CN210089658U - 一种晶棒外径尺寸检测机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型是关于晶棒外圆滚磨领域，特别涉及一种晶棒外径尺寸检测机构。包括机械机构，机械机构包括接触式传感器，接触式传感器与传感器安装块相连，并通过螺母锁紧固定在传感器转接板上；传感器转接板安装在传感器安装支架上；传感器安装支架侧部开有通孔。轴承组件包括轴承安装座，轴承安装座内设有多组直线轴承；轴承安装座后侧与传感器连接座相连，传感器连接座内设有法兰型直线轴承；安装轴前端与接触式传感器相连，后部通过直线轴承与法兰型直线轴承设于轴承安装座与传感器连接座内，端部伸出传感器连接座并设有滚轮接触头。本实用新型能够实现晶棒外径尺寸的自动检测，有效的减少了人工操作，提高了加工效率。

Description

一种晶棒外径尺寸检测机构

技术领域

本实用新型是关于晶棒外圆滚磨领域，特别涉及一种晶棒外径尺寸检测机构。

背景技术

传统晶棒外圆滚磨加工中，磨床设备通常不带有外径检测机构，通过人工手动测量的方式来确定晶棒的加工量，以及确认加工后的尺寸是否到位。

而人工检测对人员的素质要求较高，装夹在设备上测量时，受设备内部空间大小影响，人员技术不到位容易导致测量误差大。若设备内部空间不允许，则需将晶棒取下后方可测量，若尺寸不到位，还需再次装夹返修，及其不便，严重影响加工效率。

人工检测测量时间久，人工成本高，效率低，不利于实现自动化生产。

由于人工检测晶棒外径存在以上弊端，急需提供一种晶棒外径尺寸检测机构，能够自动检测晶棒外径的大小。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种晶棒外径尺寸检测机构，能够自动检测晶棒外径的大小。

为解决上述技术问题，本实用新型的解决方案是：

提供一种晶棒外径尺寸检测机构，包括机械机构和控制机构。

机械机构包括接触式传感器、安装轴和轴承组件。

接触式传感器与传感器安装块相连，并通过螺母锁紧固定在传感器转接板上；传感器转接板安装在传感器安装支架上；传感器安装支架侧部开有通孔，用于连接设备磨头；

轴承组件包括轴承安装座，轴承安装座内设有多组直线轴承；轴承安装座后侧与传感器连接座相连，传感器连接座内设有法兰型直线轴承；

安装轴前端与接触式传感器相连，后部通过直线轴承与法兰型直线轴承设于轴承安装座与传感器连接座内，端部伸出传感器连接座并设有滚轮接触头；

控制机构则由调速阀和电磁阀组成，调速阀安装在电磁阀上，并且通过气管与接触式传感器相连。

作为进一步的改进，接触式传感器后部与传感器固定块相连。

作为进一步的改进，传感器连接座后侧设有安装板，传感器连接座与安装板间设有连接座密封垫。

作为进一步的改进，法兰型直线轴承与轴承座间设有直线轴承密封垫。

作为进一步的改进，连接座密封垫和直线轴承密封垫为氟橡胶垫。

作为进一步的改进，直线轴承和法兰型直线轴承内均设有密封圈。

作为进一步的改进，传感器转接板使用螺钉锁紧的方式固定在传感器安装支架上。

作为进一步的改进，传感器安装支架上的通孔为腰型孔，调节腰型孔的固定位置，使整体机构与磨头的相对位置合适。

作为进一步的改进，接触式传感器选择自带伸缩功能的接触式传感器，只需提供驱动气即可，无需再设计用于传感器伸缩的零件，使结构更加简单，所占空间更小。

作为进一步的改进，接触式传感器选择大行程的传感器，增大了伸缩量，使其能够适用于椭圆较大或者夹持偏心较大的晶棒外径检测。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型能够实现晶棒外径尺寸的自动检测，有效的减少了人工操作，提高了加工效率。

2、本实用新型结构简单，所占空间小，有良好的防水能力，安装维修方便，实用性高，可使用范围广。

附图说明

图1为本实用新型的俯视图。

图2为本实用新型的主视剖视图。

图中的附图标记为：1-接触式传感器；2-传感器转接板；3-传感器安装支架；4-安装轴；5-轴承安装座；6-传感器连接座；7-传感器固定块；8-直线轴承；9-直线轴承密封垫；10-法兰型直线轴承；11-连接座密封垫；12-安装板；13-滚轮接触头。

具体实施方式

下面结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述：

如图1、图2所示的一种晶棒外径尺寸检测机构，包括机械机构和控制机构(图上未显示)。机械机构包括接触式传感器1、安装轴4和轴承组件；

接触式传感器1与传感器安装块相连，并通过螺母锁紧固定在传感器转接板2上；接触式传感器1后部与传感器固定块7相连。传感器转接板2安装在传感器安装支架3上；传感器安装支架3侧部开有通孔，用于连接设备磨头；传感器安装支架3上的通孔为腰型孔，调节腰型孔的固定位置，使整体机构与磨头的相对位置合适。传感器转接板2使用螺钉锁紧的方式固定在传感器安装支架3上。

轴承组件包括轴承安装座5，轴承安装座5内设有多组直线轴承8。轴承安装座5后侧与传感器连接座6相连，传感器连接座6内设有法兰型直线轴承10。传感器连接座6后侧设有安装板12，传感器连接座6与安装板12间设有连接座密封垫11。

安装轴4前端与接触式传感器1相连，后部通过直线轴承8与法兰型直线轴承10设于轴承安装座5与传感器连接座6内，端部伸出传感器连接座6并设有滚轮接触头13。法兰型直线轴承10与轴承座间设有直线轴承密封垫9。

控制机构则由调速阀和电磁阀组成，调速阀安装在电磁阀上，并且通过气管与接触式传感器1相连。

直线轴承8和法兰型直线轴承10内均设有密封圈。连接座密封垫11和直线轴承密封垫9为氟橡胶垫。

本实用新型用于晶棒外径尺寸检测机构的使用方法为：

当晶棒需要进行尺寸检测的时候，信号给到电磁阀，电磁阀打开，气流进入到接触式传感器1，接触式传感器1前端的杆子伸出，向前的力给到安装轴4，安装轴4在直线轴承8和法兰型直线轴承10的辅助作用下前伸，从而使滚轮接触头13前伸，此时滚轮接触头13高于磨头砂轮的位置。之后整体磨头向晶棒移动，直到滚轮接触头13接触到晶棒，接触式传感器1接收到信号，使磨头停止不再前移，由于此时滚轮接触头13的位置高于磨头砂轮，所以砂轮不会碰到晶棒，此时晶棒转动，滚轮接触头13在气流的作用下，紧贴晶棒，晶棒转动一圈，接触式传感器1收集到晶棒的外径数据，输出，并给出信号，晶棒停止转动，电磁阀关闭，接触式传感器1内部弹簧带动前端杆子缩回，滚轮接触头13缩回，此时，滚轮接触头13位置低于磨头砂轮，不会影响到砂轮正常工作。

最后，需要注意的是，以上列举的仅是本实用新型的具体实施例。显然，本实用新型不限于以上实施例，还可以有很多变形。本领域的普通技术人员能从本实用新型公开的内容中直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本实用新型的保护范围。

Claims (9)

1.一种晶棒外径尺寸检测机构，其特征在于，包括机械机构和控制机构；

所述机械机构包括接触式传感器、安装轴和轴承组件；

所述接触式传感器与传感器安装块相连，并通过螺母锁紧固定在传感器转接板上；传感器转接板安装在传感器安装支架上；传感器安装支架侧部开有通孔，用于连接设备磨头；

所述轴承组件包括轴承安装座，轴承安装座内设有多组直线轴承；轴承安装座后侧与传感器连接座相连，传感器连接座内设有法兰型直线轴承；

所述安装轴前端与接触式传感器相连，后部通过直线轴承与法兰型直线轴承设于轴承安装座与传感器连接座内，端部伸出传感器连接座并设有滚轮接触头；

所述控制机构则由调速阀和电磁阀组成，调速阀安装在电磁阀上，并且通过气管与接触式传感器相连。

2.根据权利要求1所述的检测机构，其特征在于，所述接触式传感器后部与传感器固定块相连。

3.根据权利要求1所述的检测机构，其特征在于，所述传感器连接座后侧设有安装板，传感器连接座与安装板间设有连接座密封垫。

4.根据权利要求3所述的检测机构，其特征在于，所述连接座密封垫为氟橡胶垫。

5.根据权利要求1所述的检测机构，其特征在于，所述法兰型直线轴承与轴承座间设有直线轴承密封垫。

6.根据权利要求5所述的检测机构，其特征在于，所述直线轴承密封垫为氟橡胶垫。

7.根据权利要求1所述的检测机构，其特征在于，所述直线轴承和法兰型直线轴承内均设有密封圈。

8.根据权利要求1所述的检测机构，其特征在于，所述传感器转接板使用螺钉锁紧的方式固定在传感器安装支架上。

9.根据权利要求1所述的检测机构，其特征在于，所述传感器安装支架上的通孔为腰型孔。