CN211109046U - 一种半导体晶圆片存储装置 - Google Patents

一种半导体晶圆片存储装置 Download PDF

Info

Publication number
CN211109046U
CN211109046U CN201921735357.9U CN201921735357U CN211109046U CN 211109046 U CN211109046 U CN 211109046U CN 201921735357 U CN201921735357 U CN 201921735357U CN 211109046 U CN211109046 U CN 211109046U
Authority
CN
China
Prior art keywords
supporting
semiconductor wafer
block
cylinder cover
storage device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201921735357.9U
Other languages
English (en)
Inventor
杨阳
杨昊
杨振华
管家辉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hoyuan Green Energy Co.,Ltd.
Original Assignee
Wuxi Shangji Automation Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wuxi Shangji Automation Co Ltd filed Critical Wuxi Shangji Automation Co Ltd
Priority to CN201921735357.9U priority Critical patent/CN211109046U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN211109046U publication Critical patent/CN211109046U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种半导体晶圆片存储装置,包括密封筒罩、连接片和旋转块,所述密封筒罩的正上方连接有拉手,且密封筒罩的内部设置有储存箱体,所述连接片铰接固定在密封筒罩外侧,且连接片的外侧螺纹连接有定位螺杆,所述连接片的正下方设置有支撑底座,且支撑底座的正下方连接有转杆,所述旋转块安装在转杆的正下方,所述储存箱体的内部设置有支撑面板,且支撑面板之间连接有支撑块,所述支撑面板的外侧连接有辅助滑轮,且支撑面板的一侧连接有滑块,所述滑块的一侧连接有矩形滑轨。该半导体晶圆片存储装置,采用支撑块与矩形滑轨,通过支撑块带动支撑面板进行垂直升降,便于将半导体晶圆片放置到装置的内部。

Description

一种半导体晶圆片存储装置
技术领域
本实用新型涉及半导体晶圆片设备技术领域,具体为一种半导体晶圆片存储装置。
背景技术
半导体晶圆片是硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,在半导体晶圆片生产完成后,需要通过储存装置对半导体晶圆片的外侧进行固定,避免半导体晶圆片在运输过程中发生触碰,避免半导体晶圆片在运输过程中发生损坏的情况。
现在半导体晶圆片存储装置为横向储存,通过较大的储存间距对半导体晶圆片进行插接,但装置难以对半导体晶圆片进行整体取出,增加半导体晶圆片日常拿取的难度,并且半导体晶圆片的直径不同,装置难以根据半导体晶圆片的直径调节固定的尺寸。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种半导体晶圆片存储装置,以解决上述背景技术中提出的装置难以对半导体晶圆片进行整体取出,增加半导体晶圆片日常拿取的难度,并且半导体晶圆片的直径不同,装置难以根据半导体晶圆片的直径调节固定的尺寸的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种半导体晶圆片存储装置,包括密封筒罩、连接片和旋转块,所述密封筒罩的正上方连接有拉手,且密封筒罩的内部设置有储存箱体,所述连接片铰接固定在密封筒罩外侧,且连接片的外侧螺纹连接有定位螺杆,所述连接片的正下方设置有支撑底座,且支撑底座的正下方连接有转杆,所述旋转块安装在转杆的正下方,所述储存箱体的内部设置有支撑面板,且支撑面板之间连接有支撑块,所述支撑面板的外侧连接有辅助滑轮,且支撑面板的一侧连接有滑块,所述滑块的一侧连接有矩形滑轨,所述支撑面板的正上方开设有置物槽,且置物槽的正上方开设有矩形滑槽,所述矩形滑槽的正上方连接有夹持块,且夹持块的外侧螺纹连接有丝杆,所述支撑面板的正下方连接有转把,且转把的正上方连接有锥齿。
优选的,所述密封筒罩与支撑底座通过连接片和定位螺杆构成拆卸安装结构,且连接片呈矩形分布在密封筒罩外侧,并且密封筒罩与储存箱体均采用矩形结构。
优选的,所述转杆与支撑块通过丝杆连接,且丝杆的长度大于支撑块的长度。
优选的,所述支撑面板等间距安装在支撑块上,且支撑面板为中空矩形结构,并且支撑面板的宽度为置物槽宽度的一半。
优选的,所述辅助滑轮与滑块关于支撑块中心线对称分布,且支撑块与支撑面板通过滑块、矩形滑轨和丝杆构成升降结构。
优选的,所述夹持块与支撑块均安装有丝杆,且夹持块与锥齿设置的数量为四组,并且夹持块通过丝杆和矩形滑槽构成滑动结构。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该半导体晶圆片存储装置,
1、采用支撑块与矩形滑轨,通过支撑块带动支撑面板进行垂直升降,便于将半导体晶圆片放置到装置的内部,并通过矩形滑轨对支撑面板的移动轨迹进行限定,避免支撑面板在移动过程中发生移动情况;
2、采用丝杆与锥齿,通过锥齿带动丝杆进行转动,通过丝杆带动夹持块进行水平移动,便于根据半导体晶圆片的直径,调节四周夹持块之间的距离,通过夹持块对半导体晶圆片的外侧进行定位,避免半导体晶圆片在运输过程中发生偏移的情况。
附图说明
图1为本实用新型正视结构示意图;
图2为本实用新型储存箱体俯视结构示意图;
图3为本实用新型储存箱体侧视结构示意图;
图4为本实用新型图3中A点放大结构示意图。
图中:1、密封筒罩;2、拉手;3、储存箱体;4、连接片;5、定位螺杆;6、支撑底座;7、转杆;8、旋转块;9、支撑面板;10、支撑块;11、辅助滑轮;12、滑块;13、矩形滑轨;14、置物槽;15、矩形滑槽;16、夹持块;17、丝杆;18、转把;19、锥齿。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4,本实用新型提供一种技术方案:一种半导体晶圆片存储装置,包括密封筒罩1、拉手2、储存箱体3、连接片4、定位螺杆5、支撑底座6、转杆7、旋转块8、支撑面板9、支撑块10、辅助滑轮11、滑块12、矩形滑轨13、置物槽14、矩形滑槽15、夹持块16、丝杆17、转把18和锥齿19,密封筒罩1的正上方连接有拉手2,且密封筒罩1的内部设置有储存箱体3,连接片4铰接固定在密封筒罩1外侧,且连接片4的外侧螺纹连接有定位螺杆5,连接片4的正下方设置有支撑底座6,且支撑底座6的正下方连接有转杆7,旋转块8安装在转杆7的正下方,储存箱体3的内部设置有支撑面板9,且支撑面板9之间连接有支撑块10,支撑面板9的外侧连接有辅助滑轮11,且支撑面板9的一侧连接有滑块12,滑块12的一侧连接有矩形滑轨13,支撑面板9的正上方开设有置物槽14,且置物槽14的正上方开设有矩形滑槽15,矩形滑槽15的正上方连接有夹持块16,且夹持块16的外侧螺纹连接有丝杆17,支撑面板9的正下方连接有转把18,且转把18的正上方连接有锥齿19。
密封筒罩1与支撑底座6通过连接片4和定位螺杆5构成拆卸安装结构,且连接片4呈矩形分布在密封筒罩1外侧,并且密封筒罩1与储存箱体3均采用矩形结构,通过密封筒罩1对储存箱体3的顶部进行遮挡,确保半导体晶圆片在运输过程中的稳定性。
转杆7与支撑块10通过丝杆17连接,且丝杆17的长度大于支撑块10的长度,便于根据放置及取出的需求,通过丝杆17带动支撑块10进行移动,提升日常使用的便捷性。
支撑面板9等间距安装在支撑块10上,且支撑面板9为中空矩形结构,并且支撑面板9的宽度为置物槽14宽度的一半,通过多组支撑面板9对不同直径的半导体晶圆片进行安装,确保装置日常储存的灵活性。
辅助滑轮11与滑块12关于支撑块10中心线对称分布,且支撑块10与支撑面板9通过滑块12、矩形滑轨13和丝杆17构成升降结构,通过辅助滑轮11与滑块12对支撑面板9移动轨迹进行限定,避免半导体晶圆片在取出过程中发生掉落情况。
夹持块16与支撑块10均安装有丝杆17,且夹持块16与锥齿19设置的数量为四组,并且夹持块16通过丝杆17和矩形滑槽15构成滑动结构,便于根据半导体晶圆片的直径调节夹持块16之间的距离,确保半导体晶圆片运输的稳定性。
工作原理:在使用该半导体晶圆片存储装置时,根据图1、图2及图3所示,操作人员握持拉手2,将密封筒罩1及支撑底座6移动到相应的位置,并将密封筒罩1从储存箱体3的顶部取出,随后握持旋转块8,旋转块8带动转杆7进行转动,通过转杆7带动丝杆17进行转动,通过丝杆17带动支撑面板9及支撑块10向上移动,支撑面板9通过外侧的滑块12在矩形滑轨13的外侧进行滑动,并通过辅助滑轮11减少支撑面板9在向上移动过程中摩擦力,并将半导体晶圆片放置到支撑面板9外侧的置物槽14的内部;
根据图1、图3及图4所示,随后握持转把18,通过转把18带动锥齿19进行转动,通过锥齿19带动四组的锥齿19及丝杆17进行转动,通过丝杆17带动夹持块16进行移动,夹持块16在矩形滑槽15上进行滑动,通过夹持块16对半导体晶圆片的外侧进行固定,当对多组半导体晶圆片进行放置后,随后将密封筒罩1放置在支撑底座6的正上方,并将密封筒罩1外侧的连接片4与支撑底座6进行贴合,并将定位螺杆5对连接片4与支撑底座6的连接处进行固定。
尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种半导体晶圆片存储装置,包括密封筒罩(1)、连接片(4)和旋转块(8),其特征在于:所述密封筒罩(1)的正上方连接有拉手(2),且密封筒罩(1)的内部设置有储存箱体(3),所述连接片(4)铰接固定在密封筒罩(1)外侧,且连接片(4)的外侧螺纹连接有定位螺杆(5),所述连接片(4)的正下方设置有支撑底座(6),且支撑底座(6)的正下方连接有转杆(7),所述旋转块(8)安装在转杆(7)的正下方,所述储存箱体(3)的内部设置有支撑面板(9),且支撑面板(9)之间连接有支撑块(10),所述支撑面板(9)的外侧连接有辅助滑轮(11),且支撑面板(9)的一侧连接有滑块(12),所述滑块(12)的一侧连接有矩形滑轨(13),所述支撑面板(9)的正上方开设有置物槽(14),且置物槽(14)的正上方开设有矩形滑槽(15),所述矩形滑槽(15)的正上方连接有夹持块(16),且夹持块(16)的外侧螺纹连接有丝杆(17),所述支撑面板(9)的正下方连接有转把(18),且转把(18)的正上方连接有锥齿(19)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆片存储装置,其特征在于:所述密封筒罩(1)与支撑底座(6)通过连接片(4)和定位螺杆(5)构成拆卸安装结构,且连接片(4)呈矩形分布在密封筒罩(1)外侧,并且密封筒罩(1)与储存箱体(3)均采用矩形结构。
3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆片存储装置,其特征在于:所述转杆(7)与支撑块(10)通过丝杆(17)连接,且丝杆(17)的长度大于支撑块(10)的长度。
4.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆片存储装置,其特征在于:所述支撑面板(9)等间距安装在支撑块(10)上,且支撑面板(9)为中空矩形结构,并且支撑面板(9)的宽度为置物槽(14)宽度的一半。
5.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆片存储装置,其特征在于:所述辅助滑轮(11)与滑块(12)关于支撑块(10)中心线对称分布,且支撑块(10)与支撑面板(9)通过滑块(12)、矩形滑轨(13)和丝杆(17)构成升降结构。
6.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆片存储装置,其特征在于:所述夹持块(16)与支撑块(10)均安装有丝杆(17),且夹持块(16)与锥齿(19)设置的数量为四组,并且夹持块(16)通过丝杆(17)和矩形滑槽(15)构成滑动结构。
CN201921735357.9U 2019-10-16 2019-10-16 一种半导体晶圆片存储装置 Active CN211109046U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201921735357.9U CN211109046U (zh) 2019-10-16 2019-10-16 一种半导体晶圆片存储装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201921735357.9U CN211109046U (zh) 2019-10-16 2019-10-16 一种半导体晶圆片存储装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN211109046U true CN211109046U (zh) 2020-07-28

Family

ID=71702075

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201921735357.9U Active CN211109046U (zh) 2019-10-16 2019-10-16 一种半导体晶圆片存储装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN211109046U (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN206720526U (zh) 一种电梯用广告牌固定装置
CN205985981U (zh) 一种可调节大小的电缆放线架
CN211257873U (zh) 一种用于玻璃幕墙安装的辅助设备
CN212085718U (zh) 一种电气线缆固定装置
CN211109046U (zh) 一种半导体晶圆片存储装置
CN207156198U (zh) 一种硅棒开方装卸料机械手
CN210944694U (zh) 一种机电安装专用升降设备
CN209896961U (zh) 一种方便对光伏板进行局部更换的支撑装置
CN219915720U (zh) 线路板用耐压测试夹具
CN208835968U (zh) 一种带有高速搬运装置的双动子直线电机
CN209352499U (zh) 一种玻璃吊架用托架
CN207279187U (zh) 一种带有升降调节机构的旅游导览装置
CN214522823U (zh) 一种电容器生产喷码设备
CN211058379U (zh) 一种便于折叠收纳的钢结构支架
CN210655213U (zh) 一种可调距离双向打开式吸附装置
CN218488713U (zh) 机械手自动置模装置
CN220033959U (zh) 一种液压机械用升降台
CN206445771U (zh) 一种变压器风扇可调节电动检修装置
CN215407291U (zh) 一种建筑施工用脚手架
CN217861561U (zh) 一种液晶显示屏生产用边缘裁切机
CN216731775U (zh) 一种便于调节产品放置位置的电气自动化装置
CN211212043U (zh) 电力营销用单据管理柜
CN211664686U (zh) 一种防止产品掉落的链条式升降机用托板座
CN220148810U (zh) 一种可调节顶嘴高度的缠胶机
CN219806071U (zh) 一种小型设备组装工作台

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CP01 Change in the name or title of a patent holder

Address after: No.158, Nanhu Middle Road, Xuelang street, Binhu District, Wuxi City, Jiangsu Province, 214100

Patentee after: Hoyuan Green Energy Co.,Ltd.

Address before: No.158, Nanhu Middle Road, Xuelang street, Binhu District, Wuxi City, Jiangsu Province, 214100

Patentee before: WUXI SHANGJI AUTOMATION Co.,Ltd.

CP01 Change in the name or title of a patent holder