CN211669497U - 一种doe装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种DOE装置。DOE装置包括：罩壳组件，罩壳组件上设有通光筒；转盘，设于罩壳组件内，转盘上设有固定DOE组件及转动DOE组件，转盘能绕第一轴线转动以选择性地使固定DOE组件或转动DOE组件与通光筒对准；转动DOE组件能在转盘上绕第二轴线转动以调节照明模式，第二轴线与第一轴线平行。本申请设置了能转动的转盘来切换不同的DOE组件与通光筒对准，实现照明模式的调节；DOE组件中的转动DOE组件可以在转盘上转动来调节照明模式，减少了DOE镜片的数量。

Description

一种DOE装置

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，尤其涉及一种DOE装置。

背景技术

半导体制造中的微光刻技术就是利用光学系统把掩膜版上的图形精确地投影曝光到涂过光刻胶的硅片上，光刻过程使用的设备为光刻机。为了进一步增强光刻机的曝光系统的分辨能力，提高焦深，增大工艺窗口，在扫描曝光系统中已广泛采取了离轴照明技术(Off-Axis Illumination，OAI)。离轴照明包括环形照明、二级照明和四级照明等，不同的照明模式光瞳分布不同，需要根据具体的掩膜图形来选择不同的离轴照明光瞳分布，也就是选择不同的照明模式。

传统的离轴照明中，为了实现多种照明模式，二级和四级照明需定制相同参数不同角度的多个DOE(Diffraction Optical Element，衍射光学元件)镜片，不仅增加了设备成本，且二级和四级照明的DOE镜片较多，安装后也增大了设备的体积，使设备结构不够精简。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种DOE装置，以解决现有技术中离轴照明的二级和四级照明DOE镜片较多，成本较高，且设备体积较大的问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种DOE装置，其中，包括：

罩壳组件，所述罩壳组件上设置有通光筒；

转盘，设于所述罩壳组件(20)内，所述转盘上设置有固定DOE组件及转动DOE组件，所述转盘能绕第一轴线(101)转动以选择性地使所述固定DOE组件或所述转动DOE组件与所述通光筒对准；

所述转动DOE组件能在所述转盘上绕第二轴线转动以调节照明模式，所述第二轴线与所述第一轴线平行。

在本实用新型一种可选的实施方式中，所述DOE装置还包括：

底座，所述罩壳组件设于所述底座上；

第一驱动组件，设于所述底座，且与所述转盘连接，能驱动所述转盘绕所述第一轴线转动。

第二驱动组件，设于所述转盘上并与所述转动DOE组件连接，能驱动所述转动DOE组件绕所述第二轴线转动。

在本实用新型一种可选的实施方式中，所述第二驱动组件包括：

第一电机，固设于所述转盘上；

主动轮，与所述第一电机的输出轴连接；

同步带，套设于所述主动轮上，用于连接至所述转动DOE组件。

在本实用新型一种可选的实施方式中，所述转动DOE组件包括：

同步带轮单元，设于所述转盘上，并与所述同步带连接，能在所述同步带的带动下绕所述第二轴线转动；

DOE镜组，设于所述同步带轮单元上，能跟随所述同步带轮单元转动；

第一检测单元，用于检测所述DOE镜组的零位及转动角度。

在本实用新型一种可选的实施方式中，所述同步带轮单元包括：

轴承，设于所述转盘上；

轴承座，能将所述轴承支撑在所述转盘上；

同步带轮，与所述轴承座连接，并连接至所述同步带，以使所述同步带轮在所述同步带的带动下绕所述第二轴线转动。

在本实用新型一种可选的实施方式中，所述第一检测单元包括：

光栅尺支座，设于所述同步带轮上；

光栅尺，设于所述光栅尺支座上；

光栅尺读数头，设于所述转盘上，能读出所述光栅尺上的刻度；

零位感应块，设于所述光栅尺支座边缘；

零位传感器，固设于所述转盘上，用于感应所述零位感应块，以将所述转动DOE组件调整至零位。

在本实用新型一种可选的实施方式中，所述第二驱动组件包括：

第二电机，固设于所述转盘上，所述第二电机为空心轴电机。

在本实用新型一种可选的实施方式中，所述转动DOE组件包括：

DOE镜组，设于所述第二电机的输出轴上，并设于所述第二电机的空心中；

第二检测单元，用于检测所述DOE镜组的转动角度。

在本实用新型一种可选的实施方式中，所述第二检测单元包括：

光栅尺转接架，设于所述第二电机的输出轴上，并设于所述DOE镜组外围；

光栅尺，设于所述光栅尺转接架上；

光栅尺读数头，设于所述转盘上，能读出所述光栅尺上的刻度；

零位感应块，设于所述光栅尺转接架边缘；

零位传感器，固设于所述转盘上，用于感应所述零位感应块，以将所述转动DOE组件调整到零位。

在本实用新型一种可选的实施方式中，所述第二电机与所述转动DOE组件分别安装于所述转盘沿所述第二轴线方向的异侧；

所述转动DOE组件还包括：

垫块，垫设于所述第二电机输出轴的末端，以使所述第二电机的输出轴能穿过所述转盘与异侧的所述转动DOE组件连接。

在本实用新型一种可选的实施方式中，所述第二驱动组件还包括：

安装支架，所述第一电机安装于所述安装支架上；

调节单元，设于所述转盘上，且与所述安装支架连接，能调节所述安装支架相对于所述转动DOE组件的距离。

在本实用新型一种可选的实施方式中，所述调节单元包括：

调节座以及穿设于所述调节座上的调节螺栓；

其中，所述调节螺栓的自由端与所述安装支架螺纹连接，以调节所述安装支架相对于所述转动DOE组件的距离，从而调节所述同步带的张紧程度。

在本实用新型一种可选的实施方式中，所述转动DOE组件为两个，两个所述转动DOE组件分别为离轴照明的二级照明组件和四级照明组件。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

本申请设置了能转动的转盘，转盘上设置了若干DOE组件，转动转盘，即可切换不同的DOE组件与通光筒对准，实现照明模式的调节；

另外，转盘上的DOE组件包括了固定DOE组件及转动DOE组件，转动DOE组件又可以在转盘上转动，使得转动DOE组件中的DOE镜组的角度发生改变，从而改变照明模式，这样通过转动DOE组件的转动实现DOE镜组角度的变化，从而实现照明模式的调节，避免了需要在转盘上设置较多不同角度的DOE镜组，减少了DOE镜片的数量，降低了成本，另外也精简了设备的结构，使设备更轻便，适用于更多的应用场景。

附图说明

图1是本实用新型中DOE装置实施例的结构示意图；

图2是本实用新型图1的另一视角的结构示意图；

图3是本实用新型图2中转盘的结构示意图；

图4是本实用新型图3的局部剖视图；

图5是本实用新型图4中A部分的放大图；

图6是本实用新型中转动DOE组件与第二驱动组件装配的另一实施例的结构示意图。

图中：

100-DOE装置；10-底座；20-罩壳组件；30-第一驱动组件；40-转盘；50-第二驱动组件；60-支撑件；

21-通光筒；41-固定DOE组件；42-转动DOE组件；51-第一电机；52-主动轮；53-同步带；54-安装支架；55-调节单元；56-第二电机；

421-同步带轮单元；422-DOE镜组；423-垫块；551-调节座；552-调节螺栓；

4211-轴承；4212-轴承座；4213-同步带轮；4231-光栅尺支座；4232-光栅尺；4233-光栅尺读数头；4234-零位感应块；4235-零位传感器；4241-光栅尺转接架；4242-压板；

101-第一轴线；102-第二轴线。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

请参阅图1和图2，本实用新型提供了一种DOE装置100，DOE装置100用于装配在光刻机上，DOE装置100上设置有若干不同的DOE镜片，不同的DOE镜片使光刻机的光瞳面得到不同的能量分布，实现光刻机照明模式的调节。具体的，如图1-图3所示，DOE装置100包括：底座10、罩壳组件20、第一驱动组件30、转盘40以及第二驱动组件50。

底座10为整个DOE装置100的基座，作为DOE装置100的主要支撑，用于安装和固定其它零部件，也用于将整个DOE装置100连接到光刻机上。较佳的，底座10与光刻机的连接为可调连接，以使DOE装置100在光刻机上的位置可调，便于将DOE装置100的通光筒21与光刻机发出的光线对准。

罩壳组件20设于底座10上，罩壳组件20用于封闭转盘40，使转盘40处于封闭的空间中，避免环境光对光刻机的光刻效果产生影响。罩壳组件20上设置有通光筒21，通光筒21作为DOE装置100的光线入口，使光刻机发出的光(例如激光)通过通光筒21进入DOE装置100，并使光线穿过转盘40上与通光筒21对应的DOE镜片上，光线穿过DOE镜片后打在掩膜版的图形上，使得掩膜版上的图形精确地投影曝光到硅片上，实现光刻操作。

第一驱动组件30设于底座10上，第一驱动组件30能驱动转盘40转动。

具体的，底座10上可以设置一个支撑件60来支撑罩壳组件20和第一驱动组件30。如图1所示，底座10水平设置，支撑件60竖直的设置在底座10上，支撑件60的底部与底座10连接，支撑件60的顶部用于安装罩壳组件20和第一驱动组件30。第一驱动组件30的输出轴沿第一轴线101方向设置，本实施例中，第一轴线101方向为与底座10平行的水平方向。

转盘40设于罩壳组件20内，并与第一驱动组件30的输出端连接，能在第一驱动组件30的驱动下绕第一轴线101转动。如图2和图3所示，转盘40上设置有固定DOE组件41及转动DOE组件42，固定DOE组件41是固定在转盘40上的，转动DOE组件42是可转动连接在转盘40上的。可以理解的是，固定DOE组件41及转动DOE组件42上均设置有DOE镜片，转动转盘40能切换固定DOE组件41或转动DOE组件42与通光筒21对准，实现照明模式的调节。转盘40转动来切换固定DOE组件41和转动DOE组件42时是选择性的切换，具体由控制器的程序控制，控制器根据需要切换的DOE组件来计算转盘40需要转动角度，并控制第一驱动组件30驱动转盘40转动到相应的角度，来实现将需要的DOE组件与通光筒21对准。可以理解的是，固定DOE组件41和转动DOE组件42设置在转盘40上的同一个圆的圆弧上，这样才能在转盘40转动时，固定DOE组件41和转动DOE组件42均能与通光筒21对准。

第二驱动组件50设于转盘40上并与转动DOE组件42连接，第二驱动组件50能驱动转动DOE组件42在转盘40上绕第二轴线102转动，第二轴线102与第一轴线101平行，第二轴线102也是转动DOE组件42的中轴线，也就是说转动DOE组件42可以在第二驱动组件50的驱动下，在转盘40上自转，实现转动DOE组件42上的DOE镜片自身角度的调节，使DOE镜片能在掩模面上构成任意角度，进而调节光刻机光瞳面的能量分布，实现照明模式的调节。

图3是本实用新型图2中转盘的结构示意图，在一种实施方式中，如图3所述，转动DOE组件42为两个，两个转动DOE组件42分别为离轴照明的二级照明组件和四级照明组件。现有技术中，为了实现二级照明和四级照明的调节，需对二级照明和四级照明分别设置多个不同角度的DOE镜片。而本实用新型中，转动DOE组件42可通过自身的转动实现任意角度的变化，二级照明和四级照明均只需设置一个DOE镜片即可，大大减少了DOE镜片数量，减低了成本，同时DOE镜片数量的减少还使设备结构更精简，体积更小，适用于更多的应用场景。

第二驱动组件50可以是任一种驱动装置，例如齿轮传动、同步带传动或者电机直接驱动等，只要能驱动转动DOE组件42绕第二轴线102转动即可，在此不作限制。

图4是本实用新型图3的局部剖视图，在一种实施方式中，如图4所示，第二驱动组件50可为同步带驱动，第二驱动组件50包括第一电机51、主动轮52和同步带53。第一电机51固设转盘40上，且第一电机51沿与第二轴线102平行的方向设置。第一电机51可选择带有谐波减速器的电机，使第一电机51定位与重复定位精度提升，有效减少定位误差，也可以使第一电机51的输出轴的转速较慢，进而减小转动DOE组件42的转速，使转动DOE组件42调节时更平稳，调节范围更大。主动轮52与第一电机51的输出轴(即第一电机51的转子)连接，通过第一电机51的转子直接驱动主动轮52转动。主动轮52在一个与转盘40平行的平面内转动。同步带53的一端套设在主动轮52上，另一端用于连接转动DOE组件42，以使同步带53带动转动DOE组件42转动。利用同步带传动的方式来驱动转动DOE组件42，可以充分利用到转盘40上的空间，因为固定DOE组件41和转动DOE组件42是设置在转盘40上的同一个圆的圆弧上，而圆心周围的空间都是闲置的，可以利用来安装第二驱动组件50，如图3所示。

进一步的，如图4所示，转动DOE组件42包括同步带轮单元421、DOE镜组422及第一检测单元。同步带轮单元421设于转盘40上，并与第二驱动组件50的同步带53连接，同步带轮单元421能在同步带53的带动下绕第二轴线102转动。DOE镜组422设于同步带轮单元421上，这样DOE镜组422就能跟随同步带轮单元421转动，实现DOE镜组422上的DOE镜片的角度调节，进而调节光刻机的照明模式。第一检测单元用于检测DOE镜组422的零位及转动角度，便于将转动DOE组件42调至零位，也便于实现对转动DOE组件42的转动角度的控制。

请继续参阅图4，同步带轮单元421包括轴承4211、轴承座4212及同步带轮4213。轴承4211设于转盘40上，轴承4211的外圈与转盘40抵接，内圈与轴承座4212抵接，轴承4211可支撑轴承座4212，由于轴承座4212会跟随同步带轮4213转动，设置了轴承4211使得转动的轴承座4212与不动的转盘40分离，减小转动摩擦。同步带轮4213与轴承座4212连接，固定在轴承座4212上，使得同步带轮4213能带动轴承座4212转动，并且同步带轮4213连接到第二驱动组件50的同步带53上，使得同步带轮4213在同步带53的带动下绕第二轴线102转动，并带动轴承座4212一起转动。

进一步的，第一检测单元包括光栅尺支座4231、光栅尺4232、光栅尺读数头4233、零位感应块4234以及零位传感器4235。光栅尺支座4231设于同步带轮4213上，光栅尺4232设于光栅尺支座4231上，这样就可以使得光栅尺4232跟随同步带轮4213同步转动，通过光栅尺读数头4233读取光栅尺4232上的刻度就可以知道同步带轮4213转动的角度了，而DOE镜组422也是设于同步带轮单元421上跟随同步带轮单元421同步转动的，也就使得通过检测光栅尺4232的转动角度可得知DOE镜组422的转动角度，进而实现DOE镜组422转动角度的控制，例如当光栅尺4232检测到DOE镜组422转动到预定角度时，控制器就会控制第二驱动组件50停止驱动，使DOE镜组422停止转动。可以理解的是，光栅尺读数头4233固设于转盘40上，这样将光栅尺读数头4233固定在转盘40上，才能使光栅尺读数头4233不动，而光栅尺4232跟随同步带轮4213转动，光栅尺读数头4233就能检测到光栅尺4232的转动角度了。具体的，光栅尺读数头4233是通过读取光栅尺4232上的刻度来识别光栅尺4232的转动角度的。零位感应块4234设于光栅尺支座4231的边缘，便于被零位传感器4235检测到。零位传感器4235也固设于转盘40上，当零位感应块4234运动到零位传感器4235处时，零位传感器4235可以感应到零位感应块4234，以此来将转动DOE组件42调整至零位。

通过光栅尺4232检测DOE镜组422的转动角度，光栅尺读数头4233可读取光栅尺4232转动的角度，进而读取DOE镜组422转动的角度，在控制上形成闭环，以保证转动DOE组件42运动控制及定位准确，且可以旋转至任意位置，提升检测和定位的精度。另外，零位传感器4235的读取频率较高，将零位传感器4235用于转动DOE组件42初始化时，可以保证转动DOE组件42停在指定的位置，保证零位的重复定位精度。

可以理解的是，光栅尺4232为环形，光栅尺支座4231、轴承座4212和同步带轮4213均为空心结构，而DOE镜组422则安装在此空心中，这样才能不阻碍光线，使光线从空心中通入，穿过空心中的DOE镜组422，以实现光刻效果。

另外，由于第二驱动组件50是通过同步带53与转动DOE组件42连接，在使用过程中因为磨损和环境温度等影响，同步带连接结构使用一段时间后会出现变松的情况，为解决此问题，本申请中设置第二驱动组件50可调。具体的，如图4所示，第二驱动组件50还包括安装支架54和调节单元55，第一电机51安装于安装支架54上，调节单元55设于转盘40上，且调节单元55与安装支架54连接，调节单元55能调节安装支架54相对于转动DOE组件42的距离，以使第一电机51与转动DOE组件42之间的距离可调，进而张紧同步带53。

进一步的，调节单元55包括调节座551以及穿设于调节座551上的调节螺栓552。调节座551固定于转盘40上，调节螺栓552沿与转盘40平行的方向朝向转动DOE组件42设置，调节螺栓552的自由端设置有外螺纹，安装支架54上设置有与调节螺栓552的外螺纹配合的螺孔，调节螺栓552的自由端穿入安装支架54上的螺孔中，使得调节螺栓552与安装支架54螺纹连接，拧松或拧紧调节螺栓552即可拉动安装支架54，使安装支架54靠近或远离调节座551，也就使安装支架54远离或靠近转动DOE组件42，调节安装支架54相对于转动DOE组件42的距离，从而调节同步带53的张紧程度。可以理解的是，安装支架54与转盘40之间也可以通过螺钉固定，当需要调节安装支架54时，将固定安装支架54用的螺钉拧松即可调节，调节完之后又拧紧螺钉将安装支架54固定在转盘40上即可。

在另一种实施方式中，如图6所示，转动DOE组件42通过电机直接驱动，电机和转动DOE组件42之间不设置同步带53等传动件。如图6所示，第二驱动组件50包括第二电机56，第二电机56固设于转盘40上，且第二电机56沿第二轴线102方向设置，第二电机56为空心轴电机，这样可以使光线从第二电机56的空心中穿过，使得第二电机56不会阻碍光线穿过。

进一步的，转动DOE组件42包括DOE镜组422和第二检测单元。DOE镜组422设于第二电机56的输出轴上，由于转动DOE组件42是直接通过第二电机56驱动，没有中间传动件，所以DOE镜组422直接连接在第二电机56的转子上，且DOE镜组422设于第二电机56的空心中，以使光线穿入第二电机56的空心中，然后穿过DOE镜组422，实现光刻。与第一检测单元类似的，第二检测单元也用于检测DOE镜组422的转动角度，只不过由于第二驱动组件50结构的不同，第二检测单元与第一检测单元中部分部件的安装结构和位置略有差异。

如图6所示，第二检测单元包括光栅尺转接架4241、光栅尺4232、光栅尺读数头4233(图6中未示出，与图4中的光栅尺读数头4233结构大致相同)、零位感应块4234和零位传感器4235(图6中未示出，与图4中的零位传感器4235结构大致相同)。第二检测单元的光栅尺4232、光栅尺读数头4233、零位感应块4234和零位传感器4235，与第一检测单元的光栅尺4232、光栅尺读数头4233、零位感应块4234以及零位传感器4235一样，只是安装位置不同。第二检测单元较第一检测单元存在差异的部件是光栅尺转接架4241，第二检测单元的光栅尺4232安装在光栅尺转接架4241上，而第一检测单元的光栅尺4232安装在光栅尺支座4231上。由于在通过第二电机56直接驱动转动DOE组件42时，第二电机56与转动DOE组件42是设置在转盘40的不同侧的，第二电机56穿过转盘40与不同侧的转动DOE组件42连接，此种情况下，需要设置一个较高的光栅尺转接架4241来安装光栅尺4232。如图6所示，光栅尺转接架4241直接连接在第二电机56的输出轴(转子)上，且光栅尺转接架4241为中空的环形，设置在DOE镜组422的外围，以使光栅尺转接架4241不会阻碍光线穿过DOE镜组422。光栅尺4232则安装在光栅尺转接架4241上，具体的，可通过一块压板4242将光栅尺4232压在光栅尺转接架4241上，以固定光栅尺4232。光栅尺读数头4233固定安装在转盘40上，能读出光栅尺4232上的刻度。当第二电机56转动时，驱动DOE镜组422和光栅尺转接架4241转动，光栅尺转接架4241带动光栅尺4232转动，通过光栅尺读数头4233读取光栅尺4232的转动角度，即可得知DOE镜组422的转动角度了。零位感应块4234固定在光栅尺转接架4241边缘，具体可以将零位感应块4234安装在压板4242上。零位传感器4235固设于转盘40上，零位传感器4235可以感应到光栅尺转接架4241上的感应零位感应块4234，进而实现将转动DOE组件42调整到零位的操作。

请继续参阅图6，第二电机56与转动DOE组件42分别安装于转盘40沿第二轴线102方向的异侧，这样可以使得转动DOE组件42更贴近转盘40。转动DOE组件42还包括垫块423，垫块423垫设在第二电机56输出轴(转子)的末端，以使第二电机56的输出轴能穿过转盘40与异侧的转动DOE组件42连接。如图6所示，转盘40上设置有通孔，垫块423位于此通孔中，来连接第二电机56与转动DOE组件42。

本实用新型的DOE装置100的工作过程为：

DOE装置100进行初始化，一方面，转盘40根据自身程序进行工位初始化，同时转动DOE组件42也会通过第二驱动组件50驱动DOE镜组422旋转，直至零位传感器4235感应到零位感应块4234，此时第二驱动组件50停止驱动，转动DOE组件42上的DOE镜组422停止在工作零位；

当需要DOE镜组422旋转特定角度调节照明模式时，第二驱动组件50驱动DOE镜组422旋转，光栅尺读数头4233实时读取光栅尺4232，以通过光栅尺4232实时反馈DOE镜组422的转动角度，控制器根据光栅尺4232信号及时调整第二驱动组件50输出轴的转速，直至DOE镜组422转动至指定角度范围内则停止。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (13)

1.一种DOE装置，其特征在于，包括：

罩壳组件(20)，所述罩壳组件(20)上设置有通光筒(21)；

转盘(40)，设于所述罩壳组件(20)内，所述转盘(40)上设置有固定DOE组件(41)及转动DOE组件(42)，所述转盘(40)能绕第一轴线(101)转动以选择性地使所述固定DOE组件(41)或所述转动DOE组件(42)与所述通光筒(21)对准；

所述转动DOE组件(42)能在所述转盘(40)上绕第二轴线(102)转动以调节照明模式，所述第二轴线(102)与所述第一轴线(101)平行。

2.根据权利要求1所述的DOE装置，其特征在于，所述DOE装置还包括：

底座(10)，所述罩壳组件(20)设于所述底座(10)上；

第一驱动组件(30)，设于所述底座(10)，且与所述转盘(40)连接，能驱动所述转盘(40)绕所述第一轴线(101)转动；

第二驱动组件(50)，设于所述转盘(40)上并与所述转动DOE组件(42)连接，能驱动所述转动DOE组件(42)绕所述第二轴线(102)转动。

3.根据权利要求2所述的DOE装置，其特征在于，所述第二驱动组件(50)包括：

第一电机(51)，固设于所述转盘(40)上；

主动轮(52)，与所述第一电机(51)的输出轴连接；

同步带(53)，套设于所述主动轮(52)上，用于连接至所述转动DOE组件(42)。

4.根据权利要求3所述的DOE装置，其特征在于，所述转动DOE组件(42)包括：

同步带轮单元(421)，设于所述转盘(40)上，并与所述同步带(53)连接，能在所述同步带(53)的带动下绕所述第二轴线(102)转动；

DOE镜组(422)，设于所述同步带轮单元(421)上，能跟随所述同步带轮单元(421)转动；

第一检测单元，用于检测所述DOE镜组(422)的零位及转动角度。

5.根据权利要求4所述的DOE装置，其特征在于，所述同步带轮单元(421)包括：

轴承(4211)，设于所述转盘(40)上；

轴承座(4212)，能将所述轴承(4211)支撑在所述转盘(40)上；

同步带轮(4213)，与所述轴承座(4212)连接，并连接至所述同步带(53)，以使所述同步带轮(4213)在所述同步带(53)的带动下绕所述第二轴线(102)转动。

6.根据权利要求5所述的DOE装置，其特征在于，所述第一检测单元包括：

光栅尺支座(4231)，设于所述同步带轮(4213)上；

光栅尺(4232)，设于所述光栅尺支座(4231)上；

光栅尺读数头(4233)，设于所述转盘(40)上，能读出所述光栅尺(4232)上的刻度；

零位感应块(4234)，设于所述光栅尺支座(4231)边缘；

零位传感器(4235)，固设于所述转盘(40)上，用于感应所述零位感应块(4234)，以将所述转动DOE组件(42)调整至零位。

7.根据权利要求2所述的DOE装置，其特征在于，所述第二驱动组件(50)包括：

第二电机(56)，固设于所述转盘(40)上，所述第二电机(56)为空心轴电机。

8.根据权利要求7所述的DOE装置，其特征在于，所述转动DOE组件(42)包括：

DOE镜组(422)，设于所述第二电机(56)的输出轴上，并设于所述第二电机(56)的空心中；

第二检测单元，用于检测所述DOE镜组(422)的转动角度。

9.根据权利要求8所述的DOE装置，其特征在于，所述第二检测单元包括：

光栅尺转接架(4241)，设于所述第二电机(56)的输出轴上，并设于所述DOE镜组(422)外围；

光栅尺(4232)，设于所述光栅尺转接架(4241)上；

光栅尺读数头(4233)，设于所述转盘(40)上，能读出所述光栅尺(4232)上的刻度；

零位感应块(4234)，设于所述光栅尺转接架(4241)边缘；

零位传感器(4235)，固设于所述转盘(40)上，用于感应所述零位感应块(4234)，以将所述转动DOE组件(42)调整到零位。

10.根据权利要求7所述的DOE装置，其特征在于，

所述第二电机(56)与所述转动DOE组件(42)分别安装于所述转盘(40)沿所述第二轴线(102)方向的异侧；

所述转动DOE组件(42)还包括：

垫块(423)，垫设于所述第二电机(56)输出轴的末端，以使所述第二电机(56)的输出轴能穿过所述转盘(40)与异侧的所述转动DOE组件(42)连接。

11.根据权利要求3所述的DOE装置，其特征在于，所述第二驱动组件(50)还包括：

安装支架(54)，所述第一电机(51)安装于所述安装支架(54)上；

调节单元(55)，设于所述转盘(40)上，且与所述安装支架(54)连接，能调节所述安装支架(54)相对于所述转动DOE组件(42)的距离。

12.根据权利要求11所述的DOE装置，其特征在于，所述调节单元(55)包括：

调节座(551)以及穿设于所述调节座(551)上的调节螺栓(552)；

其中，所述调节螺栓(552)的自由端与所述安装支架(54)螺纹连接，以调节所述安装支架(54)相对于所述转动DOE组件(42)的距离，从而调节所述同步带(53)的张紧程度。

13.根据权利要求1所述的DOE装置，其特征在于，所述转动DOE组件(42)为两个，两个所述转动DOE组件(42)分别为离轴照明的二级照明组件和四级照明组件。

Images