CN211826134U - 一种中空cvd探针结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种中空CVD探针结构，包括探测针、微悬臂、微悬臂吸附件、微悬臂吸附夹持件和探针固定座，所述微悬臂吸附件设于探针固定座上，所述微悬臂设于微悬臂吸附件上，所述微悬臂吸附夹持件可滑动卡合与微悬臂和微悬臂吸附件外侧，所述探测针设于微悬臂上，所述微悬臂吸附件包括固定板和真空吸盘，所述真空吸盘设于固定板上，对微悬臂进行吸附固定，所述微悬臂吸附夹持件为底面缺口的矩形中空腔体，所述探针固定座设有台阶孔，所述台阶孔包括圆柱孔一和圆柱孔二，所述圆柱孔一与圆柱孔二为十字交叉设置。本实用新型属于磁共振技术领域，具体是指一种结构简单、不易脱针且拆卸方便的中空CVD探针结构。

Description

一种中空CVD探针结构

技术领域

本实用新型属于磁共振技术领域，具体是指一种中空CVD探针结构。

背景技术

原子力显微镜(Atomic Force Microscope，AFM)已广泛应用于半导体样品测试中，其工作原理是通过检测待测样品表面和一个微型力敏感元件(探针)之间极微弱的原子间相互作用力来研究物质的表面结构及性质。通常来说，探针包括针尖以及微悬臂，微悬臂末端固定于探针座，微悬臂前端的针尖接近样品表面。当针尖与样品表面距离极小时，它们原子之间产生极微弱的吸引或排斥力，从而引起微悬臂发生形变或运动状态发生改变。扫描过程中，带针尖的微悬臂将在垂直于样品表面方向上起伏运动，通过包括反射激光束及其光电检测系统对微悬臂的状态变化进行采集，测得微悬臂状态变化与扫描各点的位置对应关系，从而得到具有原子分子级分辨率的材料表面结构等物化性质，在测试过程中探针脱落将会影响测试进程，需要工作人员暂停机台运行，检测维护原子力显微镜机台，从而极大地增加时间成本。

实用新型内容

为了解决上述难题，本实用新型提供了一种结构简单，不易脱针的CVD金刚石探针结构。

为了实现上述功能，本实用新型采取的技术方案如下：一种中空CVD探针结构，包括探测针、微悬臂、微悬臂吸附件、微悬臂吸附夹持件和探针固定座，所述微悬臂吸附件设于探针固定座上，所述微悬臂设于微悬臂吸附件上，所述微悬臂吸附夹持件可滑动卡合与微悬臂和微悬臂吸附件外侧，所述探测针设于微悬臂上，所述微悬臂吸附件包括固定板和真空吸盘，所述真空吸盘设于固定板上，对微悬臂进行吸附固定，所述固定板上设有定位件，所述定位件包括转动杆和转动条，所述转动条可旋转设于固定板上，所述转动条设于真空吸盘对立面，所述转动杆设于转动条上，所述转动杆与转动条垂直设置，所述微悬臂吸附夹持件为底面缺口的矩形中空腔体，所述探针固定座设有台阶孔，所述台阶孔包括圆柱孔一和圆柱孔二，所述圆柱孔一与圆柱孔二为十字交叉设置。

进一步地，所述微悬臂吸附夹持件上下壁对称设有弹性挤压件，便于真空吸盘对微悬臂的吸附固定，快速排出真空吸盘内部空气，使微悬臂固定更为牢固。

进一步地，所述探测针轴线垂直于微悬臂壁面，所述探测针设于真空吸盘对立侧，探测针远离真空吸盘设置且靠近微悬臂端面。

进一步地，所述弹性挤压件为半圆柱型，所述弹性挤压件的直径逐渐增大。

进一步，所述转动杆和转动条均为圆柱形，所述转动杆的直径大于转动条的直径。

进一步地，所述探针固定座为中空结构。

进一步地，所述圆柱孔一和圆柱孔二的直径均大于转动杆的直径。

进一步地，所述转动杆可旋转设于圆柱孔二内。

进一步地，所述探测针和微悬臂为一体结构，所述探测针和微悬臂材质为CVD金刚石的探测针和微悬臂。

进一步地，所述弹性挤压件为橡胶材质的弹性挤压件。

本实用新型采用上述结构取得有益效果如下：本实用新型提供的一种中空CVD探针结构，通过在探针固定座上设置台阶孔，可将探针可旋转定位卡接与探针固定座上，通过真空吸盘和微悬臂吸附夹持件配合，实现探测针的固定，确保探测针不脱落同时拆卸方便，同时探测针及微悬臂采用CVD金刚石，密度较金属小，反应灵敏，具有结构简单、不易脱针且拆卸方便的优点。

附图说明

图1为本实用新型一种中空CVD探针结构的整体结构示意图；

图2本实用新型一种中空CVD探针结构微悬臂的结构示意图；

图3本实用新型一种中空CVD探针结构探针固定座的截面图；

图4本实用新型一种中空CVD探针结构弹性挤压件的结构示意图。

其中，1、探测针，2、微悬臂，3、微悬臂吸附件，4、微悬臂吸附夹持件，5、探针固定座，6、固定板，7、真空吸盘，8、定位件，9、转动杆，10、转动条，11、台阶孔，12、圆柱孔一，13、圆柱孔二，14、弹性挤压件。

具体实施方式

下面结合具体实施对本实用新型的技术方案进行进一步详细地说明，本实用新型所述的技术特征或连接关系没有进行详细描述的部分均为采用的现有技术。

以下结合附图，对本实用新型做进一步详细说明。

如图1-4，本实用新型一种中空CVD探针结构，包括探测针1、微悬臂2、微悬臂吸附件3、微悬臂吸附夹持件4和探针固定座5，所述微悬臂吸附件3设于探针固定座5上，所述微悬臂2设于微悬臂吸附件3上，所述微悬臂吸附夹持件4可滑动卡合与微悬臂2和微悬臂吸附件3外侧，所述探测针1设于微悬臂2上，所述微悬臂吸附件3包括固定板6和真空吸盘7，所述真空吸盘7设于固定板6上，所述固定板6上设有定位件8，所述定位件8包括转动杆9和转动条10，所述转动条10可旋转设于固定板6上，所述转动条10设于真空吸盘7对立面，所述转动杆9设于转动条10上，所述转动杆9与转动条10垂直设置，所述微悬臂吸附夹持件4为底面缺口的矩形中空腔体，所述探针固定座5设有台阶孔11，所述台阶孔11包括圆柱孔一12和圆柱孔二13，所述圆柱孔一12与圆柱孔二13为十字交叉设置。

所述微悬臂吸附夹持件4上下壁对称设有弹性挤压件14。

所述探测针1轴线垂直于微悬臂2壁面，所述探测针1设于真空吸盘7对立侧。

所述弹性挤压件14为半圆柱型，所述弹性挤压件14的直径逐渐增大。

所述转动杆9和转动条10均为圆柱形，所述转动杆9的直径大于转动条10的直径。

所述探针固定座5为中空结构。

所述圆柱孔一12和圆柱孔二13的直径均大于转动杆9的直径。

所述转动杆9可旋转设于圆柱孔二13内。

所述探测针1和微悬臂2为一体结构，所述探测针1和微悬臂2材质为CVD金刚石。

所述弹性挤压件14为橡胶材质的弹性挤压件14。

具体使用时，将微悬臂2上端紧贴于真空吸盘7上，滑动微悬臂吸附夹持件4，排除真空吸盘7内空气，对微悬臂2进行吸附固定，旋转转动条10，使转动杆9平行于圆柱孔一12，将转动杆9放入圆柱孔一12内后，旋转转动条10，使转动杆9平行于圆柱孔二13，转动杆9可在圆柱孔二13中旋转，在自重作用下，探测针1可旋转卡合于圆柱孔二13内，根据待测物体的差异，探测针1可为中空通孔设计。

以上对本实用新型及其实施方式进行了描述，这种描述没有限制性，附图中所示的也只是本实用新型的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本实用新型创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种中空CVD探针结构，其特征在于：包括探测针、微悬臂、微悬臂吸附件、微悬臂吸附夹持件和探针固定座，所述微悬臂吸附件设于探针固定座上，所述微悬臂设于微悬臂吸附件上，所述微悬臂吸附夹持件可滑动卡合与微悬臂和微悬臂吸附件外侧，所述探测针设于微悬臂上，所述微悬臂吸附件包括固定板和真空吸盘，所述真空吸盘设于固定板上，所述固定板上设有定位件，所述定位件包括转动杆和转动条，所述转动条可旋转设于固定板上，所述转动条设于真空吸盘对立面，所述转动杆设于转动条上，所述转动杆与转动条垂直设置，所述微悬臂吸附夹持件为底面缺口的矩形中空腔体，所述探针固定座设有台阶孔，所述台阶孔包括圆柱孔一和圆柱孔二，所述圆柱孔一与圆柱孔二为十字交叉设置。

2.根据权利要求1所述的一种中空CVD探针结构，其特征在于：所述微悬臂吸附夹持件上下壁对称设有弹性挤压件。

3.根据权利要求1所述的一种中空CVD探针结构，其特征在于：所述探测针轴线垂直于微悬臂壁面，所述探测针设于真空吸盘对立侧。

4.根据权利要求2所述的一种中空CVD探针结构，其特征在于：所述弹性挤压件为半圆柱型，所述弹性挤压件的直径逐渐增大。

5.根据权利要求1所述的一种中空CVD探针结构，其特征在于：所述转动杆和转动条均为圆柱形，所述转动杆的直径大于转动条的直径。

6.根据权利要求1所述的一种中空CVD探针结构，其特征在于：所述探针固定座为中空结构设置的探针固定座。

7.根据权利要求1所述的一种中空CVD探针结构，其特征在于：所述圆柱孔一和圆柱孔二的直径均大于转动杆的直径。

8.根据权利要求1所述的一种中空CVD探针结构，其特征在于：所述转动杆可旋转设于圆柱孔二内。

9.根据权利要求1所述的一种中空CVD探针结构，其特征在于：所述探测针和微悬臂为一体结构，所述探测针和微悬臂为CVD金刚石材质的探测针和微悬臂。

10.根据权利要求2所述的一种中空CVD探针结构，其特征在于：所述弹性挤压件为橡胶材质的弹性挤压件。

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