CN210065984U - 单晶炉排气口清洁装置 - Google Patents

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魏海宁
宋涛
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Xuzhou Jingrui Semiconductor Equipment Technology Co Ltd
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Abstract

本实用新型公开了一种单晶炉排气口清洁装置,包括电机,所述电机的左端输出端连接有转轴,转轴的左端连接有驱动齿轮,驱动齿轮的前端啮合连接有从动齿轮,所述从动齿轮套接在第二连接管的外侧面,第二连接管的内侧面通过轴承转动连接有连接套,连接套内侧面固定连接有第一连接管,第一连接管的右端与吸尘装置的进气口相连通,所述第二连接管的外侧面设有凹槽,凹槽内设有凸棱,凸棱的上端滑动连接有推杆,推杆为倾斜设置,推杆的右端固定连接有调节螺栓且调节螺栓穿过从动齿轮并与从动齿轮内侧面螺纹连接,本装置可以对不同尺寸管口的排气管进行氧化物的清洁,提高了使用的通用性,同时可以将清理时的氧化物残渣取出,提高了清洁效率。

Description

单晶炉排气口清洁装置
技术领域
本实用新型涉及单晶炉生产设备技术领域,具体为一种单晶炉排气口清洁装置。
背景技术
单晶炉运行过程中会产生大量的氧化物通过炉体排气系统排出炉体,一般排气系统设计在炉底,氧化物会通过炉体内排气导管输送到炉体外排气管道最后排出炉体,在炉内排气导管与炉体外排气管道相接区域,处于冷热交接位置,氧化物流过会沉积吸附在此处,运行时间久,氧化物堆积越来越多最终将排气口堵塞,导致排气系统瘫痪,最终影响成晶效果及品质。
现有的清洁装置只是针对同一管口尺寸的管道进行清理,适用范围有限,同时清理后残渣需要通过其它设备取出,清洁效率低下。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷,提供一种单晶炉排气口清洁装置,可以对不同尺寸管口的排气管进行氧化物的清洁,提高了使用的通用性,同时可以将清理时的氧化物残渣取出,提高了清洁效率,可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种单晶炉排气口清洁装置,包括电机,所述电机的左端输出端连接有转轴,转轴的左端连接有驱动齿轮,驱动齿轮的前端啮合连接有从动齿轮,所述从动齿轮套接在第二连接管的外侧面,第二连接管的内侧面通过轴承转动连接有连接套,连接套内侧面固定连接有第一连接管,第一连接管的右端与吸尘装置的进气口相连通,所述第二连接管的外侧面设有凹槽,凹槽内设有凸棱,凸棱的上端滑动连接有推杆,推杆为倾斜设置,推杆的右端固定连接有调节螺栓且调节螺栓穿过从动齿轮并与从动齿轮内侧面螺纹连接,推杆的左端固定连接有滑块,所述滑块滑动连接在支撑座的右侧面,所述支撑座固定连接第三连接管的外侧面右端,所述第三连接管与第二连接管固定连接,所述第一连接管、第二连接管和第三连接管的内侧相连通,所述滑块的上端通过连接柱连接有刷板,所述刷板的形状为弧形结构,刷板的外侧面均布设有刚毛。
优选地,支撑座的数量为三个,三个支撑座均匀分布在第三连接管的外侧面一周。
优选地,连接柱的数量为两个,两个连接柱对称分布在滑块的前后两端。
进一步,连接柱与滑块之间通过固定座连接,且连接柱的下端与固定座底部之间设有减震弹簧。
进一步,吸尘装置的下端设有第一支撑架,电机的外侧面设有第二支撑架。
与现有技术相比,本实用新型通过调节螺栓转动进而调节推杆在凹槽上前后移动,推杆带动滑块在支撑座上上下滑动,滑块通过连接柱带动刷板上下移动进而调整到与管口尺寸相配合的位置,提高了使用的通用性,通过驱动齿轮和从动齿轮配合进而带动刷板转动,保证了传动的稳定性,通过吸尘装置将清洁时残渣吸出,提高了清洁效率。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图;
图2为图1A处的放大示意图;
图3为本实用新型的主视图;
图4为本实用新型的右视图。
图中:1电机、2转轴、3驱动齿轮、4第一从动齿轮、5连接套、6第一连接管、7吸尘装置、8第二从动齿轮、9调节螺栓、10凸棱、11凹槽、12滑块、13固定座、14弹簧、 15连接柱、16刷板、17刚毛、18第二连接管、19第三连接管、20推杆、21第一支撑架、 22第二支撑架、23支撑座。
具体实施方式
下面将结合实施例中对本实用新型作进一步说明。
如图1至图4,本实用新型一种单晶炉排气口清洁装置,包括电机1,电机1的外侧面设有第二支撑架22,电机1的左端输出端连接有转轴2,转轴2的左端连接有驱动齿轮 3,驱动齿轮3的前端啮合连接有第一从动齿轮4,第一从动齿轮4套接在第二连接管18 的外侧面,第二连接管18的内侧面通过轴承转动连接有连接套5,连接套5内侧面固定连接有第一连接管6,第一连接管6的右端与吸尘装置7的进气口相连通,所述吸尘装置7 的下端设有第一支撑架21,第二连接管18的外侧面设有凹槽11,凹槽11内设有凸棱10,凸棱10的上端滑动连接有推杆20,推杆20为倾斜设置,推杆20的右端固定连接有调节螺栓9且调节螺栓9穿过第二从动齿轮8并与从动齿轮内侧面螺纹连接,推杆20的左端固定连接有滑块12,所述滑块12滑动连接在支撑座23的右侧面,支撑座23固定连接第三连接管19的外侧面右端,所述支撑座23的数量为三个,三个支撑座23均匀分布在第三连接管19的外侧面一周,三个支撑座23的设置进一步提高了清洁效率,第三连接管19 与第二连接管18固定连接,第一连接管6、第二连接管18和第三连接管19的内侧相连通,滑块12的上端通过连接柱15连接有刷板16,连接柱15与滑块12之间通过固定座13连接,且连接柱15的下端与固定座13底部之间设有减震弹簧14,减震弹簧14的设置使连接柱15在转动过程中避免刷板16与管道内壁产生刚性摩擦,进而损伤管道,连接柱15 的数量为两个,两个连接柱15对称分布在滑块12的前后两端,两个连接柱15可以提高对刷板16支撑的稳固性,刷板16的形状为弧形结构,刷板16的外侧面均布设有刚毛17,本装置通过驱动齿轮3和第一从动齿轮4配合进而带动刷板16转动,保证了传动的稳定性,同时可以对不同尺寸管口的排气管进行氧化物的清洁,提高了使用的通用性。
在使用时:先将本装置置于排气管口处,通过调节螺栓9转动进而调节推杆20在凹槽11上前后移动,推杆20带动滑块12在支撑座23上上下滑动,滑块12通过连接柱15 带动刷板16上下移动进而调整到与管口尺寸相配合的位置,然后将刷板16推入至清洁区域,通过启动电机1带动驱动齿轮3转动,进而带动第一从动齿轮4转动并使刷板16旋转,刷板16上的刚毛17对附着在管道内壁的氧化物进行打碎,同时启动吸尘装置7将打碎后的氧化物碎渣通过第三连接管19管口吸出。
本实用新型可以对不同尺寸管口的排气管进行氧化物的清洁,提高了使用的通用性,同时可以将清理时的氧化物残渣取出,提高了清洁效率;驱动齿轮3和第一从动齿轮4配合进而带动刷板16转动,保证了传动的稳定性。

Claims (5)

1.一种单晶炉排气口清洁装置,包括电机(1),其特征在于,电机(1)的左端输出端连接有转轴(2),转轴(2)左端连接有驱动齿轮(3),驱动齿轮(3)的前端啮合连接有第一从动齿轮(4),第一从动齿轮(4)套接在第二连接管(18)的外侧面,第二连接管(18)的内侧面通过轴承转动连接有连接套(5),连接套(5)内侧面固定连接有第一连接管(6),第一连接管(6)的右端与吸尘装置(7)的进气口相连通,第二连接管(18)的外侧面设有凹槽(11),凹槽(11)内设有凸棱(10),凸棱(10)的上端滑动连接有推杆(20),推杆(20)为倾斜设置,推杆(20)的右端固定连接有调节螺栓(9)且调节螺栓(9)穿过第二从动齿轮(8)并与从动齿轮内侧面螺纹连接,推杆(20)的左端固定连接有滑块(12),滑块(12)滑动连接在支撑座(23)的右侧面,所述支撑座(23)固定连接第三连接管(19)的外侧面右端,所述第三连接管(19)与第二连接管(18)固定连接,所述第一连接管(6)、第二连接管(18)和第三连接管(19)的内侧相连通,所述滑块(12)的上端通过连接柱(15)连接有刷板(16),所述刷板(16)的形状为弧形结构,刷板(16)的外侧面均布设有刚毛(17)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉排气口清洁装置,其特征在于,支撑座(23)的数量为三个,三个支撑座(23)均匀分布在第三连接管(19)的外侧面一周。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉排气口清洁装置,其特征在于,连接柱(15)的数量为两个,两个连接柱(15)对称分布在滑块(12)的前后两端。
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉排气口清洁装置,其特征在于,连接柱(15)与滑块(12)之间通过固定座(13)连接,且连接柱(15)的下端与固定座(13)底部之间设有减震弹簧(14)。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉排气口清洁装置,其特征在于,吸尘装置(7)的下端设有第一支撑架(21),电机(1)的外侧面设有第二支撑架(22)。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111494041A (zh) * 2020-05-22 2020-08-07 自贡市第一人民医院 口腔清洗装置

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