CN212205524U - 一种晶圆烘干机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆烘干机，包括底座一，所述底座一的一侧设置有底座二，所述底座一的顶部中间位置与所述底座二的顶部中间位置分别均开设有凹槽，两个所述凹槽之间通过传输带连接，所述传输带的上方且位于所述底座一的顶端设置有烘干室，所述传输带的上方且位于所述底座二的顶端设置有壳体；其中，所述壳体的顶端均匀设置有若干冷风送风装置，所述壳体内侧且位于所述底座二的顶端均匀设置有若干温度传感器，所述温度传感器的上方且位于所述壳体的内壁上均匀设置有若干活动装置。有益效果：一方面扩大了的冷风的吹拂面积；同时，在壳体内进行降温处理，降低了冷风与室外温度的温度交换，进而提高晶圆的降温效率。

Description

一种晶圆烘干机

技术领域

本实用新型涉及晶圆烘干机领域，具体来说，涉及一种晶圆烘干机。

背景技术

晶圆便是硅元素加以纯化，接着是将这些纯硅制成硅晶棒，成为制造集成电路的石英半导体的材料，经过照相制版，研磨，抛光，切片等程序，将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的晶圆。硅片广泛用于集成电路基板、半导体封装衬底材料，硅片划切质量直接影响芯片的良品率及制造成本。硅片划片方法主要有金刚石砂轮划片、激光划片。

现有的晶圆烘干机通过设置冷风送风装置、导流罩及气体导流孔等装置相配合，在具体的使用过程中，虽然能够起到良好的降温作用，但冷风覆盖面积较小，同时，冷风直接设置在烘干室外侧，在室温较高时，都会致使晶圆的降温效果大大降低。

针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

实用新型内容

针对相关技术中的问题，本实用新型提出一种晶圆烘干机，以克服现有相关技术所存在的上述技术问题。

为此，本实用新型采用的具体技术方案如下：

一种晶圆烘干机，包括底座一，底座一的一侧设置有底座二，底座一的顶部中间位置与底座二的顶部中间位置分别均开设有凹槽，两个凹槽之间通过传输带连接，传输带的上方且位于底座一的顶端设置有烘干室，传输带的上方且位于底座二的顶端设置有壳体；其中，壳体的顶端均匀设置有若干冷风送风装置，壳体内侧且位于底座二的顶端均匀设置有若干温度传感器，温度传感器的上方且位于壳体的内壁上均匀设置有若干活动装置，活动装置远离壳体内壁的一侧设置有出风框，出风框通过送风管道与冷风送风装置连接。

进一步的，为了可以需要调整出风框的出风口与晶圆之间的吹拂角度，便于使用，从而通过设置活动装置，活动装置包括设置在壳体内壁的驱动机构，驱动机构的一侧设置有与其相配合的安装机构，安装机构内设置有限位机构。

进一步的，为了可为安装机构提供动力，从而通过设置驱动机构，驱动机构包括与壳体内壁连接的驱动座及与安装机构连接的驱动齿轮一，驱动座远离壳体内壁的一侧设置有驱动电机，驱动电机的转动轴上套设有与驱动齿轮一相配合的驱动齿轮二。

进一步的，为了便于出风框的安装与拆卸，从而通过设置安装机构，安装机构包括与驱动齿轮一连接的安装柱，安装柱通过一组对称设置的安装座与壳体内壁连接，安装柱上且位于两个安装座之间设置有安装架，安装架远离壳体内壁的一侧与出风框连接，安装柱上且位于安装座与安装架之间设置有角度传感器。

进一步的，为了可使出风框在工作的过程中保持稳定，从而通过设置限位机构，限位机构包括设置在安装架内部的限位电机，限位电机的转动轴上套设有限位齿轮，限位齿轮的顶端与底端分别均设置有与其相配合的限位齿条，限位齿条靠近安装座的一端设置有限位柱。

进一步的，为了便于对出风框进行限位，从而通过设置限位块及滑面，限位柱靠近限位电机的一侧设置有与出风框相配合的限位块，限位块远离限位柱的一侧设置有滑面。

本实用新型的有益效果为：

1、与传统的晶圆烘干机相比，本实用新型通过设置壳体、活动装置及温度传感器相配合，从而在具体的使用过程中，一方面，扩大了的冷风的吹拂面积；同时，在壳体内进行降温处理，降低了冷风与室外温度的温度交换，进而提高晶圆的降温效率。

2、本实用新型通过设置驱动机构、安装机构、限位机构等装置相配合，从而在具体的使用过程中，在驱动机构提供动力的情况下，一方面可依照使用需要，调整出风框的出风口与晶圆之间的角度，另一方面，提高出风框工作过程中的稳定性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据本实用新型实施例的一种晶圆烘干机的结构示意图；

图2是根据本实用新型实施例的一种晶圆烘干机的壳体内壁结构示意图；

图3是根据本实用新型实施例的一种晶圆烘干机的活动装置结构示意图；

图4是根据本实用新型实施例的一种晶圆烘干机的限位机构结构示意图；

图5是根据本实用新型实施例的一种晶圆烘干机的限位柱结构示意图。

图中：

1、底座一；2、底座二；3、凹槽；4、传输带；5、烘干室；6、壳体；7、冷风送风装置；8、温度传感器；9、活动装置；10、出风框；11、送风管道；12、驱动机构；1201、驱动座；1202、驱动齿轮一；1203、驱动电机；1204、驱动齿轮二；13、安装机构；1301、安装柱；1302、安装座；1303、安装架；14、限位机构；1401、限位电机；1402、限位齿轮；1403、限位齿条；1404、限位柱；1405、限位块；1406、滑面；15、角度传感器。

具体实施方式

为进一步说明各实施例，本实用新型提供有附图，这些附图为本实用新型揭露内容的一部分，其主要用以说明实施例，并可配合说明书的相关描述来解释实施例的运作原理，配合参考这些内容，本领域普通技术人员应能理解其他可能的实施方式以及本实用新型的优点，图中的组件并未按比例绘制，而类似的组件符号通常用来表示类似的组件。

根据本实用新型的实施例，提供了一种晶圆烘干机。

现结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明，如图1-5所示，根据本实用新型实施例的晶圆烘干机，包括底座一1，底座一1内部安装有PLC控制器(图中未示出)，且PLC控制器依次与温度传感器8、角度传感器15、驱动电机1203及限位电机1401电连接，底座一1的一侧设置有底座二2，底座一1的顶部中间位置与底座二2的顶部中间位置分别均开设有凹槽3，两个凹槽3之间通过传输带4连接，传输带4的上方且位于底座一1的顶端设置有烘干室5，传输带4的上方且位于底座二2的顶端设置有壳体6；其中，壳体6的顶端均匀设置有若干冷风送风装置7，壳体6内侧且位于底座二2的顶端均匀设置有若干温度传感器8，温度传感器8的上方且位于壳体6的内壁上均匀设置有若干活动装置9，活动装置9远离壳体6内壁的一侧设置有出风框10，出风框10通过送风管道11与冷风送风装置7连接，借助于上述技术方案，从而通过设置本实用新型，进而扩大了冷风覆盖面积，提高了晶圆的降温效果；其中，温度传感器8的型号为CWDZ11。

在一个实例中，对于上述活动装置9来说，活动装置9包括设置在壳体6内壁的驱动机构12，驱动机构12的一侧设置有与其相配合的安装机构13，安装机构13内设置有限位机构14，从而通过设置活动装置9，进而可以需要调整出风框10的出风口与晶圆之间的吹拂角度，便于使用。

在一个实例中，对于上述驱动机构12来说，驱动机构12包括与壳体6内壁连接的驱动座1201及与安装机构13连接的驱动齿轮一1202，驱动座1201远离壳体6内壁的一侧设置有驱动电机1203，驱动电机1203的转动轴上套设有与驱动齿轮一1202相配合的驱动齿轮二1204，从而通过设置驱动机构12，进而可为安装机构13提供动力。

在一个实例中，对于上述安装机构13来说，安装机构13包括与驱动齿轮一1202连接的安装柱1301，安装柱1301通过一组对称设置的安装座1302与壳体6内壁连接，安装柱1301上且位于两个安装座1302之间设置有安装架1303，安装架1303远离壳体6内壁的一侧与出风框10连接，安装柱1301上且位于安装座1302与安装架1303之间设置有角度传感器15，从而通过设置安装机构13，进而便于出风框10的安装与拆卸；其中，角度传感器15的型号为TMR3001；其中，安装柱1301与安装座1302之间通过轴承连接。

在一个实例中，对于上述限位机构14来说，限位机构14包括设置在安装架1303内部的限位电机1401，限位电机1401的转动轴上套设有限位齿轮1402，限位齿轮1402的顶端与底端分别均设置有与其相配合的限位齿条1403，限位齿条1403靠近安装座1302的一端设置有限位柱1404，从而通过设置限位机构14，进而可使出风框10在工作的过程中保持稳定。

在一个实例中，对于上述限位柱1404来说，限位柱1404靠近限位电机1401的一侧设置有与出风框10相配合的限位块1405，限位块1405远离限位柱1404的一侧设置有滑面1406，从而通过设置限位块1405及滑面1406，进而便于对出风框10进行限位。

为了方便理解本实用新型的上述技术方案，以下就本实用新型在实际过程中的工作原理或者操作方式进行详细说明。

在实际应用时，晶圆在烘干室内烘干后，传输带带动晶圆向壳体6的内壁进行移动，此时，冷风送风装置7开始工作，冷风经送风管道11送至出风框10，同时，驱动电机1203开始工作，驱动电机1203带动驱动齿轮二1204进行转动，使驱动齿轮二1204带动驱动齿轮一1202进行转动，驱动齿轮二1204带动安装柱1301进行转动，进而可带动安装架1303及出风框10进行转动，在角度传感器15的作用下，驱动电机1203在有限的范围内，进行正反方向的转动，进而使出风框10可以安装座1302与安装柱1301之间的连接点为定点进行上下方位上的转动；其中，在未开始工作前，通过驱动限位电机1401，限位电机1401带动限位齿轮1402进行转动，限位齿轮1402带动顶端与底端的两个限位齿条1403进行同时相内侧移动将出风框10进行再次固定；同时，在使用时，可将冷风送风装置7的送风温度从左至右依次调低，使晶圆逐渐进行降温；其中，温度传感器8可对壳体6内不同位置的温度进行检测与反馈，冷风过冷时时，可将信息传达给驱动电机1203，进而驱动电机1203可带动出风框10向上方进行转动，减少冷风与晶圆的接触面积。

综上所述，借助于本实用新型的上述技术方案，与传统的晶圆烘干机相比，本实用新型通过设置壳体6、活动装置9及温度传感器8相配合，从而在具体的使用过程中，一方面，扩大了的冷风的吹拂面积；同时，在壳体6内进行降温处理，降低了冷风与室外温度的温度交换，进而提高晶圆的降温效率。本实用新型通过设置驱动机构12、安装机构13、限位机构14等装置相配合，从而在具体的使用过程中，在驱动机构12提供动力的情况下，一方面可依照使用需要，调整出风框10的出风口与晶圆之间的角度，另一方面，提高出风框10工作过程中的稳定性。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种晶圆烘干机，其特征在于，包括底座一(1)，所述底座一(1)的一侧设置有底座二(2)，所述底座一(1)的顶部中间位置与所述底座二(2)的顶部中间位置分别均开设有凹槽(3)，两个所述凹槽(3)之间通过传输带(4)连接，所述传输带(4)的上方且位于所述底座一(1)的顶端设置有烘干室(5)，所述传输带(4)的上方且位于所述底座二(2)的顶端设置有壳体(6)；

其中，所述壳体(6)的顶端均匀设置有若干冷风送风装置(7)，所述壳体(6)内侧且位于所述底座二(2)的顶端均匀设置有若干温度传感器(8)，所述温度传感器(8)的上方且位于所述壳体(6)的内壁上均匀设置有若干活动装置(9)，所述活动装置(9)远离所述壳体(6)内壁的一侧设置有出风框(10)，所述出风框(10)通过送风管道(11)与所述冷风送风装置(7)连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆烘干机，其特征在于，所述活动装置(9)包括设置在所述壳体(6)内壁的驱动机构(12)，所述驱动机构(12)的一侧设置有与其相配合的安装机构(13)，所述安装机构(13)内设置有限位机构(14)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆烘干机，其特征在于，所述驱动机构(12)包括与所述壳体(6)内壁连接的驱动座(1201)及与所述安装机构(13)连接的驱动齿轮一(1202)，所述驱动座(1201)远离所述壳体(6)内壁的一侧设置有驱动电机(1203)，所述驱动电机(1203)的转动轴上套设有与所述驱动齿轮一(1202)相配合的驱动齿轮二(1204)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆烘干机，其特征在于，所述安装机构(13)包括与所述驱动齿轮一(1202)连接的安装柱(1301)，所述安装柱(1301)通过一组对称设置的安装座(1302)与所述壳体(6)内壁连接，所述安装柱(1301)上且位于两个所述安装座(1302)之间设置有安装架(1303)，所述安装架(1303)远离所述壳体(6)内壁的一侧与所述出风框(10)连接，所述安装柱(1301)上且位于所述安装座(1302)与所述安装架(1303)之间设置有角度传感器(15)。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆烘干机，其特征在于，所述限位机构(14)包括设置在所述安装架(1303)内部的限位电机(1401)，所述限位电机(1401)的转动轴上套设有限位齿轮(1402)，所述限位齿轮(1402)的顶端与底端分别均设置有与其相配合的限位齿条(1403)，所述限位齿条(1403)靠近所述安装座(1302)的一端设置有限位柱(1404)。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆烘干机，其特征在于，所述限位柱(1404)靠近所述限位电机(1401)的一侧设置有与所述出风框(10)相配合的限位块(1405)，所述限位块(1405)远离所述限位柱(1404)的一侧设置有滑面(1406)。

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