CN211122964U

CN211122964U - 一种抵紧固定结构及探针台

Info

Publication number: CN211122964U
Application number: CN201921569583.4U
Authority: CN
Inventors: 韦日文; 雷迪; 陈子鹏; 肖乐; 王胜利
Original assignee: Silicon Electric Semiconductor Equipment Shenzhen Co ltd
Current assignee: Silicon Electric Semiconductor Equipment Shenzhen Co ltd
Priority date: 2019-09-20
Filing date: 2019-09-20
Publication date: 2020-07-28
Anticipated expiration: 2029-09-20

Abstract

本实用新型公开了一种抵紧固定结构、探针台及压紧针卡固定板的方法。一种用于将针卡固定板抵紧固定的抵紧固定结构包括，旋转连接于底板上的驱动环，所述驱动环设置有多个限位导向部；压紧环通过所述限位导向部连接于驱动环，压紧环相对于底板能够产生第一方向的分运动；针卡固定板沿垂直于第一方向的平面放置；驱动环带动压紧环运动，安装于底板的挡位部沿垂直于第一方向止抵于压紧环，使压紧环沿第一方向止抵于放置于底板上的针卡固定板；一种包括所述抵紧固定结构的探针台。

Description

一种抵紧固定结构及探针台

技术领域

本实用新型涉及一种抵紧固定结构及探针台；属于探针台领域。

背景技术

申请号为2018105760752的专利申请文件公开了一种“针卡固定圈旋转升降机构”采用“[0018]……且升降凸轮导向轴承8的导向轴承位于倾斜长孔7中，旋转升降盘1在转动的同时实现升降；使与旋转升降盘1连接的针卡固定圈旋转上升实现针卡的更换，或使针卡固定圈旋转下降复位”，即实现对“针卡固定圈”旋转上升或下降，便于更换针卡（如图9）；即在固定针卡固定圈过程中，针卡固定圈会运动，造成针卡固定圈定位不准确。

实用新型内容

为解决针卡固定圈运动造成对针卡定位不准确的问题，本实用新型提出一种针卡不会运动的技术方案，具体为针卡固定板不会运动，针卡固定板对应背景技术中的针卡固定圈；一种抵紧固定结构、探针台及压紧针卡固定板的方法，用于对针卡固定板实现压紧或松开，便于针卡更换。

本实用新型的技术方案为：一种抵紧固定结构，用于将针卡固定板抵紧固定；所述抵紧固定结构包括，

旋转连接于底板上的驱动环，所述驱动环设置有多个限位导向部；

压紧环通过所述限位导向部连接于驱动环，压紧环相对于底板能够产生第一方向的分运动；针卡固定板沿垂直于第一方向的平面放置；

驱动环带动压紧环运动，安装于底板的挡位部沿垂直于第一方向止抵于压紧环，使压紧环沿第一方向止抵于放置于底板上的针卡固定板。

进一步的，所述抵紧固定结构还包括限位环；所述限位环固定于底板，所述驱动环通过连接体连接于限位环，使所述驱动环能够相对于底板旋转。

进一步的，所述连接体包括支撑滚轮和限位滚轮，连接于驱动环上的支撑滚轮产生相对于限位环的旋转运动，同时连接于驱动环上的限位滚轮止抵于限位环内侧。

进一步的，所述限位导向部为导向斜槽，所述压紧环通过滚轮连接于导向斜槽；当压紧环相对于驱动环运动时，所述压紧环产生相对于底板的沿第一方向的分运动。

进一步的，所述挡位部为弧形槽，所述压紧环设置有的挡位销；所述挡位销止抵于弧形槽内壁时，挡位部沿垂直于第一方向止抵于压紧环。

进一步的，所述限位导向部设置有弹性挡部，所述弹性挡部止抵于压紧环；在所述压紧环止抵于挡位部之前，所述压紧环相对于所述驱动环静止。

进一步的，所述压紧环设置有止抵凸部；所述针卡固定板设置有让位凹部；所述让位凹部穿过所述止抵凸部使针卡固定板放置于底板；所述压紧环旋转使止抵凸部错开让位凹部后，压紧环向第一方向运动使止抵凸部止抵于针卡固定板。

进一步的，所述驱动环连接有驱动气缸，所述驱动气缸安装于底板，所述驱动气缸用于驱动所述驱动环旋转。

进一步的，所述挡位部为滚动轴承，滚动轴承的切向方向平行于第一方向。

一种探针台，所述探针台包括上述的抵紧固定结构。

本实用新型的有益效果在于：所述压紧环抵紧针卡固定板过程中不会使针卡固定板产生运动，保证了针卡固定板安装的位置精度。

附图说明

图1为本实用新型抵紧固定结构示意图；

图2为驱动环与压紧环连接结构示意图；

图3为底板示意图；

图4为驱动环与限位环连接结构示意图；

图5为弹性挡部示意图；

图6为图5中局部放大示意图；

图7为压紧环示意图；

图8为针卡固定板示意图；

图9为背景技术提到的申请文件说明书附图4。

具体实施方式

为便于本领域技术人员理解本实用新型的技术方案，下面将本实用新型的技术方案结合具体实施例作进一步详细的说明。

如图1、图2和图3所示，一种抵紧固定结构100，用于将针卡固定板101抵紧固定，方便针卡固定板101的安装或固定；本实用新型的技术方案采用将针卡固定板101抵紧固定于底板20作为实施例；所述抵紧固定结构100包括，

旋转连接于底板20上的驱动环30，所述驱动环30能够相对于底板20旋转运动；所述驱动环30设置有多个限位导向部31，用于带动并控制压紧环40的运动方向；

压紧环40通过所述限位导向部31连接于驱动环30，实现驱动环30运动能够带动压紧环40运动；压紧环40相对于底板20能够产生第一方向a的分运动，所述压紧环40沿第一方向a的运动实现对针卡固定板101的抵紧固定或松开，即所述针卡固定板101并不由压紧环40带动运动，从而便于在压紧针卡固定板101前对针卡固定板101定位放置；针卡固定板101沿垂直于第一方向a的平面b放置；则针卡固定板101沿垂直于平面b抵紧，从而减小因压紧环40抵紧造成针卡固定板101位置偏差；

驱动环30带动压紧环40运动，安装于底板20的挡位部21沿垂直于第一方向a止抵于压紧环40，限定压紧环40只能沿第一方向a运动，使压紧环40沿第一方向a止抵于放置于底板20上的针卡固定板101；针卡固定板101不会运动，使针卡固定板101位置精度高。

所述挡位部21为滚动轴承，滚动轴承的切向方向平行于第一方向a；即压紧环40相对于挡位部21的沿第一方向a的运动为压紧环40接触于滚动轴承使滚动轴承转动，从而减小压紧环40相对于挡位部21沿第一方向a的摩擦和磨损，提升压紧环40抵压于针卡固定板101的位置精度，同时能够延长挡位部21的使用寿命。

采用上述技术方案能够减小抵压针卡固定板101过程中造成安装于针卡固定板101上针卡（未示出）位置移动，从而便于保证针卡的位置精度；同时沿第一方向a垂直于针卡固定板101抵压能够减小对针卡固定板101的损坏。

如图1、图2、图3和图4所示，所述抵紧固定结构100还包括限位环50；所述限位环50固定于底板20，所述驱动环30通过连接体32连接于限位环50，使所述驱动环30能够相对于底板20旋转；此为实现驱动环30相对于底板20旋转运动的一种实施方式，当然本实用新型的技术方案并不限于此，本领域技术人员能够采用轴承结构（滑动轴承或滚动轴承，驱动环30和限位环50分别相对于轴承的内圈和外圈）实现驱动环30相对于限位环50的旋转运动；所述连接体32为球体、套环、轴承等能够用于实现驱动环30相对于限位环50运动的零件或部件；当然，所述连接体32还包括采用支撑滚轮321和限位滚轮322，所述连接于驱动环30上的支撑滚轮321产生相对于限位环50的旋转运动，同时连接于驱动环30上的限位滚轮322止抵于限位环50内侧，用于保证驱动环30相对于限位环50旋转中的位置关系。

采用上述技术方案实现驱动环30的旋转运动，同时采用连接体32减小驱动环30相对于限位环50运动的摩擦和磨损，从而提升抵紧固定结构100的使用寿命。

如图2所示，所述限位导向部31为导向斜槽，所述压紧环40通过滚轮41连接于导向斜槽，即压紧环40相对于驱动环30运动时，所述滚轮41滚动摩擦，减小压紧环40相对于驱动环30运动的摩擦力，从而延长抵紧固定结构100的使用寿命；当压紧环40相对于驱动环30运动时，所述压紧环40产生相对于底板20的沿第一方向a的分运动；由于压紧环40由驱动环30带动，当需要使压紧环40沿第一方向a止抵或远离针卡固定板101时，只需要限定压紧环40除第一方向a外的其它运动即可，从而保证压紧环40能够沿在驱动环30的带动下沿第一方向a运动；

采用上述技术方案降低压紧环40相对于驱动环30运动的摩擦磨损，提高压紧环40沿第一方向a运动的位置精度。

如图1和图3所示，所述挡位部21为弧形槽，所述压紧环40设置有的挡位销（未示出）；所述挡位销止抵于弧形槽内壁时，挡位部21沿垂直于第一方向止抵于压紧环40；在压紧环40旋转过程中，所述挡位销在弧形槽中运动，当挡位销止抵于弧形槽内壁时，所述压紧环40不能产生相对于底板20的旋转运动；所述压紧环40只能产生相对于底板20的、沿第一方向a的运动（挡位销沿着弧形槽内壁沿第一方向a滑动），从而实现限定压紧环40沿第一方向a的运动；

采用上述技术方案通过挡位销与弧形槽配合，实现底板20对压紧环40运动方向的限定；当然，本领域技术人员按将所述弧形槽设定成与挡位销配合的限位孔，那么所述压紧环40只能产生相对于底板20的沿第一方向a运动。

图5和图6所示，所述限位导向部31设置有弹性挡部33，所述弹性挡部33止抵于压紧环40，所述弹性挡部33用于增强压紧环40与驱动环30之间的摩擦力；在所述压紧环40止抵于挡位部21之前，所述压紧环40相对于所述驱动环30静止；使压紧环40与驱动环30一起运动，保证压紧环40位置稳定可靠；反之，如果没有弹性挡部33，在压紧环40止抵于挡位部21之前，所述压紧环40能够相对于驱动环30运动，所述压紧环40位置不可靠；当压紧环40止抵于挡位部21后，所述压紧环40克服弹性挡部33增强的摩擦力，使压紧环40能够相对于驱动环30运动（沿第一方向a运动）；

采用上述技术方案增强对压紧环40位置的控制，对压紧环40相对于底板20位置的控制稳定可靠，即压紧环40在止抵于挡位部21之前与驱动环30一起旋转运动；当压紧环40止抵于挡位部21之后，所述压紧环40产生相对于底板20的沿第一方向a的运动实现对针卡固定板101的固定。

如图7所示，所述压紧环40设置有止抵凸部42，所述止抵凸部42用于抵压针卡固定板101，使针卡固定板101贴合固定于底板20；所述针卡固定板101设置有让位凹部102，便于所述针卡固定板101穿过压紧环40放置于底板20；所述让位凹部102穿过所述止抵凸部42使针卡固定板101放置于底板20；所述压紧环40旋转（压紧环40与驱动环30一起同步旋转）使止抵凸部42错开让位凹部102后，压紧环40向第一方向a运动使止抵凸部42止抵于针卡固定板101；

采用上述技术方案在满足针卡固定板101放置于底板20的前提下，通过所述压紧环40旋转使止抵凸部42沿第一方向a正对应针卡固定板101的能够用于抵紧的位置，从而压紧环40在驱动环30和挡位部21共同作用下沿第一方向a止抵于针卡固定板101，使针卡固定板101固定在压紧环40和底板20之间。

如图1所示，所述驱动环30连接有驱动气缸60，所述驱动气缸60安装于底板20；所述驱动气缸60用于驱动所述驱动环30旋转；最终实现对压紧环40的运动控制。

一种探针台（未示出），所述探针台包括上述的抵紧固定结构100；即采用了针卡的探针台均能够采用本实用新型技术方案的抵紧固定结构100实现对针卡的安装、固定和更换。

如图1、图2和图3所示，一种压紧针卡固定板的方法，安装于底板20的挡位部21沿垂直于第一方向a止抵于压紧环40，在驱动环30带动下，所述压紧环40沿第一方向a运动并止抵于沿垂直于第一方向a放置的针卡固定板101，此时针卡固定板101放置于底板20，且针卡固定板101在承受到压紧环40沿第一方向a施加的作用力时不会改变位置，即压紧环40抵紧针卡固定板101的过程中不会改变针卡固定板101的位置；所述压紧环40沿第一方向a止抵于针卡固定板101，实现针卡固定板101固定安装于底板20；

采用上述技术方案，使针卡固定板101在底板20上的位置稳定可靠；即将针卡固定板101放置于底板20上时就已经确定了针卡固定板101的位置；便于保证针卡固定板101的位置精度，从而使位于针卡固定板101上的针卡（未示出）安装时将位置调好后位置准确可靠。

如图2所示，所述驱动环30设置有多个限位导向部31，压紧环40通过限位导向部31连接于驱动环30；所述限位导向部31为导向斜槽，所述压紧环40通过滚轮41连接于导向斜槽；当挡位部21沿垂直于第一方向a止抵于压紧环40时，所述压紧环40相对于驱动环30运动，即滚轮41相对于导向斜槽运动；由于挡位部21限定了压紧环40相对于底板20的运动，使压紧环40只能相对于底板20沿第一方向a运动而止抵于针卡固定板101；

采用上述技术方案实现对压紧环40沿第一方向a的运动控制，从而使压紧环40能够相对于底板20沿第一方向a运动并止抵于针卡固定板101，实现将针卡固定板101固定于底板20的目的。

如图1和图4所示，所述驱动环30转动连接于限位环50，所述限位环50固定于底板20；实现驱动环30能够相对于底板20运动的功能；所述驱动环30连接有支撑滚轮321和限位滚轮322，所述支撑滚轮321能够相对于限位环50旋转运动，同时限位滚轮322止抵于限位环50内侧并能够相对于限位环50转动；在所述支撑滚轮321和限位滚轮322共同作用下，所述驱动环30实现相对于限位环50的旋转；当然本领域技术人员还能够采用类似滚动轴承的内圈相对于外圈转动的结构（驱动环30对应于轴承内圈，限位环50相对于轴承外圈），实现相同的功能。

如图1和图2所示，所述第一方向a垂直于针卡固定板101压紧面，压紧环40与针卡固定板101接触面垂直于第一方向a，即针卡固定板101受到垂直于针卡固定板101压紧面的力不会改变针卡固定板101的位置；那么，所述针卡固定板101与底板20的接触面为平行于该针卡固定板101压紧面；或者，所述针卡固定板101与底板20接触面为限位面（锥形贴合面、定位孔定位销结构等），保证了所述针卡固定板101位置不会因压紧环40的抵压而改变位置。

如图1所示，所述驱动环30往复旋转实现对压紧环40压紧针卡固定板101/松开针卡固定板101的运动控制；往复运动简化对驱动环30的控制，即所述驱动环30向顺时针旋转使压紧环40抵紧针卡固定板101，驱动环30沿逆时针旋转使压紧环40远离针卡固定板101（也可采用顺时针压紧环40远离针卡固定板101，逆时针压紧环40抵紧针卡固定板101）；相较于完整的旋转运动，即所述驱动环30一直向顺时针或逆时针旋转，本实用新型的技术方案结构简单，采用完整的旋转运动需要采用能够带动驱动环30完整运动的结构；同时，完整旋转的位置（刚好抵压到针卡固定板101）不好调节，采用往复结构只需要将驱动环30转动到极限位置即可，从而本实用新型的技术方案驱动环30位置精度高、运动控制简单方便，从而所述压紧环40位置稳定可靠。

以上是本实用新型的较佳实施例，不用于限定本实用新型的保护范围。应当认可，本领域技术人员在理解了本实用新型技术方案后所作的非创造性变形和改变，应当也属于本实用新型的保护和公开的范围。

Claims

1.一种抵紧固定结构，用于将针卡固定板抵紧固定；其特征在于：所述抵紧固定结构包括，

2.根据权利要求1所述的抵紧固定结构，其特征在于：所述抵紧固定结构还包括限位环；所述限位环固定于底板，所述驱动环通过连接体连接于限位环，使所述驱动环能够相对于底板旋转。

3.根据权利要求2所述的抵紧固定结构，其特征在于：所述连接体包括支撑滚轮和限位滚轮，连接于驱动环上的支撑滚轮产生相对于限位环的旋转运动，同时连接于驱动环上的限位滚轮止抵于限位环内侧。

4.根据权利要求1所述的抵紧固定结构，其特征在于：所述限位导向部为导向斜槽，所述压紧环通过滚轮连接于导向斜槽；当压紧环相对于驱动环运动时，所述压紧环产生相对于底板的沿第一方向的分运动。

5.根据权利要求1所述的抵紧固定结构，其特征在于：所述挡位部为弧形槽，所述压紧环设置有的挡位销；所述挡位销止抵于弧形槽内壁时，挡位部沿垂直于第一方向止抵于压紧环。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的抵紧固定结构，其特征在于：所述限位导向部设置有弹性挡部，所述弹性挡部止抵于压紧环；在所述压紧环止抵于挡位部之前，所述压紧环相对于所述驱动环静止。

7.根据权利要求6所述的抵紧固定结构，其特征在于：所述压紧环设置有止抵凸部；所述针卡固定板设置有让位凹部；所述让位凹部穿过所述止抵凸部使针卡固定板放置于底板；所述压紧环旋转使止抵凸部错开让位凹部后，压紧环向第一方向运动使止抵凸部止抵于针卡固定板。

8.根据权利要求1所述的抵紧固定结构，其特征在于：所述驱动环连接有驱动气缸，所述驱动气缸安装于底板，所述驱动气缸用于驱动所述驱动环旋转。

9.根据权利要求1所述的抵紧固定结构，其特征在于：所述挡位部为滚动轴承，滚动轴承的切向方向平行于第一方向。

10.一种探针台，其特征在于：所述探针台包括权利要求1-9任意一项所述的抵紧固定结构。