支撑块（3）的底部与底座（1）的顶部活动连接，所述支撑块（3）正面的两侧分别设置有线性偏振器（4）和偏振分析器（5），所述底座（1）的顶部固定连接有位于连接块（2）正面的电动伸缩杆（6），所述电动伸缩杆（6）的顶端固定连接有台架（7），所述台架（7）右侧固定连接有第一电机（8），所述第一电机（8）转轴的左端贯穿台架（7）并延伸至台架（7）的内部固定连接有第一齿轮（9），所述第一齿轮（9）的表面啮合有第二齿轮（10），所述台架（7）的内部活动连接有固定杆（11），所述固定杆（11）的表面与第二齿轮（10）的内壁固定连接，所述固定杆（11）的表面固定连接有固定板（12），所述固定板（12）的正面固定连接有第二电机（13），所述第二电机（13）转轴的后端贯穿固定板（12）并延伸固定板（12）的内部固定连接有放置板（14）。
2.根据权利要求1所述的一种半导体检测用椭偏仪，其特征在于：所述固定板（12）的内部开设有通孔（15），所述通孔（15）的数量为两个。
3.根据权利要求1所述的一种半导体检测用椭偏仪，其特征在于：所述底座（1）的底部固定连接有支腿（16），所述支腿（16）固定连接在底座（1）底部的四角。
4.根据权利要求1所述的一种半导体检测用椭偏仪，其特征在于：所述支撑块（3）内部的两侧均螺纹连接有螺栓（17），所述螺栓（17）的前端延伸至连接块（2）的外部。
5.根据权利要求1所述的一种半导体检测用椭偏仪，其特征在于：所述固定板（12）的内部开设有凹槽（18），所述凹槽（18）为长方形。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202020719488.4U CN212432965U (zh) | 2020-05-06 | 2020-05-06 | 一种半导体检测用椭偏仪 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202020719488.4U CN212432965U (zh) | 2020-05-06 | 2020-05-06 | 一种半导体检测用椭偏仪 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN212432965U true CN212432965U (zh) | 2021-01-29 |
Family
ID=74288573
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202020719488.4U Expired - Fee Related CN212432965U (zh) | 2020-05-06 | 2020-05-06 | 一种半导体检测用椭偏仪 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN212432965U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113188457A (zh) * | 2021-04-23 | 2021-07-30 | 中北大学 | 一种双旋转补偿器型Mueller矩阵椭偏仪的补偿器同步旋转结构 |
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2020
- 2020-05-06 CN CN202020719488.4U patent/CN212432965U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113188457A (zh) * | 2021-04-23 | 2021-07-30 | 中北大学 | 一种双旋转补偿器型Mueller矩阵椭偏仪的补偿器同步旋转结构 |
| CN113188457B (zh) * | 2021-04-23 | 2022-10-04 | 中北大学 | 一种双旋转补偿器型Mueller矩阵椭偏仪的补偿器同步旋转结构 |
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