CN210668317U - 一种晶舟夹取装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶舟夹取装置，固定座，第一夹具、第二夹具、往复运动机构、电机；所述第二夹具设置于固定座上，所述第一夹具包括两个平行设置的第一夹臂，第二夹具包含两个平行设置的第二夹臂，所述第一夹臂滑动连接于第二夹臂侧面上，并与所述往复运动机构相连；所述电机固定在固定座上且转动端与所述往复运动机构相连接，用于为所述往复运动机构提供动力，且使所述第一夹具在所述第二夹具侧边上下往复运动；固定座用于与夹取控制器上的轴杆连接。上述技术方案提供了一种晶舟夹取装置，其通过第一夹具、第二夹具以及往复运动机构的相互配合，实现一台设备可以抓取多种尺寸的晶舟。

Description

一种晶舟夹取装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆装载领域，尤其涉及一种晶舟夹取装置。

背景技术

在现有的湿法蚀刻的机台中，如图1所示，轴杆12与夹取控制器11相连，固定座13在轴杆的前端，固定座与轴杆之间有一定的角度，夹具14安装在固定座上，机械手臂来控制轴杆的动作，来打开或者关闭夹具。关闭夹具，夹取晶舟；打开夹具，放开晶舟。在实现本实用新型的过程中，发明人发现现有技术中存在如下问题：只能用在一种规格的晶舟上；增加一种规格的晶舟，就需要增加一台设备。

实用新型内容

为此，需要提供一种晶舟夹取装置，解决一台设备只能用在一种规格的晶舟上以及增加一种规格的晶舟，就需要增加一台设备的问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种晶舟夹取装置，包括：固定座、第一夹具、第二夹具、往复运动机构、电机；

所述第二夹具设置于固定座上，所述第一夹具包括两个平行设置的第一夹臂，第二夹具包含两个平行设置的第二夹臂，所述第一夹臂滑动连接于第二夹臂侧面上，并与所述往复运动机构相连；

所述电机固定在固定座上且转动端与所述往复运动机构相连接，用于为所述往复运动机构提供动力，且使所述第一夹具在所述第二夹具侧边上下往复运动；

固定座用于与夹取控制器上的轴杆连接。

进一步地，所述往复运动机构包括齿条、齿轮；

所述齿条固定连接在所述第一夹具上，所述电机用于给所述齿轮提供动力，且所述齿条、齿轮相互啮合；所述电机通过啮合驱动所述第一夹具在所述第二夹具上的第一位置与第二位置之间移动，用于抓取不同尺寸的晶舟。

进一步地，所述第一夹臂滑动连接于所述第二夹具内侧。

进一步地，夹取控制器、轴杆；

所述固定座与轴杆相连，并设置于所述轴杆的前端，所述轴杆设置于所述夹取控制器上。

进一步地，所述第一夹臂或者第二夹臂为凵型。

区别于现有技术，上述技术方案提供了一种晶舟夹取装置，其通过第一夹具、第二夹具以及往复运动机构的相互配合，实现一台设备可以抓取多种尺寸的晶舟。需要说明的是，所述第一夹具为左右对称的两个夹板，所述第二夹具也为左右对称的两个夹板；在本实施例中，第一夹具可以位于第二夹具内侧，也可以设置于第二夹具外侧。在实际作业中，在第一夹具位于第二夹具内侧时，当需抓起小尺寸的晶舟，通过所述电机驱动所述往复运动机构，同时通过往复运动机构带动第一夹具向下运动，待所述第一夹具到达能够抓取晶舟位置时，电机停止工作，随后所述一种晶舟夹取装置抓取小尺寸晶舟。当需要抓起大尺寸的晶舟时，通过电机驱动所述往复运动机构，同时通过往复运动机构带动第一夹具向上运动，待所述第二夹具到达能够抓取晶舟位置时，电机停止工作，随后所述一种晶舟夹取装置便可直接抓取大尺寸晶舟。需要说明的是，所述第二夹具是相对于所述一种晶舟夹取装置是相对静止的，具体的，在往复运动机构的带动下所述第一夹具通过其与第二夹具间的滑动连接，实现在所述第二夹具上往复运动。本实用新型通过上述方案实现一台设备可以用于多种规格的晶舟，同时提升了晶舟抓取的效率，本实用新型在现有晶舟夹取装置的基础上对结构进行了升级改造，达到了同一机台可以进行两种规格晶圆产品的制程的目的，提高了抓取、制程效率，同时两种尺寸夹具可以进行直接切换，不需要一种规格就调整一次设备。

附图说明

图1为改进前晶舟夹取的结构图

图2为第一夹具和第二夹具的立体结构图；

图3为第二位置内部结构示意图；

图4为第一位置内部结构示意图；

附图标记说明：

1、固定座；

2、第一夹具；

3、第二夹具；

4、电机；

5、齿轮；

6、齿条。

具体实施方式

为详细说明技术方案的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。

请参阅图2到4，在本实施例中，提供了一种晶舟夹取装置，用于夹取晶舟10，包括：固定座1、第一夹具2、第二夹具3、往复运动机构、电机4；所述第一夹具包括两个平行设置的第一夹臂，第二夹具包含两个平行设置的第二夹臂，所述第一夹具2的第一夹臂滑动连接于第二夹具3的第二夹臂上上，并与所述往复运动机构相连；如图3-4所示，可以在第二夹具上的固定部设置凹槽，而后第一夹具可以在固定部设置滑块，这样滑块置于凹槽内可以实现第一夹具相对于第二夹具的往复运动。所述电机4固定在固定座上且转动端与所述往复运动机构相连接，用于为所述往复运动机构提供动力，且使所述第一夹具2在所述第二夹具3侧边上下往复运动。其通过第一夹具2、第二夹具3以及往复运动机构的相互配合，实现一台设备可以抓取多种尺寸的晶舟。

在一实施例中，所述第一夹具2为左右对称的两个夹板，所述第二夹具3也为左右对称的两个夹板；在本实施例中，第一夹具2可以位于第二夹具3内侧，也可以设置于第二夹具3外侧，当第一夹具2位于所述第二夹具3内侧的时，第二夹具3内侧的相应位置设置有滑轨凹槽，定位第一夹具2的行进路线，但当第一夹具2位于所述第二夹具3外侧的时，第二夹具3外侧的相应位置同样将设置有滑轨沟槽，定位第一夹具2的行进路线。在实际作业中，在第一夹具2位于第二夹具3内侧时，当需抓起小尺寸的晶舟，通过所述电机4驱动所述往复运动机构，同时通过往复运动机构带动第一夹具2向下运动，待所述第一夹具2到达能够抓取晶舟位置时，电机4停止工作，随后所述一种晶舟夹取装置抓取小尺寸晶舟。当需要抓起大尺寸的晶舟时，通过电机4驱动所述往复运动机构，同时通过往复运动机构带动第一夹具2向上运动，待所述第二夹具3到达能够抓取晶舟位置时，电机4停止工作，随后所述一种晶舟夹取装置便可直接抓取大尺寸晶舟。需要说明的是，所述第二夹具3是相对于所述一种晶舟夹取装置是相对静止的，具体的，在往复运动机构的带动下所述第一夹具2通过其与第二夹具3间的滑动连接，实现在所述第二夹具3上往复运动。但当第一夹具2位于第二夹具3外侧时，第一夹具2则是抓取大尺寸晶舟，第二夹具3抓取小尺寸晶舟。本实用新型通过上述方案实现一台设备可以用于多种规格的晶舟，同时提升了晶舟抓取的效率，本实用新型在现有晶舟夹取装置的基础上对结构进行了升级改造，达到了同一机台可以进行两种规格晶圆产品的制程的目的，提高了抓取、制程效率，同时两种尺寸夹具可以进行直接切换，不需要一种规格就调整一次设备。

请参阅图1，在本实施例中，所述往复运动机构包括齿条6、齿轮5；所述齿条6固定连接在所述第一夹具2上，所述电机4用于给所述齿轮5提供动力，且所述齿条6、齿轮5相互啮合；所述电机4通过啮合驱动所述第一夹具2在所述第二夹具3上的第一位置与第二位置之间移动，用于拾取不同尺寸的晶舟。在实际作业中，通过两个所述电机4驱动两个齿轮5同步转动，从而带动齿条6上下运动，进一步地带动所述第一夹具2上下运动。需要说明的是，在抓取不同尺寸大小的晶舟的时，通过电机4的啮合驱动，使所述第一夹具2在第一位置与第二位置之间移动，请参阅图2到3，具体的，在所述第一夹具2位于所述第二夹具3内侧时，在需要抓取小尺寸晶舟的时候，所述第一夹具2向下运动直至到达所述第一夹具2的末端超过第二夹具3末端或者到达所述第一夹具2与第二夹具3末端平齐的第二位置，当所述第一夹具2位于第二位置时，所述第一夹具2用于抓取较小尺寸的晶舟；在需要抓取大尺寸晶舟的时，所述第一夹具2向上运动直至所述第一夹具2的末端不超过第二夹具3末端或者不与所述第二夹具3末端平齐时，到达所述第一位置，当所述第一夹具2位于第一位置时,第二夹具3便可抓取较大尺寸的晶舟。在所述第一夹具2位于所述第二夹具3外侧时，第一夹具2则是抓取大尺寸晶舟，而第二夹具3则是抓取小尺寸晶舟。当然在本实施例中，所述往复运动机构还可以为曲柄滑块、凸轮等。在实际作业中，本实用新型通过上述方案实现一台设备可以用于多种规格的晶舟，通过移动设备中的第一夹具2，提升了晶舟抓取的效率，本实用新型在现有晶舟夹取装置的基础上对结构进行了升级改造，达到了同一机台可以进行两种规格晶圆产品的制程的目的，提高了抓取、制程效率，同时两种尺寸夹具可以进行直接切换，不需要一种规格就调整一次设备。

在本实施例中，所述一种晶舟夹取装置还包括：夹取控制器、轴杆(夹取控制器和轴杆可以采用如图1的现有的夹取控制器和轴杆)；所述固定座与轴杆相连，并设置于所述轴杆的前端，所述轴杆设置于所述夹取控制器上。夹取控制器可以带动轴杆远离和靠近，从而带动夹臂远离和靠近，夹臂远离的时候，可以放下晶舟，夹臂靠近的时候，可以夹住晶舟。由于夹取控制器带动轴杆靠近的时候，是一个固定的宽度，通过设置第一夹具和第二夹具，可以实现两种不同的宽度，从而实现不同宽度晶舟的夹取。夹取控制器的结构可以是现有的夹取控制器的结构，这样本实用信息无需对现有的夹取控制器做改进，只要增加上第二夹具即可以实现不同晶舟的夹取，方便实用。

夹臂只要能夹住晶舟即可，如可以带弯头的夹臂，弯头可以勾住晶舟两侧。优选地，所述第一夹臂或者第二夹臂为凵型，这样可以将晶舟吊起，更加牢固平稳。

需要说明的是，尽管在本文中已经对上述各实施例进行了描述，但并非因此限制本实用新型的专利保护范围。因此，基于本实用新型的创新理念，对本文所述实施例进行的变更和修改，或利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，直接或间接地将以上技术方案运用在其他相关的技术领域，均包括在本实用新型专利的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种晶舟夹取装置，其特征在于，包括：固定座、第一夹具、第二夹具、往复运动机构、电机；

所述第二夹具设置于固定座上，所述第一夹具包括两个平行设置的第一夹臂，第二夹具包含两个平行设置的第二夹臂，所述第一夹臂滑动连接于第二夹臂侧面上，并与所述往复运动机构相连；

所述电机固定在固定座上且转动端与所述往复运动机构相连接，用于为所述往复运动机构提供动力，且使所述第一夹具在所述第二夹具侧边上下往复运动；

固定座用于与夹取控制器上的轴杆连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶舟夹取装置，其特征在于，所述往复运动机构包括齿条、齿轮；

所述齿条固定连接在所述第一夹具上，所述电机用于给所述齿轮提供动力，且所述齿条、齿轮相互啮合；所述电机通过啮合驱动所述第一夹具在所述第二夹具上的第一位置与第二位置之间移动，用于抓取不同尺寸的晶舟。

3.根据权利要求1所述的一种晶舟夹取装置，其特征在于，所述第一夹臂滑动连接于所述第二夹具内侧。

4.根据权利要求1所述的一种晶舟夹取装置，其特征在于，还包括：夹取控制器、轴杆；

所述固定座与轴杆相连，并设置于所述轴杆的前端，所述轴杆设置于所述夹取控制器上。

5.根据权利要求1所述的一种晶舟夹取装置，其特征在于，所述第一夹臂或者第二夹臂为凵型。

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