CN210452257U - 抛光装置 - Google Patents

抛光装置 Download PDF

Info

Publication number
CN210452257U
CN210452257U CN201921031959.6U CN201921031959U CN210452257U CN 210452257 U CN210452257 U CN 210452257U CN 201921031959 U CN201921031959 U CN 201921031959U CN 210452257 U CN210452257 U CN 210452257U
Authority
CN
China
Prior art keywords
polishing
lifter plate
lead screw
lifting plate
guide rail
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201921031959.6U
Other languages
English (en)
Inventor
李亮亮
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Zishi Energy Co.,Ltd.
Original Assignee
Dongtai Hi Tech Equipment Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dongtai Hi Tech Equipment Technology Co Ltd filed Critical Dongtai Hi Tech Equipment Technology Co Ltd
Priority to CN201921031959.6U priority Critical patent/CN210452257U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN210452257U publication Critical patent/CN210452257U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Abstract

本实用新型涉及半导体抛光技术领域,提供一种抛光装置,包括机架和升降板,所述机架上设有两根平行的丝杠和两个平行的导轨,两根所述丝杠和两个所述导轨均与所述升降板所在平面垂直,所述升降板的相对两侧分别与两个所述丝杠连接,所述升降板的另相对两侧分别与两个所述导轨连接,所述升降板上设有抛光件。通过在机架上设置两根丝杠和两个导轨,丝杠为升降板提供升降作用,导轨为升降板提供支撑导向作用,提高抛光件的承载强度和升降的安全性、平稳性,实现抛光件可高速旋转状态下的平稳,提高抛光效率,缩短工艺时间,提高抛光质量和产能。

Description

抛光装置
技术领域
本实用新型涉及半导体抛光技术领域,特别是涉及一种抛光装置。
背景技术
半导体行业中,通常加工多片6英寸晶片的抛光设备,都是采用气缸升降,气缸升降系统,无法加载重量较大的系统,且随着速度增大,上盘振动也增大,因此无法满足加载重量大、速度高的系统。
上盘运转速度低、加压能力低的抛光设备(加压系统是重力跟气压结合的方式),通常用在单面抛光且研磨面朝下的抛光设备,且上表面要求不严的双面抛光,且主要面朝下。由于上盘转速低,加压受限,上抛光面的去除率就很小,因此主抛光面朝下,使抛光设备实现自动化的难度增大,且每盘加工片数少,而且工艺时间长,严重影响了生产效率。
实用新型内容
(一)要解决的技术问题
本实用新型的目的是提供一种抛光装置,以解决现有抛光设备承载量小,转速低的问题。
(二)技术方案
为了解决上述技术问题,本实用新型提供一种抛光装置,包括机架和升降板,所述机架上设有两根平行的丝杠和两个平行的导轨,两根所述丝杠和两个所述导轨均与所述升降板所在平面垂直,所述升降板的相对两侧分别与两个所述丝杠连接,所述升降板的另相对两侧分别与两个所述导轨连接,所述升降板上设有抛光件。
其中,所述升降板的相对两侧分别设有与两根所述丝杠一一对应的丝杠螺母。
其中,所述升降板的另相对两侧分别设有与两个所述导轨一一对应的滑块。
其中,所述抛光件包括旋转电机和抛光盘,所述升降板上设有穿孔,所述旋转电机的驱动端穿过所述穿孔并与所述抛光盘连接。
其中,所述旋转电机的驱动端通过增压缸与所述抛光盘连接,所述增压缸的固定端与所述旋转电机的驱动端连接,所述增压缸的活塞杆与所述抛光盘连接。
其中,所述丝杠的一端通过轴承座安装在所述机架上,所述丝杠的另一端设有链轮,所述链轮通过链条与升降电机连接。
(三)有益效果
本实用新型提供的一种抛光装置,通过在机架上设置两根丝杠和两个导轨,丝杠为升降板提供升降作用,导轨为升降板提供支撑导向作用,提高抛光件的承载强度和升降的安全性、平稳性,实现抛光件可高速旋转状态下的平稳,提高抛光效率,缩短工艺时间,提高抛光质量和产能。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型实施例抛光装置的结构剖视图。
图中,1:机架;2:丝杠;3:导轨;4:升降板;5:丝杠螺母;6:旋转电机;7:抛光盘;8:增压缸;9:链轮。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
此外,在本实用新型的描述中,除非另有说明,“多个”、“多根”、“多组”的含义是两个或两个以上,“若干个”、“若干根”、“若干组”的含义是一个或一个以上。
如图1所示,本实用新型实施例提供一种抛光装置,包括机架1和升降板4,机架1上设有两根平行的丝杠2和两个平行的导轨3,两根丝杠2和两个导轨3均与升降板4所在平面垂直。可以理解的,本实施例中,升降板4水平设置,两根丝杠2和两个导轨3均竖直设置。
其中,升降板4的相对两侧分别与两根丝杠2连接,实现对升降板4的升降高度的调节。具体的,本实施例中,两根丝杠2分别设置在升降板4的左右两侧,且升降板4的左右两侧分别设有与两根丝杠2分别一一对应适配的丝杠螺母5。通过同步旋转两根丝杠2实现对升降板4的升降高度进行调节,通过两根丝杠2的自锁功能,提高调节精度和支撑强度,保证运行的安全性。
进一步的,升降板4的另相对两侧分别与两个导轨3连接,实现对升降板4升降过程中的导向和支撑的作用。具体的,本实施例中,两个导轨3分别设置在升降板4的前后两侧,且升降板4的前后两侧分别设有与两个导轨3一一对应适配的滑块(图中未示出)。滑块卡设在导轨3上,当升降板4在丝杠2的作用下升降时,滑块在导轨3上沿竖直方向上下滑动。丝杠2和导轨3一起作用,提高了对升降板4的支撑强度,增加了升降板4的承载重量,提高了运行的平稳性。
其中,升降板4上设有抛光件,抛光件包括旋转电机6和抛光盘7,升降板4上设有穿孔,旋转电机6的驱动端穿过穿孔并与抛光盘7连接,本实施例中,旋转电机6设置在升降板4的上端,抛光盘7设置在升降板4的下侧,且与待抛光晶片相对设置。
进一步的,旋转电机6的驱动端设有减速器,减速器的输出端通过联轴器与增压缸8的固定端连接,增压缸8的活塞杆与抛光盘7连接。可以理解的,旋转电机6的驱动端通过减速器调整输出速度,减速器的输出端通过联轴器与增压缸8连接,实现对增压缸8的过载保护,保证连接强度。值得说明的,通过两根丝杠2和两个导轨3的支撑作用,提高了抛光盘7的稳定强度,也就变相的,提高了抛光盘7最高旋转速度,提高抛光精度和效率。
其中,增压缸8的活塞杆与抛光盘7连接,实现抛光盘7与升降板4一起升降,同时,实现旋转电机6对抛光盘7的旋转驱动。可以理解的,增压缸8通过调整活塞杆的伸出长度,调整抛光盘7对晶片的压力,进而提高抛光强度,保证抛光效率和质量。本实施例中,增压缸8的行程小于50mm。
进一步的,丝杠2的一端通过轴承座安装在机架1上,丝杠2的另一端设有链轮9,链轮9通过链条与升降电机连接。升降电机通过链条带动链轮9转动,丝杠2与链轮9同步转动,通过调整升降电机的正反转实现对升降板4的升降调节。本实施例中,升降电机共设置两个,分别一一对应两根丝杠2,两个升降电机保持同步转动。
本实用新型实施例抛光装置的工作流程如下:
两个升降电机保持同步转动,通过链条带动相应的链轮9转动,链轮9带动丝杠2旋转,升降板4在丝杠螺母5的带动下升降移动,同时,滑块在导轨3上上下移动;
当升降板4到达指定位置,即抛光盘7到达抛光位置后,关闭升降电机,启动增压缸8,使抛光盘7对晶片进行加压作用,开启旋转电机6,实现抛光盘7对晶片的高精度和高效率的抛光作业;
当完成抛光后,关闭增压缸8,再关闭旋转电机6,启动升降电机,提升抛光盘7,完成一次抛光作业。
本实用新型提供的一种抛光装置,通过在机架上设置两根丝杠和两个导轨,丝杠为升降板提供升降作用,导轨为升降板提供支撑导向作用,提高抛光件的承载强度和升降的安全性、平稳性,实现抛光件可高速旋转状态下的平稳,提高抛光效率,缩短工艺时间,提高抛光质量和产能,结构简单,操作方便。
以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的,其中所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的,作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元,即可以位于一个地方,或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。本领域普通技术人员在不付出创造性的劳动的情况下,即可以理解并实施。
最后应说明的是:以上实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (6)

1.一种抛光装置,其特征在于,包括机架和升降板,所述机架上设有两根平行的丝杠和两个平行的导轨,两根所述丝杠和两个所述导轨均与所述升降板所在平面垂直,所述升降板的相对两侧分别与两个所述丝杠连接,所述升降板的另相对两侧分别与两个所述导轨连接,所述升降板上设有抛光件。
2.根据权利要求1所述的抛光装置,其特征在于,所述升降板的相对两侧分别设有与两根所述丝杠一一对应的丝杠螺母。
3.根据权利要求2所述的抛光装置,其特征在于,所述升降板的另相对两侧分别设有与两个所述导轨一一对应的滑块。
4.根据权利要求1所述的抛光装置,其特征在于,所述抛光件包括旋转电机和抛光盘,所述升降板上设有穿孔,所述旋转电机的驱动端穿过所述穿孔并与所述抛光盘连接。
5.根据权利要求4所述的抛光装置,其特征在于,所述旋转电机的驱动端通过增压缸与所述抛光盘连接,所述增压缸的固定端与所述旋转电机的驱动端连接,所述增压缸的活塞杆与所述抛光盘连接。
6.根据权利要求1所述的抛光装置,其特征在于,所述丝杠的一端通过轴承座安装在所述机架上,所述丝杠的另一端设有链轮,所述链轮通过链条与升降电机连接。
CN201921031959.6U 2019-07-03 2019-07-03 抛光装置 Active CN210452257U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201921031959.6U CN210452257U (zh) 2019-07-03 2019-07-03 抛光装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201921031959.6U CN210452257U (zh) 2019-07-03 2019-07-03 抛光装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN210452257U true CN210452257U (zh) 2020-05-05

Family

ID=70443686

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201921031959.6U Active CN210452257U (zh) 2019-07-03 2019-07-03 抛光装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN210452257U (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111558517A (zh) * 2020-05-18 2020-08-21 大庆油田有限责任公司 聚合类支撑剂自动提升干湿筛分装置及方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111558517A (zh) * 2020-05-18 2020-08-21 大庆油田有限责任公司 聚合类支撑剂自动提升干湿筛分装置及方法
CN111558517B (zh) * 2020-05-18 2022-04-26 大庆油田有限责任公司 聚合类支撑剂自动提升干湿筛分装置及方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108312044B (zh) 一种抛光装置
CN108941765A (zh) 一种零件处理装置
CN109848782B (zh) 一种木料毛刺处理装置
CN210452257U (zh) 抛光装置
CN110653703A (zh) 一种建筑专用打磨设备
CN104786136A (zh) 超级镜面板研磨设备
CN208744448U (zh) 太阳能铝边框型材用抛光设备
CN108340266A (zh) 一种用于塑料加工的升降旋转抛光装置及抛光方法
CN207771551U (zh) 一种龙头把手表面抛光装置
CN211966988U (zh) 一种机械加工用工件打磨装置
CN211332812U (zh) 一种三维调整角度且夹力可调的台钳
CN211255104U (zh) 一种侧面减速升降机
CN210704116U (zh) 一种水磨拉丝设备
CN207578140U (zh) 一种基于圆环形拼装板材的自动化抛光机
CN208913789U (zh) 一种铝塑板电动打磨装置
CN217349691U (zh) 一种夹芯复合板机上料机构
CN215700705U (zh) 一种无机磨石的双面同步抛光设备
CN216730559U (zh) 一种等速电动缸加工用裁剪装置
CN213945877U (zh) 一种电动数字化的去毛刺机
CN216836559U (zh) 一种复合材料拉挤板材收线控制系统
CN216265005U (zh) 一种简化型磨头移动式卧轴圆台平面磨床
CN210968482U (zh) 一种高效精磨机
CN208843145U (zh) 一种双轨运输装置
CN217707593U (zh) 一种门窗组角生产用上料装置
CN216472184U (zh) 一种灌装针等分变距装置

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20210203

Address after: Unit 611, unit 3, 6 / F, building 1, yard 30, Yuzhi East Road, Changping District, Beijing 102208

Patentee after: Zishi Energy Co.,Ltd.

Address before: Room A129-1, No. 10 Zhongxing Road, Changping District Science and Technology Park, Beijing 102200

Patentee before: DONGTAI HI-TECH EQUIPMENT TECHNOLOGY Co.,Ltd.

TR01 Transfer of patent right